JPS60261150A - ウエーハ昇降及び保持装置 - Google Patents
ウエーハ昇降及び保持装置Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、被加工物を繰出シャトルから移動するための
被加工物昇降装置に関する。
被加工物昇降装置に関する。
従来の技術
半導体産業で、スパッタ装置内の処理位置の間でウェー
ハを輸送するための装置が、周知である。
ハを輸送するための装置が、周知である。
代表的に種々の直径の円形シリコンウェーハが、金属製
コーティングがウェーハ上にスパッタされる位置又はエ
ツチングが生じる位置の間で移動する。この処理は、ウ
ェーハ表面の汚染物を除去するために真空チェンバ内で
行なわれる。すべてのそのような輸送装置の目的は、ウ
ェーハをある処理位置から他の処理位置へ移動させるこ
とである。
コーティングがウェーハ上にスパッタされる位置又はエ
ツチングが生じる位置の間で移動する。この処理は、ウ
ェーハ表面の汚染物を除去するために真空チェンバ内で
行なわれる。すべてのそのような輸送装置の目的は、ウ
ェーハをある処理位置から他の処理位置へ移動させるこ
とである。
真空チェンバ内の輸送装置は、ウェーハを水平に移動す
るシャトル及びウェーハを垂直に移動するための昇降機
を含み得る。そのようなシャトル及び昇降機の動作は、
ウェーハをシャトルから昇降機へ又は昇降機からシャト
ルへ繰出するために秩序づけられなければならない。ウ
ェーハ処理装置の効率及び出力量を増加させるために、
スパッタ装置が、しはしは多数のウェーハを同時に処理
すべく設計される。そのような多数のウェーハの装置は
、ウェーハが処理されるべき内部ステーションを妨害せ
ずにシャトルが通過することをしばしば必要とする。
るシャトル及びウェーハを垂直に移動するための昇降機
を含み得る。そのようなシャトル及び昇降機の動作は、
ウェーハをシャトルから昇降機へ又は昇降機からシャト
ルへ繰出するために秩序づけられなければならない。ウ
ェーハ処理装置の効率及び出力量を増加させるために、
スパッタ装置が、しはしは多数のウェーハを同時に処理
すべく設計される。そのような多数のウェーハの装置は
、ウェーハが処理されるべき内部ステーションを妨害せ
ずにシャトルが通過することをしばしば必要とする。
ウェーハをトラックに沿って水平位１ａで通過させるシ
ャトルが、ウェーハ金シャトルからシャトルの中心部の
穴を通して昇降する昇降機とともにしばしば用いられる
。これらの輸送装置は、昇降機が上方にある間シャトル
が移動できないという不利な点を有する。昇降機がウェ
ーハをシャトルまで戻しシャトルの中心部から引込んだ
後にのみ、シャトルは移動することができる。
ャトルが、ウェーハ金シャトルからシャトルの中心部の
穴を通して昇降する昇降機とともにしばしば用いられる
。これらの輸送装置は、昇降機が上方にある間シャトル
が移動できないという不利な点を有する。昇降機がウェ
ーハをシャトルまで戻しシャトルの中心部から引込んだ
後にのみ、シャトルは移動することができる。
そこで、本発明の目的は、被加工物をシャトルから昇降
するのに適した昇降機及びシャトルを説明して、昇降機
が上方位置におる間にシャトルが移動するのを可能にし
、そのような装置を簡単で丈夫で且つ製造上安価にし、
更に常にウェーハのための固定支持全もたらすことであ
る。
するのに適した昇降機及びシャトルを説明して、昇降機
が上方位置におる間にシャトルが移動するのを可能にし
、そのような装置を簡単で丈夫で且つ製造上安価にし、
更に常にウェーハのための固定支持全もたらすことであ
る。
発明の概要
シャトルウェーハ運搬器は、従来技術のように中心部で
穴を有して構成される。ウェーッ・運搬器の片側は開か
れ、それによって、シャトルウェーハ運搬器内の通路を
Ｃ字形状で形成する。昇降機は片持ち梁の軸を有する。
穴を有して構成される。ウェーッ・運搬器の片側は開か
れ、それによって、シャトルウェーハ運搬器内の通路を
Ｃ字形状で形成する。昇降機は片持ち梁の軸を有する。
ウェーハと接触するための受台はウェーハの下に中心づ
けられ、昇降軸の最下部はシャトルの外側の点の玉にあ
る。軸の接続部は、ウェーハが昇降するときウェーハ運
搬器内の通路全通過する。軸の昇降部はシャトルの外側
にあるので、シャトルは、昇降機に関して上方位置で移
動できる。ウェーッ・を昇降機上で保持するための受台
は、水平に対しである角度で上方に突出するアームを備
えており、それによってウェーハを受台へ制限する。
けられ、昇降軸の最下部はシャトルの外側の点の玉にあ
る。軸の接続部は、ウェーハが昇降するときウェーハ運
搬器内の通路全通過する。軸の昇降部はシャトルの外側
にあるので、シャトルは、昇降機に関して上方位置で移
動できる。ウェーッ・を昇降機上で保持するための受台
は、水平に対しである角度で上方に突出するアームを備
えており、それによってウェーハを受台へ制限する。
シャトルは、チェンバの外部から電磁継手によって移動
する。本発明は、第１磁石を含む。第１磁石は、処理チ
ェンバの外側に設置され、磁石をチェンバの壁に平行で
水平に移動せしめるあらゆる手段によって取付けられる
０第２磁石が、処理チェンバの内側で第１磁石に隣接し
て、引力が第１磁石と第２磁石との間に存在するように
整列して設置される。第２磁石は、一対の平行な輸送レ
ールに剛に固定される。その輸送レールは、ウェーハ支
持アームを支持する。各輸送レールは、ベアリング手段
によってガイドレールへ接続する。
する。本発明は、第１磁石を含む。第１磁石は、処理チ
ェンバの外側に設置され、磁石をチェンバの壁に平行で
水平に移動せしめるあらゆる手段によって取付けられる
０第２磁石が、処理チェンバの内側で第１磁石に隣接し
て、引力が第１磁石と第２磁石との間に存在するように
整列して設置される。第２磁石は、一対の平行な輸送レ
ールに剛に固定される。その輸送レールは、ウェーハ支
持アームを支持する。各輸送レールは、ベアリング手段
によってガイドレールへ接続する。
ガイドレールは、輸送レールが水平面で第１磁石の移動
に応じて移動するのを可能にする。第１磁石は、第２磁
石？その移動に追従せしめる。
に応じて移動するのを可能にする。第１磁石は、第２磁
石？その移動に追従せしめる。
これらの及び他の本発明の構成上及び動作上の特徴は、
好適実施例及び変形例を”ｉｌＮのない例によって説明
する図面を参照して、以下で示す詳細な記載からより明
らかとなるであろう。
好適実施例及び変形例を”ｉｌＮのない例によって説明
する図面を参照して、以下で示す詳細な記載からより明
らかとなるであろう。
好適実施例の説明
図面を参照して、符号が種々の図を通じて部品を示すた
めに用いられており、第１図で本発明の環境全体が図示
されて込る。例えば、図示の環境は、半導体ウェーハを
コーティングするためのスパッタコーティング装置であ
る。第１図で、積載（ｌｏａｄｉｎｇ） チェンバ１、
入゛路又は移送積載固定（ｌｏａｄｌｏｃｋ）チェンバ
２、処理チェンバ３、出路積載固定又は移送チェンバ４
、並びに荷下しくｕｎｌｏａｄｉｎｇ）チェンバ５が、
図示されている。
めに用いられており、第１図で本発明の環境全体が図示
されて込る。例えば、図示の環境は、半導体ウェーハを
コーティングするためのスパッタコーティング装置であ
る。第１図で、積載（ｌｏａｄｉｎｇ） チェンバ１、
入゛路又は移送積載固定（ｌｏａｄｌｏｃｋ）チェンバ
２、処理チェンバ３、出路積載固定又は移送チェンバ４
、並びに荷下しくｕｎｌｏａｄｉｎｇ）チェンバ５が、
図示されている。
チェンバ１は、可動気密ドアを有する供給開口金有する
。チェンバ５は、可動気密ドアを有する除去開口を有す
る。
。チェンバ５は、可動気密ドアを有する除去開口を有す
る。
２つの処理ステーションのみが第１図で示されているが
、２以上であってもよい。例えば、あるメッキ装置でＲ
Ｆエツチング、１以上の型のスパッタリング及びアニー
リングを含むことは、都合がよい。
、２以上であってもよい。例えば、あるメッキ装置でＲ
Ｆエツチング、１以上の型のスパッタリング及びアニー
リングを含むことは、都合がよい。
カセット７内の半導体ウェーハ６が、ロードドア８を通
して挿入され、ドアが閉じた後に昇降機９上に配置され
る。第１の水平往復シャトル１０が、チェンバ２内の図
示の位置からチェンバｌ内の位置へ左方へ移動可、能′
である。そこでシャトル１０は特定のウェーハの下方に
挿入され、昇降機９は第１シヤトル１０上にウェーハを
置くのに十分に下げられる。次にシャトル１０は第２図
で示す位置まで右方へ移動し、その時昇降機受台１１が
上方に移動してウェー・・全シャトル１０より上に持ち
上げる。
して挿入され、ドアが閉じた後に昇降機９上に配置され
る。第１の水平往復シャトル１０が、チェンバ２内の図
示の位置からチェンバｌ内の位置へ左方へ移動可、能′
である。そこでシャトル１０は特定のウェーハの下方に
挿入され、昇降機９は第１シヤトル１０上にウェーハを
置くのに十分に下げられる。次にシャトル１０は第２図
で示す位置まで右方へ移動し、その時昇降機受台１１が
上方に移動してウェー・・全シャトル１０より上に持ち
上げる。
次に、シャトル１０は左方へと再びチェンバ１内に移動
し、そして昇降機受台１１はチェンバ３の底部の左方区
画内へと下方へ下げられる。次に、バルブ１２が、環状
リム１３に対して真空気密を形成すべく下けられる。昇
降機受台１１は、下方に移動するとき、ウェーハを第２
シヤトル１４上に置く。シャトル１４は、３本又はそれ
以上の水平に間隔を置いた突出部材１５、或いはウェー
ッ・を運搬するためのウェーハ運搬器を有する。
し、そして昇降機受台１１はチェンバ３の底部の左方区
画内へと下方へ下げられる。次に、バルブ１２が、環状
リム１３に対して真空気密を形成すべく下けられる。昇
降機受台１１は、下方に移動するとき、ウェーハを第２
シヤトル１４上に置く。シャトル１４は、３本又はそれ
以上の水平に間隔を置いた突出部材１５、或いはウェー
ッ・を運搬するためのウェーハ運搬器を有する。
図示しない手段が、シャトルｌＯ及び１４を水平に前後
に移動させるために設けられる。磁石がチェンバの外側
に取シ付けられた磁気駆動手段のような、前後運動を付
課するためのすべての在来の手段が、前後に駆動してシ
ャトル上の磁石に磁気的に結合し、それによシシャトル
は外部の磁石の運動に従う。一つのそのような駆動が、
１９８２年５月２４日出願の米国特許出願第３８１，
０２２号、「ウェーハ輸送装置」で図示されており、そ
の開示は本出願で関連して組み入れられる。シャトルは
片持梁方式でチェンバの片側の壁土の水平ガイド棒上に
取シ付けられ、突出部材１５の開放端はそのような開放
端を通る受台支持部材の自由な通路のためにガイド棒か
ら離れて向いている。
に移動させるために設けられる。磁石がチェンバの外側
に取シ付けられた磁気駆動手段のような、前後運動を付
課するためのすべての在来の手段が、前後に駆動してシ
ャトル上の磁石に磁気的に結合し、それによシシャトル
は外部の磁石の運動に従う。一つのそのような駆動が、
１９８２年５月２４日出願の米国特許出願第３８１，
０２２号、「ウェーハ輸送装置」で図示されており、そ
の開示は本出願で関連して組み入れられる。シャトルは
片持梁方式でチェンバの片側の壁土の水平ガイド棒上に
取シ付けられ、突出部材１５の開放端はそのような開放
端を通る受台支持部材の自由な通路のためにガイド棒か
ら離れて向いている。
シャトルの運動は、以下の通りである。シーヤトル１４
は、第１図で左方へ移動して゛ウェーハ６を受け取る。
は、第１図で左方へ移動して゛ウェーハ６を受け取る。
次にシャトル１４は、右方へ第１処理ステーシヨンまで
移動する。次にウェーハは、ウェーハ受台１７上に載せ
られて処理位＠まで上昇させられる。次にシャトル１４
は「駐車」位置まで左方へ部分的に戻って移動し、そこ
で突出部材１５は処理ステーションから最小限のメッキ
を受けるであろう。ウェーハの処理が第１ステーシヨン
で完了した後、シャトル１４は左方へ完全に戻る。次に
第１ウエーハは左方からの突出部材１５まで下けられ、
新しいウェーハが最も左の突出部材１５上に配置される
。次のサイクルで第１ウエーハは第２処理ステーシヨン
まで移動するが、第２ウエーハは第１処理ステーシヨン
まで移動する。
移動する。次にウェーハは、ウェーハ受台１７上に載せ
られて処理位＠まで上昇させられる。次にシャトル１４
は「駐車」位置まで左方へ部分的に戻って移動し、そこ
で突出部材１５は処理ステーションから最小限のメッキ
を受けるであろう。ウェーハの処理が第１ステーシヨン
で完了した後、シャトル１４は左方へ完全に戻る。次に
第１ウエーハは左方からの突出部材１５まで下けられ、
新しいウェーハが最も左の突出部材１５上に配置される
。次のサイクルで第１ウエーハは第２処理ステーシヨン
まで移動するが、第２ウエーハは第１処理ステーシヨン
まで移動する。
第２図は、シャトル１０の平面図であり、昇降機受台１
１を示す。昇降機受台１１の上方端は、水平に連なる４
本の突出アームととも罠図示される０ 第３図は、シャトル１４上のウェーハ運搬器１５の一つ
及び昇降機受台１７を示す。昇降機受台１７は、昇降機
受台１１とわずかに異なる形状であり、突出アーム１６
を保持する。
１を示す。昇降機受台１１の上方端は、水平に連なる４
本の突出アームととも罠図示される０ 第３図は、シャトル１４上のウェーハ運搬器１５の一つ
及び昇降機受台１７を示す。昇降機受台１７は、昇降機
受台１１とわずかに異なる形状であり、突出アーム１６
を保持する。
突出アーム１６は最小限３本でなければならないが、第
２図及び第３図で図示されるように４本、５本又はそれ
以上であってもよ−。突出アームは、堅いワイヤ又は細
い棒であってもよい。小さいバー、シム及び管もまた、
適切である。高温を伴わない他の環境で、プラスチック
、ゴム又は他の物質が、突出アームのために用いられて
もよい。１個又はそれ以上の昇降機受台１１及び１７が
上昇するときシャトル１４が水平に移動するために、こ
れらの昇降機は、第４図で示されるオフセット配列によ
って駆動される。第４図は、例えば、第１図で右側の昇
降機を通る４−４線上に沿っている。このように、昇降
棒２０、オフセット又は水平棒２１及び垂直棒２２があ
る。しかしな如ら、棒以外の他の形状が、用いられても
よい。棒２０．２１及び２２は、第４図で示すように直
角で取り付けられてもよく、或いは直角かられずかにず
れた角度で取り付けられてもよいａ１不の８字形又はく
の字形の片持梁を第４図で示すように３本の棒２０．２
１又は２２の代りに全体として用いることは、等価であ
ると考えられる。昇降棒２０は、気密手段３０を通過し
て始動装置へ通じる。始動装置は、空気式又は電気によ
るものであってもよい。好適実施例で、積載チェンバ及
び未積載チェンバの昇降機は、電気ステッピングモータ
によって始動して漸増垂直段階をもたらす。気密手段３
゜は、０リング、ベローズ又は他のそのような装置であ
ってもよい。
２図及び第３図で図示されるように４本、５本又はそれ
以上であってもよ−。突出アームは、堅いワイヤ又は細
い棒であってもよい。小さいバー、シム及び管もまた、
適切である。高温を伴わない他の環境で、プラスチック
、ゴム又は他の物質が、突出アームのために用いられて
もよい。１個又はそれ以上の昇降機受台１１及び１７が
上昇するときシャトル１４が水平に移動するために、こ
れらの昇降機は、第４図で示されるオフセット配列によ
って駆動される。第４図は、例えば、第１図で右側の昇
降機を通る４−４線上に沿っている。このように、昇降
棒２０、オフセット又は水平棒２１及び垂直棒２２があ
る。しかしな如ら、棒以外の他の形状が、用いられても
よい。棒２０．２１及び２２は、第４図で示すように直
角で取り付けられてもよく、或いは直角かられずかにず
れた角度で取り付けられてもよいａ１不の８字形又はく
の字形の片持梁を第４図で示すように３本の棒２０．２
１又は２２の代りに全体として用いることは、等価であ
ると考えられる。昇降棒２０は、気密手段３０を通過し
て始動装置へ通じる。始動装置は、空気式又は電気によ
るものであってもよい。好適実施例で、積載チェンバ及
び未積載チェンバの昇降機は、電気ステッピングモータ
によって始動して漸増垂直段階をもたらす。気密手段３
゜は、０リング、ベローズ又は他のそのような装置であ
ってもよい。
受台１１及び１７は、ウェーハを水平に制限する凹部２
４及び２６を用いて形成され得る。受台１１及び１７内
の入路２８が、受台を通して突出アームを通過させる手
段金もたらす一方、ウェーハのだめの支持？もたらす。
４及び２６を用いて形成され得る。受台１１及び１７内
の入路２８が、受台を通して突出アームを通過させる手
段金もたらす一方、ウェーハのだめの支持？もたらす。
突出アーム１６は、昇降機受台１１及び１７にほぼ等し
込間隔で接合する。第５図で示すように、突出アームは
、設置ビン３ｏ内に取ジ付けられる。
込間隔で接合する。第５図で示すように、突出アームは
、設置ビン３ｏ内に取ジ付けられる。
設置ピンは、ソケット３２内に配置されて止めネジ３４
によって保持され、それによって突出アームがウェーハ
から適切な間隔で適所に調整されるのを可能にする。受
台１１又は１７はまた除去されて、突出アーム１６が直
接垂直棒２２へ取ジ付けられてもよい。他の変形実施例
で、突出アーム１６は除去されて、ウェーハが直接受台
１１又は１７上に載せられてもよい。
によって保持され、それによって突出アームがウェーハ
から適切な間隔で適所に調整されるのを可能にする。受
台１１又は１７はまた除去されて、突出アーム１６が直
接垂直棒２２へ取ジ付けられてもよい。他の変形実施例
で、突出アーム１６は除去されて、ウェーハが直接受台
１１又は１７上に載せられてもよい。
第６図乃至第８図で示すＲＦエツチングに特に適切な他
の実施例で、受台は、ウェーハよυ大きく作られてウェ
ーハの端部に沿って電気的接触を確実にしてもよい。こ
のように突出部材１５内の開口は、より大きく作られる
であろう。受台ではなく突出部材が、少なくとも３本の
突出アーム４６を保持して設置ビン４０内に配置するで
おろう。
の実施例で、受台は、ウェーハよυ大きく作られてウェ
ーハの端部に沿って電気的接触を確実にしてもよい。こ
のように突出部材１５内の開口は、より大きく作られる
であろう。受台ではなく突出部材が、少なくとも３本の
突出アーム４６を保持して設置ビン４０内に配置するで
おろう。
突出部材は、設置ピン４０が止めネジ４４を用いて保持
される穴４２を有する。受台１７は、くぼみ５０又はウ
ェーハを保持するためのリップ５２を有する。受台１７
は、入路４８を有して、突出アーム４６の通過を可能に
する。
される穴４２を有する。受台１７は、くぼみ５０又はウ
ェーハを保持するためのリップ５２を有する。受台１７
は、入路４８を有して、突出アーム４６の通過を可能に
する。
真空ポンプ手段−が、積載チェンバ１、処理チェンバ３
及び未積載チェンバ５を別々に吸引するために設けられ
る。
及び未積載チェンバ５を別々に吸引するために設けられ
る。
かくして本発明は、昇降機が上方位置にある間にシャト
ルが移動するのを可能にし、最小限の接触によシウエー
ハのための固定支持金もたらし、丈夫で簡単で且つ製造
上安価である。
ルが移動するのを可能にし、最小限の接触によシウエー
ハのための固定支持金もたらし、丈夫で簡単で且つ製造
上安価である。
本発明は、好適実施例に制限されるものではなく、特許
請求の範囲で要約される本発明の特性、保護範囲を離れ
ることなく、構成要素への機械的及び電気的に等価の変
形から成る変更及び改良が行なわれてもよい。
請求の範囲で要約される本発明の特性、保護範囲を離れ
ることなく、構成要素への機械的及び電気的に等価の変
形から成る変更及び改良が行なわれてもよい。
第１図は、本発明の環境全体を示すウェーハコーティン
グ装置の概略断面図である。 第２図は、第１シヤトル及び第２昇降機の平面図である
。 第３図は、第２昇降機を有する第２シヤトル上のウェー
ハ運搬器の平面図である。 第４図は、第２昇降機の側面図である。 第５図は、第４図の５−５線に沿った、昇降機の受台及
び突出アームを通る断面図である。 第６図は、突出部材及び昇降機受台の他の実施例を示す
平面図である。 第７図及び第８図は、昇降機受台のそれぞれ他の実施例
を示す断面図である。 〔主要符号〕 １−一積載チェンバ ２−一人路又は移送積載固定チェ
ンバ３−一如理チェンバ ４−一山洛積載固定又は移送
チェンバ５−一荷下しチェンバ ６一一牛導体ウェーハ
７−−カセツト ８−一ロードドア ９−−昇降機 １０−一第１の水平往復シャトル１１−
一昇降機受台 １２−一バルブ １３−−環状リム １４−一第２シャトル１５−−突出
部材 １６．４６一一突出アーム１７−−昇降機受台
２０−一昇降陣 ２１−−水平俸 ２２−一垂直俸 ２４．２６一−四部 ２８．４８−−ス路特許出願人
パリアン・アソシエイツ・インコーホレイテッド 図面の浄書（内容に変更なし） ＦＩＧ、６ 昭和６０年６月１３日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、 事件の表示 昭和６０年 特 許 願 第１０１
．６４７号２、 発明の名称 ウェーハ昇降及び保持装
置３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 バ′リアン・アソシエイツ・インコーホレイテ
ッド４、代理人 住 所 東京都港区西新橋１丁目６番２１号大和銀行虎
ノ門ビルディング ６、 補正の対象 図 面 （全図）
グ装置の概略断面図である。 第２図は、第１シヤトル及び第２昇降機の平面図である
。 第３図は、第２昇降機を有する第２シヤトル上のウェー
ハ運搬器の平面図である。 第４図は、第２昇降機の側面図である。 第５図は、第４図の５−５線に沿った、昇降機の受台及
び突出アームを通る断面図である。 第６図は、突出部材及び昇降機受台の他の実施例を示す
平面図である。 第７図及び第８図は、昇降機受台のそれぞれ他の実施例
を示す断面図である。 〔主要符号〕 １−一積載チェンバ ２−一人路又は移送積載固定チェ
ンバ３−一如理チェンバ ４−一山洛積載固定又は移送
チェンバ５−一荷下しチェンバ ６一一牛導体ウェーハ
７−−カセツト ８−一ロードドア ９−−昇降機 １０−一第１の水平往復シャトル１１−
一昇降機受台 １２−一バルブ １３−−環状リム １４−一第２シャトル１５−−突出
部材 １６．４６一一突出アーム１７−−昇降機受台
２０−一昇降陣 ２１−−水平俸 ２２−一垂直俸 ２４．２６一−四部 ２８．４８−−ス路特許出願人
パリアン・アソシエイツ・インコーホレイテッド 図面の浄書（内容に変更なし） ＦＩＧ、６ 昭和６０年６月１３日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、 事件の表示 昭和６０年 特 許 願 第１０１
．６４７号２、 発明の名称 ウェーハ昇降及び保持装
置３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 バ′リアン・アソシエイツ・インコーホレイテ
ッド４、代理人 住 所 東京都港区西新橋１丁目６番２１号大和銀行虎
ノ門ビルディング ６、 補正の対象 図 面 （全図）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 被加工物シャトルと共働して動作する被加工物昇
降装置であって： 最上部及び底部を有する昇降機受台； 最上端及び底端を有する細長い垂直支持部材であって、
前記受台が前記垂直支持部材の前記最上端に前記受台の
前記底部で取シ付けられているところの垂直支持部材； 第１端及び第２端を有する細長い水平支持部材であって
、前記細長い垂直支持部材が前記水平支持部材の前記第
１端に前記垂直支持部材の前記底端で取り付けられてい
るところの水平支持部材； 最上端及び底端を有する細長い昇降支持部材であって、
前記水平支持部材は前記昇降支持部材の前記最上端に前
記水平支持部材の前記第２端で取シ付けられているとこ
ろの昇降支持部材；並びに 前記昇降支持部材の前記底端に取シ付けられた始動手段
； から成るところの装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載された装置であって： 前記垂直支持部材及び前記水平支持部材は、互いに直角
に取シ付けられ、 前記水平支持部材及び前記昇降支持部材は、互いに直角
に取９付けられている、 ところの装置。 ３、被加工物保持装置であって； 被加工物受台；並びに 前記受台に取シ付けられた少なくとも３本の突出アーム
であって、前記突出アームは、はぼ等しｂ間隔を置かれ
゛〔、水平に対しである角度で取り付けられ、前記被加
工物を水平に制限するところの突出アーム； から成るところの装置。 ４、被加工物シャトルと共働して動作する被加１物昇降
装置でおって： 最上部及び底部を有する昇降機受台； 最上端及び底端を有する細長い垂直支持部材であって、
前記受台が前記垂直支持部材の前記最上端に前記受台の
前記底端で取り付けられているところの垂直支持部材； 第１端及び第２端を有する細長い水平支持部材であって
、前記細長い垂直支持部材が前記水平支持部材の前記ｌ
＠１端に前記垂直支持部材の前記底端で取ル付けられて
いるところの水平支持部材； 最上端及び底端を有する細長い昇降支持部材であって、
前記水平支持部材は前記昇降支持部材の前記最上端に前
記水平支持部材の前記第２端で取シ付けられているとこ
ろの昇降支持部材； 前記昇降支持手段の前記底端に取り付けられた始動手段
；運びに 前記受台に取ジ付けられた少なくとも３本の突出アーム
であって、前記突出アームはほぼ等しい間隔を置かれて
水平に対しである角度で取り付けられ、前記被加工物を
水平に制限するところの突出アーム； から成るところの装置。 ５、特許請求の範囲第４項に記載された装置であって： 前記細長い垂直支持部材及び前記細長い水平支持部材は
、互めに直角に取り付けられ、前記水平支持部材及び前
記細長い昇降支持部材は、互いに直角に取シ付けられて
いる、ところの装置。 ６、被加工物操作装置であって： 最上部及び底部を有する昇降機受台； 最上端及び底端を有する細長い垂直支持部材であって、
前記受台が前記垂直支持部材の前記最上端に前記受台の
前記底部で取り付けられているところの垂直支持部材； 第１端及び第２端を有する細長い水平支持部材であって
、前記細長い垂直支持部材が前記水平支持部材の前記第
１端に前記垂直支持部材の前記底端で取り付けられてい
るところの水平支持部材； 最上端及び底端を有する細長い昇降支持部材であって、
前記水平支持部材は前記昇降支持部材の前記最上端に前
記水平支持部材の前記第２端で取り付けられているとこ
ろの昇降支持部材； 前記昇降支持部材の前記底端に取り付けられた始動手段
； 前記受台に取り付けられた少なくとも３本の突出アーム
であって、前記突出アームはほぼ等しい間隔を置かれて
水平に対しである角度で取り付けられ、前記被加工物を
水平に制限するところの突出アーム； 中心部開口及び片側に開いた通路を有するシャトルウェ
ーハ運搬器であって、前記運搬器が配向されて、それに
より前記被加工物が上昇しているとき前記水平支持部材
は前記通路を通過可能でおるところの運搬器；並びに前
記シャトルウェーハ運搬器を移動させるための手段； から成るところの装置。 ７、 特許請求の範囲第６項に記載された装置であって
： 前記シャトルウェーハ運搬器は前記ウェーハを水平に制
限する凹部を有するところの装置０ ８、特許請求の範囲第６項に記載された装置であって： 前記シャトルウェーハ運搬器は前記シャトルを通る前記
突出アームの通路のだめの入路を有するところの装置。 ９、被加工物シャトルと共働して動作する被加工物昇降
装置でおって： 昇降機受台； 細長い昇降支持部材； 前記受台を前記昇降支持部材からオフセットするための
手段； 前記支持部材を始動させるための手段；並びに 前記受台に取り付けられた少なくとも３本の突出アーム
でおって、前記突出アームはほぼ等しい間隔を置かれて
水平に対しである角度で取り付けられ、前記被加工物を
水平に制限するところの突出アー ム； かう成るところの装置。 １０、被加工物操作装置であって： 昇降機受台； 細長い昇降支持部材； 前記受台を前記昇降支持部材からオフセットするための
手段； 前記支持部材を始動させるための手段；前記受台に取シ
付けられた少なくとも３本の突出アームであって、前記
突出アー゛ムはほぼ等しい間隔を置かれて水平に対しで
ある角度で取シ付けられ、前記被加工物を水平に制限す
るところの突出アーム； 中心部開口及び片側に開いた通路を有するシャトルウェ
ー７１運搬器であって、前記運搬器が配向されて、それ
により前記被加工物が上昇しているとき前記水平支持部
材は前記通路を通過可能であるところの運搬器：並びに
前記シャトルウェーハ運搬器を移動させるための手段； から成るところの装置。 １１、被加工物操作装置であって： 昇降機受台； 最上端及び底端を有する片持梁昇降支持部材であって、
前記受台は前記支持部材に前記受台の前記底端及び前記
昇降支持部材の前記最上部で取り付けられているところ
の支持部材； 前記支持部材を始動させるための手段；前記受台に取り
付けられた少なくとも３本の突出アームでおって、前記
突出アームはほぼ等しい間隔を置かれて水平に対しであ
る角度で取シ付けられ、前記被加工物を水平に制限する
ところの突出アーム； 中心部開口及び片側に開いた通路を有するシャトルウェ
ーハ運搬器であって、前記運搬器が配向されて、それに
より前記被加工物が上昇しているとき前記水平支持部材
は前記通路を通過可能であるところの運搬器：並びに前
記シャトルウェーハ運搬器を移動させる念めの手段； から成るところの装置。 １２、被加工物シャトルと共働して動作する被加工物昇
降装置であって： 最上端及び底端全有する細長い垂直支持部材； 第１端及び第２端を有する細長い水平支持部材であって
、前記細長い垂直支持部材は前記水平支持部材の前記第
１端に前記垂直支持部材の前記底端で取り付けられてい
るところの水平支持部材； 最上端及び底端を有する軸長い昇降支持部材でるって、
前記水平支持部材は前記昇降支持部材の前記最上端に前
記水平支持部材の前記第２端で）＠、り付けられている
ところの昇降支持部材； 前記昇降支持部材の前記底端に数カ付けられた始動手段
； 前記細長い垂直支持部材の前記最上端に取シ付けられた
少なくとも３本の突出アームであって、前記突出アーム
はほぼ等しｂ間隔を置かれて水平に対しである角度で取
り付けられ、前記被加工物を水平に制限するところの突
出アーム： 中心部開口及び片側に開いた通路を有するシャトルウェ
ーハ運搬器であって、前記運搬器が配向されて、それに
よｐ前記被加工物が上昇しているとき前記水平支持部材
は前記通路を通過可能でおるところの運搬器：並びに前
記シャトルウェーハ運搬器を移動させるための手段； から成るところの装置。 １３、被加工物シャトルと共働して動作する被加工物昇
降装置でおって： 最上端及び底端を有する細長い垂直支持部材； 第１端及び第２端を有する細長い水平支持部材であって
、前記細長い垂直支持部材は前記水平支持部材の前記第
１端に前記垂直支持部材の前記底端で取り付けられてい
るところの水平支持部材； 最上端及び底端を有する細長い昇降支持部材であって、
前記水平支持部材は前記昇降支持部材の前記蚊上端に前
記水平支持部材の前記第２端で取り付けられているとこ
ろの昇降支持部材； 前記昇降支持部材の前記底端に取り付けられた始動手段
；並びに 前記垂直支持部材に取り付けられた少なくとも３本の突
出アームであって、前６己突出アームはほぼ等しい間隔
を置かれて水平に対しである角度で堆り付けられ、前記
被加工物を水平に制限するところの突出アーム； から成るところの装置。 １４、被加工物操作装置であって： 最上端及び底端を有する細長い垂直支持部材； 第１端及び第２端を有する細長い水平支持部材であって
、前記細長い垂直支持部材は前記水平支持部材の前記第
１端に前記垂直支持部材の前記底端で取り付けられてい
るところの水平支持部材； 最上端及び底端を有する細長い昇降支持部材であって、
前記水平支持部材は前記昇降支持部材の前記最上端に前
記水平支持部材の前記第２端で取り付けられているとこ
ろの昇降支持部材； 前記昇降支持部材の前記底端に取り付けられた始動手段
； 前記垂直支持部材に取り付けられた少なくとも３本の突
出アームであって、前記突出アームはほぼ等しい間隔を
置かれて水平に対しである角度で取り付けられ、前記被
加工物を水平に制限するところの突出アーム； 中心部開口及び片側に開いた通路を有するシャトルウェ
ーハ運搬器であって、前記運搬器が配向されて、それに
より前記被加工物が上昇しているとき前記水平支持部材
は前記通路を通過用能であるところの運搬器；並びに前
記シャトルウェーハ運搬器を移動させるための手段； から成るところの装置。 １５、％許饋求の範囲第１４項に記載された装置であっ
て： 前記シャトルウェーッ・運搬器は前記ウェーハを水平に
制限する凹部全有するところの装置。 １６、％許請求の範囲第１４項に記載された装置であっ
て： 前記シャトルウェーッ・運搬器は前記シャトルを通る前
記突出アームの通路のための入路を有するところの装置
。 １７、被加工物シャトルと共働して動作する被加工物昇
降装置であって： 細長いオフセット昇降支持部材； 前記支持部材を始動させるための手段；並びに 前記支持部材に取り付けられた少なくとも３本の突出ア
ームであって、前記突出アームはほぼ等しい間隔上置か
れて水平に対しである角度で取り付けられ、前記被加工
物を水平に制限するところの突出アーム； から成るところの装置。 １８、被加工物操作装置であって： 最上端及び底端全有する細長いオフセット昇降支持部材
； 前記支持部材を始動させるための手段；前記支持部材の
前記最上端に取り付けられた少なくとも３本の突出アー
ムであって、前記突出アームはほぼ等しい間隔を置かれ
て水平に対しである角度で取υ付けられ、前記被加工物
を水平に制限するところの突出アーム；中心部開口及び
片側に開いた通路を有するシャトルウェーッ・運搬器で
あって、前記運搬器が配向されて、前記被加工物が上昇
しているとき前記水平支持部材は前記通路を通過可能で
あるところの運搬器：並びに 前記シャトルウェーハ運搬器を移動させるための手段； から成るところの装置。 １９、被加工物操作装置であって： 最上端及び底端を有する片持梁昇降支持部材； 前記支持部材を始動させるための手段：前記支持部材の
前記最上端に取り付けられた少なくとも３本の突出アー
ムであって、前記突出アームはほぼ等しい間隔を置かれ
て水平に対しである角度で取り付けられ、前記被加工物
を水平に制限するところの突出アーム；中心部開口及び
片側に開いた通路を有するシャトルウェーハ運搬器であ
って、前記運搬器が配向されて、前記被加工物が上昇し
ているとき前記水平支持部材は前記通路を通過可能であ
るところの運搬器；並びに 前記シャトルウェーハ運搬器を移動させるための手段； から成るところの装置。 ２０、被加工物を処理するための装置であって：積載チ
ェンバ、入路積載固定チェンバ、処理チェンバ、出路積
載固定チェンバ、及び荷下しチェンバを形成し、前記チ
ェンバのすべてが各名称通りの目的で互いに隣接してい
るところ−の壁手段； カセットを支持するための前記積載チェンバ及び前記荷
下しチェンバの各々での昇降機であって、前記カセット
は一方全他方より上方に間隔を置いた水平配向で前記被
加工後保持するよう圧された昇降機−並びに 前記昇降機を漸増垂直段階で移動させるための手段； から成９、 前記積載チェンバ及び前記荷下しチェンバは、それぞれ
カセットを挿入するための供給開口及びカセットを除去
するための除去開口を有し、更に前記供給開口及び除去
開口全開いた９閉じたシするための可動気密ドアを有前
記積載固定チェンバは各々該積載固定チェンバを阪接す
る前記積載チェンバ及び前記荷下しチェンバと相互接続
する垂直開口を有し、 − 前記積載固定チェンバは各々壁手段を有し、該壁＋段は
前記処理チェンバ内に水平開口を形成して前記積載固定
チェンバと前記処理チェンバとの閾に被加工物を移送し
、 前記入路積載固定チェンバは前記入路積載固定チェンバ
から前記積載チェンバ内に水平に移動可能な被加工物保
持入路シャトルを有して、被加工物全保持に１個前記積
載チェンバ内のカセットから移動し、そのような被加工
物全前記入路積載回定チェンバ内へ前記入路積載固定チ
ェンバ内の前記水平関口より上に整列した位置へと移送
し、 ′ 前記出路積載固定チェンバは前記出路積載固定チェンバ
から前記荷下しチェンバ内に水平に移動可能な被加工物
保持出路シャトルを有して、被加工物を一度に１個前記
荷下しチェンバ内のカセット内へ挿入し、前記出路シャ
トルは前記出路積載回定チェンバ内に固定位置を有し、
前記固定位置は前記出路内の水平開口より上に整列され
ておｐｌ 前記処理チェンバ内の被加工物保持処理シャトルが少な
くとも１個の被加工物全保持し、前記水平開口よｐ下で
水平に後退及び前進運動をするようにされておシ、 前記処理チェンバは前記入路積載固定チェンバ内の水平
開口と整列した入路移送昇降機、及び前記出路積載固定
チェンバ内の水平開口と整列した出路移送昇降機’ｋＶ
し、前記輸送シャトルと前記入路及び出路シャトルとの
間でそれぞれ被加工物を移送し、 少なくとも１個の被加工物処理手段が前記処理シャトル
よシ上に取り付けられて被加工物ｔそこで処理し、且つ 前記処理チェンバ内の少なくとも１個の処理昇降機が前
記少なくとも１個の処理手段と整列し、前記輸送シャト
ルから上昇した位置まで移動して処理しそして前記処理
シャトルまで後退する、 ところの装置。 ２、特許請求の範囲第２０項に記載された装置であって
： 前記水平開口を形成する前記壁手段は、前記水平開口の
各々の周囲での円形気密面、前記入路及び出路積載固定
チェンバの各々内のディスクパルプ、前記ディスクパル
プの各々をそれぞれ入路又は出路シャトルよｐ上の位置
から前記円形気密面のそれぞれの位置と気密係合する位
置へ垂直に移動するための手段、を設け、それによって
前記入路及び出路シャトルがそれぞれの入路及び出路積
載固定チェンバの外側にあるとき、それぞれのディスク
パルプはそれぞれの気密面に対して閉じることが可能で
ある、 ところの装置。 ２２、被加工物操作装置であって： 最上部及び底部を有する昇降機受台； 最上端及び底端を有する細長い垂直支持部材であって、
前記受台は前記垂直支持部材の前記最上端に前記受台の
前記底部で取シ付けられているところの垂直支持部材； 第１端及び第２端を有する細長い水平支持部材であって
、前記細長い垂直支持部材は前記水平支持部材の前記第
１端に前記垂直支持部材の前記底端で取り付けられてい
るところの水平支持部材； 最上端及び底端を有する細長い昇降支持部材でるって、
前記水平支持部材は前記昇降支持部材の前記最上端に前
記水平支持部材の前記第２端で取り付けられているとこ
ろの昇降支持部材： 前記昇降支持部材の前記底端に取り付けられた始動手段
； 中心部開口及び片側に開いた通路ケ有するシャトルウェ
ーハ運搬器であって、前記運搬器が配向されて、前記被
加工物が上昇してｂるとき前記水平支持部材が前記通路
を通過可能であるところの運搬器； 前記シャトルウェーハ運搬器に取シ付けられた少なくと
も３本の突出アームであって、前記突出アームはほぼ等
しい間隔を置かれて前記被加工物を支持するように水平
に取り付けられた突出アーム：並びに 前記シャトルウェーハ運搬器を移動させるための手段； から成るところの装置。 ２、特許請求の範囲第２２項に記載された装置であって
： 前記受台は前記シャトル？通して前記突出アームの通路
のための入路を有するところの装置。 ２４、被加工物シャトルと共働して動作する被加工物昇
降装置であって： 昇降機受台： 細長い昇降支持部材； 前記受台を前記昇降支持部材からオフセットするための
手段； 前記支持部材を始動させるための手段；並びに 前記ウェーハ運搬器に取り付けられた少なくとも３本の
突出アームであって、前記突出アームはｔｌぼ等しい間
隔ｔｌ置かれて前記被加工物を支持するように水平に取
り付けられた突出アーム； から成るところの装置。 ２５、被加工物操作装置であって： 昇降機受台； 細長い昇降支持部材； 前記受台を前記昇降支持部材からオフセットするための
手段； 前記支持部材を始動させるための手段；中心部開口及び
片側に開いた通路を有するシャトルウェーハ運搬器であ
って、前記運搬器が配向されて、前記被加工物が上昇し
ているとき前記水平支持部材は前記通路を通過可能であ
るところの運搬器； 前記ウェーハ運搬器に取９付けられた少なくとも３本の
突出アームであって、前記突出アームはほぼ等しい間隔
を置かれて前記被加工物を支持するように水平に取り付
けられた突出アーム；並びに 前記シャトルウェーハの運搬器を移動させるための手段
； から成るところの装置。 ２６、被加工物操作装置であって： 昇降機受台； 最上端及び底端を有する片持梁昇降支持部材であって、
前記受台は前記支持部材に前記受台の底部及び前記昇降
支持部材の前記最上端で取り付けられているところの昇
降支持部材； 前記支持部材を始動させるための手段；中心部開口及び
片側に開いた通路、・ヲ有するシャトルウェーハ運搬器
であって、前記運搬器が配向されて、前記被加工物が上
昇しているとき前記水平支持部材は前記通路を通過可能
であるところの運搬器； 前記運搬器に取り付けられた少なくとも３本の突出アー
ムであって、前記突出アームはほぼ等しい間隔を置かれ
て前記被加工物を支持するように水平に取り付けられて
いるところの突出アーム；並びに 前記シャトルウェーハ運搬器を移動させるための手段； から成るところの装置。 ２７、被加工物操作装置、であって： 昇降機受台； 最上端及び底端を有する片持梁昇降支持部材であって、
前記受台は前記支持部材に前記受台の底部及び前記昇降
支持部材の前記最上端で取り付けられているところの昇
降支持部材； 前記支持部材を始動させるための手段；中心部開口及び
片側に開いた通路を有するシャトルウェーハ運搬器であ
って、前記運搬器が配向されて、前記被加工物が上昇し
ているとき前記水平支持部材は前記通路を通過可能であ
るところの運搬器； 前記ウェーハ運搬器に取り付けられた少なくとも３本の
突出アームであって、前記突出アームはほぼ等しい間隔
を置かれて前記被加工物を支持するように水平に取り付
けられているところの突出アーム；並びに 前記シャトルウェーハ運搬器を移動させるための手段； から成るところの装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US61176284A | 1984-05-18 | 1984-05-18 | |
| US611762 | 1984-05-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60261150A true JPS60261150A (ja) | 1985-12-24 |
| JPH0622261B2 JPH0622261B2 (ja) | 1994-03-23 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60101647A Expired - Lifetime JPH0622261B2 (ja) | 1984-05-18 | 1985-05-15 | ワ−クピ−ス取扱い装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JPH0622261B2 (ja) |
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| DE (1) | DE3516990A1 (ja) |
| FR (1) | FR2569168A1 (ja) |
| IT (1) | IT1184234B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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- 1985-05-15 JP JP60101647A patent/JPH0622261B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1985-05-15 IT IT20710/85A patent/IT1184234B/it active
- 1985-05-17 KR KR1019850003387A patent/KR850008324A/ko not_active Application Discontinuation
- 1985-05-17 CH CH2111/85A patent/CH668572A5/de not_active IP Right Cessation
- 1985-05-20 FR FR8507564A patent/FR2569168A1/fr active Pending
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