JPS6053739B2 - 導電線の製造方法 - Google Patents
導電線の製造方法Info
- Publication number
- JPS6053739B2 JPS6053739B2 JP15922879A JP15922879A JPS6053739B2 JP S6053739 B2 JPS6053739 B2 JP S6053739B2 JP 15922879 A JP15922879 A JP 15922879A JP 15922879 A JP15922879 A JP 15922879A JP S6053739 B2 JPS6053739 B2 JP S6053739B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper alloy
- conductive wire
- strength
- wire
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Heat Treatment Of Nonferrous Metals Or Alloys (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は導電線特に半導体装置等の電気機器に好適す
る導電線の製造方法に関する。
る導電線の製造方法に関する。
各種電気機器に用いられる導電線には導電率が良いこ
と等が要求されるが、なかでも半導体装置に用いられる
導電線には、半導体装置の製造上に必要な強度を有し、
かつ製造過程の熱的条件を経たのちにも例えばステイフ
ネスで示される強度、くり返し曲げ回数で示される延性
等の機械的特性の劣化しないことが要求される。
と等が要求されるが、なかでも半導体装置に用いられる
導電線には、半導体装置の製造上に必要な強度を有し、
かつ製造過程の熱的条件を経たのちにも例えばステイフ
ネスで示される強度、くり返し曲げ回数で示される延性
等の機械的特性の劣化しないことが要求される。
例えばダイオード型半導体装置では、導電線はマウン
ト処理やグラツシングの際７００℃〜８６℃の高温にな
る。
ト処理やグラツシングの際７００℃〜８６℃の高温にな
る。
またトランジスタ型半導体装置では、導電線はヘツデイ
ング工程、マウント工程、はんだディップ工程などにお
いて１５０〜４００℃の比較的低温にさらされる。した
がつた導電線は、このような熱的在件を経た後でも所定
の強度、くり返し曲げ特性等が劣化してはならない。
従来、このような半導体装置に用いる導電線としては強
度とくり返し曲げ性の優れた５０Ｎｉ−Ｆｅ合金でなる
導電線が用いられていた。
ング工程、マウント工程、はんだディップ工程などにお
いて１５０〜４００℃の比較的低温にさらされる。した
がつた導電線は、このような熱的在件を経た後でも所定
の強度、くり返し曲げ特性等が劣化してはならない。
従来、このような半導体装置に用いる導電線としては強
度とくり返し曲げ性の優れた５０Ｎｉ−Ｆｅ合金でなる
導電線が用いられていた。
しカルながらこの導電線は、はんだとのぬれ性導電率が
好ましくない為最近は銅を主体とする導電線が用いられ
てきている。ただ銅を主体とする導電線は強度を向上さ
せればくり返し曲げ性が劣化し、またくり返し曲げ性を
向上させれは強度が不足する難点があつた。すなわち、
従来は強度よりはくり返し曲げ性に重点がおかれて、こ
の点の改良がなされてきたが、強度が不充分なため製造
工程中、メッキ工程等で導電線がまがりさらにピンさし
等の工程でも同様の現象が生ずる等の状態であつた。こ
の欠点を改善するためには、導電線はかなりの強加工を
施した状態あるいは溶体化処理後析出硬化処理を施した
状態のものでなければならないが、この場合はくり返し
曲げ性が充分でなかつた。したがつて銅を主体とする導
電線においては強度とくり返し曲げ性とをいかに両立さ
せながら向上させるかが課題であつた。本発明は、上記
のような銅を主体とする導電線の加工方法を工夫したも
ので強度、くり返し曲げ性に優れ、導電率も好適な好ま
しい導電線の製造方法を提供する。
好ましくない為最近は銅を主体とする導電線が用いられ
てきている。ただ銅を主体とする導電線は強度を向上さ
せればくり返し曲げ性が劣化し、またくり返し曲げ性を
向上させれは強度が不足する難点があつた。すなわち、
従来は強度よりはくり返し曲げ性に重点がおかれて、こ
の点の改良がなされてきたが、強度が不充分なため製造
工程中、メッキ工程等で導電線がまがりさらにピンさし
等の工程でも同様の現象が生ずる等の状態であつた。こ
の欠点を改善するためには、導電線はかなりの強加工を
施した状態あるいは溶体化処理後析出硬化処理を施した
状態のものでなければならないが、この場合はくり返し
曲げ性が充分でなかつた。したがつて銅を主体とする導
電線においては強度とくり返し曲げ性とをいかに両立さ
せながら向上させるかが課題であつた。本発明は、上記
のような銅を主体とする導電線の加工方法を工夫したも
ので強度、くり返し曲げ性に優れ、導電率も好適な好ま
しい導電線の製造方法を提供する。
すなわち本発明に係る導電線の製造方法は、銅合金でな
る線材にこの銅合金が軟化をはじめる温度以上で銅合金
が完全には軟化してしまわない温度迄の温度範囲へ加熱
し、その後急冷する加熱急冷工程と、加工度８０％以上
の強度の冷間加工工程とを施こすことを特徴とする。
る線材にこの銅合金が軟化をはじめる温度以上で銅合金
が完全には軟化してしまわない温度迄の温度範囲へ加熱
し、その後急冷する加熱急冷工程と、加工度８０％以上
の強度の冷間加工工程とを施こすことを特徴とする。
この加工工程を具体的に述べれば、まず所定の組成でな
る銅合金インゴットを溶製する。
る銅合金インゴットを溶製する。
このインゴットを熱間（７００℃〜８０（代））で鍜造
、圧延等の加工を施こし線材とする。これを酸洗後、強
度の冷間伸線加工を行なう。この場合の加工は８０％以
上の強加工であることが必要である。これを銅合金が軟
化をはじめる温度ないし銅合金が完全には軟化してしま
わない温度の範囲へ加熱し急冷する。ここで加熱する温
度範囲は材料の引張強度でいえば３０〜４０ｋ９／Ｔｄ
の範囲となる温度領域である。すなわち５５０〜７００
℃の範囲が好ましい。ついで再度、強度の冷間伸線加工
を行なう。この場合も８０％以上の強加工であることが
必要である。次いで焼鈍を行なう。温度は３２０〜５５
０℃が好ましい。このように銅合金を線材に加工した後
、通常の溶体化処理を行なわずに、前記銅合金が軟化を
はじめるが、完全には軟化してしまわない温度で加熱急
冷し、更に強度の冷間加工を施こすことが本発明方法の
好特徴である。
、圧延等の加工を施こし線材とする。これを酸洗後、強
度の冷間伸線加工を行なう。この場合の加工は８０％以
上の強加工であることが必要である。これを銅合金が軟
化をはじめる温度ないし銅合金が完全には軟化してしま
わない温度の範囲へ加熱し急冷する。ここで加熱する温
度範囲は材料の引張強度でいえば３０〜４０ｋ９／Ｔｄ
の範囲となる温度領域である。すなわち５５０〜７００
℃の範囲が好ましい。ついで再度、強度の冷間伸線加工
を行なう。この場合も８０％以上の強加工であることが
必要である。次いで焼鈍を行なう。温度は３２０〜５５
０℃が好ましい。このように銅合金を線材に加工した後
、通常の溶体化処理を行なわずに、前記銅合金が軟化を
はじめるが、完全には軟化してしまわない温度で加熱急
冷し、更に強度の冷間加工を施こすことが本発明方法の
好特徴である。
ここで前記の温度範囲．で加熱し、急冷するのは強加工
の冷間加工の加工歪をある程度残し、かつ各成分を完全
には固溶させないためであり、このことが強度の向上を
もたらすと考えられる。ここで加熱温度が前記の温度範
囲をはずれると、くり返し曲げと強度のバラン．スがく
ずれる。またこの意味で加熱後の急冷は速い程好ましく
、炉冷のような徐冷では強度向上およびくり返し曲げの
改善の効果が少ない。例えば連続処理で急空冷あるいは
バッチ式で強制空冷等が望ましい。この熱処理後の強度
の冷間加工によ−リ本発明方法の効果を確実なものとす
ることができる。更に注目すべきことに、この加工本法
によれば、添加成分による導電率の低下は、従来知られ
ているよりも少なくなる。例えば従来行なわれている溶
体化処理を施こしたものど比較すると導電率は高く、強
度くり返し曲げ性も優れた導電線を得ることができる。
本発明方法は、導電線として用いられる銅合金に適用で
きる。
の冷間加工の加工歪をある程度残し、かつ各成分を完全
には固溶させないためであり、このことが強度の向上を
もたらすと考えられる。ここで加熱温度が前記の温度範
囲をはずれると、くり返し曲げと強度のバラン．スがく
ずれる。またこの意味で加熱後の急冷は速い程好ましく
、炉冷のような徐冷では強度向上およびくり返し曲げの
改善の効果が少ない。例えば連続処理で急空冷あるいは
バッチ式で強制空冷等が望ましい。この熱処理後の強度
の冷間加工によ−リ本発明方法の効果を確実なものとす
ることができる。更に注目すべきことに、この加工本法
によれば、添加成分による導電率の低下は、従来知られ
ているよりも少なくなる。例えば従来行なわれている溶
体化処理を施こしたものど比較すると導電率は高く、強
度くり返し曲げ性も優れた導電線を得ることができる。
本発明方法は、導電線として用いられる銅合金に適用で
きる。
なかでも、重量％でクロムを０．１〜１．５％含む銅合
金に適用してその効果が顕著である。導電線として本発
明により得られるもののなかで極めて優れたものとして
は、重量％でクロム０．０５〜１．５％、ジルコニウム
０．０５〜１．０％、シリコン、ゲルマニウムを単独ま
たは複合で０．００５％〜０．１％、残部が実質的に銅
でなるものが挙げられる。この銅合金に本発明方法を適
用すればステイフネス８０ｆ−ｄ以上、くり返し曲げ回
数６回以上である導電線を得ることができる。この導電
線において、クロムおよびジルコニウムは強度の向上に
効果を及ぼすが多量に含有しても強度の向上率が少ない
のでクロムは１．５％以下ジルコニウムは１．０％以下
とする。
金に適用してその効果が顕著である。導電線として本発
明により得られるもののなかで極めて優れたものとして
は、重量％でクロム０．０５〜１．５％、ジルコニウム
０．０５〜１．０％、シリコン、ゲルマニウムを単独ま
たは複合で０．００５％〜０．１％、残部が実質的に銅
でなるものが挙げられる。この銅合金に本発明方法を適
用すればステイフネス８０ｆ−ｄ以上、くり返し曲げ回
数６回以上である導電線を得ることができる。この導電
線において、クロムおよびジルコニウムは強度の向上に
効果を及ぼすが多量に含有しても強度の向上率が少ない
のでクロムは１．５％以下ジルコニウムは１．０％以下
とする。
なお導電線としてより好ましい範囲はクロム０．５〜０
．８％、ジルコニウム０．２〜０．４％である。シリコ
ン、ゲルマニウムは強度向上と同様に材料の延性を高め
、また材料中に微細に分散して結晶粒の粗大化を防ぐと
ともに肌荒れを防止する効果があるが、あまり多量に含
有する導電率の低下を招くので単独または複合で０．０
０５〜０．１とする。なお導電線としてより好ましい範
囲は０．０１〜０．０５％である。（実施例）第１表の
組成のインゴットを溶製し、７５０℃にて約２時間加熱
した後、鍜造、熱圧を行ない直径７ｍの線材とした。
．８％、ジルコニウム０．２〜０．４％である。シリコ
ン、ゲルマニウムは強度向上と同様に材料の延性を高め
、また材料中に微細に分散して結晶粒の粗大化を防ぐと
ともに肌荒れを防止する効果があるが、あまり多量に含
有する導電率の低下を招くので単独または複合で０．０
０５〜０．１とする。なお導電線としてより好ましい範
囲は０．０１〜０．０５％である。（実施例）第１表の
組成のインゴットを溶製し、７５０℃にて約２時間加熱
した後、鍜造、熱圧を行ない直径７ｍの線材とした。
これを更に加工率約９０％で冷間伸線加工で直径２顛の
線材とした。この線材をそれぞれ２組に分割し、（一方
をＡグループ、他方をＢグループとする。
線材とした。この線材をそれぞれ２組に分割し、（一方
をＡグループ、他方をＢグループとする。
）Ａグループは本発明方法によるもので約６５０℃で約
５Ｔｎ，／分の速い速度で連続焼鈍を行なつた。したが
つて線材は６５０℃に加熱された後、急激に空冷される
ことになる。得られた線材を更に加工率約９０％で冷間
伸線を行ない直径０．４５５Ｔ！ｎの線利とし、次いで
約４００゜Ｃで２時間の焼鈍を行なつた。Ｂグループは
従来行なわれているように約９５０℃で約２０分溶体化
処理後、冷却し、通常の加工率の冷間伸線加工で直径０
．４５５Ｔ！Ｒｍの線材とし、次いで約４００℃で２時
間焼鈍した。こうして得られたＡ，Ｂグループの導電線
としての特性を評価した。その結果を第２表に示す。な
お、くり返し曲げ性は、４５０ｙの荷重にて角度９００
曲げ（曲げ部の角は０．５Ｒとする。）をり返し行ない
、破断する迄の回数で示す。第２表から明らかなように
、本発明方法によるＡグループは、ステイフネス、くり
返し曲げ性および導電率とも、いずれもＢグループより
優れたものである。
５Ｔｎ，／分の速い速度で連続焼鈍を行なつた。したが
つて線材は６５０℃に加熱された後、急激に空冷される
ことになる。得られた線材を更に加工率約９０％で冷間
伸線を行ない直径０．４５５Ｔ！ｎの線利とし、次いで
約４００゜Ｃで２時間の焼鈍を行なつた。Ｂグループは
従来行なわれているように約９５０℃で約２０分溶体化
処理後、冷却し、通常の加工率の冷間伸線加工で直径０
．４５５Ｔ！Ｒｍの線材とし、次いで約４００℃で２時
間焼鈍した。こうして得られたＡ，Ｂグループの導電線
としての特性を評価した。その結果を第２表に示す。な
お、くり返し曲げ性は、４５０ｙの荷重にて角度９００
曲げ（曲げ部の角は０．５Ｒとする。）をり返し行ない
、破断する迄の回数で示す。第２表から明らかなように
、本発明方法によるＡグループは、ステイフネス、くり
返し曲げ性および導電率とも、いずれもＢグループより
優れたものである。
こうして得られた導電線（Ａグループ）を半導体装置の
導電線として組み込み、従来多く用いられている５０Ｎ
ｉ−Ｆｅ合金材のものと比較したところ、メッキ性、ハ
ンダとのぬれ性も良好であり導電率の高く良好な結果を
得た。
導電線として組み込み、従来多く用いられている５０Ｎ
ｉ−Ｆｅ合金材のものと比較したところ、メッキ性、ハ
ンダとのぬれ性も良好であり導電率の高く良好な結果を
得た。
以上述べたように本発明方法により製造した導電線は、
半導体装置等の電気機器の導電線あるいはケーブルに好
適するもので工業上の価値は高い。
半導体装置等の電気機器の導電線あるいはケーブルに好
適するもので工業上の価値は高い。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 銅合金でなる線材に、この銅合金が軟化をはじめる
温度以上かつ銅合金が完全には軟化してしまわない温度
の範囲へ加熱し、その後急冷する加熱急冷工程と、加工
度８０％以上の冷間加工工程とを施こすことを特徴とす
る導電線の製造方法。 ２ 銅合金は、クロム０．０５〜１．５％、ジルコニウ
ム０．０５〜１．０％、シリコン、ゲルマニウムを単独
または複合で０．００５〜０．１％を含む銅合金である
特許請求の範囲第１項記載の導電線の製造方法。 ３ 銅合金はクロム０．５〜０．８％、ジルコニウム０
．２〜０．４％、シリコン、ゲルマニウムを単独または
複合で０．０１〜０．０５％を含む銅合金である特許請
求の範囲第２項に記載の導電線の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15922879A JPS6053739B2 (ja) | 1979-12-10 | 1979-12-10 | 導電線の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15922879A JPS6053739B2 (ja) | 1979-12-10 | 1979-12-10 | 導電線の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5578412A JPS5578412A (en) | 1980-06-13 |
| JPS6053739B2 true JPS6053739B2 (ja) | 1985-11-27 |
Family
ID=15689130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15922879A Expired JPS6053739B2 (ja) | 1979-12-10 | 1979-12-10 | 導電線の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6053739B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04110099U (ja) * | 1990-11-30 | 1992-09-24 | タツタ電線株式会社 | 音声変換素子用コイル |
| JPH081528Y2 (ja) * | 1991-01-24 | 1996-01-17 | タツタ電線株式会社 | 塗装ロボット用ケーブル |
| JPH04136818U (ja) * | 1991-03-29 | 1992-12-21 | タツタ電線株式会社 | 耐油・耐薬品・耐摩耗・耐屈曲・可撓性ケーブル |
-
1979
- 1979-12-10 JP JP15922879A patent/JPS6053739B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5578412A (en) | 1980-06-13 |
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