JPS60263817A - 回転検光子を用いた楕円偏光計 - Google Patents
回転検光子を用いた楕円偏光計Info
- Publication number
- JPS60263817A JPS60263817A JP12137784A JP12137784A JPS60263817A JP S60263817 A JPS60263817 A JP S60263817A JP 12137784 A JP12137784 A JP 12137784A JP 12137784 A JP12137784 A JP 12137784A JP S60263817 A JPS60263817 A JP S60263817A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- analyzer
- rotation
- rotary
- rotating shaft
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J4/00—Measuring polarisation of light
- G01J4/04—Polarimeters using electric detection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、例えば薄膜の厚さの測定に使用される楕円偏
光計、特に回転検光子を用いた楕円偏光計に関する。
光計、特に回転検光子を用いた楕円偏光計に関する。
（従来の技術）
楕円偏光法（エリプソメトリイ）により偏光の楕円率を
測定する楕円偏光計は、試料を破壊することなく、試料
からの反射光の偏光の状態の変化を観測することによっ
て、試料の光学定数、厚さの非常に薄い単層膜の膜厚の
測定などを高精度で行なうことができるので、従来から
試料の膜厚の測定などの用途に用いられていることは周
知のとおりであり、また、試料の膜厚の自動測定のため
に用いられる楕円偏光計としては、回転検光子を用いた
楕円偏光計が用いられることが多い。
測定する楕円偏光計は、試料を破壊することなく、試料
からの反射光の偏光の状態の変化を観測することによっ
て、試料の光学定数、厚さの非常に薄い単層膜の膜厚の
測定などを高精度で行なうことができるので、従来から
試料の膜厚の測定などの用途に用いられていることは周
知のとおりであり、また、試料の膜厚の自動測定のため
に用いられる楕円偏光計としては、回転検光子を用いた
楕円偏光計が用いられることが多い。
そして、従来５回転検光子を用いた楕円偏光計としては
、第３図に示すように１回転検光子と回転エンコーダと
が別軸になされているような構成形態のものが用いられ
ていた。
、第３図に示すように１回転検光子と回転エンコーダと
が別軸になされているような構成形態のものが用いられ
ていた。
すなわち、第３図において、１はモータ、２はモータｌ
の回転軸、３．６．７は歯車、４は回転エンコーダ、５
は回転エンコーダの回転軸、８は回転検光子９の回転軸
、１０ａは試料で反射して回転検光子９へ入射する光、
ｌｏｂは回転検光子９からの出射光、１１は受光素子で
あり、この第２図に示されている回転検光子を用いた楕
円偏光計において、モータ１が駆動回転されると、モー
タ１の回転軸２に固着されている歯車３が回転し、それ
により、前記の歯車３と噛合っている歯車６，７が回転
し、歯車６はそれの回転軸５に固着されている回転エン
コーダ４を回転させ、また、歯車７はそれの回転軸７に
固着されている回転検光子９を回転させ、回転検光子９
からの出射光１０ｂが受光素、子１１に供給されるよう
になされている。
の回転軸、３．６．７は歯車、４は回転エンコーダ、５
は回転エンコーダの回転軸、８は回転検光子９の回転軸
、１０ａは試料で反射して回転検光子９へ入射する光、
ｌｏｂは回転検光子９からの出射光、１１は受光素子で
あり、この第２図に示されている回転検光子を用いた楕
円偏光計において、モータ１が駆動回転されると、モー
タ１の回転軸２に固着されている歯車３が回転し、それ
により、前記の歯車３と噛合っている歯車６，７が回転
し、歯車６はそれの回転軸５に固着されている回転エン
コーダ４を回転させ、また、歯車７はそれの回転軸７に
固着されている回転検光子９を回転させ、回転検光子９
からの出射光１０ｂが受光素、子１１に供給されるよう
になされている。
ぞして、回転検光子９の回転に応じて回転検光子９から
出射された光が与えられる受光素子１１からの出力と、
回転エンコーダ４からの出力とを用いて所要の演算を行
なうことによって、試料の膜厚がめられるようになされ
ていた。
出射された光が与えられる受光素子１１からの出力と、
回転エンコーダ４からの出力とを用いて所要の演算を行
なうことによって、試料の膜厚がめられるようになされ
ていた。
（発明が解決しようとする問題点）
ところが、前記したように、従来の回転検光子を用いた
楕円偏光計では１回転検光子の回転軸と、回転エンコー
ダの回転軸とが別軸になされていたから、モータ１の回
転軸２から回転検光子９の回転軸８と回転エンコーダ４
の回転軸５とに対する動力の伝達が、例えば、第３図示
の従来の構成例のように、歯車３，６．７を用いて行な
われるようになされている場合には、歯車の偏心やバッ
クラッシュによって、回転検光子の回転角と、回転エン
コーダの回転角との間に誤差が生じ、また、モータ１の
回転軸２から回転検光子９の回転軸８と回転エンコーダ
４の回転軸５とに対する動力の伝達が、例えば、タイミ
ングベルトによって行なわれていた場合には、タイミン
グベルトの伸縮によって、回転検光子の回転角と、回転
エンコーダの回転角との間に誤差が生じるために、高い
精度での測定結果を得ることができず、それの解決策が
められていた。
楕円偏光計では１回転検光子の回転軸と、回転エンコー
ダの回転軸とが別軸になされていたから、モータ１の回
転軸２から回転検光子９の回転軸８と回転エンコーダ４
の回転軸５とに対する動力の伝達が、例えば、第３図示
の従来の構成例のように、歯車３，６．７を用いて行な
われるようになされている場合には、歯車の偏心やバッ
クラッシュによって、回転検光子の回転角と、回転エン
コーダの回転角との間に誤差が生じ、また、モータ１の
回転軸２から回転検光子９の回転軸８と回転エンコーダ
４の回転軸５とに対する動力の伝達が、例えば、タイミ
ングベルトによって行なわれていた場合には、タイミン
グベルトの伸縮によって、回転検光子の回転角と、回転
エンコーダの回転角との間に誤差が生じるために、高い
精度での測定結果を得ることができず、それの解決策が
められていた。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、回転検光子を用いた楕円偏光計において、駆
動源によって駆動回転される管状の中空回転軸の中空４
間の内部に、中空回転軸の回転中心に光軸が一致し、か
つ、中空回転軸と一体的に回転されるような態様で回転
検光子を配設し、また、前記した中空回転軸に対してそ
れと同心的に回転エンコーダの回転板を固着し、さらに
前記した管状の中空回転軸の内部空間を通して回転検光
子に入射した光に基づいて回転検光子から出射した光を
受光する受光素子を設けてなる回転検光子を用いた楕円
偏光計を提供するものである。
動源によって駆動回転される管状の中空回転軸の中空４
間の内部に、中空回転軸の回転中心に光軸が一致し、か
つ、中空回転軸と一体的に回転されるような態様で回転
検光子を配設し、また、前記した中空回転軸に対してそ
れと同心的に回転エンコーダの回転板を固着し、さらに
前記した管状の中空回転軸の内部空間を通して回転検光
子に入射した光に基づいて回転検光子から出射した光を
受光する受光素子を設けてなる回転検光子を用いた楕円
偏光計を提供するものである。
（実施例）
以下、本発明の回転検光子を用いた楕円偏光計の具体的
な内容について、添付図面を参照しながら詳細に説明す
る。
な内容について、添付図面を参照しながら詳細に説明す
る。
第１図は、本発明の回転検光子を用いた楕円偏光計の要
部の平断面図、第２図は同上側面図であり、第１図は第
２図中のＡ−Ａ線位置における平断面を示したものであ
る。
部の平断面図、第２図は同上側面図であり、第１図は第
２図中のＡ−Ａ線位置における平断面を示したものであ
る。
各回において１２は基台であり、基台１２には受光素子
の支持部１３が、ねじ１４．１４によって基台１２に固
着されており、また、前記した基台１２には回転検光子
の駆動部の支持部材２１が固着されている。
の支持部１３が、ねじ１４．１４によって基台１２に固
着されており、また、前記した基台１２には回転検光子
の駆動部の支持部材２１が固着されている。
そして、前記した受光素子の支持部１３には、受光素子
１８がねじ１９によって取付けられているとともに、フ
ィルタ１７とカラー１６とピンホール板１５とが固着さ
れている。図−中−で１５ａはピンホール板に穿設され
ているピンホールであり、２０．２０・・・は基台１２
を取付けるためのねじ孔である。
１８がねじ１９によって取付けられているとともに、フ
ィルタ１７とカラー１６とピンホール板１５とが固着さ
れている。図−中−で１５ａはピンホール板に穿設され
ているピンホールであり、２０．２０・・・は基台１２
を取付けるためのねじ孔である。
回転検光子の駆動部の支持部材２１には、回転検光子の
駆動部、その他の構成部分が固着されている。図におい
て、２２はモータケースであり、このモータケース２２
はねじ２３．２３によって回転検光子の駆動部の支持部
材２１に取付けられている。前記のモータケース２２に
は、ねじ２４によってピンホール保持部２５が固着され
ており、ピンホール保持部２５にはピンホール板２６が
取付けられている。２６ａはピンホール板２６に穿設さ
れているピンホールである。
駆動部、その他の構成部分が固着されている。図におい
て、２２はモータケースであり、このモータケース２２
はねじ２３．２３によって回転検光子の駆動部の支持部
材２１に取付けられている。前記のモータケース２２に
は、ねじ２４によってピンホール保持部２５が固着され
ており、ピンホール保持部２５にはピンホール板２６が
取付けられている。２６ａはピンホール板２６に穿設さ
れているピンホールである。
回転検光子の駆動部の支持部材２１に設けられている軸
受２７と、モータケース２２に設けられている軸受２８
とによって回転自在に支持されている回転軸２９は、管
状の中空回転軸として構成されていて、回転軸２９の中
空の空間部は光束の通路を形成している。
受２７と、モータケース２２に設けられている軸受２８
とによって回転自在に支持されている回転軸２９は、管
状の中空回転軸として構成されていて、回転軸２９の中
空の空間部は光束の通路を形成している。
前記した管状の中空回転軸２９の中間部２９ｃには、モ
ータの回転子３０（所定の極性に着磁されている永久磁
石）がねじ３１によって固着されており、前記したモー
タの回転子３０と対応してモータの固定子４０が設けら
れている。
ータの回転子３０（所定の極性に着磁されている永久磁
石）がねじ３１によって固着されており、前記したモー
タの回転子３０と対応してモータの固定子４０が設けら
れている。
また、前記した中空回転軸２９の先端部２９ａにはロー
タリ・エンコーダＲＥの回転板３２がねじ３３によって
固着されている。ロータリ・エンコーダＲＥは、それの
回転板３２が、中空回転軸２９と一体的に回転するとき
に、回転板３２に施こされている所定のパターンと対応
して、回転軸２９の回転角に応じた電気信号を信号発生
部３４から発生させうるようなものであれば、どのよう
な構成のものでも使用することができる。
タリ・エンコーダＲＥの回転板３２がねじ３３によって
固着されている。ロータリ・エンコーダＲＥは、それの
回転板３２が、中空回転軸２９と一体的に回転するとき
に、回転板３２に施こされている所定のパターンと対応
して、回転軸２９の回転角に応じた電気信号を信号発生
部３４から発生させうるようなものであれば、どのよう
な構成のものでも使用することができる。
そして、前記したロータリ・エンコーダＲＥが光学的な
ロータリ・エンコーダの場合には、円周に沿って一定の
間隔で光学的なパターンが施こされている回転板３２と
、その光学的なパターンを光学的に読取るための発光部
と受光部とからなる信号発生部３４とによってそれが構
成されるのであり、また、ロータリ・エンコーダＲＥが
磁気的なロータリ・エンコーダの場合には、円周に沿い
一定の間隔で磁気的なパターンが施こされている回転板
３２と、その磁気的なパターンを磁気的に読取って信号
を発生する信号発生部３４とによってそれが構成される
。３５はロータリ・エンコーダＲＥで発生された信号の
増幅器である。
ロータリ・エンコーダの場合には、円周に沿って一定の
間隔で光学的なパターンが施こされている回転板３２と
、その光学的なパターンを光学的に読取るための発光部
と受光部とからなる信号発生部３４とによってそれが構
成されるのであり、また、ロータリ・エンコーダＲＥが
磁気的なロータリ・エンコーダの場合には、円周に沿い
一定の間隔で磁気的なパターンが施こされている回転板
３２と、その磁気的なパターンを磁気的に読取って信号
を発生する信号発生部３４とによってそれが構成される
。３５はロータリ・エンコーダＲＥで発生された信号の
増幅器である。
前記した管状の中空回転軸２９における後端部２９Ｃの
中空４間の内部２９ｄには、中空回転軸２９の回転中心
に光軸が一致し、かつ、中空回転軸２９と一体的に回転
されるような態様で回転検光子３６（グラン・トムソン
・プリズム３６）が設けられている。
中空４間の内部２９ｄには、中空回転軸２９の回転中心
に光軸が一致し、かつ、中空回転軸２９と一体的に回転
されるような態様で回転検光子３６（グラン・トムソン
・プリズム３６）が設けられている。
図示の実施例において回転検光子３６は、管状の中空回
転軸２９における後端部２９ｃの中空４間の内部２９ｄ
に、それの光軸と中空回転軸２９の回転中心とを容易に
一致させうるように調節自在に設けられている。
転軸２９における後端部２９ｃの中空４間の内部２９ｄ
に、それの光軸と中空回転軸２９の回転中心とを容易に
一致させうるように調節自在に設けられている。
すなわち、中心部に回転検光子３６が配設されている筒
状の保持体３７は、それの一端部３７ｂが複数個の調節
ねじ３８．３８・・・によって中空回転軸２９の後端部
２９ｃに設けられているねじ孔２９ｅに連結されており
、また、前記した複数個の調節ねじ３８．３８・・・の
外周にそれぞれ設けられているスプリング３９゜３９は
、筒状の保持体３７の一端部と中空回転軸２９との間を
離隔させる方向に付勢しているから、前記した複数個の
ねじ３８ 、３８を締めつけたり緩るめたりすることに
よって、筒状の保持体３７の中心の方向、すなわち回転
検光子３６の中心の方向を容易に中空回転軸２９の回転
中心の方向に一致させるように調節することができる。
状の保持体３７は、それの一端部３７ｂが複数個の調節
ねじ３８．３８・・・によって中空回転軸２９の後端部
２９ｃに設けられているねじ孔２９ｅに連結されており
、また、前記した複数個の調節ねじ３８．３８・・・の
外周にそれぞれ設けられているスプリング３９゜３９は
、筒状の保持体３７の一端部と中空回転軸２９との間を
離隔させる方向に付勢しているから、前記した複数個の
ねじ３８ 、３８を締めつけたり緩るめたりすることに
よって、筒状の保持体３７の中心の方向、すなわち回転
検光子３６の中心の方向を容易に中空回転軸２９の回転
中心の方向に一致させるように調節することができる。
第１図において、３７ａは筒状の保持体３７の底板であ
り、この底板３７ａの中心部には孔４１が穿設されてい
る。また、前記した筒状の保持体３７の天板３７ｃの中
心部には孔４０が穿設されている。
り、この底板３７ａの中心部には孔４１が穿設されてい
る。また、前記した筒状の保持体３７の天板３７ｃの中
心部には孔４０が穿設されている。
前記したピンホール板１５のピンホール１５ａと、ピン
ポール板２６のピンホール２６ａとは、前記した回転中
心軸２９の中心線の延長上に位置するようになされてい
るから、試料で反射した光は、ピンホール板２６のピン
ホール２６ ａ→回転中心軸２９の内部空間→孔４０→
回転検光子３６→孔４１→ビンホー・ル板１５のピンホ
ール１５ ａ→フィルタ１７の経路を経て受光素子１８
に与えられる。
ポール板２６のピンホール２６ａとは、前記した回転中
心軸２９の中心線の延長上に位置するようになされてい
るから、試料で反射した光は、ピンホール板２６のピン
ホール２６ ａ→回転中心軸２９の内部空間→孔４０→
回転検光子３６→孔４１→ビンホー・ル板１５のピンホ
ール１５ ａ→フィルタ１７の経路を経て受光素子１８
に与えられる。
（発明の効果）
以上、詳細に説明したところから明らかなように、回転
検光子を用いた楕円偏光計において、駆動源によって駆
動回転される管状の中空回転軸の中空４間の内部に、中
空回転軸の回転中心に光軸が一致し、かつ、中空回転−
軸と一体的に回転されるような態様で回転検光子を配設
し、また、前記した中空回転軸に対してそれと同心的に
ロータリ・エンコーダの回転板を固着し、さらに前記し
た管状の中空回転軸の内部空間を通して回転検光子に入
射した光に基づいて回転検光子から出射した光を受光す
る受光素子を設けてなる本発明の回転検光子を用いた楕
円偏光計では、管状の中空回転軸２９の回転中心に一致
する光軸を有する回転検光子３６が、管状の中空回転軸
２９と一体的に回転し、また、中空回転軸２９に同心的
に設けられたロータリ・エンコーダＲＥの回転板３２も
、管状の中空回転軸２９と一体的に回転するから、回転
検光子３６の回転角度とロータリ・エンコーダＲＥの回
転角度とは常に同一であり、したがって、管状の中空回
転軸２９における中空の空間部に形成された光束の通路
を通過して受光素子１８に与えられる光と対応して受光
素子１８から出力される信号を処理して得らｈる測定値
は高精度のものを容易に得ることができるのであり、本
発明の回転検光子を用いた楕円偏光計によれば、既述し
た従来の問題点は良好に解決されるのである。
検光子を用いた楕円偏光計において、駆動源によって駆
動回転される管状の中空回転軸の中空４間の内部に、中
空回転軸の回転中心に光軸が一致し、かつ、中空回転−
軸と一体的に回転されるような態様で回転検光子を配設
し、また、前記した中空回転軸に対してそれと同心的に
ロータリ・エンコーダの回転板を固着し、さらに前記し
た管状の中空回転軸の内部空間を通して回転検光子に入
射した光に基づいて回転検光子から出射した光を受光す
る受光素子を設けてなる本発明の回転検光子を用いた楕
円偏光計では、管状の中空回転軸２９の回転中心に一致
する光軸を有する回転検光子３６が、管状の中空回転軸
２９と一体的に回転し、また、中空回転軸２９に同心的
に設けられたロータリ・エンコーダＲＥの回転板３２も
、管状の中空回転軸２９と一体的に回転するから、回転
検光子３６の回転角度とロータリ・エンコーダＲＥの回
転角度とは常に同一であり、したがって、管状の中空回
転軸２９における中空の空間部に形成された光束の通路
を通過して受光素子１８に与えられる光と対応して受光
素子１８から出力される信号を処理して得らｈる測定値
は高精度のものを容易に得ることができるのであり、本
発明の回転検光子を用いた楕円偏光計によれば、既述し
た従来の問題点は良好に解決されるのである。
第１図は本発明の回・転検光子を用いた楕円偏光ある。
１２・・・基台、１３・・・受光素子の支持部、１４，
１９，２３，２４゜３１．３３．３８・・・ねじ、 １
５，２６・・・ピンホール板、１５ａ、２６ａ・・・ピ
ンホール、１８・・・受光素子、２１・・・駆動部の支
持部材、２２・・・モータケース、２７ 、２８・・・
軸受、３０・・・モータの回転子、３７・・・筒状の保
持体、３９・・・スプリング、４２・・・モータの固定
子、
１９，２３，２４゜３１．３３．３８・・・ねじ、 １
５，２６・・・ピンホール板、１５ａ、２６ａ・・・ピ
ンホール、１８・・・受光素子、２１・・・駆動部の支
持部材、２２・・・モータケース、２７ 、２８・・・
軸受、３０・・・モータの回転子、３７・・・筒状の保
持体、３９・・・スプリング、４２・・・モータの固定
子、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ−回転検光子を用いた楕円偏光計において、駆動源に
よって駆動回転される管状の中空回転軸の中空４間の内
部に、中空回転軸の回転中心に光軸が一致し、かつ、中
空回転軸と一体的に回転されるような態様で回転検光子
を配設し、また、前記した中空回転軸に対してそれと同
心的にロータリ ・エンコーダの回転板を固着し、さら
に前記した管状の中空回転軸の内部空間を通して回転検
光子に入射した光に基づいて回転検光子から出射した光
を受光する受光素子を設けてなる回転検光子を用いた楕
円偏光計 ２６６回転検光子してプラン・トムソン・プリズムを用
い、それの光軸上に受光素子を固設した特許請求の範囲
第１項記載の回転検光子を用いた楕円偏光計
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12137784A JPS60263817A (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 回転検光子を用いた楕円偏光計 |
| US06/742,988 US4653924A (en) | 1984-06-12 | 1985-06-10 | Rotating analyzer type ellipsometer |
| DE198585304198T DE165771T1 (de) | 1984-06-12 | 1985-06-12 | Ellipsometer vom typ eines drehanalysators. |
| DE8585304198T DE3581319D1 (de) | 1984-06-12 | 1985-06-12 | Verfahren zur bestimmung der phasendifferenz zwischen dem drehanalysator und dem drehphasengeber eines ellipsometers. |
| EP85304198A EP0165771B1 (en) | 1984-06-12 | 1985-06-12 | Method of determining a phase difference between a rotating analyser and a rotary phase detecting means of an ellipsometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12137784A JPS60263817A (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 回転検光子を用いた楕円偏光計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60263817A true JPS60263817A (ja) | 1985-12-27 |
| JPS6334412B2 JPS6334412B2 (ja) | 1988-07-11 |
Family
ID=14809719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12137784A Granted JPS60263817A (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 回転検光子を用いた楕円偏光計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60263817A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5344451U (ja) * | 1976-09-20 | 1978-04-15 | ||
| JPS5410473A (en) * | 1977-06-23 | 1979-01-26 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | Solid-liquid separator |
-
1984
- 1984-06-12 JP JP12137784A patent/JPS60263817A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5344451U (ja) * | 1976-09-20 | 1978-04-15 | ||
| JPS5410473A (en) * | 1977-06-23 | 1979-01-26 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | Solid-liquid separator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6334412B2 (ja) | 1988-07-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4653924A (en) | Rotating analyzer type ellipsometer | |
| KR100742982B1 (ko) | 초점 타원계측기 | |
| US5005977A (en) | Polarimeter | |
| US5046850A (en) | Driving mechanism for driving an oscillating polarizer | |
| JPS60263817A (ja) | 回転検光子を用いた楕円偏光計 | |
| CN1144037C (zh) | 偏光应力仪检定标准装置及光强极小值定位方法 | |
| JP2000304521A (ja) | 角度計及びそれを用いた旋光計 | |
| JP4010760B2 (ja) | 測定装置 | |
| JP3942800B2 (ja) | 試料保持装置 | |
| Matheson et al. | A high precision, polychromatic, automatic ellipsometer | |
| JPH06147988A (ja) | 偏光測定装置 | |
| SU1226371A1 (ru) | Магнитооптический способ регистрации петель магнитного гистерезиса и устройство дл его осуществлени | |
| Henty et al. | A universal ellipsometer | |
| JPH028641B2 (ja) | ||
| JP2712987B2 (ja) | 偏光測定装置の調整方法 | |
| SU789686A1 (ru) | Денситометр | |
| JP2000241143A (ja) | 角度センサ | |
| Monin et al. | A new and high precision achromatic ellipsometer: a two-channel and polarization rotator method | |
| JPH0765935B2 (ja) | 偏光解析装置 | |
| RU2109256C1 (ru) | Способ определения коэффициента линейной поляризации света при отражении и устройство для его осуществления | |
| JPH05126641A (ja) | 分光型エリプソメータ | |
| JPS5915825A (ja) | 旋光計 | |
| SU1375951A1 (ru) | Пол риметрический угломер | |
| JPH06308211A (ja) | 磁化測定装置 | |
| JPS612027A (ja) | 楕円偏光計の回転検光子と回転位相検出素子との位相差検出法 |