JPS6056346A - 半導体露光装置 - Google Patents
半導体露光装置Info
- Publication number
- JPS6056346A JPS6056346A JP58164107A JP16410783A JPS6056346A JP S6056346 A JPS6056346 A JP S6056346A JP 58164107 A JP58164107 A JP 58164107A JP 16410783 A JP16410783 A JP 16410783A JP S6056346 A JPS6056346 A JP S6056346A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- sealing
- outer diameter
- cone
- arc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
- H01J61/06—Main electrodes
- H01J61/073—Main electrodes for high-pressure discharge lamps
- H01J61/0732—Main electrodes for high-pressure discharge lamps characterised by the construction of the electrode
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Discharge Lamp (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、紫外線を利用して回路バクーンの焼付を行な
うための半導体露光装置に関するものである。
うための半導体露光装置に関するものである。
ＩＣ，ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体電子回路の回路パ
ターンの焼付においては、通常シリコンウェハーなどよ
ｐ地る基板上に紫外約感元性の樹脂層を積層し１殴り、
この樹Ｊｉｂ層に回路パターンを介して紫外線を含む光
を胆力して焼付が行なわれる。
ターンの焼付においては、通常シリコンウェハーなどよ
ｐ地る基板上に紫外約感元性の樹脂層を積層し１殴り、
この樹Ｊｉｂ層に回路パターンを介して紫外線を含む光
を胆力して焼付が行なわれる。
このような焼イリに用いられる半導体露光装置において
は紫外線の放射効率がよいこと力・らシ胃−トアーク型
水嫁幻か露光用の光源として広く用いられている。
は紫外線の放射効率がよいこと力・らシ胃−トアーク型
水嫁幻か露光用の光源として広く用いられている。
然るに最近、半導体電子回路の高集積化と共シて生産コ
ストの低減等が強く要求さノするようになり、このこと
から半導体露光装置にふ・いても、露光用光源であるシ
ョートアーク型水＠灯の使用寿命の延長を図ることが増
々強く要求されるようになってきている。
ストの低減等が強く要求さノするようになり、このこと
から半導体露光装置にふ・いても、露光用光源であるシ
ョートアーク型水＠灯の使用寿命の延長を図ることが増
々強く要求されるようになってきている。
従来の半導体ｗｒ元製匝に露光用光源として用いられて
いるシｓ−）アーク型水釧灯の一例を第１図に示す。第
２図は第１図の侠ｉｂを拡大して示す脱ＩＪ図である。
いるシｓ−）アーク型水釧灯の一例を第１図に示す。第
２図は第１図の侠ｉｂを拡大して示す脱ＩＪ図である。
図において、１は石英ガノス製」１体で必９．この封体
１は中央の発光部囲繞部１１とｌＩｉ＋］端の封止部１
２Ａ、１２Ｂとにより構成されている。封止部１２Ａ、
１２Ｂの外周には耐熱性接着剤２人、２Ｂを介し′″Ｌ
Ｌ霊層成る口金３Ａ、３Ｂが設けられ１いる。
１は中央の発光部囲繞部１１とｌＩｉ＋］端の封止部１
２Ａ、１２Ｂとにより構成されている。封止部１２Ａ、
１２Ｂの外周には耐熱性接着剤２人、２Ｂを介し′″Ｌ
Ｌ霊層成る口金３Ａ、３Ｂが設けられ１いる。
４は陰極であり、この陰極４は長尺な柱状部４１とコー
ン状先端部４２とより成り、柱状部４１が封止部１２Ａ
を介して封体１内に突出して伸び、刀・つ封止部１２Ａ
において柱状部４１には封止部１２Ａのガラス部分が気
密に溶着している。柱状部４１の刺体１内に露出してい
る外周部分には放熱用コイル５が巻回されておジ、コー
ン状先端部４２は封体ｌ内において後述する陽極と対向
して配置されている。
ン状先端部４２とより成り、柱状部４１が封止部１２Ａ
を介して封体１内に突出して伸び、刀・つ封止部１２Ａ
において柱状部４１には封止部１２Ａのガラス部分が気
密に溶着している。柱状部４１の刺体１内に露出してい
る外周部分には放熱用コイル５が巻回されておジ、コー
ン状先端部４２は封体ｌ内において後述する陽極と対向
して配置されている。
６は陽極であり、この陽極６はリード棒６１の一端に固
定されており、リード棒６１の他端は封止部１２Ｂの外
方に突出しで伸ひかつ封止部１２Ｂにおいてリード棒６
１には封止部１２Ｂのガラス部分が気密に苗着している
。
定されており、リード棒６１の他端は封止部１２Ｂの外
方に突出しで伸ひかつ封止部１２Ｂにおいてリード棒６
１には封止部１２Ｂのガラス部分が気密に苗着している
。
陰極４の柱状部４１の外径りは約０，５〜０．６ｙ＋ｍ
程就であり、コーン状先端部４２の頂角αは約２０紋程
度である。これは柱状部４１の外径Ｄ？：太きくすると
点灯時における熱膨張による外径の増加分が大きくなっ
て封止部１２Ａにクラックが発生シ１．易くなること、
点灯起動を谷易なものとするためには陰極４の先端は鋭
くとがっている方がよいことなどの理由によるものであ
る。そして放熱用コイ′ル５の長さｔは最大ても３．５
ｗｎ８度でちる０翫極間距離即ちアーク長しは例えは０
．５燗程度と極めて短く、アークはいわけ点状とされ、
このアークが光学系の焦点に位置ずＺ〕ようン・−トア
ーク型水銀灯１００々５光学系に取付けられる。
程就であり、コーン状先端部４２の頂角αは約２０紋程
度である。これは柱状部４１の外径Ｄ？：太きくすると
点灯時における熱膨張による外径の増加分が大きくなっ
て封止部１２Ａにクラックが発生シ１．易くなること、
点灯起動を谷易なものとするためには陰極４の先端は鋭
くとがっている方がよいことなどの理由によるものであ
る。そして放熱用コイ′ル５の長さｔは最大ても３．５
ｗｎ８度でちる０翫極間距離即ちアーク長しは例えは０
．５燗程度と極めて短く、アークはいわけ点状とされ、
このアークが光学系の焦点に位置ずＺ〕ようン・−トア
ーク型水銀灯１００々５光学系に取付けられる。
半導体゛電子回路の露光焼伺姓二ｊ、・いては、半導体
ウェハーを照明する被照射１ｈ１での光の照度の均−性
及び照度の大きさの一定性などの露光重性が特に厳しく
要求されるが、このような露光特１牛はシ、−トアーク
型水欽灯１００４・ζおけるア・−りの状態に穎接に関
係しており、アーク長しか例えは３０チ以上も長くなる
と、光学系による集光か不良となり、その結果上記被照
射ｍ１での性能か著しく悪化し、露光用光源としてに１
使用に耐えないものとなる。
ウェハーを照明する被照射１ｈ１での光の照度の均−性
及び照度の大きさの一定性などの露光重性が特に厳しく
要求されるが、このような露光特１牛はシ、−トアーク
型水欽灯１００４・ζおけるア・−りの状態に穎接に関
係しており、アーク長しか例えは３０チ以上も長くなる
と、光学系による集光か不良となり、その結果上記被照
射ｍ１での性能か著しく悪化し、露光用光源としてに１
使用に耐えないものとなる。
このようなことから、アーク長りの変化しないものが露
光用光源として長期間に亘！ｌｌ使用がＴｊＪ能である
とい、えるが、しかしな力・ら、上述の従来のショート
アーク型水銀灯１００においては、陰極４の形状におい
て、柱状部４１の外径りが小さく、しかもコーン状先端
部４２の頂角αが小さいため、点灯時においてコーン状
先端部４２の羽料物質が容易に蒸発（−て邑該先端部４
２が損耗し易く、この結果％極間距離即ちアーク長りが
長くなって早期に露光用光源として使用に耐えないもの
となる問題点を有している。
光用光源として長期間に亘！ｌｌ使用がＴｊＪ能である
とい、えるが、しかしな力・ら、上述の従来のショート
アーク型水銀灯１００においては、陰極４の形状におい
て、柱状部４１の外径りが小さく、しかもコーン状先端
部４２の頂角αが小さいため、点灯時においてコーン状
先端部４２の羽料物質が容易に蒸発（−て邑該先端部４
２が損耗し易く、この結果％極間距離即ちアーク長りが
長くなって早期に露光用光源として使用に耐えないもの
となる問題点を有している。
本発明は以上の如き事情に基いてなされたものであって
、シロートアーク型水銀灯のアーク長の変化を抑止し、
長期間に亘り良好な露光焼付を行゛なうことができる半
導体露光装置を提供することな目的とし、その特徴とす
るところは、制止部を介して刊体内に突出して伸びるよ
う、外径が１．０〜１．５論の柱状部と頂角が３０〜４
５度のコーン状先端部どよｐ成る陰極を設け、刺止部の
陰極外周を囲む部分に封体内部空間に連通ずる筒状凹部
を設け、陰極の柱状部における筒状凹部内に位置する部
分及び銅体内方に突出する部分に放熱用コイルを巻回し
て設けて成るショートアーク型水銀灯を組み込んだ点に
ある。
、シロートアーク型水銀灯のアーク長の変化を抑止し、
長期間に亘り良好な露光焼付を行゛なうことができる半
導体露光装置を提供することな目的とし、その特徴とす
るところは、制止部を介して刊体内に突出して伸びるよ
う、外径が１．０〜１．５論の柱状部と頂角が３０〜４
５度のコーン状先端部どよｐ成る陰極を設け、刺止部の
陰極外周を囲む部分に封体内部空間に連通ずる筒状凹部
を設け、陰極の柱状部における筒状凹部内に位置する部
分及び銅体内方に突出する部分に放熱用コイルを巻回し
て設けて成るショートアーク型水銀灯を組み込んだ点に
ある。
以下図面により本発明の一実施例を説明する。
第３図は露光用の光臨として用いるシ・−トアーク型水
銀灯１００の一例を示す説明図、第４図はその要部の拡
大図である。
銀灯１００の一例を示す説明図、第４図はその要部の拡
大図である。
７は陰極であり、この陰極７は、外径りが１．０〜１．
５−である長尺な柱状部７１と、頂角αが３０〜４５度
のコーン状先端部７２とにより構成されている。
５−である長尺な柱状部７１と、頂角αが３０〜４５度
のコーン状先端部７２とにより構成されている。
８は石英ガラス製刺体であり、この封体８は中央の発光
部囲繞部８］と両端の刺止部８９．Ａ、８２Ｂとにより
伽瓜され、一方の刺止部ｓ２Ａにおいて陰極７の柱状部
７１には当該制止部８２Ａのノブ２２部分が気密に電着
し、そのコーン状先端部７２が発光部囲繞部ｂ１内に突
出しで伸ひるよう位１位され、柱状部７１の外端部７３
が封止部８２Ａの外方において口金３Ａと電気的に接続
されている。この封止部＋３２Ａの陰極７の外周を囲む
部分には、陰極７の柱状部７１の外径り、ｌ：９は太き
ｌ内径の筒状口Ｎ９が刺体８の内地空間に連通して設け
られており、この筒状四部９のほぼ中央に陰極７の柱状
部７１が位置されている。この筒状凹部９の深さく１は
０．５〜１．５ｍｍ程度であｐｌその内径Ｄｉｎは１．
５〜２．５Ｍｎ程度である。
部囲繞部８］と両端の刺止部８９．Ａ、８２Ｂとにより
伽瓜され、一方の刺止部ｓ２Ａにおいて陰極７の柱状部
７１には当該制止部８２Ａのノブ２２部分が気密に電着
し、そのコーン状先端部７２が発光部囲繞部ｂ１内に突
出しで伸ひるよう位１位され、柱状部７１の外端部７３
が封止部８２Ａの外方において口金３Ａと電気的に接続
されている。この封止部＋３２Ａの陰極７の外周を囲む
部分には、陰極７の柱状部７１の外径り、ｌ：９は太き
ｌ内径の筒状口Ｎ９が刺体８の内地空間に連通して設け
られており、この筒状四部９のほぼ中央に陰極７の柱状
部７１が位置されている。この筒状凹部９の深さく１は
０．５〜１．５ｍｍ程度であｐｌその内径Ｄｉｎは１．
５〜２．５Ｍｎ程度である。
５１は陰極７の柱状部７１の外周に巻回して設けた放熱
用コイルであり、この放熱用コイル５】は、柱状部７１
における前記筒状凹部９内に位置する部分及び刺体８の
内方に突出する部分、即ち柱状部７１の封体８内に露出
する部分のｔｌは全体に貝、つて設けられている。
用コイルであり、この放熱用コイル５】は、柱状部７１
における前記筒状凹部９内に位置する部分及び刺体８の
内方に突出する部分、即ち柱状部７１の封体８内に露出
する部分のｔｌは全体に貝、つて設けられている。
他の部分については第１図に示した構成と同様であり、
同一部分には同一符号を付して示す。
同一部分には同一符号を付して示す。
このゾ瞠−トアーク型水銀灯１００の消費電力は例えば
５０〜１２０Ｗ８度である。
５０〜１２０Ｗ８度である。
ショートアーク型水銀灯１ｏｏの具体的構成例を丁記第
１表に示す。
１表に示す。
第１表
すなわち本発明で用いるショートアーク型水銀灯とは、
直流′Ｂｉ源で駆動さ扛る高圧若しくは超高圧のショー
トアーク型水銀灯であシ、点灯時における封体内圧力は
上記構成例を含めで約７〜３０気圧の範囲内のものであ
る。
直流′Ｂｉ源で駆動さ扛る高圧若しくは超高圧のショー
トアーク型水銀灯であシ、点灯時における封体内圧力は
上記構成例を含めで約７〜３０気圧の範囲内のものであ
る。
斯かる構成のショートアーク型水銀灯１００を露光用光
源として用い、適宜の光学系に組み込んで露光装置を構
成する。
源として用い、適宜の光学系に組み込んで露光装置を構
成する。
以上のような半導体露″ｌｔ、装置によれば、ショート
アーク型水銀灯１００において、陰極７の柱状部７１の
外径りが１．０〜１．５−で必シ、かつコーン状先端部
７２の頂角αが３０〜４５度であることから、陰極７の
先端の機械的強度が従来に比して太きくなシ、このため
点灯時における陰極７の先端の損耗が小さく抑制され、
この結果アーク長しが長くなることが抑止されてアーク
長りが所期の長さに長期間安定して維持される。一方封
止部８２Ａの陰＆７の柱状部７１を囲む部分に筒状凹部
９を設けて当該柱状部７１の封体８内に露出する長さを
大きくしてこの柱状部７１の露出する部分のほぼ全体に
亘りて放熱用コイル５１を巻回しで設けているため、シ
ョートアーク型水銀灯１００を大きくするととなくその
全長は従来と同程度としながら放熱用コイル５１の長さ
ｔを従来に比しで長くすることができ、従って大きな放
熱効果が得られて陰極７の温度上昇が従来よｐは小さく
なシ、この結果柱状部７１の外径りが従来より大きい割
には熱膨張による外径りの増加分が従来と同等若しくは
それ以下に抑制でれて封止部８２Ａにクラックが発生ず
ることが抑止される。
アーク型水銀灯１００において、陰極７の柱状部７１の
外径りが１．０〜１．５−で必シ、かつコーン状先端部
７２の頂角αが３０〜４５度であることから、陰極７の
先端の機械的強度が従来に比して太きくなシ、このため
点灯時における陰極７の先端の損耗が小さく抑制され、
この結果アーク長しが長くなることが抑止されてアーク
長りが所期の長さに長期間安定して維持される。一方封
止部８２Ａの陰＆７の柱状部７１を囲む部分に筒状凹部
９を設けて当該柱状部７１の封体８内に露出する長さを
大きくしてこの柱状部７１の露出する部分のほぼ全体に
亘りて放熱用コイル５１を巻回しで設けているため、シ
ョートアーク型水銀灯１００を大きくするととなくその
全長は従来と同程度としながら放熱用コイル５１の長さ
ｔを従来に比しで長くすることができ、従って大きな放
熱効果が得られて陰極７の温度上昇が従来よｐは小さく
なシ、この結果柱状部７１の外径りが従来より大きい割
には熱膨張による外径りの増加分が従来と同等若しくは
それ以下に抑制でれて封止部８２Ａにクラックが発生ず
ることが抑止される。
このように、陰極７を従来よりは太くしたことによｐ生
じ易い封止部８２Ａのクラック発生の問題点をショート
アーク型水銀灯１００の全長を大きくすることなく放熱
用コイル５１の長さを長くすることによりｆ＋−、ｉ決
し、この粕果従米とβ１」程近の小型の構造でありなが
ら陰４１！ｉ！７の損耗を＊； Ｌ ＜抑制することが
できてアーク長と長期間−足とずろことがてさ、結局半
導体電子回路の露光焼料を長期間に亘り良好に行なうこ
とができ、１陀コストの低減化に太びく貢献することか
できる。
じ易い封止部８２Ａのクラック発生の問題点をショート
アーク型水銀灯１００の全長を大きくすることなく放熱
用コイル５１の長さを長くすることによりｆ＋−、ｉ決
し、この粕果従米とβ１」程近の小型の構造でありなが
ら陰４１！ｉ！７の損耗を＊； Ｌ ＜抑制することが
できてアーク長と長期間−足とずろことがてさ、結局半
導体電子回路の露光焼料を長期間に亘り良好に行なうこ
とができ、１陀コストの低減化に太びく貢献することか
できる。
因みに第１図に示した１Ｎ成のショートアーク型水銀灯
を組み込んだ半導体露光装置に赴いて番よ、約２００時
世の使用によりアーク長が３０％以上も長くなって使用
に耐えないものとなったのに対し、第１衣に示した構成
のショートアーク型水銀灯を組み込んだ半纒体露光製医
において同様の条ＩＴで試駆したところ約４００時間に
至る１でアーク長にほとんど便化が見られず良好な露光
焼旬を行なうことかでさ、使用寿砧１よ２倍以上に処ひ
た。
を組み込んだ半導体露光装置に赴いて番よ、約２００時
世の使用によりアーク長が３０％以上も長くなって使用
に耐えないものとなったのに対し、第１衣に示した構成
のショートアーク型水銀灯を組み込んだ半纒体露光製医
において同様の条ＩＴで試駆したところ約４００時間に
至る１でアーク長にほとんど便化が見られず良好な露光
焼旬を行なうことかでさ、使用寿砧１よ２倍以上に処ひ
た。
以上において、陰極７の柱状部７１の外径りが１．０消
未滴の場合には陰極７の先端の損耗防止の効果が小さく
、逆に１５−を越える場合には熱膨張による外径りの垢
加分か大きくなりすきて封止部１：２ＡＪこクラツクか
発生し易くなる３、隘僕７のコーン状先端部７２の頂角
ａか３０度未渦の場合には陰極７の先端が脆くなつ１損
耗し易くな９、逆に４５度を越える場合にはアークの発
生か不安定とな９易い。
未滴の場合には陰極７の先端の損耗防止の効果が小さく
、逆に１５−を越える場合には熱膨張による外径りの垢
加分か大きくなりすきて封止部１：２ＡＪこクラツクか
発生し易くなる３、隘僕７のコーン状先端部７２の頂角
ａか３０度未渦の場合には陰極７の先端が脆くなつ１損
耗し易くな９、逆に４５度を越える場合にはアークの発
生か不安定とな９易い。
以上本発明の一実施例について説明（７たが、不発明に
おいては種々変更か可能であって、シ・−トアーク型水
銀灯１００のアークの光をとのような光学系によって集
光整形するかは目出に選定しでよい。
おいては種々変更か可能であって、シ・−トアーク型水
銀灯１００のアークの光をとのような光学系によって集
光整形するかは目出に選定しでよい。
以上のように本発明は、封止部を介Ｌ２て刊体内に突出
しで伸ひるよう、外径がｌＯ〜１．５朔の柱状部と頂角
が３０〜４５度のコーン状先端部と上り成る陰極を設け
、封止部の陰極外周を囲む部分に封体内部空間に連通ず
る筒状四部を設け、陰極の柱状部におり／）＠状凹沸内
に位置する部分及び封体内方に突出する部分に放熱用コ
イルを巻回して設りて成るシ９−１・アーク型水銀灯を
組み込んだことを特徴とする半導体露光装置でりるから
、〕〕７ｇ−トアーク型水釦のアーク長の変化を抑止し
、長期ｍｊに亘９良好な露六焼イ」全行なうことができ
る半導体露光製置を提供することかできる。
しで伸ひるよう、外径がｌＯ〜１．５朔の柱状部と頂角
が３０〜４５度のコーン状先端部と上り成る陰極を設け
、封止部の陰極外周を囲む部分に封体内部空間に連通ず
る筒状四部を設け、陰極の柱状部におり／）＠状凹沸内
に位置する部分及び封体内方に突出する部分に放熱用コ
イルを巻回して設りて成るシ９−１・アーク型水銀灯を
組み込んだことを特徴とする半導体露光装置でりるから
、〕〕７ｇ−トアーク型水釦のアーク長の変化を抑止し
、長期ｍｊに亘９良好な露六焼イ」全行なうことができ
る半導体露光製置を提供することかできる。
第１図は従来の半導体露光製置に用いられているシッー
トアーク型水銀灯の一例を示す説明用断面図、第２図は
第１図の要部を拡大して示す説明用断面図、第３図は不
発ツ」半導体露光装置眞ｉＣ用いることかでさるシロー
トアーク型水銀月の一例を示す説明用断面図、第４図は
第３図の悲部全拡人して示す説明用断面図である。 １・・・封 体 １１・・・発光部囲繞部１２Ａ、１２
Ｂ・・・封止部 ２Ａ、２Ｂ・・・接着剤３Ａ、３Ｂ・
・・口 金 ４・・・陰 極４１・・・柱状部 ４２・
・・コーン状先端部５・・・放熱用コイル ６・・・陽
極１００・・・シロートアーク型水銀灯 ７・・・陰 極 ７１・・・柱状部 ７２・・・コーン状先端部 ８・・・封 体８１・・・
発光部囲繞部 ８２Ａ、８２Ｂ・・・封止部９・・・筒
状凹部 ５１・・・放熱用コイル隼１図 孝２Ｒ 秦３履 影４図
トアーク型水銀灯の一例を示す説明用断面図、第２図は
第１図の要部を拡大して示す説明用断面図、第３図は不
発ツ」半導体露光装置眞ｉＣ用いることかでさるシロー
トアーク型水銀月の一例を示す説明用断面図、第４図は
第３図の悲部全拡人して示す説明用断面図である。 １・・・封 体 １１・・・発光部囲繞部１２Ａ、１２
Ｂ・・・封止部 ２Ａ、２Ｂ・・・接着剤３Ａ、３Ｂ・
・・口 金 ４・・・陰 極４１・・・柱状部 ４２・
・・コーン状先端部５・・・放熱用コイル ６・・・陽
極１００・・・シロートアーク型水銀灯 ７・・・陰 極 ７１・・・柱状部 ７２・・・コーン状先端部 ８・・・封 体８１・・・
発光部囲繞部 ８２Ａ、８２Ｂ・・・封止部９・・・筒
状凹部 ５１・・・放熱用コイル隼１図 孝２Ｒ 秦３履 影４図
Claims (1)
- １）封止部を介して封体内に突出して伸びるよう、外径
が１．０〜１．５＋ｎ＋ｎの柱状部と頂角が３０〜４５
度のコーン状先端部とよシ胞る隈＆を設け、封止部の隘
極外周を曲む部分に封体内部空間に連通ずる筒状凹部を
設け、ｌｉＡ極の柱状部における筒状凹部内に位九する
部分及び封体内方に突出する部分に放熱用コイルを巻回
して設けて成るシ５−トアータ型水銀りＪを組み込んだ
ことを特徴とする半導体露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164107A JPS6056346A (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | 半導体露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164107A JPS6056346A (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | 半導体露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6056346A true JPS6056346A (ja) | 1985-04-01 |
| JPH0373984B2 JPH0373984B2 (ja) | 1991-11-25 |
Family
ID=15786887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58164107A Granted JPS6056346A (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | 半導体露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6056346A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02304857A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-18 | Ushio Inc | ショートアーク型高圧水銀蒸気ランプ |
| JPH03225742A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Ushio Inc | ショートアーク放電灯 |
| JPH10261383A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
-
1983
- 1983-09-08 JP JP58164107A patent/JPS6056346A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02304857A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-18 | Ushio Inc | ショートアーク型高圧水銀蒸気ランプ |
| JPH03225742A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Ushio Inc | ショートアーク放電灯 |
| JPH10261383A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0373984B2 (ja) | 1991-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6794801B2 (en) | Compact selfballasted fluorescent lamp and luminaire | |
| JPS6014466B2 (ja) | 電灯ユニツト | |
| KR20000071351A (ko) | 쇼트 아크 방전 램프 | |
| JP3753291B2 (ja) | 電球形蛍光ランプ | |
| US20050206292A1 (en) | Low-pressure mercury vapor lamp | |
| EP1175131A2 (en) | Compact fluorescent lamp | |
| US2596697A (en) | Electrical discharge lamp | |
| JPS6056346A (ja) | 半導体露光装置 | |
| JPH0423378B2 (ja) | ||
| JP3813981B2 (ja) | 高圧放電ランプの製造方法 | |
| JP2008027745A (ja) | メタルハライドランプおよび照明装置 | |
| US2103029A (en) | Electric gaseous discharge lamp | |
| JP2006093044A (ja) | 電球形蛍光ランプ装置および照明器具 | |
| US7859176B2 (en) | High-pressure discharge lamp assembly | |
| JPH09320541A (ja) | 無電極蛍光ランプ | |
| JP2009283226A (ja) | メタルハライドランプ | |
| JP2005108699A (ja) | 電球形蛍光ランプおよび照明器具 | |
| JP2006024544A (ja) | 電球形蛍光ランプおよび照明器具 | |
| US3073985A (en) | Arc tube and method | |
| Eby et al. | Incoherent light sources | |
| JP2003132840A (ja) | 超高圧水銀ランプ及びそれを用いた半導体露光装置 | |
| GB2152280A (en) | Lamp | |
| JP2001345071A (ja) | 高圧放電ランプおよび照明装置 | |
| JP4095371B2 (ja) | 蛍光ランプの製造方法および蛍光ランプ | |
| JP2008235119A (ja) | 電球形蛍光ランプ及び照明装置 |