JPS6042637B2 - 杆状圧電微動素子 - Google Patents
杆状圧電微動素子Info
- Publication number
- JPS6042637B2 JPS6042637B2 JP51156735A JP15673576A JPS6042637B2 JP S6042637 B2 JPS6042637 B2 JP S6042637B2 JP 51156735 A JP51156735 A JP 51156735A JP 15673576 A JP15673576 A JP 15673576A JP S6042637 B2 JPS6042637 B2 JP S6042637B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- rod
- conductive layer
- movement element
- shaped piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は多数個の薄板状の圧電素子を積層して行状体
とし電気的並列に接続した圧電微動素子に関する。
とし電気的並列に接続した圧電微動素子に関する。
板状の圧電体の片面又は両面に導電層を設けた圧電素
子を多数個積層した行状圧電微動素子は、応答性が極め
て早く、大きな面圧に耐える利点を有するが、変位置が
微小であるため用途が限定されていた。
子を多数個積層した行状圧電微動素子は、応答性が極め
て早く、大きな面圧に耐える利点を有するが、変位置が
微小であるため用途が限定されていた。
本発明は叙上の欠点を解消し、倍力装置等を用いす変
位置を増大せしめた行状圧電微動素子を提供するものて
ある。
位置を増大せしめた行状圧電微動素子を提供するものて
ある。
しカルて本発明は圧電素子の電極層を圧電素子積層杆
状体の中心軸に対し一定の偏りをもたせて形成したこと
を骨子とするものであり、本発明を図に示す一実施例に
基づき説明すれば、１は圧電素子であり、チタン酸ジル
コン酸鉛系の四辺形圧電磁器板２の表上半面にコーナー
２１を残して銀焼付により、左上にリード線接続用の端
子出張り３とＡと導電層３を形成し、裏上半面には右上
にリード線接続用の端子出張り４Ａと表導電層３と対応
する裏導電層４を形成して構成される。
状体の中心軸に対し一定の偏りをもたせて形成したこと
を骨子とするものであり、本発明を図に示す一実施例に
基づき説明すれば、１は圧電素子であり、チタン酸ジル
コン酸鉛系の四辺形圧電磁器板２の表上半面にコーナー
２１を残して銀焼付により、左上にリード線接続用の端
子出張り３とＡと導電層３を形成し、裏上半面には右上
にリード線接続用の端子出張り４Ａと表導電層３と対応
する裏導電層４を形成して構成される。
圧電素子１０は圧電素子１と同一の圧電磁器板２の表裏
面に銀焼付により、右上にリード線接続用の端子出張り
３０Ａと表導電層３０及び左上に端子出張り４０Ａと裏
導電層４０を有する。行状圧電微動素子５は圧電素子１
及び１０を交互にエポキシ樹脂等の接着剤６て接着した
積層し、該素子１及び１０の上縁に設けられた切欠き２
３、２３により形成される溝にリード線７を取付けた構
成を有する。 本発明に係る行状圧電微動素子５は、圧
電素子１および１０の中心部ａを通る中心軸Ａと、導電
層３および裏導電層４の中心部をを通り、前記中心軸Ａ
に対し一定の偏り１１を有する導電層中心軸Ｂとを有し
、リード線７に電圧を印加すると圧電素子１、１０の表
裏導電層間に電圧が印加され、圧電磁器板２は主として
導電層のある上半部が膨張または収縮し、例えは膨張す
る場合、導電層中心軸Ｂの部分の各圧電磁器板２の板厚
が厚くされ、導電層３および裏導電層４を有しない側の
圧電磁器板２の板厚は変化しないため、行状圧電微動素
子５の中心軸Ａは導電層３および裏導電層４を有しない
側に湾曲変形する。
面に銀焼付により、右上にリード線接続用の端子出張り
３０Ａと表導電層３０及び左上に端子出張り４０Ａと裏
導電層４０を有する。行状圧電微動素子５は圧電素子１
及び１０を交互にエポキシ樹脂等の接着剤６て接着した
積層し、該素子１及び１０の上縁に設けられた切欠き２
３、２３により形成される溝にリード線７を取付けた構
成を有する。 本発明に係る行状圧電微動素子５は、圧
電素子１および１０の中心部ａを通る中心軸Ａと、導電
層３および裏導電層４の中心部をを通り、前記中心軸Ａ
に対し一定の偏り１１を有する導電層中心軸Ｂとを有し
、リード線７に電圧を印加すると圧電素子１、１０の表
裏導電層間に電圧が印加され、圧電磁器板２は主として
導電層のある上半部が膨張または収縮し、例えは膨張す
る場合、導電層中心軸Ｂの部分の各圧電磁器板２の板厚
が厚くされ、導電層３および裏導電層４を有しない側の
圧電磁器板２の板厚は変化しないため、行状圧電微動素
子５の中心軸Ａは導電層３および裏導電層４を有しない
側に湾曲変形する。
第４図に示す如く行状圧電微動素子５を一端固定しリ
ード線７を介して電圧を印加すると、自由端が軸方向に
変位する量ｄ、に対し該軸と直角方向の変位置山は山＝
５〜１０ｄ、程度の大きさとなる。
ード線７を介して電圧を印加すると、自由端が軸方向に
変位する量ｄ、に対し該軸と直角方向の変位置山は山＝
５〜１０ｄ、程度の大きさとなる。
本発明は叙上の構成を有し、圧電素子積層行状体の各圧
電素子の電極層が杆状体中心軸に対し一定の偏りを有す
るので、圧電素子の膨張量に所定の偏りが生じ、よつて
杆状圧電微動素子は湾曲し大きな変位置が得られる。本
発明の杆状圧電微動素子は変位置が従来品と比較して大
きいのでＮＣ工作機械における工作物の微動送りや、電
子顕微鏡における試料の微動調整などを行なう駆動変位
制御要素の他計測分野にも有効に利用が可能である。
電素子の電極層が杆状体中心軸に対し一定の偏りを有す
るので、圧電素子の膨張量に所定の偏りが生じ、よつて
杆状圧電微動素子は湾曲し大きな変位置が得られる。本
発明の杆状圧電微動素子は変位置が従来品と比較して大
きいのでＮＣ工作機械における工作物の微動送りや、電
子顕微鏡における試料の微動調整などを行なう駆動変位
制御要素の他計測分野にも有効に利用が可能である。
図面の簡単な説明第１図、第２図は本発明に係る杆状圧
電微動素子を構成する圧電素子の斜視図てある。
電微動素子を構成する圧電素子の斜視図てある。
第３図は本発明に係る杆状圧電微動素子の部分拡大斜視
図であり、第４図は電圧印加時の状態を示す正面図であ
る。１，１０・・・・・・圧電素子、３，４・・・・・
・導電層、５・・・・・・杆状圧電微動素子。
図であり、第４図は電圧印加時の状態を示す正面図であ
る。１，１０・・・・・・圧電素子、３，４・・・・・
・導電層、５・・・・・・杆状圧電微動素子。
Claims (1)
- １ 板状の圧電体の片面又は両面に導電層を設け電極と
した圧電素子を多数積層した圧電素子積層杆状体におい
て、各圧電素子の導電装置の中心軸が杆状体の積層方向
の中心軸に対し一定の偏りを有し、しかして圧電素子の
膨縮動により湾曲動することを特徴とする杆状圧電微動
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51156735A JPS6042637B2 (ja) | 1976-12-25 | 1976-12-25 | 杆状圧電微動素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51156735A JPS6042637B2 (ja) | 1976-12-25 | 1976-12-25 | 杆状圧電微動素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5380193A JPS5380193A (en) | 1978-07-15 |
| JPS6042637B2 true JPS6042637B2 (ja) | 1985-09-24 |
Family
ID=15634169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51156735A Expired JPS6042637B2 (ja) | 1976-12-25 | 1976-12-25 | 杆状圧電微動素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6042637B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58158318U (ja) * | 1982-04-17 | 1983-10-22 | 株式会社トーキン | 積層型変位素子 |
| JP4729147B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2011-07-20 | 太陽誘電株式会社 | 駆動装置及び駆動素子 |
-
1976
- 1976-12-25 JP JP51156735A patent/JPS6042637B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5380193A (en) | 1978-07-15 |
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