JPS6037524B2 - Method for manufacturing magnetic recording media - Google Patents
Method for manufacturing magnetic recording mediaInfo
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- JPS6037524B2 JPS6037524B2 JP14751079A JP14751079A JPS6037524B2 JP S6037524 B2 JPS6037524 B2 JP S6037524B2 JP 14751079 A JP14751079 A JP 14751079A JP 14751079 A JP14751079 A JP 14751079A JP S6037524 B2 JPS6037524 B2 JP S6037524B2
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクラスターィオンビーム法により磁気記録媒体
を製造する方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic recording medium by a clusterion beam method.
従来、磁気記録媒体としては、酸化鉄、酸化クロム等の
針状磁性粉あるいは、強磁性金属の超微粉末を樹脂バイ
ンダー中に分散し、これを非磁性基材上に塗布した磁気
記録媒体が広く用いられてきた。しかしながら、近年、
情報の高密度記録化という要請は該磁気記録媒体に対し
ても強く、種々の改良がなされてきたが、上記従来の塗
布型の磁気記録媒体では、用いている強磁性粉末の粒子
の大きさが、記録要素の最小単位として限界を有してお
り、これ以上に記録密度を高めることが、原理的に不可
能であるため、この高密度記録化という要請に答え難か
った。Conventionally, magnetic recording media have been made by dispersing acicular magnetic powder such as iron oxide or chromium oxide or ultrafine powder of ferromagnetic metal in a resin binder and coating it on a non-magnetic base material. It has been widely used. However, in recent years,
There is a strong demand for high-density recording of information in magnetic recording media, and various improvements have been made. However, in the conventional coated magnetic recording media, the size of the particles of the ferromagnetic powder used is However, it has a limit as the smallest unit of a recording element, and it is theoretically impossible to increase the recording density beyond this, so it has been difficult to meet the demand for higher density recording.
このため最近、記録密度の飛躍的増大を目的として、樹
脂バインダーを使用しない、磁性層が100%強磁性体
からなる薄膜(蒸着)型の磁気記録媒体が、緑式〆ッキ
法、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティ
ング法等の薄膜形成法を用いて精力的に研究開発され、
一部は実用に供されている。For this reason, recently, with the aim of dramatically increasing recording density, thin film (vapor deposition) type magnetic recording media that do not use a resin binder and whose magnetic layer is made of 100% ferromagnetic material have been developed using the Green method, vacuum deposition method, etc. Active research and development has been conducted using thin film forming methods such as the method, sputtering method, and ion plating method.
Some of them are in practical use.
しかしながら、上記各薄膜形成法によって得られる磁気
記録媒体は、それぞれに欠点があり実用上、種々の問題
点を有していた。However, the magnetic recording media obtained by each of the above-mentioned thin film forming methods have their own drawbacks and have various practical problems.
即ち、湿式メッキ、真空蒸着によって形成された薄膜型
の磁気記録媒体は磁性層と基材との密度強度が極めて低
いため、記録−再生時に於いて、磁気ヘッドとの接触走
査による機械的摩擦によって、磁性層が剥離したり、摩
滅、損傷等を生じ易いという欠点があった。In other words, thin-film magnetic recording media formed by wet plating or vacuum deposition have extremely low density strength between the magnetic layer and the base material, so during recording and reproduction, mechanical friction due to contact scanning with the magnetic head causes However, there was a drawback that the magnetic layer was easily peeled off, abraded, and damaged.
又、スパッタリング法、イオンプレーテイング法によっ
て形成された薄膜型の磁気記録媒体は、磁性層と基材と
の密着強度は改善されるものの、10‐3トール以上の
低真空中での直流グロ−放鷺又は高周波プラズマを利用
して薄膜形成を行なう方法であるため、残留ガスの取り
込み、不純物の混入などによって、強磁性体薄膜層の結
晶性に悪影響を及ぼし、角形比が4・さくなるほど、磁
気特性上に欠点があった。In addition, thin film magnetic recording media formed by sputtering or ion plating improve the adhesion strength between the magnetic layer and the base material, but they do not support DC glow in a low vacuum of 10-3 Torr or higher. Since this is a method of forming a thin film using radiofrequency plasma or high-frequency plasma, the crystallinity of the ferromagnetic thin film layer is adversely affected by the incorporation of residual gas and the incorporation of impurities. There was a drawback in magnetic properties.
又放電状態の不均一性に起因する膜品及び磁気特性上の
バラッキ、不均一性などの難点を有し、高性能高密度記
録用の磁気記録媒体としては、いまだ解決しなければな
らない問題点を多く残していた。上記従来の薄膜形成法
によって得られる薄膜型の磁気記録媒体の欠点を抜本的
に解決するものとして、本発明者らは、先にクラスター
ィオンビ−ム法によって形成された磁性層を有する磁気
記録媒体(特晒昭一54一20957号)を提案した。In addition, it has drawbacks such as variations and non-uniformity in film quality and magnetic properties due to non-uniform discharge conditions, and these problems still need to be resolved as magnetic recording media for high-performance, high-density recording. I left a lot of. In order to fundamentally solve the drawbacks of thin-film magnetic recording media obtained by the conventional thin-film forming method described above, the present inventors have previously developed a magnetic recording medium having a magnetic layer formed by the clusterion beam method. He proposed a medium (Tokusaku Shoichi No. 54-20957).
該磁気記録媒体は、高密度磁気記録媒体として実用に供
し得るものであったが、本発明者らは、更に磁気的性能
のすぐれた磁気記録媒体を得んと、鋭意研究を重ねた結
果、基材に対して30o以上の入射角を有するクラスタ
ーィオンビームを基材に射突せしめることで形成される
磁性薄膜層が、磁化容易軸の一鞠異方性を示し、該鞠方
向の抗磁力が飛躍的に増大することを見出し本発明に到
ったものである。一般に、磁性層の面内特定方向に磁化
容易方向を有するということは、該方向に対する磁化特
性が向上するという好ましい結果を与える。Although this magnetic recording medium could be put to practical use as a high-density magnetic recording medium, the inventors of the present invention conducted extensive research to obtain a magnetic recording medium with even better magnetic performance. A magnetic thin film layer formed by bombarding a substrate with a clusterion beam having an incident angle of 30 degrees or more with respect to the substrate exhibits a linear anisotropy of the easy axis of magnetization, and has a coercive force in the direction of the magnetization. The present invention was based on the discovery that the amount increases dramatically. Generally, having an easy magnetization direction in a specific in-plane direction of the magnetic layer gives a favorable result that the magnetization characteristics in that direction are improved.
即ち抗磁力が大となり、磁化曲線の角形比が向上すると
いう効果を発現せしめるため、磁性層面内長手方向の磁
化特性を利用する磁気テープの如き磁気記録媒体には最
も好ましい特性を与えるのである。従って本発明の目的
とするところは、高密度記録に適する磁気特性を有しか
つ磁気ヘッドへの接触走行によっても磁性層の剥離、摩
滅、損傷がないように改善された繰り返し使用に耐える
磁気記録媒体の製造方法を提供することにある。本発明
の要旨は、非磁性材料からなる基村上にクラス夕一イオ
ンビーム蒸着法により強磁性体の薄膜を形成する際に、
該基材の法線に対して30o以上の入射角を有するクラ
スターィオンビームを該基材表面上に射突せしめること
を特徴とする磁気記録媒体の製造方法に存する。That is, since the coercive force is increased and the squareness ratio of the magnetization curve is improved, it provides the most favorable characteristics to a magnetic recording medium such as a magnetic tape that utilizes the magnetization characteristics in the in-plane longitudinal direction of the magnetic layer. Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium that has magnetic properties suitable for high-density recording and that can withstand repeated use and is improved so that the magnetic layer will not be peeled off, abraded, or damaged even when running in contact with a magnetic head. An object of the present invention is to provide a method for producing a medium. The gist of the present invention is to form a ferromagnetic thin film on a substrate made of a non-magnetic material by a class uniform ion beam evaporation method.
A method for manufacturing a magnetic recording medium, characterized in that a clusterion beam having an incident angle of 30° or more with respect to the normal to the base material is made to impinge on the surface of the base material.
次に本発明につき更に詳細に説明する。本発明に於いて
使用される非磁性体材料からなる基村とは、ポリ塩化ビ
ニル、ポリフッ化ビニル、酢酸セルロース、ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリブチレンテレフタし−ト、ポリ
エチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリイ
シド、ポリエーテルサルフオン、ポリパラバン酸等の高
分子材料、アルミニウム、銅、銅−亜鉛合金等の非磁性
材料、嫌縞体、磁器、陶器、ガラスなどのセラミック材
料などが用いられる。Next, the present invention will be explained in more detail. The material made of non-magnetic material used in the present invention includes polyvinyl chloride, polyvinyl fluoride, cellulose acetate, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene, polypropylene, polycarbonate, polyamide, and polyvinyl fluoride. Polymer materials such as ether sulfon and polyparabanic acid, non-magnetic materials such as aluminum, copper, and copper-zinc alloys, and ceramic materials such as anti-striped materials, porcelain, earthenware, and glass are used.
本発明に於いて、上記非磁性材料からなる基材の形状は
、磁気記録媒体の使用方法によって適宜定められればよ
く、例えば、テープ、フィルム、ディスク、ドラム等の
形状で使用される。In the present invention, the shape of the base material made of the nonmagnetic material may be appropriately determined depending on the method of using the magnetic recording medium, and is used in the shape of, for example, a tape, film, disk, or drum.
本発明に於いては、上記基材上に磁性層としてクラス夕
一イオンビーム蒸着法により強磁性体の薄膜が形成され
る。In the present invention, a thin film of ferromagnetic material is formed as a magnetic layer on the above-mentioned base material by a class uniform ion beam evaporation method.
本発明に係るクラス夕一イオンビーム蒸着法とは、10
‐4トールから10‐3トールの高真空に排気された真
空槽内に於いて、強磁性体薄膜を形成し得る材料が供給
された噴出孔を有する密閉型ルッボを加熱し、ルッボ内
蒸気圧を10‐2トール以上として前記噴出孔から該蒸
気を噴出せしめることによって、50の固〜2,00の
固の該材料の原子から構成されるクラスターを形成し、
更に該クラスターを電子衝撃により電離してクラスター
ィオンとし、該クラスターィオンを電界効果により集中
、加速して、数eV〜数千乍Vの高エネルギーが付与さ
れたクラスターィオンビームとなし、該クラス夕−イオ
ンビームを前記基材表面上に射突せしめることによって
薄膜を形成するものである。The class uniform ion beam evaporation method according to the present invention is 10
In a vacuum chamber evacuated to a high vacuum of -4 Torr to 10-3 Torr, a closed Rubbo with an ejection hole supplied with a material that can form a ferromagnetic thin film is heated, and the vapor pressure inside the Rubbo is increased. by ejecting the steam from the ejection hole at a temperature of 10-2 Torr or more, forming clusters composed of 50 to 2,000 atoms of the material,
Furthermore, the cluster is ionized by electron bombardment to form cluster ions, and the cluster ions are concentrated and accelerated by an electric field effect to form a cluster ion beam with high energy of several eV to several thousand volts. - A thin film is formed by projecting an ion beam onto the surface of the substrate.
クラス夕一イオンビーム蒸着法は、基材表面に射突され
る主として強磁性金属原子からなるクラスターィオンが
射突時のエネルギーで個々の原子状粒子に分解して該表
面上を移動するマィグレーション効果、又該表面に射突
したときのエネルギーの一部が熱エネルギーに変換され
て局部的に温度を上昇させるいわゆる蒸着膜表面の自己
加熱効果、及びイオンの存在による化学的活性効果など
によって、薄膜が形成されるため、結晶性の良好な磁性
薄膜が得られるとともに、上記の効果により特に基材加
熱という操作を必要としないということで、ポリエチレ
ンテレフタレートの如き低軟化温度の高分子材料を基材
として用いる磁気記録媒体に好適に適用ができるのであ
る。本発明に於いて強磁性薄膜層を形成するために、ク
ラスターィオン源の密閉型ルッボ内に供給されれる材料
としては、コバルト、コバルトを含有する合金、及びコ
バルトと他の元素との混合物よりなる群から選ばれた1
種若しくは2種以上の材料から構成されるのが好ましい
。The class 1 ion beam evaporation method is a migration method in which cluster ions, which are mainly composed of ferromagnetic metal atoms, are bombarded onto the surface of a substrate and are broken down into individual atomic particles by the energy of the bombardment and move on the surface. tion effect, the so-called self-heating effect of the deposited film surface where part of the energy when it hits the surface is converted into thermal energy and raises the temperature locally, and the chemical activation effect due to the presence of ions. , since a thin film is formed, a magnetic thin film with good crystallinity can be obtained, and due to the above effects, there is no need for a particular operation of heating the substrate. It can be suitably applied to a magnetic recording medium used as a base material. In order to form a ferromagnetic thin film layer in the present invention, the materials supplied into the closed rubbo of the clusterion source include cobalt, an alloy containing cobalt, and a mixture of cobalt and other elements. 1 selected from the group
Preferably, it is composed of one species or two or more kinds of materials.
上言己コバルトを含有する合金としては、コバルトと、
例えば、リン、クロム、銅、鉄、ニッケル、マンガン、
金、イットリウム、チタン、ビスマス、ランタン等との
合金の他、ニッケルーコバルトーリン合金、コバルト−
鉄−ニッケル合金、コバルトービスマスーリン合金など
の三元合金などがあげられる。As mentioned above, alloys containing cobalt include cobalt and
For example, phosphorus, chromium, copper, iron, nickel, manganese,
In addition to alloys with gold, yttrium, titanium, bismuth, lanthanum, etc., nickel-cobalt phosphorus alloys, cobalt-
Examples include ternary alloys such as iron-nickel alloys and cobalt-bismuth-sulin alloys.
又上記コバルトと他の元素との混合物としては、該他の
元素が例えば、リン、クロム、銅、鉄、ニッケル、マン
ガン、金、チタン、イットリウム、ビスマス、ランタン
等のものを言い該元素の1種若しくは2種以上が選択使
用される。本発明に於いては、前記基材上にクラス夕一
イオンビーム蒸着法によって強磁性体の薄膜を形成する
際に、クラスターィオンビームを該基材の法線に対して
300以上の入射角を有するようにして該基材表面上に
射突せしめるのである。Further, as a mixture of cobalt and other elements, the other elements include, for example, phosphorus, chromium, copper, iron, nickel, manganese, gold, titanium, yttrium, bismuth, lanthanum, etc. A species or two or more species are selectively used. In the present invention, when forming a thin film of ferromagnetic material on the base material by the class uniform ion beam evaporation method, the cluster ion beam is set at an incident angle of 300 or more with respect to the normal to the base material. It is made to project onto the surface of the base material.
そうすると、磁化容易軸が一触異方性を示し該鞠方向の
抗磁力が飛躍的に増大した強磁性体の薄膜が基材上に形
成されるのである。クラスターィオンピームが基材に射
突する際、基村の法線に対して300以上の入射角を有
して射突すると、機構は明確ではないが、核形成、結晶
成長という薄膜形成過程に於いて、前記マィグレーショ
ン現象に方向依存性を生じることが推定され、得られる
磁性薄膜の結晶軸の配向をひきおこし、これによって磁
化容易軸の一軸異方性が発現し、磁気特性上好ましい結
果を与えるものと考えられる。Then, a thin film of ferromagnetic material is formed on the base material, in which the easy axis of magnetization exhibits single-touch anisotropy and the coercive force in the direction of magnetization increases dramatically. When the clusterion beam hits the base material, if it hits the base material at an incident angle of 300 or more with respect to the normal to Motomura, the mechanism is not clear, but the thin film formation process of nucleation and crystal growth occurs. It is presumed that the migration phenomenon has directional dependence, which causes the orientation of the crystal axes of the resulting magnetic thin film, resulting in uniaxial anisotropy of the easy axis of magnetization, resulting in favorable magnetic properties. It is thought that it gives
強磁性体薄膜の厚みとしては0.02〜1山の範囲が好
ましい。The thickness of the ferromagnetic thin film is preferably in the range of 0.02 to 1 thickness.
次に本発明につき更に詳細に図面に従い説明する。Next, the present invention will be explained in more detail with reference to the drawings.
第1図は、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法を実施
する装置の一例を示す態様図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of an apparatus for carrying out the method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention.
真空槽1内の真空室2は排気管3に連結される排気系装
置4によって1×10‐8トールまでの高真空に排気す
ることができる。真空室2内には、クラスターィオン源
ユニット5(但し電源回路等は記載していない)、フィ
ルム状基材6、その供給ロール7と巻取ロール8及びク
ラスターィオンビームのフィルム状基材6に対する入射
角を制御するための上下可動ロール9が設置されている
。第2図は、クラスターィオン源ユニット5の詳細断面
説明図であり、クラスター発生部15とクラスターのイ
オン化部19とクラスターィオン加速電極20とから構
成されている。The vacuum chamber 2 in the vacuum chamber 1 can be evacuated to a high vacuum of up to 1×10 −8 Torr by an exhaust system device 4 connected to an exhaust pipe 3 . Inside the vacuum chamber 2, there is a cluster ion source unit 5 (however, the power supply circuit etc. are not shown), a film-like base material 6, its supply roll 7 and take-up roll 8, and a cluster ion beam directed to the film-like base material 6. A vertically movable roll 9 is installed to control the incident angle. FIG. 2 is a detailed sectional view of the cluster ion source unit 5, which is composed of a cluster generation section 15, a cluster ionization section 19, and a cluster ion accelerating electrode 20.
クラスター発生部15は、噴出孔10を有する密閉型の
ルッボ11と、抵抗加熱用ヒーター12と、水袷機構1
3を有する電極14とから構成されており、クラスター
のイオン化部19は、熱電子放出用のフィラメント16
と、放出された電子を電界加速する網状電極17、及び
電界制御のためのガード18とで構成されている。The cluster generation unit 15 includes a closed-type rubbo 11 having an ejection hole 10 , a resistance heating heater 12 , and a suction mechanism 1 .
The ionization part 19 of the cluster is composed of a filament 16 for emitting thermionic electrons.
, a mesh electrode 17 for accelerating emitted electrons with an electric field, and a guard 18 for controlling the electric field.
更に第2図には、クラスターィオン源ユニット5を作動
させるための真空槽1外に設置された電源とその回路が
示されている。Furthermore, FIG. 2 shows a power supply installed outside the vacuum chamber 1 for operating the cluster ion source unit 5 and its circuit.
次に上述の装置により本発明に於ける磁気記録媒体を製
造する場合につき、その動作を説明する。Next, the operation of manufacturing the magnetic recording medium according to the present invention using the above-mentioned apparatus will be explained.
先ず、第1図に示したように、ポリエチレンテレフタレ
ートフィルムの如き非磁性基材6の巻かれた供給ロール
7を設置し、該基材フィルム6を可動ロール9に沿わせ
巻取ロール8に巻き取られるように配置する。First, as shown in FIG. 1, a supply roll 7 on which a non-magnetic base material 6 such as a polyethylene terephthalate film is wound is installed, and the base film 6 is placed along a movable roll 9 and wound around a take-up roll 8. Arrange so that it can be taken.
クラスターィオン源ユニット5の密閉型ルッボ11内に
、強磁性薄膜を形成し得る材料を供給し、該クラスター
ィオン源ユニット5を第1図の如く設置する。A material capable of forming a ferromagnetic thin film is supplied into the closed rubbo 11 of the cluster ion source unit 5, and the cluster ion source unit 5 is installed as shown in FIG.
次いで可動ロール9を調節し基材フィルム6に対して、
クラスターイオンビームの入射角が30o以上となるよ
うにする。クラスターィオソビームの入射角とは第3図
に示すように、クラスターイオン源ユニット5からのク
ラスターィオンビームの中心鞠25と、基材6の法線2
6のなす角度ひをさす。Next, the movable roll 9 is adjusted and applied to the base film 6.
The incident angle of the cluster ion beam should be 30 degrees or more. As shown in FIG.
Point out the angle made by 6.
次いで、排気管3から排気系装置4によって真空室2を
10‐4トールから10‐8トール(通常は、10‐5
ト−ルから10‐6トール)の高真空に排気するが、こ
の時フィルム状基材6の表面に存在する吸着物及び供給
ロール7中に巻き込まれている空気を脱気するため巻き
取り巻き戻しをすることが好ましい。Next, the vacuum chamber 2 is heated from 10-4 Torr to 10-8 Torr (usually 10-5 Torr) from the exhaust pipe 3 by the exhaust system device 4.
It is evacuated to a high vacuum (from 10-6 Torr to 10-6 Torr), and at this time, it is wound and rewound to deaerate the adsorbed matter existing on the surface of the film-like substrate 6 and the air caught in the supply roll 7. It is preferable to do so.
真空室2の真空度が一定になったところで、蝿源21に
より電極14を介して抵抗加熱用ヒーター12を通電加
熱せしめ、密閉型ルッポ11内の蒸気圧が10‐2トー
ルから数トールとなるようにし、噴出孔10から1′1
00以下の気圧領域にある真空室2内に蒸気を噴出せし
める。When the degree of vacuum in the vacuum chamber 2 becomes constant, the resistance heating heater 12 is heated by electricity through the electrode 14 by the fly source 21, and the vapor pressure in the closed type Lupo 11 becomes from 10-2 torr to several torr. From the nozzle 10 to 1'1
Steam is ejected into the vacuum chamber 2 in a pressure region of 0.00 or less.
該噴出孔10から噴出された原子状の蒸気粒子は、断熱
膨張により過冷却状態となり、該原子からなるファンデ
ルワールスカにより緩く結合した塊状粒子集団いわゆる
クラスターを形成する。The atomic vapor particles ejected from the ejection hole 10 become supercooled due to adiabatic expansion, and form a so-called cluster, which is a mass of particles loosely bonded by van der Waalska bonds made up of the atoms.
イオン化部19に於いて、電源22によりフィラメント
16を通電加熱することで、熱電子を放出させ、該電子
を電源23により100Vから1,000Vの正の直流
電圧を印加された網状電極17によって電界加速し、上
記生成したクラスターと衡突せしめてこれをイオン化す
る。イオン化されたクラスターィオンは正の荷電状態に
あるので、これを電源24により加速電極20に100
Vから10KVの負の直流電圧を印加することで加速し
、高運動エネルギーを付与する。かくして電界加速され
たクラスターィオンは、ビーム状に、入射角が30o以
上に設置された基材の表面に射突し、薄膜形成がなされ
るのである。上述のとおり、本発明磁気記録媒体の製造
方法は、非磁性材料からなる基材の法線に対して30o
以上の入射角を有するクラスターィオンビームを該基材
表面上に射突せしめて強磁性体の薄膜を形成しているか
ら、形成された強磁性体薄膜は磁化容易軸が一触異方性
を示し該軸方向の抗磁力が飛躍的に増大した磁気特性の
優れたものとなるのである。In the ionization section 19, the filament 16 is heated by the power supply 22 to emit thermionic electrons, and the electrons are transferred to an electric field by the mesh electrode 17 to which a positive DC voltage of 100V to 1,000V is applied by the power supply 23. It is accelerated, collides with the generated cluster, and ionizes it. Since the ionized clusterions are in a positively charged state, they are transferred to the accelerating electrode 20 by the power source 24 at 100%
It is accelerated by applying a negative DC voltage of 10KV to 10KV to impart high kinetic energy. The clusterions thus accelerated by the electric field impinge in the form of a beam on the surface of the base material placed at an incident angle of 30 degrees or more, forming a thin film. As mentioned above, the method for manufacturing the magnetic recording medium of the present invention is performed at an angle of 30° with respect to the normal to the base material made of a non-magnetic material.
Since a ferromagnetic thin film is formed by impinging a clusterion beam having an incident angle above the surface of the base material, the formed ferromagnetic thin film has a one-touch anisotropy along the axis of easy magnetization. This results in excellent magnetic properties with a dramatically increased coercive force in the axial direction.
更に本発明に於いては、高エネルギー状態のクラスター
ィオンビームを基村に射突せしめて薄膜形成するため、
得られる磁性層は、基材との密着強度及びパッキング密
度が大きく、かつ表面平滑度が高く形成されるので、磁
気記録媒体として、耐摩耗性、耐ヘッドクラッシュ性に
特に優れたものとなるのである。Furthermore, in the present invention, in order to form a thin film by projecting a clusterion beam in a high energy state onto Motomura,
The resulting magnetic layer has high adhesion strength and packing density with the base material, and is formed with high surface smoothness, so it can be used as a magnetic recording medium with particularly excellent wear resistance and head crush resistance. be.
以下に本発明の実施例を示す。Examples of the present invention are shown below.
実施例 1
第2図で示した形状のクラスターィオン源ユニット5が
装填された第1図で示した構成からなるクラス夕−イオ
ンビーム蒸着装層を使用し、密閉型ルッポ1 1にコバ
ルト塊(純度99.99%)10夕を供給し、基村とし
て厚さ15山のポリエチレンテレフタレートのフィルム
を第1図に示すように供給ロール7、可動ロール9、巻
き取りロール8に配置し、第1表に示す条件でクラス夕
−イオンビーム蒸着を行なった。Example 1 A cluster ion beam evaporation layer having the configuration shown in FIG. 1 loaded with the cluster ion source unit 5 having the shape shown in FIG. 2 was used, and a cobalt lump ( A polyethylene terephthalate film with a thickness of 15 layers was placed on the supply roll 7, movable roll 9, and take-up roll 8 as shown in FIG. Class ion beam evaporation was performed under the conditions shown in the table.
なおロール駆動は行なわず、可動ロール9にて、クラス
ターィオンビ−ムの入射角のみの調整を行ない、該入射
角を30oに設定した。Note that no roll driving was performed, and only the incident angle of the clusterion beam was adjusted using the movable roll 9, and the incident angle was set at 30 degrees.
得られた磁気記録媒体のコバルトからなる蒸着磁性層の
厚みを反射干渉型膜厚測定器で測定したところ約1,2
00オングストロームであった。The thickness of the vapor-deposited magnetic layer made of cobalt on the obtained magnetic recording medium was measured using a reflective interference type film thickness measuring device and was approximately 1.2 mm.
00 angstroms.
蒸着磁性層とポリエチレンテレフタレート基材との密着
強度を調べるためセロハンテープによる剥離試験をした
ところ蒸着磁性層の剥離は全くなかった。又磁気特性を
調べるために直流磁化測定装置にて、磁性層の残留磁束
密度、抗磁力、及び角形比を測定した。In order to examine the adhesion strength between the vapor-deposited magnetic layer and the polyethylene terephthalate base material, a peeling test using cellophane tape was conducted, and no peeling of the vapor-deposited magnetic layer occurred. In addition, in order to examine the magnetic properties, the residual magnetic flux density, coercive force, and squareness ratio of the magnetic layer were measured using a DC magnetization measuring device.
結果は第1表に示すように磁気特性の優れたものであっ
た。実施例 2
実施例1と同様にして、第1表に示す条件にて、クラス
ターィオンビーム入射角を45oに設定し、ポリエチレ
ンテレフタレートフイルム上にコバルトからなる磁性層
をクラス夕一イオンビーム蒸着した。As shown in Table 1, the results showed excellent magnetic properties. Example 2 In the same manner as in Example 1, a magnetic layer made of cobalt was deposited on a polyethylene terephthalate film by ion beam evaporation under the conditions shown in Table 1, with the cluster ion beam incident angle set at 45°.
蒸着磁性層の厚みは、実施例1で行なったと同様にして
測定したところ約1,000オングストロ−ムであった
。The thickness of the deposited magnetic layer was measured in the same manner as in Example 1 and was found to be approximately 1,000 angstroms.
又実施例1で行なったと同様にして密着強度をセロハン
テープにより剥離試験を行なったところ全く剥離は生じ
なかった。Further, a peel test was conducted to check the adhesion strength using cellophane tape in the same manner as in Example 1, and no peeling occurred at all.
又実施例1で行なったと同様にして磁気特性を測定した
結果を第1表に示す。実施例 3
実施例1と同様にして第1表に示す条件にて、クラスタ
ーィオンビーム入射角を600に設定し、ポリエチレン
テレフタレートフイルム上にコバルトからなる磁性層を
クラス夕−イオンビーム蒸着した。Further, the magnetic properties were measured in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1. Example 3 In the same manner as in Example 1, under the conditions shown in Table 1, the cluster ion beam incident angle was set to 600, and a magnetic layer made of cobalt was deposited on a polyethylene terephthalate film by cluster ion beam evaporation.
蒸着磁性層の厚みは、実施例1で行なったと同様にして
測定したところ約900オングストロームであった。The thickness of the deposited magnetic layer was measured in the same manner as in Example 1 and was found to be approximately 900 angstroms.
又実施例1で行なったと同様にして、密着強度をセロハ
ンテープによる剥離試験を行なったところ全く剥離を生
じなかった。In addition, a peeling test using cellophane tape was conducted to check the adhesion strength in the same manner as in Example 1, and no peeling occurred.
又実施例1で行なったと同様にして磁気特性を測定した
結果を第1表に示す。Further, the magnetic properties were measured in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.
実施例 4
実施例1で使用したクラス夕−イオンビーム蒸着装置に
て密閉型ルッボ11にコバルトークロム合金塊(クロム
7wt%)を供給し、基材として厚さ15ムのポリエチ
レンテレフタレートのフィルムを第1図に示すように供
給ロール7、可動ロール9、巻き取りロール8に配置し
、第1表に示した条件でクラスターィオンビーム葵着を
行なった。Example 4 A cobalt-chromium alloy ingot (chromium 7 wt%) was supplied to the closed Rubbo 11 using the class ion beam evaporation apparatus used in Example 1, and a polyethylene terephthalate film with a thickness of 15 mm was used as the base material. The material was arranged on a supply roll 7, a movable roll 9, and a take-up roll 8 as shown in FIG. 1, and clusterion beam deposition was performed under the conditions shown in Table 1.
尚、クラスターィオンピームの基村に対する入射角は6
0oであり、ロール駆動によるフィルム走行速度は働舷
/minであった。得られた磁気記録媒体のコバルトー
クロム合金組成からなる蒸着磁性層の厚みは実施例1で
行なったと同様にして測定したところ約900オングス
トロームであり、又セロハンテープによる剥離試験では
全く剥離は生じなかった。又実施例1で行なったと同様
にして磁気特性を測定した結果第1表に示す如く良好で
あった。The angle of incidence of the clusterion beam on Motomura is 6.
0o, and the film running speed by roll drive was working board/min. The thickness of the vapor-deposited magnetic layer consisting of a cobalt-chromium alloy composition of the obtained magnetic recording medium was measured in the same manner as in Example 1, and was found to be about 900 angstroms, and no peeling occurred in a peeling test using cellophane tape. Ta. Further, the magnetic properties were measured in the same manner as in Example 1, and the results were good as shown in Table 1.
比較例実施例1と同様にして第1表に示す条件にて、ク
ラスターィオンビーム入射角をooに設定しポリエチレ
ンテレフタレートフイルム上にコバルトからなる磁性層
をクラス夕一イオンビーム蒸着した。Comparative Example A magnetic layer made of cobalt was deposited on a polyethylene terephthalate film by ion beam evaporation under the conditions shown in Table 1 on a polyethylene terephthalate film under the conditions shown in Table 1, with the cluster ion beam incident angle set at oo.
葵着磁性層の厚みは、実施例1で行なったと同様にして
測定したところ約1,500オングストロームであった
。The thickness of the Aoi magnetic layer was measured in the same manner as in Example 1 and was found to be approximately 1,500 angstroms.
又実施例1で行なったと同様にして磁気特性を測定した
結果を第1表に示す。Further, the magnetic properties were measured in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.
第 1 表
第1表の結果から、本発明方法による磁気記録媒体は抗
磁力が飛躍的に増大し磁気特性の優れたものになってい
ることがわかる。Table 1 From the results shown in Table 1, it can be seen that the magnetic recording medium produced by the method of the present invention has a dramatically increased coercive force and excellent magnetic properties.
第1図は本発明方法に用いる装置の一例を示す態様図、
第2図は第1図に示す装置中のクラス夕ーィオン源ユニ
ットの部分の一例を示す断面説明図、第3図は本発明方
法に於ける基材とクラスターィオンビームとの関係を示
す説明図である。
5・・・・・・クラスターィオン源ユニット、6・・・
・・・基材フィルム、25……クラスターィオンビーム
の中心軸、26・・・・・・基材の法線。
ナ′囚
ナZ凶
オ3四FIG. 1 is a diagram showing an example of the apparatus used in the method of the present invention;
FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view showing an example of the cluster ion source unit in the apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 3 is an explanatory view showing the relationship between the base material and the cluster ion beam in the method of the present invention. It is. 5...clusterion source unit, 6...
... Base film, 25 ... Central axis of clusterion beam, 26 ... Normal line of base material. Na' prisoner na Z evil o 34
Claims (1)
ム蒸着法により強磁性体の薄膜を形成する際に、該基材
の法線に対して30°以上の入射角を有するクラスター
イオンビームを該基材表面上に射突せしめることを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法。 2 基材がポリエチレンテレフタレートフイルムである
特許請求の範囲第1項記載の磁気記録媒体の製造方法。 3 クラスターイオンビームがコバルトを含むものであ
る特許請求の範囲第1項又は第2項記載の磁気記録媒体
の製造方法。[Scope of Claims] 1. When a thin film of ferromagnetic material is formed on a base material made of a non-magnetic material by cluster ion beam evaporation, the incident angle is 30° or more with respect to the normal to the base material. A method for producing a magnetic recording medium, comprising the step of projecting a cluster ion beam onto the surface of the base material. 2. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the base material is a polyethylene terephthalate film. 3. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1 or 2, wherein the cluster ion beam contains cobalt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14751079A JPS6037524B2 (en) | 1979-11-13 | 1979-11-13 | Method for manufacturing magnetic recording media |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14751079A JPS6037524B2 (en) | 1979-11-13 | 1979-11-13 | Method for manufacturing magnetic recording media |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5671832A JPS5671832A (en) | 1981-06-15 |
JPS6037524B2 true JPS6037524B2 (en) | 1985-08-27 |
Family
ID=15431979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14751079A Expired JPS6037524B2 (en) | 1979-11-13 | 1979-11-13 | Method for manufacturing magnetic recording media |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6037524B2 (en) |
-
1979
- 1979-11-13 JP JP14751079A patent/JPS6037524B2/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5671832A (en) | 1981-06-15 |
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