JPS6038804A - 薄膜永久磁石 - Google Patents

薄膜永久磁石

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Publication number
JPS6038804A
JPS6038804A JP14638783A JP14638783A JPS6038804A JP S6038804 A JPS6038804 A JP S6038804A JP 14638783 A JP14638783 A JP 14638783A JP 14638783 A JP14638783 A JP 14638783A JP S6038804 A JPS6038804 A JP S6038804A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
alloy
permanent magnet
coercive force
approximately
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14638783A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Kitada
北田　正弘
Noboru Shimizu
昇 清水
Hideo Tanabe
英男 田辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP14638783A priority Critical patent/JPS6038804A/ja
Publication of JPS6038804A publication Critical patent/JPS6038804A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
    • H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
    • H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
    • H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
    • H01F10/16—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys containing cobalt

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は高保磁力を有する薄膜磁性材料、特にＣｏ−Ｉ
　ｒ台金からなる薄膜高保磁力材料もしくは薄膜永久磁
石に関する。
〔発明の背景Ｊ 磁気ディスク、磁気テープを用いた磁気記録技術は、年
々磁気記録密度が向上し、これに伴って磁気記録材料、
磁気記録方式、磁気記録システムの改良や改善が行なわ
れている。
磁気ディスク、磁気テープ等の磁気記録媒体ではｒＦｅ
２Ｏ３塗布型から鉄粉、斜の蒸着膜、スパッタｒＦｅ２
０ｓ　、Ｃｏ　−Ｐ　を薄膜、Ｃｏ−Ｃｒ薄膜などが開
発されつつある。
〔発明の目的〕
本発明は上記のような磁気記録媒体、薄膜磁性デバイス
用永久磁石ｆＷ脆の提供ならびにその容易な製造方法の
提供を目的とする。
〔発明の概要〕
本発明の薄膜永久磁石は７．５〜２５％の１ｒを含むＣ
０−４ｒ合金からなるものである。■ｒが上記範囲外に
なると薄膜の保磁力が低下して好ましくない。Ｃｏ−１
ｒ合金ＨＡへの製造にはスパッタリング法が最も適して
おシ、通當の真空Ａ着法では薄膜永久磁石としての！１
ヶ性が実現できない。
〔発明の実施例〕
以下に本発明を実施例を参照して詳細に説明する。
実施例１ 第１図に出力２００Ｗ、スパッタガス（Ａｒ）圧力５　
Ｘ　１０−”ｌ’ｏｒｒ　、スパッタガス導入前の到達
真空度１０−”Ｌ’ｏｒｒの多作でスパッタリングによ
シガラス基板上に形成した■ｒをθ〜４０ｑ６含む膜厚
８００人のｃｏ−１ｒ合金薄膜の保磁力１を示す。第１
図の曲線１から明らかなように、純Ｃｏの保磁力は約３
００ｅと極めて低いが、５％Ｉｒ合金では約１８００６
，７．５％Ｉｒ合金では約３０００ｅ、１０％Ｉｒ合金
では約４５００”ｓ１５％■ｒ合金では約５５００８と
なる。保磁力は１５％Ｉｒ合金で最大値を示したのち、
Ｉｒ量の増加とともに減少し、２５％Ｉｒ合金で約３０
０Ｑｅ、４０％Ｉｒ合金では純Ｃｏと同等あるいはそれ
以下の低い保磁力となる。一方、スパッタしたＣ　Ｏ−
Ｉｒ合金薄膜の残留磁束密Ｕ〔は第１図の２で示すよう
にＩｒ量の増加とともに、はぼ直線的に減少する。磁気
記録媒体や薄膜磁気デバイスに応用するためには、大兄
保磁力が３（ｌＯＱｅ。
残留磁束密度が２５００Ｇ以上あれば十分でるる。
したがって、これらの薄膜永久磁石としての特性条件を
満足するｃｏ−Ｉｒ　＠−金の■ｒ含翁景範囲は７．５
〜２５ヂであシ、この縄成範囲のＣｏ−Ｉｒ合金？（ケ
膜は永久磁石薄膜として実用化できる。
実施例２ 出力を５０〜４００Ｗ、スパッタガス圧力を１〜１０　
Ｘ　１０−’Ｔｏｒｒ、スパッタガス導入前の到達真空
度を５　Ｘ　１．　Ｏ−７〜１０−”ｌ’ｏｒｒとした
条件でガラス基板上にスパッタリングした１ノヘ厚８０
０人のＣｏ−Ｉｒ合金薄膜の磁気／ｌ’を性も２０１図
で示したものと同様の値であった。
実施例３ 実施例１．２と同様の条件でガラス基板上にスパッタし
だ膜厚２００〜２０００人のｃｏ−Ｉｒ合金薄膜の磁気
特性は第１図で示したｌ特性と同様であった。
〔発明の効果〕
以上述べた実施例から明らかなように、７．５〜２５チ
のｌｒを含むＣｏ−１：ｒ合金は磁気記録媒体、薄膜磁
気デバイス用の永久磁石薄膜夙として十分実用化できる
良好な磁気特性を有する。また、本発明のＣｏ　−Ｉ　
ｒ薄膜はスパッタリング法で極めて容易に形成できるの
がｑ＋ｊ徴である。
【図面の簡単な説明】
第１図はＣ０−１ｒ合金系薄膜の保磁力と残留磁束密度
の工ｒ含有報依存性を示すグシフである。 １・・・保磁力を示す曲線、２・・・残留磁束密度を示
す曲線。 第　７　口 Ｉｙ′／。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ｉｒｆ：ｆｆｌ子チで７．５〜２５％含み、残余Ｃ
    。 からなることを特徴とする薄膜永久磁石。
JP14638783A 1983-08-12 1983-08-12 薄膜永久磁石 Pending JPS6038804A (ja)

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JP14638783A JPS6038804A (ja) 1983-08-12 1983-08-12 薄膜永久磁石

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JPS6038804A true JPS6038804A (ja) 1985-02-28

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ID=15406548

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JP14638783A Pending JPS6038804A (ja) 1983-08-12 1983-08-12 薄膜永久磁石

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008088519A (ja) * 2006-10-03 2008-04-17 Nisshin Kasei Kk イリジウム・コバルト合金めっき液

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008088519A (ja) * 2006-10-03 2008-04-17 Nisshin Kasei Kk イリジウム・コバルト合金めっき液

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