JPS60257561A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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JPS60257561A
JPS60257561A JP59115876A JP11587684A JPS60257561A JP S60257561 A JPS60257561 A JP S60257561A JP 59115876 A JP59115876 A JP 59115876A JP 11587684 A JP11587684 A JP 11587684A JP S60257561 A JPS60257561 A JP S60257561A
Authority
JP
Japan
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transistor
line
potential
channel
channel mos
Prior art date
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Pending
Application number
JP59115876A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Nakayama
武志 中山
Yasushi Terada
寺田 康
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP59115876A priority Critical patent/JPS60257561A/en
Publication of JPS60257561A publication Critical patent/JPS60257561A/en
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Abstract

PURPOSE:To read informations positively at high speed by forming a memory cell by an MOS transistor with two floating gates and connecting a bit line to the memory cell through a transistor for transfer. CONSTITUTION:N channel MOS transistors 12, 14 each connected in series with N channel and P channel MOS transistors 11, 13 with two floating gates Ga are formed, and bit lines 15, 16 are connected severally to a sense amplifier. A gate line 17 is grounded on reading, and potential VCG is applied to a gate line 18. Since the transistor 11 is brought to an ON state and the transistor 13 to an OFF state when an information ''0'' is stored, the potential of the bit line 15 is low, and the potential of the bit line 16 is high. When an information ''1'' is stored, these bit lines are brought to reverse potential. These potential is inputted to the sense amplifier, and ''0'' or ''1'' of informations stored in a memory cell is decided. Accordingly, the memory cell is decided by the potential difference of the bit lines 15, 16, thus positively reading informations at high speed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、半導体装置、特にEEPROMのメモリセ
ルに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a semiconductor device, and particularly to a memory cell of an EEPROM.

〔従来技術〕[Prior art]

従来のこの種の半導体装置を第1図によって説明する。 A conventional semiconductor device of this type will be explained with reference to FIG.

第1図において、1は浮遊ゲートを有するNチャネルM
O8)ランジスタである。2は前記NチャネルMO8)
ランジスク1の情報をビット線3に伝達するためのNチ
ャネルMO8)ランジスタである。ピント線3は図示し
ないセンス7ンブに接続されている。4は前記Nチャネ
ルMOSトランジスタ1の書込み、消去、読出しを制御
するコントロールグート線である。5は前記Nチャネル
MO8)ランジスタ2を制御するワード線である。
In FIG. 1, 1 is an N-channel M with a floating gate.
O8) is a transistor. 2 is the N-channel MO8)
This is an N-channel MO8) transistor for transmitting information on the transistor 1 to the bit line 3. The focus line 3 is connected to a sense tube (not shown). Reference numeral 4 denotes a control line for controlling writing, erasing, and reading of the N-channel MOS transistor 1. 5 is a word line that controls the transistor 2 of the N-channel MO8).

以上で1個のメモリセルが構成される。One memory cell is thus configured.

なお、第1図中のS、 D、 G、G、は各トランジス
タのソース、ドレイン、ゲート、浮遊ゲートをあられす
ものとする。
Note that S, D, G, and G in FIG. 1 represent the source, drain, gate, and floating gate of each transistor.

次に動作について説明する。Next, the operation will be explained.

ビット線3に高電圧VPPを印加するとともに、ワード
線5にVH= Vpp +V+h (V’+hはNチャ
ネルMOSトランジスタ2のしきい値電圧である)を印
加すると、浮遊ゲートG、を持つNチャネルMOS)ラ
ンジスタ1のドレインDの電位はVpp Icなる。こ
のとき、NチャネルMOSトランジスタ1のゲートGを
接地すると、NチャネルMO8’)ランジスタ1のドレ
インと浮遊ゲートGa0間にはN 拡散層(ドレインン
ー浮遊グー)G、、浮噌 遊ゲートG2−ゲートGの容
量性結合により、これ(□ らの容量比できまるある高
電圧vPが印加される。
When a high voltage VPP is applied to the bit line 3 and VH=Vpp +V+h (V'+h is the threshold voltage of the N-channel MOS transistor 2) to the word line 5, an N-channel MOS transistor with a floating gate G is applied. The potential of the drain D of the transistor 1 (MOS) is Vpp Ic. At this time, when the gate G of the N-channel MOS transistor 1 is grounded, an N diffusion layer (drain - floating gate) G, , floating gate G2 - gate G is formed between the drain of the N-channel MOS transistor 1 and the floating gate Ga0. Due to the capacitive coupling of , a certain high voltage vP determined by the capacitance ratio of these (□) is applied.

この高電圧vPによりN 拡散層−浮遊ブート01間の
酸化膜を通してトンネル電流が流れる。すなわち電子が
浮遊ケートGmからN+拡散層にトンネルし、浮遊ゲー
トG、に蓄積されていた電子がとり除かれること罠なる
This high voltage vP causes a tunnel current to flow through the oxide film between the N diffusion layer and the floating boot 01. In other words, electrons tunnel from the floating gate Gm to the N+ diffusion layer, and the electrons accumulated in the floating gate G are removed.

これにより、NチャネルMO8I−ランジスタ1のコン
トロールゲート線4からみたしきい値電圧は第3図の曲
線日から曲線Aのように低い方へ移動し、NチャネルM
OS)ランジスタ1はデプレッション型となる。この状
態をメモリが消去された状態とし、情報″0′が蓄積さ
れているとする。
As a result, the threshold voltage seen from the control gate line 4 of the N-channel MO8I-transistor 1 moves from the curve 1 in FIG.
OS) The transistor 1 becomes a depression type. It is assumed that this state is a state in which the memory is erased and information "0" is stored.

逆にビット線3を接地り、NチャネルMOS)ランジス
タ2をオン状態にするようワード線5に電圧を印加しN
チャネルMOS)ランジスタ1のドレイン電位なOv近
傍にし、同時にコントロールゲート線4にVPFを印加
すると、前記と同様な容量性結合によりNチャネルMO
Sトランジスタ1のドレインと浮遊グー)Ga間に高電
圧Vpが印1′ 加される。この高電圧vPによりN 拡散層−浮遊ブー
ト01間の酸化膜を通して、前記とは逆方向にトンネル
電流が流れ、すなわちN 拡散層から浮遊ゲートG、V
C,電子がトンネルし、浮遊ケートG、に電子が蓄積さ
れる。これにより、NチャネルMOSトランジスタ1の
コントロールゲート線4カ)らみたしきい値電圧は第3
図の曲線Aから曲線Bで示すように高い方へ移動し、二
ンノ・ンスメント型となる。この状態をメモリトランジ
スタが書込まれた状態とし、情報″′1″が蓄積され℃
いるとする。
Conversely, the bit line 3 is grounded and a voltage is applied to the word line 5 to turn on the N channel MOS transistor 2.
Channel MOS) When the drain potential of transistor 1 is set near Ov and VPF is applied to control gate line 4 at the same time, N-channel MOS
A high voltage Vp is applied between the drain of the S transistor 1 and the floating Ga. Due to this high voltage vP, a tunnel current flows in the opposite direction to the above through the oxide film between the N diffusion layer and the floating boot 01, that is, from the N diffusion layer to the floating gates G, V
C, electrons tunnel and accumulate in the floating cage G. As a result, the threshold voltage of the N-channel MOS transistor 1 as viewed from the control gate line 4 is
It moves higher as shown by curve A from curve B in the figure, and becomes a second-order type. This state is assumed to be the state in which the memory transistor is written, and information ``'1'' is accumulated.
Suppose there is.

次に読出し動作について説明する。Next, the read operation will be explained.

コントロールゲート線4およびNチャネルMOSトラン
ジスタ1のソースを接地し、ビット線3をある電位vR
にし、ワード線5を”H″レベルし、NチャネルMOS
)う/ラスタ2をオン状態Kjる。いま、たとえばNチ
ャネルMOS)ランジスタ1の浮遊グー) Gaに電子
が蓄積され、エンハンスメント型になっている場合、N
チャネルMO8)ランジスタ1はオフ状態であるためピ
ント線3の電位はほぼVlのまま保たれる。一方、Nチ
ャネルMOS)ランジスタ1の浮遊ゲートG。
The sources of the control gate line 4 and the N-channel MOS transistor 1 are grounded, and the bit line 3 is connected to a certain potential vR.
and set the word line 5 to “H” level to turn the N-channel MOS
) U/Raster 2 is turned on. Now, for example, if electrons are accumulated in Ga (N-channel MOS) transistor 1 and it becomes an enhancement type, then N
Channel MO8) Since the transistor 1 is in the off state, the potential of the focus line 3 is maintained at approximately Vl. On the other hand, floating gate G of transistor 1 (N-channel MOS).

の電子が除去されて、デプレッション型になっている場
合、NチャネルMOS)ランラスタ11オン状態である
ため電流がピント線3からNチャネルMOSトランジス
タ2.NチャネルMOS)ランジスタ1を通じて流れ、
ビット線3の電位はvRよりも低くなる。このビット線
3の電位をセンスアンプで検知して0″、“1″の判定
を行う。
When electrons are removed and the state becomes a depletion type, the N-channel MOS run raster 11 is on, so current flows from the focus line 3 to the N-channel MOS transistor 2. N-channel MOS) flows through transistor 1,
The potential of bit line 3 becomes lower than vR. The potential of this bit line 3 is detected by a sense amplifier to determine whether it is 0" or "1".

従来、この種のメモリセルは以上のように構成されてお
り、NチャネルMOS)ランジスタ1が完全にデプレッ
ション型かエンハンスメント型になるまで消去、書込み
を行う必要があるため、消去、書込みに時間がかかると
いう欠点があり、さらに1本のピント線の電位の変化を
検出するため、読出しに、も時間がかかるという欠点も
あった。
Conventionally, this type of memory cell is configured as described above, and since it is necessary to perform erasing and writing until the N-channel MOS transistor 1 becomes completely depletion type or enhancement type, it takes time to erase and write. In addition to this, there is also the drawback that it takes a long time to read out because a change in the potential of one focus line is detected.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

この発明は、上記のような従来のものの欠点を除去する
ため罠なされたもので、メモリセルをPチャネル、Nチ
ャネルの2つの浮遊グートラもつMOS)ランジスタで
形成し1転送用トランジスタを介してそれぞれのビット
線を接続することにより、読出しの高速化およびメモ!
+)ランジスタのしきい値電圧の変化量が小さくても確
実に読出乙のできる半導体装置を提供するものである。
This invention was made in order to eliminate the drawbacks of the conventional ones as described above, and the memory cell is formed by a MOS transistor with two floating transistors, P channel and N channel, and each is connected through one transfer transistor. Speed up reading and memo by connecting the bit lines of!
+) To provide a semiconductor device that can reliably perform reading even if the amount of change in threshold voltage of a transistor is small.

以下、図面についてこの発明の一実施例を説明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

第2図はこの発明の一実施例な示すものである。 FIG. 2 shows an embodiment of the present invention.

この図において、11は浮遊ゲートG、を有するNチャ
ネルMOS)ランジスタである。13は浮遊ゲートG、
を有するPチャネルMO8)ランジスタである。12.
14は前記NチャネルMOSトランジスター1.Pチャ
ネルMO8)う/ジメタ13にそれぞれ直列に接続され
たエンハンスメント型のNチャネルMOS)ランジスタ
である。
In this figure, 11 is an N-channel MOS transistor having a floating gate G. 13 is floating gate G,
It is a P-channel MO8) transistor with 12.
14 is the N-channel MOS transistor 1. These are enhancement-type N-channel MOS transistors connected in series to the P-channel MOS transistors 13 and 13, respectively.

第1のビット線15.第2のビット線16は各々図示し
ていないフリップフロップ型センスアンプに接続されて
いる。17.18は前記NチャネルMOSトランジスタ
ー1.PチャネルMO8)ランジスタ13の書込み、消
去、読出しを制御する第1のフントロールゲート線と第
2のコントローi)2.グー4.あ6゜ 次に動作について説明する。
First bit line 15. The second bit lines 16 are each connected to a flip-flop type sense amplifier (not shown). 17 and 18 are the N-channel MOS transistors 1. P-channel MO8) A first control gate line and a second controller that control writing, erasing, and reading of the transistor 13 i)2. Goo 4. A6゜Next, the operation will be explained.

書込み、読出し動作は第1図の装置と同様で、第1.第
2のビット線15,16.第1.第2のコントロールゲ
ート線17.18はそれぞれ同電位にするものとする。
The write and read operations are similar to the device shown in FIG. Second bit lines 15, 16 . 1st. It is assumed that the second control gate lines 17 and 18 are at the same potential.

まず、消去時には第1.第2のコン)c=−ルグート線
17.18は接地され、第1.第2の2本のピント線1
5.16にはVPPが印加される。浮遊ゲートG、から
NチャネルMOS)ランジスタ?11.PチャネルMO
8)ランジスタ13のドレインに電子がトンネルするた
め、NチャネルMOS)ランジメタ11.PチヤネルM
O8)ランジスタ13の各コントロールゲート線17.
18から見たしきい値電圧は低い方に移動し、Nチャネ
ルMOS)ランジスタ11においては第4図の曲線Aに
示すようにデプレッション型となり、一方、Pチャネル
MO8)ランジスタ13においては第4図の曲線Cに示
すようにエンハンスメント型となる。この状態を、この
メモリセルにおいては情報″0”が蓄積されているとす
る。
First, when erasing, the first. The second con)c=-Lugut wire 17.18 is grounded, and the first. Second two focus lines 1
VPP is applied to 5.16. Floating gate G, to N channel MOS) transistor? 11. P channel MO
8) Because electrons tunnel to the drain of the transistor 13, N-channel MOS) Randimetal 11. P channel M
O8) Each control gate line 17 of transistor 13.
The threshold voltage as seen from 18 shifts to the lower side, and the N-channel MOS transistor 11 becomes a depression type as shown by curve A in FIG. As shown by curve C, it becomes an enhancement type. In this state, it is assumed that information "0" is stored in this memory cell.

書込み時には第1.第2のコントロールゲート線17.
18にはV、Pが印加され、第1.第2のビン)線15
.16が接地されると、NチャネルMOS)ランジメタ
11.PチヤネルMO8)ランジスタ13のドレインか
ら浮遊グー)G、に電子がトンネルするため、Nチャネ
ルMOS)ランジメタ11.PチヤネルMO8)ランジ
スタ13のしきい値電圧は高い方へ移動し、Nチャネル
MOS)ランジスタ11においては第4図の曲線Bに示
すよう圧エンハンスメント型となり、P5−ヤネルMO
8)ランジスタ13においては第4図の曲線りに示すよ
うにデプレッション型になる。この状態をこのメモリセ
ルにおいては情報”1”が蓄積されているとする。
When writing, the first. Second control gate line 17.
18 are applied with V and P, and the first. 2nd bin) line 15
.. 16 is grounded, the N-channel MOS) range meta 11. Since electrons tunnel from the drain of the P channel MO8) transistor 13 to the floating gas G, the N channel MOS) transistor 11. The threshold voltage of the P-channel MO8) transistor 13 moves to a higher side, and the N-channel MOS) transistor 11 becomes a pressure enhancement type as shown by curve B in FIG.
8) The transistor 13 becomes a depression type as shown by the curved line in FIG. In this state, it is assumed that information "1" is stored in this memory cell.

読出し時におい【は第1のフントロールゲート線11を
接地し、第2のコントロールゲート線18には第4図の
Eで示すような電位VCOを印加する。
During reading, the first control gate line 11 is grounded, and a potential VCO as shown by E in FIG. 4 is applied to the second control gate line 18.

情報″0”が蓄積されている時にはNチャネルMOSト
ランジスタ11はオン状態で、PチャネルMOSトラン
ジスタ13はオフ状態であるので、第1のピント線15
の電位は低くなり、第2のピント線16の電位は高い状
態を保つ。また、情報″I″が蓄積されている時には、
逆に第1のビット線15の電位は高い状態を保ち、第2
のビット線16の電位は低くなる。
When information "0" is stored, the N-channel MOS transistor 11 is on and the P-channel MOS transistor 13 is off, so the first focus line 15
becomes low, and the potential of the second focus line 16 remains high. Also, when information "I" is accumulated,
Conversely, the potential of the first bit line 15 remains high, and the potential of the second bit line 15 remains high.
The potential of the bit line 16 becomes low.

この第1.第2のビット線15.16を図示しないスリ
ップフロップ型センスアンプに入力することにより、メ
モリセルに蓄積された情報が0′か1″かを判定する。
This first. By inputting the second bit lines 15 and 16 to a slip-flop type sense amplifier (not shown), it is determined whether the information stored in the memory cell is 0' or 1''.

このように第1.第2のビット線15.16の電位差に
より、メモリセルの0″、″l”を判定するため、1本
のビット線の電位の絶対値によりN0II。
In this way, the first. In order to determine whether the memory cell is 0'' or ``1'' based on the potential difference between the second bit lines 15 and 16, N0II is determined based on the absolute value of the potential on one bit line.

l″の判定をしている従来の装置よりも高速で確実な読
出しが可能となる。
This enables faster and more reliable reading than the conventional device that makes a determination of l''.

また、前記のように、NチャネルのMOS)ランジスタ
11のしきい値がデプレッション型からエンハンスメン
ト型の方にシフトするとき、同時にPチャネルMO8)
ランジスタ13のしきい値は逆方向、すなわちエンハン
スメント型からデプレッション型の方に向ってシフトす
る。この逆も同じである。このため、それぞれのMOS
)ランジスタ11.13が完全にエンハンスメント型と
デプレッション型の間を移動しきらないような不充分な
書込み、消去であっても、第1.第2の2本のピント線
15.16には充分な電位差を生ぜしめることが可能と
なり確実な読出しが行える。
Furthermore, as mentioned above, when the threshold value of the N-channel MOS transistor 11 shifts from the depletion type to the enhancement type, at the same time, the P-channel MOS transistor 11 shifts from the depletion type to the enhancement type.
The threshold value of transistor 13 shifts in the opposite direction, ie from the enhancement type towards the depletion type. The same is true vice versa. For this reason, each MOS
) Even if the writing and erasing is insufficient such that the transistors 11 and 13 do not completely move between the enhancement type and the depletion type, the first. It is possible to generate a sufficient potential difference between the second two focus lines 15 and 16, and reliable reading can be performed.

なお、上記実施例において、NチャネルMOSトランジ
スター1.PチャネルMO3)ランジスタ13の浮遊ゲ
ートG、を接続しても上記実施例と同様の効果を奏する
。また、PチャネルMOSトランジスター3のチャネル
ドープを適当なイ直とすることにより、第4図のEで示
す電位VcoをO■にすることは可能であるので、この
ようなチャネルドープを行うこともでき、その結果、第
1L第2のコントロールゲート線17.18を共通にし
ても同じ結果が得られる。この実施例を第5図によって
説明する。
Note that in the above embodiment, the N-channel MOS transistor 1. Even if the floating gate G of the P-channel MO transistor 13 is connected, the same effect as in the above embodiment can be obtained. Furthermore, by appropriately adjusting the channel doping of the P-channel MOS transistor 3, it is possible to reduce the potential Vco shown by E in FIG. As a result, the same result can be obtained even if the first and second control gate lines 17 and 18 are used in common. This embodiment will be explained with reference to FIG.

第5図において、19は共通のコントロールケート線で
ある。消去、書込みの際は第2図の実施’ f、lh 
& +−)ヶい。□、う1,2.。□。2つ。
In FIG. 5, 19 is a common control cable. When erasing and writing, follow the steps in Figure 2' f, lh
& +-) long. □、U1、2. . □. two.

・1 ぜ コントロールゲート線17.18は同電位にしたので、
第5図の1本の共通なコントロールゲート線19の場合
と同じである。
・1 Since the control gate lines 17 and 18 were set to the same potential,
This is the same as the case of one common control gate line 19 in FIG.

読出しの際、コントロールゲート線を1本にすることは
、PチャネルMOSトランジスタ130ゲート電位なN
チャネルMO8)ランジスタ11のゲート電位と同じ電
位にすることであり、いま、たとえば情報加”が書込ま
れていれば、PチャネルMO8)ランジスタ13は第2
図の実施例と同じくエンハンスメント型であるから不導
通であり、NチャネルMO8)ランジスタ11はデプレ
ッション型で導通しているから第2のビット線16の電
位は第1のビット線15より電位が高い。また、情報6
1”が書込まれていれば、PチャネルMOSトランジス
タ13は第2図の実施例で説明したようにデプレッショ
ン型であり、NチャネルMOSトランジスタ11はエン
ハンスメント型であるから当然第2のビット線16の電
位は低く、第1のピント線15の電位は第2のビット線
16の電位よりは高い。従って第5図の場合も第2図の
実施例と同様に第1.第2のピント線15.16を7リ
ンブ7Oツブ型センス7ンプに人力することにより、メ
モリセルに蓄積された情報が0″か”I’かを判定する
ことができる。
When reading, using one control gate line means that the gate potential of the P channel MOS transistor 130 is N
It is to set the gate potential to the same as the gate potential of the channel MO8) transistor 11. If, for example, "information addition" is written now, the P channel MO8) transistor 13 will be set to the same potential as the gate potential of the transistor 11.
Like the embodiment shown in the figure, it is of the enhancement type, so it is non-conductive, and the N-channel MO8) transistor 11 is of the depletion type and conductive, so the potential of the second bit line 16 is higher than that of the first bit line 15. . Also, information 6
1'' is written, the P-channel MOS transistor 13 is of the depletion type as explained in the embodiment of FIG. 2, and the N-channel MOS transistor 11 is of the enhancement type, so naturally the second bit line 16 is The potential of the first bit line 15 is low, and the potential of the first bit line 15 is higher than the potential of the second bit line 16. Therefore, in the case of FIG. 5, as in the embodiment of FIG. By manually inputting 15 and 16 to the 7 limb 7O block type sense 7 amplifier, it is possible to determine whether the information stored in the memory cell is 0'' or ``I''.

さらに、NチャネルMOSトランジスタ12゜14はP
チャネルであっても、各ピント線15゜16、ワード線
5の電位を適当に選ぶことにより同一の効果が得られる
ことは明白である。
Furthermore, the N-channel MOS transistors 12 and 14 have P
It is clear that the same effect can be obtained even for channels by appropriately selecting the potentials of the focus lines 15 and 16 and the word line 5.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、この発明は2つのMOSトランジ
スタと第1.第2のピント線と1本のワード線と第1.
第2のコントロールゲート線と、浮遊ゲートを持つNチ
ャネルMO8)ランジスクおよび浮遊ケートを持つPチ
ャネルMO8)ランジスタとからなり、前記一方のMO
Sトランジスタのドレインは第1のビット線に、ゲート
はワード線に、ソースは前記NチャネルMOSトランジ
スタのドレインに接続されており、このNチャネルMO
8)ランジスタのケートは第1のコントロールケート線
に接続されており、前記他方のMOSトランジスタのド
レインは第2のビット線に、ゲートはワード線に、ソー
スは前記PチャネルMO8)ランジスタのドレインに接
続されており、このPチャネルMO8)ランジスタのゲ
ートは第2のコントロールゲート線に接続された構成と
したので、2本のビット線の電位差により”0”とl″
を判定でき、1本のビット線の電位の絶対値で判定する
従来の装置よりも高速で確実な読出しが可能となる利点
を有している。
As explained above, the present invention includes two MOS transistors and a first MOS transistor. A second focus line, one word line, and a first.
A second control gate line, an N-channel MO8) having a floating gate, and a P-channel MO8) transistor having a transistor and a floating gate;
The drain of the S transistor is connected to the first bit line, the gate is connected to the word line, and the source is connected to the drain of the N channel MOS transistor.
8) The gate of the transistor is connected to the first control gate line, the drain of the other MOS transistor is connected to the second bit line, the gate is connected to the word line, and the source is connected to the drain of the P-channel MO8) transistor. Since the gate of this P-channel MO8) transistor is connected to the second control gate line, the potential difference between the two bit lines causes "0" and "l"
This has the advantage of enabling faster and more reliable reading than conventional devices that make decisions based on the absolute value of the potential of a single bit line.

また、第1.第2のコントロールゲート線を1本で構成
したものは、構成がより簡易になる利点がある。
Also, 1st. A structure in which the second control gate line is composed of one line has the advantage that the structure is simpler.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来のメモリセルの回路図、第2図はこの発明
の一実施例によるメモリセルの回路図、第3図は従来の
装置のメモリトランジスタにおけるV。aIog(ゲー
ト電圧−ドレイン電流)特性曲線図、第4図はこの発明
の一実施例の装置のメモリトランジスタにおけるV。、
−■、特性曲線図、第5図はこの発明の他の実施例によ
るメモリセルの回路図である。 図中、5はワード線、11は浮遊ゲートを有1゛るNチ
ャネルMOSトランジスタ、13は浮遊ゲートを有する
PチャネルMO8)ランジスタ、12゜13はエンハン
スメント型のNチャネルMOSトランジスタ、15は第
1のピント線、16は第2のビット線、17は第1のフ
ントロールゲート線、18は第2のフントロールゲート
線、19は共通のフントロールゲート線である。 なお、図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 大岩垢離 (外2名) 第1図 第2図 第3図 第5図 手続補正書(自発) 口召和 6% 1月23 日 特許庁長官殿 1、事件の表示 特願昭58−11587θ号2、発明
の名称 半導体装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号名 称 
(601)三菱電機株式会社 代表者片山仁八部 4、代理人 5、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄9図面の簡単な説明の欄
および図面 6、補正の内容 (1) 明細書第12頁7〜8行の「第2図の実施例と
同シくエンハンスメント型」ヲ、「強いエンハンスメン
ト型」と補正する。 (2)同じく第12頁13〜14行の[第2図の実施例
で説明したようにデプレッション型であり、」を、[弱
いエンハンスメント型であるがコントロールゲート線1
9の電位が十分低いのでオンし、」と補正する。 (3)同じく第15頁2〜3行のr12,13・」を、
r12,14」と補正する。 (4) 図面中鎖5図を別紙のように補正する。 以」二
FIG. 1 is a circuit diagram of a conventional memory cell, FIG. 2 is a circuit diagram of a memory cell according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 shows V in a memory transistor of a conventional device. FIG. 4 is an aIog (gate voltage-drain current) characteristic curve diagram showing V in a memory transistor of a device according to an embodiment of the present invention. ,
-■ Characteristic curve diagram; FIG. 5 is a circuit diagram of a memory cell according to another embodiment of the present invention. In the figure, 5 is a word line, 11 is an N-channel MOS transistor with a floating gate, 13 is a P-channel MOS transistor with a floating gate, 12 and 13 are enhancement type N-channel MOS transistors, and 15 is a first transistor. 16 is a second bit line, 17 is a first track gate line, 18 is a second track gate line, and 19 is a common track gate line. Note that the same reference numerals in the figures indicate the same or corresponding parts. Agent: Sori Oiwa (2 others) Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 5 Procedural amendment (voluntary) Kuchi Sowa 6% January 23rd, Commissioner of the Japan Patent Office 1, Indication of case Patent application 1982- 11587θ No. 2, title of the invention Semiconductor device 3, relationship to the case of the person making the amendment Patent applicant address 2-2-3 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Name
(601) Mitsubishi Electric Co., Ltd. Representative Hitoshi Katayama 4, Agent 5, Column 9 for detailed explanation of the invention in the specification subject to amendment 9 Column for brief explanation of drawings and drawing 6, Contents of amendment (1) ``Same enhancement type as the embodiment shown in FIG. 2'' on page 12, lines 7-8 of the specification is corrected to ``strong enhancement type.'' (2) Similarly, on page 12, lines 13 to 14, change ``It is a depression type as explained in the example in Fig. 2,'' to ``It is a weak enhancement type, but the control gate line 1
Since the potential of 9 is low enough, it is turned on.'' (3) Similarly, page 15, lines 2-3, r12,13.''
r12, 14''. (4) Amend Figure 5 of the drawing as shown in the attached sheet. I"2

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)2つのMOS)ランジスタと、第1.第2のビッ
ト線と、ワード線と、第1.第2のコントロールゲート
線と、浮遊ゲートを持つNチャネルMO8)ランジスタ
および浮遊ゲートを持つPチャネルMO8)ランジスタ
とからなり、前記一方のMOS)ランジスタのドレイン
は前記第1のビット線に、ゲートは前記ワード線に、ソ
ースは前記NチャネルMO8)ランジスタのドレインに
接続されており、このNチャネルM、O8)ランジスタ
のゲートは前記第1のコン)c=−ルゲート線に接続さ
れており、前記他方のMOS)ランジスタのドレインは
前記第2のピント線に、ゲートは前記ワード線に、ソー
スは前記PチャネルMOSトランジスタのドレインに接
続されており、このPチャネル間O84=トランジスタ
のゲートは前記あ2のコントロールゲート線に接続され
ていることを特徴とする半導体装置。
(1) two MOS transistors; a second bit line, a word line, a first . It consists of a second control gate line, an N-channel MO transistor with a floating gate, and a P-channel MO transistor with a floating gate, the drain of the one MOS transistor is connected to the first bit line, and the gate is connected to the first bit line. The source of the word line is connected to the drain of the N-channel MO8) transistor, the gate of this N-channel M,O8) transistor is connected to the first gate line, and the The drain of the other MOS) transistor is connected to the second pinto line, the gate to the word line, and the source to the drain of the P-channel MOS transistor. A semiconductor device characterized in that the semiconductor device is connected to a control gate line of No. 2.
(2)NチャネルMOSトランジスタの第1のコントー
−ルーゲート線とPチャネルMOSトランジスタの第2
のコントロールゲート線を1本の共通なフン)c=−ル
グート線で構成したことを特徴とする特許請求の範囲第
(1)項記載の半導体装置。
(2) The first control gate line of the N-channel MOS transistor and the second control gate line of the P-channel MOS transistor.
2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the control gate line is formed by one common line.
JP59115876A 1984-06-04 1984-06-04 Semiconductor device Pending JPS60257561A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009129487A (en) * 2007-11-21 2009-06-11 Genusion:Kk Nonvolatile semiconductor storage element and nonvolatile semiconductor storage device
US8492826B2 (en) 2007-10-09 2013-07-23 Genusion, Inc. Non-volatile semiconductor memory device and manufacturing method thereof
JP2013218779A (en) * 2013-06-03 2013-10-24 Toppan Printing Co Ltd Nonvolatile semiconductor storage device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8492826B2 (en) 2007-10-09 2013-07-23 Genusion, Inc. Non-volatile semiconductor memory device and manufacturing method thereof
JP2009129487A (en) * 2007-11-21 2009-06-11 Genusion:Kk Nonvolatile semiconductor storage element and nonvolatile semiconductor storage device
JP2013218779A (en) * 2013-06-03 2013-10-24 Toppan Printing Co Ltd Nonvolatile semiconductor storage device

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