JPS6047902B2

JPS6047902B2 - スパツタリング用合金

Info

Publication number: JPS6047902B2
Application number: JP11666081A
Authority: JP
Inventors: 徳重岩田; 浩二鬼沢; 茂樹松村
Original assignee: Mitsubishi Motors Corp
Current assignee: Mitsubishi Motors Corp
Priority date: 1981-07-24
Filing date: 1981-07-24
Publication date: 1985-10-24
Also published as: JPS5819460A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、特に軟質材料製よりなるプラスチック成形
品の表面にスパッタリングによつて装飾用としての光輝
処理を施すのに好適な皮膜となり得る合金に関するもの
である。

従来技術としては、硬質材料製プラスチック成形品の
表面にスパッタリングによる光輝処理を施したものはあ
る。

しかしながら、当該技術のものは光輝処理材としてＣｒ
を用いるものであつて、本願の対象とする軟質材料製の
プラスチック成形品に該Ｃｒ材を適用するとすると、プ
ラスチック成形品の伸びの変化にＣｒによる皮膜が追従
しきれず、皮膜に粗大なりラックを生じたり、剥離を
起したりしてしまうものであつた。（実用に供し得ない
ものであつた。）そこでこの発明では、前記軟質プラ
スチック成形品の伸びに追従することのできる材料とし
てＣｒにＦｅを混入させ、それによつて生ずる錆を防
ぐためとしてＮｉをも混入させてＣｒ−Ｎｉ−Ｆｅより
なる三元合金につき実用性を検討することにした。

Ｃｒ）Ｎｉ）ＦｅよりなるΞ元合金はＳＵＳとして既
知のものが存在していることは言うまでもないが、当該
既知のものはＦｅの成分がＣｒ・Ｎｉの合成成分に比し
て多いものであるから、給湿性が高まる関係で錆が発生
し易くなり、それに伴つて密着率が大巾に低下すること
となつて剥離現象が促進され、実用範囲から外れてしま
うものであつた。・本発明は前記した背景のもとに提案
されたものであつて、その目的とするところは、軟質材
料製のプラスチック成形品にスパッタリングしても該成
形品の伸びに十分追従することができ、かつ耐クラッ
ク性・耐剥離性ともに優れた皮膜となり得るフことにあ
る。このためにクロム色を呈する非磁性金属であつて
、割れずかつ耐食耐剥離に優れる経済的な合金を種々研
究の結果、本発明は、添付図面に示すように点Ａ（Ｃｒ
３Ｏ％、Ｎｉ２Ｏ％、Ｆｅ５Ｏ％）、Ｂ（Ｃｒ５Ｏ％、
Ｎｌ２Ｏ％、Ｆｅ３Ｏ％）、Ｃ（Ｃｒ５Ｏ％、Ｎｉ３Ｏ
％、Ｆｅ２Ｏ％）、Ｄ（Ｃｒ３Ｏ％、Ｎｉ６Ｏ％、Ｆｅ
ｌＯ％）、Ｅ（Ｃｒ２Ｏ％、Ｎｉ４Ｏ％、Ｆｅ４Ｏ％）
、Ｆ（Ｃｒ２Ｏ％、Ｎｉ３Ｏ％、Ｆｅ５Ｏ％）て囲まれ
る範囲内のＣｒ．ｓＮｉｌＦｅ及び不可避的不純分より
なるスパッタリング合金を提案するものてある。

以下、実例によつて詳細に説明する。

本発明に当り、特にスパッタリング膜の割れ感受性を厳
しく選別するために、スパッタリングを施こす基材には
、軟質な板厚３ｗｃｍの飽和ポリエステル樹脂にウレタ
ン樹脂塗料（膜厚約２０ｐ）を施したものを用いた。

またスパッタ装置には、マグネトロン型低温高速スパッ
タリング装置を用い、上記の基材に下記条件でスパッタ
膜を施した。

真空度５×１０−５Ｔ０ｒＴアル
ゴン圧５ｘ１０−３Ｔ０ｒｒ′電圧
２２０〜４５０Ｖ電流０．５〜２．
０Ａスパッタ時間１５０〜３２＠スパッ
タ膜厚８００〜Ｉ５ＯＯＡ但し、供
試合金中、クロム金属はＣｒ−Ｎｉ−Ｆｅ２合金とはス
パッタの適合条件が異なり、電流舘、スパッタ時間１８
…少を基準とした。

スパッタ用供試合金は、原則として高周波溶製によつた
。

一部、念のためプレアロイ粉末による焼結合金製も実施
したが、溶製品と焼結合金のい３，ずれによる対陰極材
も、効果的にスパッタリング膜性状に差がなかつた。供
試合金のスパッタリングを施した試験片は、通常更にそ
の上へ保護膜となるクリア塗料のトップコートを施すも
のであるが、本発明の場合は、３ｊより厳密なスパッタ
合金の性能評価試験を行なう必要があるので、このトッ
プコートを省略し、スパッタリングのままで耐水、耐塩
水試験を実施した。試験結果を表１に示す。

ここで、４（１（１）耐水試験では、スパ
ッタリングを施した試験方を温度４０℃の純水中に、２
４（ロ）間浸漬後、目視によるスパッタリング面のクラ
ックの有無（クラックを生じたものは×印を、クラック
のなかつたものにＯ印）並びに密着率を評価した。
（２）耐塩水試験では、スパッタリングを施した試験片
をＪＩＳＺ２３７ｌ塩水噴霧試験方法によつて、食塩
濃度５％、ＰＨ６．５〜７．２、塩水室内温度３５℃、
中で、２卸時間試験後、目視によるスパンタリング面
のクラックの有無（クラックを生じたものは×印を、
クラックのなかつたものにＯ印）並びに密着率を評価
した。

ノ（３）耐水試験及び耐塩水試験の密着率判定には、
それぞれの試験後に引出した試験片に付いて工アプロ
ーで水分を除去後、２Ｔ！ＲＩｆＬ間隔のごばん目が
１００個作れるように、刃物で刻み目を入れ、次にこ
の表面にセロハン粘着テープを貼り付けて剥離試験を
行ない、剥離しなかつたごばん目を数え、その比率（
％）を示した。

例：９０ごばん目１０嘲中（２）個が密着したまま
で、残る１０個が粘着テープにくつ付き剥離、密
着率としては実用的に良好なことを示す。

表１の結果を、添付図のように三元合金組成図上で示
すと、点Ａ（Ｃｒ３Ｏ％、Ｎｉ２Ｏ％、Ｆｅ５Ｏ％）、
Ｂ（Ｃｒ５Ｏ％、Ｎｉ２Ｏ％、Ｆｅ３Ｏ％）、Ｃ（Ｃｒ
５Ｏ％、Ｎｌ３Ｏ％、Ｆｅ２Ｏ％）、Ｄ（Ｃｒ３Ｏ％、
Ｎｉ６Ｏ％、ＦｅｌＯ％）、Ｅ（Ｃｒ２Ｏ％、Ｎｌ４Ｏ
％、Ｆｅ４Ｏ％）、Ｆ（Ｃｒ２Ｏ％、Ｎｉ３Ｏ％、Ｆｅ
５Ｏ％）を結んだ六角形内の本発明組成合金のものが、
耐水、耐塩水いずれの場合にもスパッタ膜に割れがなく
かつ良好なスパッタ膜の密着性を発揮することが分る。
また当六角形ＡＢＣＤＥＦ内の更に限定された範囲とし
て、各合金ＮＯ．２＼３２、４１、４２、３３を結ぶ組
成内は、割れＪ゛かつ密着率１００％のより優れた組成
域である。なお、表１中に示すように、純Ｃｒが純Ｎ
ｉはもらろん、これに近い合金、あるいはＳＵＳ３Ｏ４
やＴｕｓ３ｌＯ等の既知ステンレス鋼では耐クラックあ
るいは密着率のいずれかあるいは両者とも劣つてハるが
、これらはいずれも添付図の三元合金図上１）らみて、
本発明の組成域外に隔つたものであＳＯ本発明合金の組
成は、Ｃｒ−Ｎｉ−Ｆｅ合金である・く、通常溶製あ
るいは焼結合金とする場合に、原Ｚｌ中からの不純分の
混入が避けられず、これら通９の不純分として、ＣＯ．
ｌ％以下、Ｐ及びＳはそｔぞれ０．０５％以下、ＳｉＯ
．２％以下、ＭｎＯ．４％以下と−る。

本発明合金は、特にプラスチツクや軟質エラストマ材の
スパツタリング被膜用合金に好適であるが、金属部品用
にも適用可能である。

【図面の簡単な説明】

添付図面はＣｒ−Ｎｉ−Ｆｅ玩合金組成図で、うち点Ａ
，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆで囲まれた範囲が本発明合金であ
る。

Claims

【特許請求の範囲】

１添付図面の三元合金組成図において、点Ａ（Ｃｒ３
０％、Ｎｉ２０％、Ｆｅ５０％）、Ｂ（Ｃｒ５０％、Ｎ
ｉ２０％、Ｆｅ３０％）、Ｃ（Ｃｒ５０％、Ｎｉ３０％
、Ｆｅ２０％）、Ｄ（Ｃｒ３０％、Ｎｉ６０％、Ｆｅ１
０％）、Ｅ（Ｃｒ２０％、Ｎｉ４０％、Ｆｅ４０％）、
Ｆ（Ｃｒ２０％、Ｎｉ３０％、Ｆｅ５０％）で囲まれる
範囲内のＣｒ、Ｎｉ、Ｆｅ及び不可避的不純分よりなる
スパッタリング用合金。