JPS6057231A - 気体圧力計 - Google Patents
気体圧力計Info
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- JPS6057231A JPS6057231A JP8064483A JP8064483A JPS6057231A JP S6057231 A JPS6057231 A JP S6057231A JP 8064483 A JP8064483 A JP 8064483A JP 8064483 A JP8064483 A JP 8064483A JP S6057231 A JPS6057231 A JP S6057231A
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- piezoelectric vibrator
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- piezoelectric
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、圧電振動子に作用する気体の摩擦作用を利
用した気体圧力計に関するものである。
用した気体圧力計に関するものである。
ｌＯ気圧から０． （１００１ｍｂａｒの圧力領域にお
いて時間的に連続な電気的出力が得られる圧力計または
真空ｄ１としては、弾性物質の隔膜に働く圧力差を利用
する方式の隔膜圧力計や、熱伝導を利用するビラニ真空
計が広く実用に供されてきた。
いて時間的に連続な電気的出力が得られる圧力計または
真空ｄ１としては、弾性物質の隔膜に働く圧力差を利用
する方式の隔膜圧力計や、熱伝導を利用するビラニ真空
計が広く実用に供されてきた。
しかし、こｆ’Ｌらの圧力計や真空計では、１つの感圧
素子で測定できる圧力範囲は４桁以内であり、使用温度
範囲匠は制約があった。さらに、隔膜を利用する方式で
は、圧力受容部の構造が複雑で犬型忙なり、大きな圧力
差による感度の変化や圧力受容部の破壊が起き、外部か
らの機械的撮動によって出力が変動することなどの欠点
がある。一方、ビラニ真空計では感度や零点の時間変化
があるために測定結果の信頼性が乏しく、応答も遅く、
前述の圧力測定領域の上限と下限の付近では感度が著し
く低下することなどが問題とさ１てきた。
素子で測定できる圧力範囲は４桁以内であり、使用温度
範囲匠は制約があった。さらに、隔膜を利用する方式で
は、圧力受容部の構造が複雑で犬型忙なり、大きな圧力
差による感度の変化や圧力受容部の破壊が起き、外部か
らの機械的撮動によって出力が変動することなどの欠点
がある。一方、ビラニ真空計では感度や零点の時間変化
があるために測定結果の信頼性が乏しく、応答も遅く、
前述の圧力測定領域の上限と下限の付近では感度が著し
く低下することなどが問題とさ１てきた。
また、物体に作用する気体の摩擦力ｌ利用する方式とし
ては、回転式粘性真空計および水晶の而すべり振動子を
圧力受容部として利用する摩擦式水晶真空計も発表され
ている。しかし、既存の摩擦式水晶真空計は原理的に感
度が低く、測定圧力範囲が狭いこと、感圧子が大きいこ
と、ＩＭＩＩＺ以上の高周波電圧が必要であることなど
の理由から実用化されるには至っていない。−１：Ｔこ
、ａ性体の小球を磁気浮上させ、その回転速度の減哀率
から圧力をめる回転式粘性真空針は０．０１ ｍｂａｒ
以上では感度が無く、圧力受容部の取付は方向と使用温
度範囲と忙制約がある。さらに、その制御と１測に必要
な電気回路は複雑で、極めて高価である。
ては、回転式粘性真空計および水晶の而すべり振動子を
圧力受容部として利用する摩擦式水晶真空計も発表され
ている。しかし、既存の摩擦式水晶真空計は原理的に感
度が低く、測定圧力範囲が狭いこと、感圧子が大きいこ
と、ＩＭＩＩＺ以上の高周波電圧が必要であることなど
の理由から実用化されるには至っていない。−１：Ｔこ
、ａ性体の小球を磁気浮上させ、その回転速度の減哀率
から圧力をめる回転式粘性真空針は０．０１ ｍｂａｒ
以上では感度が無く、圧力受容部の取付は方向と使用温
度範囲と忙制約がある。さらに、その制御と１測に必要
な電気回路は複雑で、極めて高価である。
この発明は、上述の点Ｋかんがみなされたもので、圧電
物質の屈曲振動を行う圧電振動子を用いることにより、
小型、堅牢でＩＯ気圧から０．０００１ｍｂａｒ以上の
範囲で気体の圧力が測定できる摩擦式の気体圧力計を得
ることを目的としている。以下、この発明を図面に基づ
いて説明する。
物質の屈曲振動を行う圧電振動子を用いることにより、
小型、堅牢でＩＯ気圧から０．０００１ｍｂａｒ以上の
範囲で気体の圧力が測定できる摩擦式の気体圧力計を得
ることを目的としている。以下、この発明を図面に基づ
いて説明する。
第１図はこの発明による気体圧力計の全体の構成を示す
ものである。この図で、■は圧力受容部、■は測定手段
である。圧力受容部■は屈曲振動な行う圧電振動子Ａを
備えている。測定手段ｎは、圧電振動子Ａを駆動するた
めの発振回路Ｂ、測定回路Ｃ２演算処理回路り、および
表示部Ｅとからなる。また、圧電振動子Ａは、列えば圧
力容器または真空容器（以下単に容器という）Ｆに収容
され、その内部の圧力を測定する。
ものである。この図で、■は圧力受容部、■は測定手段
である。圧力受容部■は屈曲振動な行う圧電振動子Ａを
備えている。測定手段ｎは、圧電振動子Ａを駆動するた
めの発振回路Ｂ、測定回路Ｃ２演算処理回路り、および
表示部Ｅとからなる。また、圧電振動子Ａは、列えば圧
力容器または真空容器（以下単に容器という）Ｆに収容
され、その内部の圧力を測定する。
次に動作につい−（説明する。圧電振動子Ａは発振回路
Ｂからの交流電圧によって振動する。この時、圧電振動
子Ａに作用する気体の摩擦力に対応した圧電振動子Ａの
振幅やその電気的な特性の変Ｃの出力を演算処理口′路
りによって処理し、圧力に変換した値として表示部Ｅに
表示する。この実施例では圧電振動子Ａだげが容器Ｆの
中に納められているが、発振回路臼、測定回路Ｃ１演算
処理回路りのすべてもしくはそのずれか１つ以上を容器
Ｆの中に圧電振動子Ａと共に納めることもできる。
Ｂからの交流電圧によって振動する。この時、圧電振動
子Ａに作用する気体の摩擦力に対応した圧電振動子Ａの
振幅やその電気的な特性の変Ｃの出力を演算処理口′路
りによって処理し、圧力に変換した値として表示部Ｅに
表示する。この実施例では圧電振動子Ａだげが容器Ｆの
中に納められているが、発振回路臼、測定回路Ｃ１演算
処理回路りのすべてもしくはそのずれか１つ以上を容器
Ｆの中に圧電振動子Ａと共に納めることもできる。
第２図は圧電振動子ＡとしてＸＹカットの水晶の角柱状
屈曲振動子を用いて圧力受容部Ｉを構成した場合の一例
を示すものである。
屈曲振動子を用いて圧力受容部Ｉを構成した場合の一例
を示すものである。
この図で、１ゆ水晶柱で、その４つの側面には、それぞ
れ電極２，３が密着して取り付けである。
れ電極２，３が密着して取り付けである。
機械的な支持体４の一端は電極２に、他端は図示しない
圧力受容器の支持部に固定されている。対向する２組の
電極２，２および３，３はそれぞれ電気端子１，６に接
続して、これら電気端子５゜６の間に５に一１００ＫＨ
２の交流電圧を発振回路Ｂから印加すると、水晶柱１は
、木琴の発音板のような屈曲振動を行う。
圧力受容器の支持部に固定されている。対向する２組の
電極２，２および３，３はそれぞれ電気端子１，６に接
続して、これら電気端子５゜６の間に５に一１００ＫＨ
２の交流電圧を発振回路Ｂから印加すると、水晶柱１は
、木琴の発音板のような屈曲振動を行う。
なお、この場合、水晶柱１の端部に別個の電極を取り付
けておき、水晶柱１の屈曲に比例した電気信号を取り出
すのに利用することもできる。
けておき、水晶柱１の屈曲に比例した電気信号を取り出
すのに利用することもできる。
第３図（ａ） 、（ｂ ）は音叉型の水晶振動子によっ
て圧力受容部ＩＹ構成した場合の一例な示す正面−図お
よび側面図である。ＸＹカットの音叉型水晶１′に取り
付けた電極２．３を第２図の水晶柱１を用いた圧・救援
動子Ａと同様に電気的に接続して交流電圧を印加すれば
音叉型水晶１′は振動する。音叉型の圧電振動子Ａはそ
の底面で支持体へ固定できるので、支持は簡単になる。
て圧力受容部ＩＹ構成した場合の一例な示す正面−図お
よび側面図である。ＸＹカットの音叉型水晶１′に取り
付けた電極２．３を第２図の水晶柱１を用いた圧・救援
動子Ａと同様に電気的に接続して交流電圧を印加すれば
音叉型水晶１′は振動する。音叉型の圧電振動子Ａはそ
の底面で支持体へ固定できるので、支持は簡単になる。
なお、この場合、水晶または剛体の板を圧力振動子への
端部に固定し・定形状とすれば、気体による摩擦力が太
き（なって圧力に対する感度を高めることができる。
端部に固定し・定形状とすれば、気体による摩擦力が太
き（なって圧力に対する感度を高めることができる。
第４図は水晶を用い定圧化振動子Ａの共振周波数におけ
る交流インピーダンスの抵抗成分の圧力依存性を測定し
た結果の一例である。横軸は圧力を、縦軸は交流抵抗値
の変化分を示す。曲線ａは第２図に示したような水晶の
角柱状屈曲振動子な用いて構成した圧力受容部Ｉによる
場合に対応する。ＸＹカットの水晶柱の大きさは３ｍｍ
Ｘ４ｍｍＸ ５０ ｍｍ 、共振周波数はｌ０ＫＨ２で
あって、被測定気体は空気である。曲線すは、厚さ０．
５ｍｍ、幅１．５ ｍｍ 、高さ５ ｍｍ 、共振周波
数３２．７ Ｋ Ｈｚの音叉型の水晶振動子製用いて構
成した圧力受容部Ｉによる場合であり、被測定気体を空
気とした場合の交流抵抗値の気体圧力依存を示している
。
る交流インピーダンスの抵抗成分の圧力依存性を測定し
た結果の一例である。横軸は圧力を、縦軸は交流抵抗値
の変化分を示す。曲線ａは第２図に示したような水晶の
角柱状屈曲振動子な用いて構成した圧力受容部Ｉによる
場合に対応する。ＸＹカットの水晶柱の大きさは３ｍｍ
Ｘ４ｍｍＸ ５０ ｍｍ 、共振周波数はｌ０ＫＨ２で
あって、被測定気体は空気である。曲線すは、厚さ０．
５ｍｍ、幅１．５ ｍｍ 、高さ５ ｍｍ 、共振周波
数３２．７ Ｋ Ｈｚの音叉型の水晶振動子製用いて構
成した圧力受容部Ｉによる場合であり、被測定気体を空
気とした場合の交流抵抗値の気体圧力依存を示している
。
これらの測定例によって、屈曲振動をする圧電振動子Ａ
の交流抵抗値の変化から圧電振動子への周囲の気体圧力
を知ることができることは明らかである。
の交流抵抗値の変化から圧電振動子への周囲の気体圧力
を知ることができることは明らかである。
この交流抵抗値の圧力変化は、気体とのＦ−擦によって
圧力振動子Ａから失われるエネルギーの量に対応してい
る。交流抵抗値の変化分の値は気体の摩擦力に比例して
おり、圧力と共に増大することは気体分子運動論と流体
力学から理論的に説明できる。こ５した理論解析の結果
と第４図の曲線とは、良い一致な示す。
圧力振動子Ａから失われるエネルギーの量に対応してい
る。交流抵抗値の変化分の値は気体の摩擦力に比例して
おり、圧力と共に増大することは気体分子運動論と流体
力学から理論的に説明できる。こ５した理論解析の結果
と第４図の曲線とは、良い一致な示す。
第５図はこの発明の圧力受容部■の他の実施例を示すも
ので、音叉型水晶１′の保訟のため円筒状の外周器７の
中に固定した圧力受容部Ｉの一例であって、８は絶縁物
の板体である。矢印９の方向から流れる気体に対しては
池の方向より高い・上刃が得らハる。音叉型水晶１′の
電極２，３は音叉型水晶１′の支持体７兼ねた電気端子
５，６に接続されており、これらの電気端子５，６１固
定している絶縁物の板体８は外周器Ｔの一部ｌ購成して
いる。第５図に一例な示したような外周器７の中に圧電
振動子Ａを固定し定圧力受容部ＴＹｘ複数個、その開口
の方向を変えて組み合せることによって、圧力の他に気
体の流れも測定できる。
ので、音叉型水晶１′の保訟のため円筒状の外周器７の
中に固定した圧力受容部Ｉの一例であって、８は絶縁物
の板体である。矢印９の方向から流れる気体に対しては
池の方向より高い・上刃が得らハる。音叉型水晶１′の
電極２，３は音叉型水晶１′の支持体７兼ねた電気端子
５，６に接続されており、これらの電気端子５，６１固
定している絶縁物の板体８は外周器Ｔの一部ｌ購成して
いる。第５図に一例な示したような外周器７の中に圧電
振動子Ａを固定し定圧力受容部ＴＹｘ複数個、その開口
の方向を変えて組み合せることによって、圧力の他に気
体の流れも測定できる。
また、角柱状と音叉状のように形が異なる２つの圧電振
動子Ａ１あるいは大きさの異なる２つの圧電振動子へを
用いた２台の圧電振動子式の気体圧力計で同一の揚所の
圧力を測定１加ば、２つの圧電振動子への感度が気体の
種類によって異なることを利用して圧力だけでなく被測
定気体の成分の違いについても知ることかできる。
動子Ａ１あるいは大きさの異なる２つの圧電振動子へを
用いた２台の圧電振動子式の気体圧力計で同一の揚所の
圧力を測定１加ば、２つの圧電振動子への感度が気体の
種類によって異なることを利用して圧力だけでなく被測
定気体の成分の違いについても知ることかできる。
カットの異なる水晶振動子を用いた圧電振動子へを２個
以上併用した圧力受容部■を使用すわば、水晶振動子の
内部インピーダンスの温度変化に起因する圧力測定の誤
差を補正することができる。
以上併用した圧力受容部■を使用すわば、水晶振動子の
内部インピーダンスの温度変化に起因する圧力測定の誤
差を補正することができる。
第６図はこの発ｒｉＡによる気体圧力計の電気回路の一
実施例の構成を示している。圧電振動子への共振周波数
に合せた発振回路Ｂからの交流電圧によって感圧子であ
る圧電振動子Ａが振動する。この圧電振動子への両端に
印加されている電圧は交流電圧ｉｔ ｃ 、によって測
定さ４、圧電振動子へを流れる電流は交流電流計Ｃ＊に
よって測定される。
実施例の構成を示している。圧電振動子への共振周波数
に合せた発振回路Ｂからの交流電圧によって感圧子であ
る圧電振動子Ａが振動する。この圧電振動子への両端に
印加されている電圧は交流電圧ｉｔ ｃ 、によって測
定さ４、圧電振動子へを流れる電流は交流電流計Ｃ＊に
よって測定される。
これらの交流電圧計Ｃ３と交流Ｔ！Ｌ流計ｃ２の出力は
演算処理回路りによって抵抗値に変換さｔ１圧力に対応
した量として表示される。
演算処理回路りによって抵抗値に変換さｔ１圧力に対応
した量として表示される。
第７図は圧電振動子Ａを発振回路の一部として構成した
圧電振動子式の気体圧力計用の発振回路ＢＹ示すもので
ある。この図で、Ｒは抵抗器、ＡＭＰは増幅器、Ｃ■は
可変コンデンサ、ＣＦは固定コンデンサである。抵抗値
が既知の抵抗器Ｒの両端の電圧から電流がわかり、この
電流と圧電振動子への両端の電圧から交流抵抗値がまる
。この回路を使用丁れば電気回路の構成が単純忙なると
共に発振周波数の調整が不要になって使用法も簡単化さ
れる。
圧電振動子式の気体圧力計用の発振回路ＢＹ示すもので
ある。この図で、Ｒは抵抗器、ＡＭＰは増幅器、Ｃ■は
可変コンデンサ、ＣＦは固定コンデンサである。抵抗値
が既知の抵抗器Ｒの両端の電圧から電流がわかり、この
電流と圧電振動子への両端の電圧から交流抵抗値がまる
。この回路を使用丁れば電気回路の構成が単純忙なると
共に発振周波数の調整が不要になって使用法も簡単化さ
れる。
水晶のような圧電振動子Ａを感圧子とするこの発明によ
る摩擦式の気体圧力計では、圧力振動子Ａから気体に与
えられるエネルギーが極めて少すくて済み、被測定気体
に与える熱的影響は小さいので、従来の既存の真空計で
は測定が不可能であった−１（）０℃以下の温度におい
ても圧力計測ができる。
る摩擦式の気体圧力計では、圧力振動子Ａから気体に与
えられるエネルギーが極めて少すくて済み、被測定気体
に与える熱的影響は小さいので、従来の既存の真空計で
は測定が不可能であった−１（）０℃以下の温度におい
ても圧力計測ができる。
以上詳ｉ１：ＩＩＩに述べたように、この発明による気
体圧力Ｊ１は、屈曲振動を行う圧電振動子な備えた圧力
受容部と、圧′磨振動子の被測定圧力に対応する交流抵
抗値な計測する測定手段とで構成されているので、従来
のものに比較してより広い温度範囲と圧力領域で使用で
きるだけでなく、圧電振動子を含む圧力受容部も小型、
堅牢であって、化学的に活性な気体に対しても使用でき
、かつ安価に製造することができる。また、流速の測定
にも使用でき、さらに気体の種類によってレスポンスの
異なる圧力受容部を用いることにより気体の種類の測定
も行うことができ、かつ、温度係数の異ｊ、ｃる圧電振
動子を用いることにより温度補正火打いつるなどの優れ
た利点がある。
体圧力Ｊ１は、屈曲振動を行う圧電振動子な備えた圧力
受容部と、圧′磨振動子の被測定圧力に対応する交流抵
抗値な計測する測定手段とで構成されているので、従来
のものに比較してより広い温度範囲と圧力領域で使用で
きるだけでなく、圧電振動子を含む圧力受容部も小型、
堅牢であって、化学的に活性な気体に対しても使用でき
、かつ安価に製造することができる。また、流速の測定
にも使用でき、さらに気体の種類によってレスポンスの
異なる圧力受容部を用いることにより気体の種類の測定
も行うことができ、かつ、温度係数の異ｊ、ｃる圧電振
動子を用いることにより温度補正火打いつるなどの優れ
た利点がある。
第１図はこの発明の一実施例の構成な示すブロック図、
第２図はこの発明に用いる圧電振動子の構成を示す斜視
図、第３図（ａ）、（ｂ）は同じく他の圧電振動子の溝
成ン示す一部を断面としム：ｉＥ面図と側面図、第４図
は水晶を用いた圧電振動子の共振周波数における圧力に
対する交流抵抗値の変化分を示す図、第５図はこの発明
に用いる圧電振動子のさらに他の構成を示す正断面図、
第６図はこの発明に用いる電気回路の一例を示すブロッ
ク図、第７図はこの発明に用いる発振回邦の一例を示す
回路図である。 図中、■は圧力受容部、■は測定手段、Ａは圧電振動子
、Ｂは発振回路、Ｃは測定回路、Ｄは演算処理回路、Ｅ
は表示部、１は水晶柱、２，３は電極、４は支持体、５
，６は電気端子、７は外周器、８は板体である。 第１図 第２図 第３図 １ よ 第４図 圧力（ｍｂａｒ） 第１頁の続き ０発 明 者 村 上 寛 茨城県新治郡桜村所内 ［相］発明者 戸１）義継 茨で新治悲村所内 梅園１丁目１番４号 電子技術総合研究梅園１丁目１番
４号 電子技術総合研究手続補正書（方式） 昭和６９ 年 １０月 ８１」 】１゜ 特許庁長官 志賀 学 殿 １事件の表示 昭和５８年特許願第８０６４４号 ２発明の名称 気体圧力計 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 東京都千代田区霞か関１丁目３番１号 １１４ 工 業 技 術 院 長 等々 力 達４指定
代理人 δζ城県新治郡桜村梅園１丁目１番４号００３５−１ニ
業技術院 電子技術総合研究所長 佐藤孝平 第３図 （０） 土 （ｂ） 上 第４図
第２図はこの発明に用いる圧電振動子の構成を示す斜視
図、第３図（ａ）、（ｂ）は同じく他の圧電振動子の溝
成ン示す一部を断面としム：ｉＥ面図と側面図、第４図
は水晶を用いた圧電振動子の共振周波数における圧力に
対する交流抵抗値の変化分を示す図、第５図はこの発明
に用いる圧電振動子のさらに他の構成を示す正断面図、
第６図はこの発明に用いる電気回路の一例を示すブロッ
ク図、第７図はこの発明に用いる発振回邦の一例を示す
回路図である。 図中、■は圧力受容部、■は測定手段、Ａは圧電振動子
、Ｂは発振回路、Ｃは測定回路、Ｄは演算処理回路、Ｅ
は表示部、１は水晶柱、２，３は電極、４は支持体、５
，６は電気端子、７は外周器、８は板体である。 第１図 第２図 第３図 １ よ 第４図 圧力（ｍｂａｒ） 第１頁の続き ０発 明 者 村 上 寛 茨城県新治郡桜村所内 ［相］発明者 戸１）義継 茨で新治悲村所内 梅園１丁目１番４号 電子技術総合研究梅園１丁目１番
４号 電子技術総合研究手続補正書（方式） 昭和６９ 年 １０月 ８１」 】１゜ 特許庁長官 志賀 学 殿 １事件の表示 昭和５８年特許願第８０６４４号 ２発明の名称 気体圧力計 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 東京都千代田区霞か関１丁目３番１号 １１４ 工 業 技 術 院 長 等々 力 達４指定
代理人 δζ城県新治郡桜村梅園１丁目１番４号００３５−１ニ
業技術院 電子技術総合研究所長 佐藤孝平 第３図 （０） 土 （ｂ） 上 第４図
Claims (1)
- 屈曲振動を行う圧電振動子を備えた圧力受容部と、前記
圧電振動子の被測定圧力に対応する交流抵抗値ｌ計測す
る測定手段とからなることｌ特徴とする気体圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8064483A JPS6057231A (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | 気体圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8064483A JPS6057231A (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | 気体圧力計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057231A true JPS6057231A (ja) | 1985-04-03 |
Family
ID=13724070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8064483A Pending JPS6057231A (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | 気体圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057231A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218834A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 気体圧力計 |
| JP2014130016A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Canon Anelva Corp | 水晶摩擦真空計 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55149824A (en) * | 1979-05-11 | 1980-11-21 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Vibration type pressure measuring apparatus |
| JPS5658632A (en) * | 1979-10-18 | 1981-05-21 | Seikosha Co Ltd | Pressure detecting device |
-
1983
- 1983-05-09 JP JP8064483A patent/JPS6057231A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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| JPS55149824A (en) * | 1979-05-11 | 1980-11-21 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Vibration type pressure measuring apparatus |
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| JP2014130016A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Canon Anelva Corp | 水晶摩擦真空計 |
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