JPS6027650A - セラミックス製品に形状記憶効果を生ぜしめる方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は形状記憶効果を有ｐるセラミックス製品に関す
るものであり、さらに形状記憶セラミックス製品を利用
した加工法および接合法に関するものである。

アルミナ、窒化珪素等のセラミックスは耐熱性、耐食性
、耐摩耗性、機械的強度において優れた特性を有するが
、室温あるいはその近傍の温度で塑性変形を示さず、金
属の加工で通常実施されている安価で容易な塑性加工が
できない。そのためセラミックス製品の加工は切断、研
削、ｒＩｌｒｅによってなされ、精密加工および複雑な
形状加工は非常に困難であり、室温およびその近傍の温
度で塑性加工が可能なセラミックス製品が望まれていた
。

一方、Ｎｉ−Ｔｉ合金の様に「形状記憶」なる名称を与
えられている特殊な物理特性を有するものがある。ここ
で形状記憶とはマルテンサイト変態、つまり結晶格子の
せん断変形による変態に起因する現象であり、変態温度
域を挾んで高温側での形状と低温側での形状の間に一方
向的もしくは可逆的な形状の復元現象が現出することを
言う。

Ｎｉ−Ｔｉ合金以外で形状復元性すなわち、形状記憶効
果を有する材料はＡｕ−Ｃｄ合金’、（：、ｕ−７ｎ合
金、Ｃｕ−Ａｕ２−Ｎｉ合金、ＣＵ−’Ｓｌ１合金等が
あるが童で金属である。金属は高温酸化雰囲気および腐
食雰囲気での使用が困難であり、耐熱性、耐食性、耐摩
耗性および機械的強度に優れた特性を有するセラミック
スで形状記憶効果が具備されている素材が強く望まれて
いた。

本発明の主たる目的は形状記憶セラミックス製品を提供
することである。

本発明の別の目的は室温あるいは室温近傍の温度でのセ
ラミックス製品の容易な加工法おＪ、びレラミックス製
品と他部材との容易な接合法を提供することである。

以下本発明の構成を詳細に説明する。本発明はジルコニ
アを含有することを特徴とするセラミックス形状記憶素
子である。さらに本発明は正方品および単斜晶ジルコニ
アのうち少なくとも１つを含み、所定の温度に保持する
ことおよび又は所定の応力を負荷することにより正方晶
と単斜晶間の相変態を生ぜしめて塑性変形させたセラミ
ックス製品である。さらに本発明は、正方晶および単斜
晶ジルコニアのうち少々くとも１つを含み、所定の温度
に保持することおよび又は所定の応力を負荷することに
より正方晶と単斜晶間の相変態を生ぜしめて塑性変形さ
せ、再び所定の温度に保持することおよび又は所定の応
力を負荷することにより、塑性変形前の形状方向に復元
するセラミックス製品である。セラミックス製品のジル
コニア含有ｍは５重量％以上であることが好ましく、５
０重量％以上であることがさらに好ましい。塑性変形を
与える温度範囲は一２７０℃から８００℃が好ましく、
０℃から３００℃であることがさらに好ましい、塑性変
形を与える負荷応力範囲は５ＭＰａから１００００Ｍ　
Ｐ　ａであることが好ましく、５０ＭＰａから３０００
Ｍ　Ｐ　ａであることがさらに好ましい。ざらに０℃か
ら３００℃の温度に保持した状態で５０Ｍ　Ｐａから３
０００Ｍ　Ｐ　ａの応力を２負荷して塑性変形を与える
ことが特に好ましい。塑性変形前の形状方向に復元する
ための復元湿度範囲は０℃から１４００℃であることが
好ましく、４００℃から１４００℃であることがさらに
好ましい。塑性変形前の形状方向に復元するための復元
負荷応力範囲は５ＭＰａから１００００Ｍ　Ｐ　ａであ
ることが好ましく、５０Ｍ　Ｐ　ａから３０００Ｍ　Ｐ
　ａであることがさらに好ましい。さらに４００℃から
１４００℃の温度に保持して５０ＭＰａから３０００Ｍ
　Ｐ　ａの応力を負荷することが特に好ましい。

さらに本発明は、正方晶および単斜晶ジルコニアのうら
少なくとも１つを含むヒフミックス製品を任意の形状を
有する部材に加圧接触さＵること、又は加圧接触し所定
の温度に保持することにより、正方晶と単斜晶間の相変
態を生ぜしめて塑性変形させるセラミックス製品の加工
法である。さらに本発明は、正方晶ａ３よび単斜晶ジル
コニアのうら少なくとも１つを含むセラミック及製品を
他部材に嵌合するｌＣめ加圧接触させることおよび又は
所定の温度に保持することにより、正方品と！１１斜晶
間の相変態を生ぜしめて塑性変形させるセラミックス製
品の接合法である。さらに本発明は、正方晶および単斜
晶ジルコニアのうち少なくとも１つを含むセラミックス
製品を゛所定の温度に保持することおよび又は所定の応
力を負荷することにより正方晶と単斜晶間の相変態を生
ぜしめて塑性変形させ、他部材と嵌合し、所定の温度に
保持することにより、該セラミックス製品を塑性変形前
の形状方向に復元するセラミックス製品の接合法である
。

本発明者等はジルコニアの正方晶ど単斜晶間の相変態が
マルテンサイト変態であることを利用し、適切な温度場
適切な応力でジルコニアを破壊させることなくｉ性交形
を生ぜしめることを見い出し、さらに適切な温度に保持
すると元の形状方向に復元することを確かめた。本発明
はジルコニアの塑性変形および形状復元現象を見い出し
これを利用した事に基づくものである。

以下の説明にａ３いて正方晶および単斜晶はそれぞれジ
ルコニアの正方晶＋１５よび単斜晶を指す。

正方晶と単斜晶間の相変態は湿度に依存するが、ざらに
外部応力や雰囲気中の水によって相変態は加速される。

また正方品と単斜晶の間には約５％の体積差があるため
、正方晶と単斜晶間゛の相変態は膨張あるいは収縮を伴
う。従って正方品および単斜晶のうち少くとも１つを含
むセラミックス製品を正方晶又は単斜晶が準安定に存在
する温度に保持することにより、準安定相から安定相へ
のマルテンサイト変態を起こさせて、セラミックス製品
に塑性変形を生ぜしめ得る。また、正方晶と単斜晶間の
相変態は外部応力によって誘起されるため、正方晶およ
び単斜晶のうち少なくとも１つを含むセラミックス製品
に適切な外部応力を負荷づると弾性変形後破壊すること
なく塑性変形が得られる。相変態し易い適切な温度に保
持し適切な外部応力を負荷することにより塑性変形をさ
らに容易に生ぜしめることができる。さらに雰囲気中の
水により相変態は加速するため、雰囲気中の水の濃度を
高くすることにより相変態速度を速め、塑性変形をさら
に容易に生ぜしめることができる。

正方晶から単斜晶への相変態によって塑性変形させたセ
ラミックス製品を正方晶が安定な温度に保持することに
より、単斜晶は元の正方晶へ変態し、セラミックス製品
は塑性変形前の形状方向に復元する。単斜晶から正方晶
への相変態によって塑性変形させたセラミックス製品に
おいても同様に単斜晶が安定な温度に保持することによ
りセラミックス製品は塑性変形前の形状方向に復元する
。

さに一度塑性変形させたセラミックス製品に逆方向の応
力を負荷することにより、最初の塑性時に起こった変態
の逆変態を生ぜしめ、セラミックス製品の形状を元の方
向に復元することができる。

次に本発明の数値範囲の限定理由を述べれば、塑性変形
を与える温度範囲を一２７０℃から８００℃としたのは
、−２７０℃より低温にセラミックス製品を保持するこ
とが困難でありかつ８００℃より高温では、マルテンサ
イト変態の速度が著しく遅く実用的でないためである。

０℃から３００℃が好ましいのはこの温度範囲において
相変態速度が速く、塑性変形に及ぼす相変態の効果を有
効に利用することかでき、かつ市販あ乾燥機中でも容易
に行えるからで、ある。

塑性変形を与える負荷応力範囲を５ＭＰａがら１０００
０Ｍ　Ｐ　ａとしたのは、５ＭＰａより低い応力では塑
性変形を生ぜしめるほど十分なマルテンサイト変態を誘
起することが難しく、かつ　１ｏｏｏ。

ＭＰａより大きい応力ではセラミックス製品が破壊する
恐れがあるからである。５０ＭＰａから３０００ＭＰａ
が好ましいのは相変態速度を実用的な範囲に制御するこ
とができる。

ざらに０℃から３００℃の温度に保持した状態で５０Ｍ
Ｐａから３０００Ｍ　Ｐ　ａの応力を負荷することによ
り、相変態に及ぼす湿度と応力の効果が相乗的に作用し
セラミックス製品に適当の塑性変形を迅速に生ぜしめる
ことができる。

塑性変形前の形状方向に復元させる温度範囲を０℃から
１４００℃としたのは０℃より低温かつ１４００℃より
高温では塑性変形前の形状方向に復元するために十分な
相変態を得ることが難しいためである。４００℃から１
４００℃が好ましいのは、この温度範囲において形状復
元のための相変態が生じ易く、形状復元現象を容易に得
ることができるからである。

塑性変形前の形状方向に復元させる負荷応力範囲を５Ｍ
Ｐａから１１００ＯＯＰ　ａとしたのは５ＭＰａより低
い応力では形状復元現象を起こすほど十分な相変態を誘
起することが難しく、１ｏｏｏ。

ＭＰａより高い応力ではセラミックス製品が破壊する恐
れがあるからである。５０ＭＰａから３０００ＭＰａが
好ましいのは、相変態速度を実用的な範囲に制御するこ
とができるからである。

さらに４００℃から１４００℃の温度に保持し、５０Ｍ
Ｐａから３０００Ｍ　ｐ　ａの応力を負荷することによ
り形状復元のための相変態に及ぼす温度と応力の効果が
相乗的に作用し、セラミックス製品の形状復元現象を迅
速に生せしめることができる。

さらに、実用的な相変態速度を得るために雰囲気中の水
によって加速するには、０．０８（１／　、＋２以上の
水含有量が必要であり、２．５Ｑ／１２以上にすること
により、さらに実用的な変態速度が得られる。

塑性変形および形状復元現象が正方品と単斜晶間の相変
態に起因した現象であるため、本発明のセラミックス製
品中のジルコニア含有量が５重量％より少ないと有効な
塑性変形および形状復うＬ現　、象は得られ難い。さら
に、塑性変形および形状復元現象をより“効果的に発現
しかつ耐熱性、耐食性および機械的強度等の優れたジル
コニア固有の特性を発現するためには、ジルコニア含有
量が５０千間％以上であることが好ましい。

例えば第１図（ａ）、（ｂ）に示すように５．４重量％
のイツトリアを固溶したジルコニア１ｉ９４＆１に２０
０℃で曲げ応力を加えると、弾性変形後、破壊せず、第
２図の状態に約１％の曲げ歪に塑性変形する。湾曲した
薄板を８００℃に加熱すると実質的に第１図（ｂ）の状
態に形状が復元づる。同様の形状のアルミナおよび窒化
珪素についてもＩｎ１様な試料を作成し、曲げ応力を加
えＣみたが、１０００℃以下の温度では弾性変形後部破
断し、塑性変形は得られず、１０００℃以上で一般のセ
ラミックスで見られる物質移動が原因であるクリープ変
形のみが観察された。この様なりリープ変形による塑性
変形歪は変形後加熱冷却を繰り返しても除去することは
できなかった。

本発明のセラミックス製品は例えば次の方法で製造する
ことができる。すなわち好ましくは、結晶子径が１＜１
”００Å以下、又は無定形の徴■なジルコニア粉末に、
イツ１へリア、カルシア、マグネシア、セリア、ハフニ
ア、チタニア等を添加した混合粉末を作成し、その混合
粉末を静水加圧法、押し出し成形法、泥県鋳込法などに
より所定の形状に予備成形した後加工し、１０００〜２
２００℃で焼成を行う。

焼成体を旋盤又はダイヤモンドホイール等により最終加
工し、所定の形状に切断、研削、研磨する。

本発明のセラミック製品はジルコニアに添加する酸化物
例えばイツトリア、カルシア、マグネシア、セリア、ハ
フニア、チタニア等の笛および種類を選択Ｊ゛ることに
より塑性変形温度および形状復元湿度を幅広く変えるこ
とができる。

さらに本発明のセラミックス製品は例えば熱安全装置角
のセンサーとして使用することができる、変形した製品
例えば曲げた薄板は特定温度を越えた場合に元の形状即
ちこの場合真直ぐな形状方向に戻るので、例えば継電器
を作動させることができる。本発明のセラミックス製品
は、ジルコニアに添加する酸化物の種類と鎖を選択する
ことにより、正方晶と単斜晶間の変＠温度範囲を変える
ことができるため、センサーの作動温度限界を任意所定
の？品度に調整することができる。

あるいはまた本発明のセラミックス製品を金属形状記憶
素子が用いることのできない高湿１１１ｆ化雰囲気ある
いは腐食雰囲気中で使用す゛るワッシャー、弁、あるい
は接合部材に用いることができる。さらに本発明でいう
セラミックス製品とは、ジルコニアが分散している母相
がセラミックスであるものをさすが、例えば金属あるい
はプラスチックの母材に正方晶および又は単斜晶のジル
コニアを分散させた製品でも同様の効果が４ｑられる。

次に本発明のセラミックス製品の加工法について詳細に
述べると、本発明の加工法は、正方品および単斜晶ジル
コニアのうち少なくとも１つを含むセラミックス製品を
任意の形状を荷重る部材に加圧接触させること、又は加
圧接触し所定の温度に保持することにより、正方品と単
斜晶間の相変態を生ぜしめて塑性変形させる方法である
。

この方法は、例えば次の要領で行うことができる。正方
晶Ｊ５よび又は単斜晶ジルコニアを含むセラミックス製
品を金属製あるいはセラミックス製の所定の形状をした
型に空温あるいは３００℃以下の温度で押し当てる。押
し当てた負荷応力により正方品から単斜晶への相変態が
生じ、セラミックス製品は所定の形状に塑性加工される
。本方法は脆性材料であるセラミックス製品に容易に加
工を施すことが可能である。

ざら番ど板状のものに反りを施す場合に本発明の加工法
を適用した場合について説明すると、例えばイツトリア
を５．４ｍｆｆ１％固溶したジルコニアを用いて板状の
ごラミックス製品を作成する。所定の反りを有づる一対
の凹凸金型の間にセラミックス製品を入れ２００℃でプ
レスする。セラミックス製品は、相変態により、金型の
形状に反って塑性変形する。

次に本発明のセラミックス製品の接合法について詳細に
説明すると、本発明は、正方品および単斜晶ジルコニア
のうち少くとも１つを含むセラミックス製品を他部材に
嵌合するため加圧接触させることおよび又は所定の温度
に保持することにより、正方晶と単斜晶間の相変態を生
ぜしめて塑性変形させる接合法である。

本方法は例えば次の要領で行うことができる。

正方晶ジルコニアおよび単斜晶ジルコニアのうち少くと
も１つを含むセラミックス製品で所定の接合部材を作成
し、被接合部材にとりっＧ−Ｊた後、接合部、材に応力
を負荷し相変態を生ぜしめて塑性変形させることにより
接合する。さらに２枚の仮を接合するリベットに本発明
を適用した場合について説明すると、例えばイツトリア
を５．４重量％固溶したジルコニアを用いて穴あきリベ
ットを作成し、所定の穴に挿入後下方から円＄１１型の
部材をさし込み上下から応力を負荷する。円錐で押され
た部分は、応力誘起変態にＪ：り塑性変形し、２枚の板
は接合される。次に本発明のセラミックス製品のもう１
つの接合法について詳細に説明ηると、本発明は、正方
品および単斜晶ジルコニアのうち少なくとも１つを含む
セラミックス製品を所定の温度に保持することおよび又
は所定の応力を負荷することにより正方晶と単斜晶間の
相変態を生ぜしめて塑性変形させ、他部材と嵌合し、所
定の温度に保持することにより、該セラミックス製品を
塑性変形前の形状方向に復元する接合法である。

この方法は例えば次の要領で行うことができる。

正方晶ジルコニアおよび単斜晶ジルコニアのうち少くと
も一つを含むセラミックス製品で所定の接合部材を作製
し、所定の温度に保持した状態で所定の応力を負荷する
ことによりジルコニアの正方品と単斜晶間の相変態を生
せしめ接合部材に所定の塑性歪を与えた後、金属あるい
はセラミックス製の被接合部材を嵌め合せ所定の温度に
加熱し、接合部材を塑性変形前の形状方向に復元させる
ことにより、被接合部材との接合を行う。

さらにチューブの接合に本発明を適用した場合について
詳しく説明すると、正方品ジルコニアおよび単斜晶ジル
コニアのうち少くとも１つを含むセラミックスを用いて
第３図に示す形状の円筒継手２を作成し、正方晶から単
斜晶への変態温度以上で継手内に油圧により負荷を与え
るとＰ（ｆ、ｉ　ｍ手２は塑性変形し、第４図に示づ様
に内径が大きくなる。塑性変形前の円筒継手２の内径よ
りわずかに大きい外径を有するチューブ３，４を両側か
ら組み込み変態温度以上に加熱すると円筒継手２は元の
形状方向に復元するため、円筒継手２によりチューブ３
，４は第５図に示す様に容易に接合される。

本発明は、チューブ以外のいがなる形状の物の接合にも
適用することができかつ被接合部材はいがなる材料でも
実施できる。

以下実施例により本発明をさらに詳細に説明する。

実施例１ ジルコニア粉末＋１３よびイツトリア粉末をそれぞれ９
４．６重量％、５．４重量％の■比で計綽したもの１０
０重量部に対しアルミナシリケイトを２正損部添加しボ
ットミル中で５０時間混合粉砕後乾燥し、原料粉末を作
成した。この粉末を金型ブレスにて６０ｍｍ　Ｘ　６０
ｎ　Ｘ　３００ｎの角柱に成型後１０００ｋｇ　／　ｃ
ｄの静水圧を加えた。この成型体を電気炉にて１４００
℃で３時間焼成した。焼成体の組成を湿式化学分析によ
り、正方晶および単斜晶ジルコニアの有無をＸ線回折測
定により測定した。Ｘ線回折測定は、Ｘ線回折装首番用
い、管電圧５０Ｋ　Ｖ、管電流８０ｍＡ１スギャン速１
９０．２５°／分の条件にて測定し、正り品ＺＩ’０２
の（２００）　、（００２）　、（００４）　。

（２２０）面からの回折ピークにより正方晶ジルコニア
の有無を、単斜晶７ｒ　０２の（１１１）面からの回折
ピークにより単斜晶ジルコニアの有無を判定した。

焼成体をダイヤモンドカッターＪ３よびダイヤモンド化
合を用いて０，５ｘ　１０Ｘ　１００鉗の薄板試料を作
成した。室温から１０００℃の温度範囲で薄板試料に曲
げ応ツノを負荷した。３００℃以下で弾性変形後破断ぜ
ず塑性変形が得られた。４００℃以上では弾性変形後部
破断し、塑性変形は得られなかった。

３００℃以下で塑性変形し湾曲したジルコニア薄板試料
の熱膨張曲線には昇温中５００℃付近で大きな体積収縮
が観察され、熱膨張測定後のジルコニア薄板試料は塑性
変形前の真直な薄板に形状が復元していた。

実施例２ 実施例１で作製したジルコニア製品を塑性変形の条件を
変えて、変形させ塑性変形量が０．；）％に達する時間
を測定した。結果を表１に示した。塑性変形時間は、雰
囲気中の水分と密接な関係にあり、雰囲気中の水含有量
が多い程、短時間で塑＋！［変形が生じることが判明し
た。

実施例３ 実施例１によって作成したジルコニア′を用いて第６図
に示す熱安全装置のセンサーをつくった。

感温素子は蟹性変形量および形状復元苗を大きくするた
めに０，５Ｘ、’５Ｘ５０１ｉ＋１の薄板にした。感温
索子５の片面に白金コーティング層７を施した後、コー
ティング層側が反る様に感温素子に塑性変形歪を与えた
。変形させた感温素子５を白金端子８がとりつけである
感温素子保持台６にとりつけた。

ブザー１０ど白金コーティング層７および白金端子８の
各々の間を白金リード線９で結線した。感温素子部の温
度が上昇し５００℃に達り゛るど感温素子の形状は元に
復元し、ブザー１０が温度の上昇を知らせた。

Ｘｌ」しＬ 実施例１によって作成したジルコニアを用いて第７図（
ａ）、（ｂ）に示すワッシャーをつくった。２００℃で
ワッシャー両端に応力を加え第８図（ｂ）に示す形状に
塑性変形した。得られたワッシャーはスプリングワッシ
ャーとして働き、Ｌラミックスのボルト・ナツトにとり
つけ腐食雰囲気中で使用することができた。

実施例５ 実施例１によって作成したジルコニアを用いて第８図（
ａ＞、（ｂ）に示ずスプリングワッシャーをつくった。

次に２００℃で応力を加え第７図（ａ）、（ｂ）に示す
形状に塑性変形し平ワツシヤーにした。これをセラミッ
クスのボルト・ナツトの間に用い６００℃まで加熱する
と、平ワツシヤーは再び第８図（ａ）、（ｂ）に示すス
プリングワッシャーに形状が復元し、高温でのスプリン
グワッシャーとして用いることができた。

実施例６ 実施例１によって作成し７．１−ジルコニアを用いてハ
サミつくった。ハサミの切断面はわずがな反りが必要で
あるが、これを研削、研磨加工で仕上げることは困難で
ある。本発明の加工法は低温で容易に塑性変形を施すこ
とが可能なため′、切断面を平面に仕上げた後、切断面
が凹になるように湾曲の型に押しあてた。本方法により
切れ味の良いジルコニア製ハサミが容易に作ることが可
゛能になった。

実施例フ イツトリアを５．４重量％固溶し１＝ジルコニアにより
第９図（ａ）、（ｂ）に示す形状のリベット１１を作製
した、作製したジルコニア製すベツ１−を用いアルミナ
と窒化珪素の板を接合した。つまり、アルミナと窒化珪
素の板を重ね合せ、前もって施していた穴にリベット１
１をさし込んだ後、リベット下方より第９図（Ｃ）の１
２に示づ円錐型の部Ｉをさし込み、上下から圧力を加え
た。下部のストレー１〜部分は円錐型の形状に沿う型に
塑性変形し、２枚の板は接合することができた。

え１１１ 第３図および第４図に示１イツトリアを５．４重量％固
溶したジルコニアチューブ２，３．４を作成した。チュ
ーブ２の内径は９９．６１１１に対してチコー１３．４
の外形は１０，０ＩＩＩＮである。チューブ２を２００
℃でチューブ内に内圧をかけ内径が１００．４ｕになる
様塑性変形歪を加えた。チューブ２の両側にヂュ−７３
，４を挿入した状態で６００℃に加熱した。チューブ２
が元の形状方向に復元する力でチューブ３と４は第５図
に示す様に接合することができた。

以上詳述した様に本発明のセラミックス製品は、従来不
可能どされていたセラミックスの空温およびその近傍の
温度での塑性変形を容易に施すことができ、かつ形状記
憶効果なる特性を具備した耐熱性、耐食性、耐摩耗性お
よび機械的強度等に優れた材料であるため、高温酸化雰
囲気および腐食雰囲気中での接合部材、感温素子、弁、
ワッシャーおよびエネルギー貯蔵装置等に用いることが
可能となり、金属の形状記憶素子では用いることのでき
なかった環境下にも充分対処できる。

さらに、本発明の加工法はわずかな反り、捩りを要りる
部分に容易に塑性加工を施すことが可能である。

さらに、本発明の接合法は金属とセラミックス、セラミ
ックスとセラミックス等の接合が容易に行なえ、かつ、
いかなる形状の部材にも充分対処できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ＞および（ｂ）はそれぞれ本発明のセラミッ
クス製品の平面図および正面図、第２図は塑性変形させ
たセラミックス製品の正面図、 第３図は本発明のセラミックス製品を用いた円筒継手の
正面図、 第４図は円筒継手に塑性変形を与え、両側からチーブを
入れた正面図、 Ｍ５図は加熱し円筒継手を元の形状方向に復λし接合し
た正面図、 第６図は熱安全装置の説明図、 第７図（ａ）および（ｂ）はそれぞれ本発明のセラミク
ス製品を用いた平ワッシレーの平面図と正面図、 Ｍ８図（ａ　）および（ｂ）はそれぞれ本発明のセラミ
ックス製品を用いたスプリングワッシ１１−の平面図と
正面図、 第９図（ａ）、（ｂ）および（Ｃ）はそれぞれ本発明の
セラミックス製品を用いたリベツ１〜の平面図、正面図
おにび圧入円錐治具の正面図である。 １・・・セラミックス製品 ２・・・接合継手　３・・・チューブ ４・・・チューブ　５・・・感温素子 ６・・・感温素子保持台　７・・・白金コーティング層
８・・・白金端子　９・・・白金リード線１０・・・ブ
ザー　１１・・・リベツｈ１２・・・圧入円錐冶具 特許出願人　日本碍子株式会社 第目図 （ｂ） 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 （ａ） （ｂ） ロゴ１丁＝コ 第Ｓ図 （ａ） （ｂ） 二Ｕコ 第９図 （ａ） （ｂ） （Ｃ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ジルコニアを含有することを特徴とするセラミック
   ス形状記憶素子。 ２、正方晶および単斜晶ジルコニアのうち少くとも１つ
   を含み、所定の温度に保持することおよび又は所定の応
   力を負荷することにより正方晶と単斜晶間の相変態を生
   ぜしめて塑性変形させた事を特徴とするセラミックス製
   品。 ３、ジルコニアを５重量％以上含有することを特徴とす
   る特許請求の範囲第２項記載のセラミックス製品。 ４、塑性変形を与える温度範囲が一２７０℃から８００
   ℃であることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の
   セラミックス製品。 ５、塑性変形を与える負荷応力範囲が５Ｍｐａから１１
   ００ＯＯＰ　ａであることを特徴とする特許請求の範囲
   第２項記載のセラミックス製品。 ６．０℃から３００℃の温度に保持して５０ＭＰａから
   ３０００Ｍ　Ｐ　ａの応力を負荷し、塑性度）しさせた
   ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のセラミッ
   クス製品。 ７、正方晶および単斜晶ジルコニアのうち少なくとも１
   つを含み、所定の温度に保持することおよび又は所定の
   応力を負荷することにより正方晶と単斜晶間の相変態を
   生ぜしめて塑性変形させ、再び所定の温度に保持するこ
   とおよび又は所定の応力を負荷することにＪ、す、塑性
   変形前の形状方向に復元することを特徴とするセラミッ
   クス製品。 ８、ジルコニアを５重缶％以上含有することを特徴とす
   る特許請求の範囲第７項記載のしラミックス製品。 ９、塑性変形を与える温度範囲が一２７０℃から８００
   ℃であることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の
   セラミックス製品。 １０、塑性変形を与える負荷応力範囲が５ＭＰａから１
   ００００Ｍ　Ｐ　ａであることを特徴とする特許請求の
   範囲第７項記載のセラミックス製品。 １１．０℃から３００℃の温度に保持して５０Ｍ　ｐ　
   ａから３０００Ｍ　Ｐ　ａの応力を負荷し、塑性変形さ
   ゼたことを特徴とする特許請求の範囲第７項記載のセラ
   ミックス製品。 １２、復元温度範囲が０℃から１４００℃であることを
   特徴とする特許請求の範囲第７項記載のセラミックス製
   品。 １３、復元負荷応力範囲が５ＭＰａから１ｏｏｏ。 ＭＰａであることを特徴とする特許請求の範囲第７項記
   載のセラミックス製品。 １４、　４００℃から１４００℃の温度に保持して５゜
   ＭＰａから３０００Ｍ　Ｐ　ａの応力を負荷し、塑性変
   形前の形状方向に復元ざゼることを特徴とする特許請求
   の範囲第７項記載のセラミックス製品。 １５、正方晶および単斜晶ジルコニアのうち少なくとも
   １つを含むセラミックス製品を任意の形状を有する部材
   に加圧接触させること、又は加圧接触し所定の温度に保
   持することにより、正方晶ど単斜晶間の相変態を生ぜし
   めて塑性変形させることを特徴とり゛るセラミックス製
   品の加工法。 １６、正方晶および単斜晶ジルコニアのうち少なくとも
   １つを含むセラミックス製品を他部材に嵌合するため加
   圧接触させることおよび又は所定の温度に保持すること
   により、正方品と単斜晶間の相変態を生ぜしめて塑性変
   形させることを特徴とするセラミックス製品の接合法。 １１、正方晶および単斜晶ジルコニアのうち少なくとも
   １つを含むセラミックス製品を所定の湿度に保持するこ
   とおよび又は所定の応力を負荷することにより正方晶と
   単斜晶間の相変態を生ぜしめて塑性変形させ、他部材と
   １■合Ｑ、所定の温度に保持することにより、該セラミ
   ックス製品を塑性変形前の形状方向に復元することを特
   徴と覆るセラミックス製品の接合法。