JPS60263831A - リモ−トサンプリング装置 - Google Patents
リモ−トサンプリング装置Info
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- JPS60263831A JPS60263831A JP11969984A JP11969984A JPS60263831A JP S60263831 A JPS60263831 A JP S60263831A JP 11969984 A JP11969984 A JP 11969984A JP 11969984 A JP11969984 A JP 11969984A JP S60263831 A JPS60263831 A JP S60263831A
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- JP
- Japan
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- valve
- sampling
- tank
- measured
- separator
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/10—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state
- G01N1/20—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state for flowing or falling materials
- G01N1/2035—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state for flowing or falling materials by deviating part of a fluid stream, e.g. by drawing-off or tapping
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の属する分野〉
本発明は、例えばプロセスガスクロマトグラフのような
分析計のサンプリングパルプを分析計本体から取り出し
、被測定流体を採取する採取点の近くに設置し遠隔操作
で該被測定流体を所望量採取するリモートサンプリング
装置に関する。
分析計のサンプリングパルプを分析計本体から取り出し
、被測定流体を採取する採取点の近くに設置し遠隔操作
で該被測定流体を所望量採取するリモートサンプリング
装置に関する。
〈従来の技術〉
第１図は、このようカリモートプンプリング装置の従来
例を示す溝底説明図であり、図中、１は例えば内部を被
測定流体が流れる管路、２は管路１内から被測定流体を
導びくプローブ、３はスト７プバルブ、４は導入される
流体を二方向に分岐させて送出するセパレータ、５はフ
ィルタ、６は第１〜第６の接続口６８〜６ｅおよび計量
管６ｇを有し第１図の実線接続状態と破線接続状態が交
互に切換えられるサンプリングパルプ、７ａ、 ７ｂは
夫々接続口６ｄ、 ｅ６と例えばプロセスガスクロマト
グラフのアナライザで々る分析計本体８とを接続し該接
続流路に例えばキャリアガスが流されている接続パイプ
、９はセパレータ４．フィルタ５．およびサンプリング
バルブ６を収容しこれらを所定温度に保つ恒温槽、１０
は恒温槽９内を所定温度に保つためのスチームが流れる
スチーム配管、１１はストップパルプ３とセパレータ４
の間を結ぶ接続パイプである。尚、接続パイプ７ａ、７
ｂ、プローブ２゜および接続パイプ１１は、被測定流体
の固化等を防ぐためスチームトレースされることが多い
。このような構成からなる従来例において、管路１から
プローブ２を介して採取された被測定流体は、ストップ
パルプ３→接続パイプ１１→セパレータ４→フイルタ５
→サンプリングバルブ６の第１接続ロ６ａ→第６接続ロ
６ｆ→計量管６ｇ→第３接続ロ６Ｃ→第２接続ロ６ｂ→
第２ペント■の流路で流れると共に、一部はセパレータ
４で分岐婆れ、セパレータ４から直接第１ペン）Ｖへ流
れる。また、この被測定流体は、含有しているタール等
がプローブ２の内側に付着する等して除去されると共に
、含有しているミスト等がセパレータ３で直接第１ベン
トｖ１の方向へ送られる等して除去される。更に、フィ
ルタ５は被測定流体に含有されている微粒子等を除去す
る機能ｆｔ；ｉＴＬでいるため、計量管６ｇにはミスト
や微粒子等が除去された被測定流体が供給されるように
なる。この被測定流体は、サンプリンで分析されるよう
に１っている。
例を示す溝底説明図であり、図中、１は例えば内部を被
測定流体が流れる管路、２は管路１内から被測定流体を
導びくプローブ、３はスト７プバルブ、４は導入される
流体を二方向に分岐させて送出するセパレータ、５はフ
ィルタ、６は第１〜第６の接続口６８〜６ｅおよび計量
管６ｇを有し第１図の実線接続状態と破線接続状態が交
互に切換えられるサンプリングパルプ、７ａ、 ７ｂは
夫々接続口６ｄ、 ｅ６と例えばプロセスガスクロマト
グラフのアナライザで々る分析計本体８とを接続し該接
続流路に例えばキャリアガスが流されている接続パイプ
、９はセパレータ４．フィルタ５．およびサンプリング
バルブ６を収容しこれらを所定温度に保つ恒温槽、１０
は恒温槽９内を所定温度に保つためのスチームが流れる
スチーム配管、１１はストップパルプ３とセパレータ４
の間を結ぶ接続パイプである。尚、接続パイプ７ａ、７
ｂ、プローブ２゜および接続パイプ１１は、被測定流体
の固化等を防ぐためスチームトレースされることが多い
。このような構成からなる従来例において、管路１から
プローブ２を介して採取された被測定流体は、ストップ
パルプ３→接続パイプ１１→セパレータ４→フイルタ５
→サンプリングバルブ６の第１接続ロ６ａ→第６接続ロ
６ｆ→計量管６ｇ→第３接続ロ６Ｃ→第２接続ロ６ｂ→
第２ペント■の流路で流れると共に、一部はセパレータ
４で分岐婆れ、セパレータ４から直接第１ペン）Ｖへ流
れる。また、この被測定流体は、含有しているタール等
がプローブ２の内側に付着する等して除去されると共に
、含有しているミスト等がセパレータ３で直接第１ベン
トｖ１の方向へ送られる等して除去される。更に、フィ
ルタ５は被測定流体に含有されている微粒子等を除去す
る機能ｆｔ；ｉＴＬでいるため、計量管６ｇにはミスト
や微粒子等が除去された被測定流体が供給されるように
なる。この被測定流体は、サンプリンで分析されるよう
に１っている。
然し乍ら、上記従来例においては、被測定流体の採取量
を制限する手段がないため、被測定流体中にタールやコ
ールが多い場合にはプローブ２の内側等に多量のタール
等が付着し、ひいては被測定流体の導入流路を閉塞した
シする欠点があった。
を制限する手段がないため、被測定流体中にタールやコ
ールが多い場合にはプローブ２の内側等に多量のタール
等が付着し、ひいては被測定流体の導入流路を閉塞した
シする欠点があった。
このため、上述のような従来のリモートサンプリング装
置を使用すると、長期間に亘って安定したサンプリング
を行なうことが著しく困難になるという大きな問題があ
った６ 〈発明の目的〉 本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものであワ、そ
の目的は、長期間に亘って安定したサンプリングを行な
うことができるようなリモートサンプリング装置を提供
することにある。
置を使用すると、長期間に亘って安定したサンプリング
を行なうことが著しく困難になるという大きな問題があ
った６ 〈発明の目的〉 本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものであワ、そ
の目的は、長期間に亘って安定したサンプリングを行な
うことができるようなリモートサンプリング装置を提供
することにある。
〈発明の概要〉
本発明の特徴は、リモートサンプリング装置において、
被測定流体採取点の近くに配設されたサンプリングバル
ブに通ずる第１方向と他の第２方向とに被測定流体を分
岐するセパレータと、予め計算によってめられた所定の
内容積を有する２つのタンクと、これらタンクの上流お
よび下流に夫々配設でれた流路開閉パルプとを設けたこ
とにある。
被測定流体採取点の近くに配設されたサンプリングバル
ブに通ずる第１方向と他の第２方向とに被測定流体を分
岐するセパレータと、予め計算によってめられた所定の
内容積を有する２つのタンクと、これらタンクの上流お
よび下流に夫々配設でれた流路開閉パルプとを設けたこ
とにある。
〈実施例〉
以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第２
図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、第１図と
同一記号は同一意味をもたせて使用しここでの重複説明
は省略する。また、＋２ａ。
図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、第１図と
同一記号は同一意味をもたせて使用しここでの重複説明
は省略する。また、＋２ａ。
１２ｂは予め計算によってめられた夫々所定の内容積を
有する第１および第２のタンク、１３ａは第１タンク１
２ａとセパレータ４の間で恒温槽９の外側に配設された
ノーマルオープンの自動開閉弁でなる第１パルプ、１３
ｂは第２タンク１２ｂとサンプリングバルブ６の第２接
続ロ６ｂとの間で恒温槽９の外側に配設されたノーマル
オープンの自動開閉弁でがる第２バルブ、１４ａは第１
タンク１２ａと第１ペントｖとの間に配設されたノーマ
ルクローズの自動開閉弁でなる第５バルブ、１４ｂは第
２タンク１２ｂと第２ベントｖ２との間に配設され九ノ
ーマルクローズの自動開閉弁でなる第４パルプでるる。
有する第１および第２のタンク、１３ａは第１タンク１
２ａとセパレータ４の間で恒温槽９の外側に配設された
ノーマルオープンの自動開閉弁でなる第１パルプ、１３
ｂは第２タンク１２ｂとサンプリングバルブ６の第２接
続ロ６ｂとの間で恒温槽９の外側に配設されたノーマル
オープンの自動開閉弁でがる第２バルブ、１４ａは第１
タンク１２ａと第１ペントｖとの間に配設されたノーマ
ルクローズの自動開閉弁でなる第５バルブ、１４ｂは第
２タンク１２ｂと第２ベントｖ２との間に配設され九ノ
ーマルクローズの自動開閉弁でなる第４パルプでるる。
尚、第１タンク１２ａの内容積は、プローブ２の先端部
からセパレータ４に至る流路の内容積（例えば５００
ｃＣ）より大きくなるようＫ（例えば２倍程度）設計さ
れている。また、第２タンク１２ｂの内容ＭｋｔＣセパ
レータ４→サンプリングバルブ６の第１接続口６ａ−４
第６接続ロ６ｆ→計量管６ｇ→第５接続口６゜→第２接
続ロ６ｂの流路の内容積（例えば１００ ｃｃ ）より
大きくなるように（例えば２倍程度）設計されている。
からセパレータ４に至る流路の内容積（例えば５００
ｃＣ）より大きくなるようＫ（例えば２倍程度）設計さ
れている。また、第２タンク１２ｂの内容ＭｋｔＣセパ
レータ４→サンプリングバルブ６の第１接続口６ａ−４
第６接続ロ６ｆ→計量管６ｇ→第５接続口６゜→第２接
続ロ６ｂの流路の内容積（例えば１００ ｃｃ ）より
大きくなるように（例えば２倍程度）設計されている。
更に、第１〜第４のパルプ１３ａ。
１３ｂ 、１４９Ｌ、１４ｂは、図示しないシーケンサ
等からの制御信号に従ってオンオフ動作を行なうように
なっている。
等からの制御信号に従ってオンオフ動作を行なうように
なっている。
上述のような構成からなる本発明の実施例において、最
初、ストップバルブ３が開にされると共に、上記シーケ
ンサ等からの指令により、第１〜第４のバルブ１３ａ
、１３ｂ 、１４ａ 、１４ｂをオンとする。このため
、第１および第２のバルブ１３ａ、 、１３ｂが閉とな
υ、第３および第４のバルブ１４ａ、 １４ｂが開とな
って、タンク１２ａ、 １２ｂの圧力が大気圧に平衡す
る。その後、上記シーケンサ等からの指令によシ、第１
〜第４のバルブ１３ａ ＋ １３ｂ 、１４ａ ＋１４
ｂがオフにされると、管路１内の被測定流体は、それ自
身の圧力によって、プローブ２→ストツプパルプ３→接
続パイプ１１→セパレータ４→第１バルブ１３ａを経由
して、第１タンク１２ａに流れ込む共に１その一部がセ
パレータ４で分岐され、フィルタ５−４サンプリングパ
ルプ６の第１接続ロ６ａ→第６接続ロ６ｆ→計量管６ｇ
→第３接続ロ６Ｃ−４第２接続ロ６ｂ→第２パルプ１３
ｂを経由して、第２．タンク１２ｂ Ｋ流れ込む。この
状態で、サンプリングバルブ６がオンにされると、該バ
ルブ６の内部流路が第２図の実線接続状態から破線接続
状態に切換えられる。このため、計量管６ｇ内の被測定
流体は接続パイプ７ａ、 ７ｂ内を流れるキャリアガス
によって、分析計本体８内の分離カラム（図示せず）等
に搬送されて分析される。このようにして１回目の分ｔ
ヶ件キ４一連の動作が繰り返されて次の分析が行なわれ
る。伺、本発明は上述の実施例に限定されることなく種
々の変形が可能であり、例えばタンク１２ａ、 １２ｂ
を一体化して１つのタンクとしてもよく、マた、そのタ
ンクをストップバルブ３とセパレータ４の間に設置して
もよいものとする。
初、ストップバルブ３が開にされると共に、上記シーケ
ンサ等からの指令により、第１〜第４のバルブ１３ａ
、１３ｂ 、１４ａ 、１４ｂをオンとする。このため
、第１および第２のバルブ１３ａ、 、１３ｂが閉とな
υ、第３および第４のバルブ１４ａ、 １４ｂが開とな
って、タンク１２ａ、 １２ｂの圧力が大気圧に平衡す
る。その後、上記シーケンサ等からの指令によシ、第１
〜第４のバルブ１３ａ ＋ １３ｂ 、１４ａ ＋１４
ｂがオフにされると、管路１内の被測定流体は、それ自
身の圧力によって、プローブ２→ストツプパルプ３→接
続パイプ１１→セパレータ４→第１バルブ１３ａを経由
して、第１タンク１２ａに流れ込む共に１その一部がセ
パレータ４で分岐され、フィルタ５−４サンプリングパ
ルプ６の第１接続ロ６ａ→第６接続ロ６ｆ→計量管６ｇ
→第３接続ロ６Ｃ−４第２接続ロ６ｂ→第２パルプ１３
ｂを経由して、第２．タンク１２ｂ Ｋ流れ込む。この
状態で、サンプリングバルブ６がオンにされると、該バ
ルブ６の内部流路が第２図の実線接続状態から破線接続
状態に切換えられる。このため、計量管６ｇ内の被測定
流体は接続パイプ７ａ、 ７ｂ内を流れるキャリアガス
によって、分析計本体８内の分離カラム（図示せず）等
に搬送されて分析される。このようにして１回目の分ｔ
ヶ件キ４一連の動作が繰り返されて次の分析が行なわれ
る。伺、本発明は上述の実施例に限定されることなく種
々の変形が可能であり、例えばタンク１２ａ、 １２ｂ
を一体化して１つのタンクとしてもよく、マた、そのタ
ンクをストップバルブ３とセパレータ４の間に設置して
もよいものとする。
〈発明の効果〉
以上詳しく説明したような本発明の実施例によれば、配
管ラインの容積を基にして予め計算で ｉめた内容積を
有するタンク１２ａ、 １２ｂ内に被測定流体を採取す
るような構成であるため、前記従来例の場合と異なり、
必要最少限の量だけ被測定流体を管路１から採取できる
利点がある。このため、プローブ２の内壁面等に付着す
るタール等も前記従来例の場合に比して著しく少なくな
９、究極的に長期間に亘って安定したサンプリングを行
なうことができるようになる。
管ラインの容積を基にして予め計算で ｉめた内容積を
有するタンク１２ａ、 １２ｂ内に被測定流体を採取す
るような構成であるため、前記従来例の場合と異なり、
必要最少限の量だけ被測定流体を管路１から採取できる
利点がある。このため、プローブ２の内壁面等に付着す
るタール等も前記従来例の場合に比して著しく少なくな
９、究極的に長期間に亘って安定したサンプリングを行
なうことができるようになる。
第１図は従来のリモートサンプリング装置の構成説明図
、第２図は本発明実施例の構成説明図でるる。 １・・・管路、２・・・プローブ、３・・・スｔ２プパ
ルブ、４・・・セパレータ、５・・・フィルタ、６・・
・サンプリングパルプ、６ｇ・・・計量管、８・・・分
析計本体、１０・・・スチーム配管、１３ａ 、１３ｂ
、１４ａ １１４ｂ −バルブ、１２ａ、 １２ｂ−
タンク０
、第２図は本発明実施例の構成説明図でるる。 １・・・管路、２・・・プローブ、３・・・スｔ２プパ
ルブ、４・・・セパレータ、５・・・フィルタ、６・・
・サンプリングパルプ、６ｇ・・・計量管、８・・・分
析計本体、１０・・・スチーム配管、１３ａ 、１３ｂ
、１４ａ １１４ｂ −バルブ、１２ａ、 １２ｂ−
タンク０
Claims (1)
- （１） 分析計本体から取り出され被ｆｆ１１１定流体
採取点の近くに配設されたサンプリングパルプと、採取
された被測定流体を前記サンプリングパルプに通ずる第
１方向と他の第２方向とに分岐するセパレータと、予め
計算によってめられた所定の内容積を有する第１および
第２のタンクと、該第１タンクと前記セパレータとの間
に配設され通電時に流路を閉成する第１パルプと、前記
サンプリングパルプと前記第２タンクとの間に配設され
通電時に流路を閉成する第２バルブと、前記第１および
第２タンクの下流に夫々配設逼れ通電時に流路を開成す
る第３および第４のパルプとを具備してなるリモートサ
ンプリング装置。 （２〕 第１〜第６の接続口および所定の内容積を有す
る計量管を具備し第１接続口はフィルターを介して前記
セパレータに接続され第２接続口は前記第２バルブに接
続された切換バルブで、前記サンプリングパルプが構成
されてなる特許請求範囲第（り項記載のリモートサンプ
リング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11969984A JPS60263831A (ja) | 1984-06-11 | 1984-06-11 | リモ−トサンプリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11969984A JPS60263831A (ja) | 1984-06-11 | 1984-06-11 | リモ−トサンプリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60263831A true JPS60263831A (ja) | 1985-12-27 |
| JPH0439610B2 JPH0439610B2 (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=14767879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11969984A Granted JPS60263831A (ja) | 1984-06-11 | 1984-06-11 | リモ−トサンプリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60263831A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04131737A (ja) * | 1990-09-22 | 1992-05-06 | Shimadzu Corp | 定流量サンプリング装置 |
| JPH06258204A (ja) * | 1993-03-02 | 1994-09-16 | Yokogawa Electric Corp | 液体試料採取システム |
| JP2002168738A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Asahi Kasei Corp | 触媒性能評価装置 |
| JP2005156306A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Horiba Ltd | 流路切換式分析計およびこれを用いた測定装置 |
| JP2017106917A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | エレメンタル・サイエンティフィック・インコーポレイテッドＥｌｅｍｅｎｔａｌ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ， Ｉｎｃ． | 化学元素濃度の測定および半導体プロセスの制御のための熱リン酸の自動サンプリング |
-
1984
- 1984-06-11 JP JP11969984A patent/JPS60263831A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04131737A (ja) * | 1990-09-22 | 1992-05-06 | Shimadzu Corp | 定流量サンプリング装置 |
| JPH06258204A (ja) * | 1993-03-02 | 1994-09-16 | Yokogawa Electric Corp | 液体試料採取システム |
| JP2002168738A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Asahi Kasei Corp | 触媒性能評価装置 |
| JP2005156306A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Horiba Ltd | 流路切換式分析計およびこれを用いた測定装置 |
| JP2017106917A (ja) * | 2015-12-08 | 2017-06-15 | エレメンタル・サイエンティフィック・インコーポレイテッドＥｌｅｍｅｎｔａｌ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ， Ｉｎｃ． | 化学元素濃度の測定および半導体プロセスの制御のための熱リン酸の自動サンプリング |
| US11710640B2 (en) | 2015-12-08 | 2023-07-25 | Elemental Scientific, Inc. | Automatic sampling of hot phosphoric acid for the determination of chemical element concentrations and control of semiconductor processes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0439610B2 (ja) | 1992-06-30 |
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