JPS60257188A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS60257188A JPS60257188A JP11252884A JP11252884A JPS60257188A JP S60257188 A JPS60257188 A JP S60257188A JP 11252884 A JP11252884 A JP 11252884A JP 11252884 A JP11252884 A JP 11252884A JP S60257188 A JPS60257188 A JP S60257188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- blower
- ports
- discharge tube
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ装置に関し、特に高速軸流型ガスレーザ
装置の媒質ガスの流入、流出系路に関する。
装置の媒質ガスの流入、流出系路に関する。
近年、ガスレーザの発達はめざましく、特に炭酸ガスレ
ーザの高出力化、小型化、信頼性向上はめざましい。
ーザの高出力化、小型化、信頼性向上はめざましい。
連続発振可能な炭酸カスレーザにおいては、レーザ媒質
ガスを高速で流す事により、放電単位長さ蟲りの出力が
１０倍以上増加する事が知られている。この高原ガス流
型の炭酸ガスレーザには、ガス流方式と放電方式により
、従来より、２つの形式があった。
ガスを高速で流す事により、放電単位長さ蟲りの出力が
１０倍以上増加する事が知られている。この高原ガス流
型の炭酸ガスレーザには、ガス流方式と放電方式により
、従来より、２つの形式があった。
本発明に関る高速軸流型レーザは、ガス流方向と放電方
向、レーザ共振器光軸が同軸の形式をとり、横モードを
純化しやすい特長をもっている。
向、レーザ共振器光軸が同軸の形式をとり、横モードを
純化しやすい特長をもっている。
第１図は従来の高速軸流型レーザ装置を示す説明図であ
る。同図において、ｌはレーザ放電管、２．３は共振器
ミラー、４，６はガス゛排出口、５はガス導入口、７は
ブロワ、８は電極を示す。
る。同図において、ｌはレーザ放電管、２．３は共振器
ミラー、４，６はガス゛排出口、５はガス導入口、７は
ブロワ、８は電極を示す。
図示されるように、放電管１の中央部にはガス導入口５
が設けられ、放電管１の両端部にはガス排出口４，６、
が設けられる。ブロワ７から排出された媒質ガスは前記
ガス導入口５から放電管１内へ導入され、放電管両端の
排出口４，６から排出され前記ブロワ７へ戻る。
が設けられ、放電管１の両端部にはガス排出口４，６、
が設けられる。ブロワ７から排出された媒質ガスは前記
ガス導入口５から放電管１内へ導入され、放電管両端の
排出口４，６から排出され前記ブロワ７へ戻る。
明らかなように、該装置のガス導入口５ならびにガス排
出口４，６は、各々放電管１上に１箇所つつ設けられて
いる。それ故、ガス排出口４，６近傍に設けられた電極
８１ 、８４ 、ならびにガス導入口５近傍に設けられ
た電極８２ 、８３の周囲では、ガス流か乱れやすかっ
た。
出口４，６は、各々放電管１上に１箇所つつ設けられて
いる。それ故、ガス排出口４，６近傍に設けられた電極
８１ 、８４ 、ならびにガス導入口５近傍に設けられ
た電極８２ 、８３の周囲では、ガス流か乱れやすかっ
た。
その結果、ガス流の乱れ、偏りにより電極の不均一な冷
却効果、及びガス圧の部分的不均一により放電の不安定
、不均一が生じレーザ励起に不利となるものであった。
却効果、及びガス圧の部分的不均一により放電の不安定
、不均一が生じレーザ励起に不利となるものであった。
また、高速軸流型のレーザにおいては、ガス系内は通常
４０ないし１００ ’ｐｏｒｒの低真空状態になってい
る。それ故、ガス導入口５ならびにガス排出口４．６近
傍には、大気圧と低真空状態との圧力差によって応力が
かかり、放電管が歪みやずいという欠点があった。
４０ないし１００ ’ｐｏｒｒの低真空状態になってい
る。それ故、ガス導入口５ならびにガス排出口４．６近
傍には、大気圧と低真空状態との圧力差によって応力が
かかり、放電管が歪みやずいという欠点があった。
本発明は、前記した従来装置の欠点に鑑みてなされたも
ので、良好な放電状態を容易に得ることのできるレーザ
装置の提供を目的とするものである。本発明の他の目的
は、放電管が力学的にノ＜ランスがとれており、光学系
が安定したレーザ装置を提供するこ吉である。
ので、良好な放電状態を容易に得ることのできるレーザ
装置の提供を目的とするものである。本発明の他の目的
は、放電管が力学的にノ＜ランスがとれており、光学系
が安定したレーザ装置を提供するこ吉である。
以下、本発明について、添付図面を参照して詳細に説明
する。
する。
第２図は、本発明の一実施例を示す説明図である。同図
において、第１と同一の番号は同一または同等の構成物
を示す。
において、第１と同一の番号は同一または同等の構成物
を示す。
図示されるように、該実施例では放電管１の両端にガス
室９，１１が、また放電管１の中央部にガス室１０が設
けられる。
室９，１１が、また放電管１の中央部にガス室１０が設
けられる。
前記ガス室９には、放電管１の軸と対称な位置にガス排
出口４１ 、４２が設けられる。ガス室１１には放電管
１の軸と対称な位置にガス排出゛口６１ 、６２が設け
られる。同様に、カス室１０には、放電管１の軸吉対称
な位置ｌこガス導入口５１ 、５２が設けられる。
出口４１ 、４２が設けられる。ガス室１１には放電管
１の軸と対称な位置にガス排出゛口６１ 、６２が設け
られる。同様に、カス室１０には、放電管１の軸吉対称
な位置ｌこガス導入口５１ 、５２が設けられる。
該実施例において、ブロワ７より送風されたレーザ媒質
ガスは、ガス導入口５１ 、５２よりガス室１０へ導入
される。次いで媒質ガスは、放電管１内を流れガス室９
ならびにガス室１１へ至る。そして、該媒質ガスはガス
排出口４１ 、４２ならびにガス排出口６１ 、６２よ
り放電管外へ排出され、ブロワ７へ戻る。
ガスは、ガス導入口５１ 、５２よりガス室１０へ導入
される。次いで媒質ガスは、放電管１内を流れガス室９
ならびにガス室１１へ至る。そして、該媒質ガスはガス
排出口４１ 、４２ならびにガス排出口６１ 、６２よ
り放電管外へ排出され、ブロワ７へ戻る。
ここで、ブロワ７からガス導入口５１ 、５２ 、ガス
室１０．ガス室９．カス排出口４１ 、４２を経てブロ
ワ７へ戻る経路と、ブロワ７からガス導入口５１ 、５
２゜ガス室１０．ガス室１１．ガス排出口６１ 、６２
を経て、ブロワ７へ戻る経路とは、流体力学的に対称に
構成されており、流体抵抗が同一になるように設定され
ている。
室１０．ガス室９．カス排出口４１ 、４２を経てブロ
ワ７へ戻る経路と、ブロワ７からガス導入口５１ 、５
２゜ガス室１０．ガス室１１．ガス排出口６１ 、６２
を経て、ブロワ７へ戻る経路とは、流体力学的に対称に
構成されており、流体抵抗が同一になるように設定され
ている。
また、ガス排出口４１及び４２からのガス排出量が同一
になるように、各配管は同一のものが用いられる。同様
に、ガス排出口６１及び６２からのガス排出量も同一と
なるように、各配管は同一にされている。ガス導入口５
１及び５２の配管に関しても同様に構成されている。
になるように、各配管は同一のものが用いられる。同様
に、ガス排出口６１及び６２からのガス排出量も同一と
なるように、各配管は同一にされている。ガス導入口５
１及び５２の配管に関しても同様に構成されている。
以上、詳述したように、本発明では放電管上にガス室が
設けられ、各々のガス室にガス導入口あるいは、ガス排
出口が放電管軸と対称な位置に複数個づつ設けられるこ
とを特徴としている。それ故、電極近傍のガス流に乱れ
や偏りが存在せず、流れが安定する。従って、放電管内
で安定した均一な放電が得られる。
設けられ、各々のガス室にガス導入口あるいは、ガス排
出口が放電管軸と対称な位置に複数個づつ設けられるこ
とを特徴としている。それ故、電極近傍のガス流に乱れ
や偏りが存在せず、流れが安定する。従って、放電管内
で安定した均一な放電が得られる。
また、本発明では、前記したようにガス導入口ならびに
ガス排出口が各々放電管の軸と対称な位置に複数個づつ
設けられている。それ故、各々のガス導入口ならびにガ
ス排出口の近傍は力学的にバランスがとれており、大気
圧と放電管内の低真空状態との差によって放電管が歪む
ことがない。
ガス排出口が各々放電管の軸と対称な位置に複数個づつ
設けられている。それ故、各々のガス導入口ならびにガ
ス排出口の近傍は力学的にバランスがとれており、大気
圧と放電管内の低真空状態との差によって放電管が歪む
ことがない。
従って、光学系を安定に保つことができる。
また、本発明では放電管を含めたガス糸路全体が、流体
力学的対称構造をとっているので、各放゛電領域でのガ
ス圧、ガス流速が同一になり、均一な放電が得られる。
力学的対称構造をとっているので、各放゛電領域でのガ
ス圧、ガス流速が同一になり、均一な放電が得られる。
第１図は、従来の高速軸流型ガスレーザ装置の説明図を
、第２図は本発明の一実施例の説明図を手続補正書（方
式） 昭和５９年１０月１７日 １、事件の表示 昭和５９年特許願第１１２５２８号 ２、発明の名称 レーザ装置 ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都港区西麻布４丁目１６番１３号４、補正命
令の日付（発送日） 昭和５９年９月２５日 ５、補正の対象 願書及び明細書 ６ 補正の内容 願書及び明細書の浄書（内容に変更なし）４４２−
、第２図は本発明の一実施例の説明図を手続補正書（方
式） 昭和５９年１０月１７日 １、事件の表示 昭和５９年特許願第１１２５２８号 ２、発明の名称 レーザ装置 ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都港区西麻布４丁目１６番１３号４、補正命
令の日付（発送日） 昭和５９年９月２５日 ５、補正の対象 願書及び明細書 ６ 補正の内容 願書及び明細書の浄書（内容に変更なし）４４２−
Claims (1)
- （１）ブロワから送風されたレーザ媒質ガスをレーザ放
電管内で放電方向に高速で流した後、前記ブロワヘリサ
イクルする高速軸流型ガスレーザ装置において、前記レ
ーザ媒質ガスの導入部および排出部には各々ガス室が設
けられており、前記導入部は前記放電管の軸と対称に配
置された複数個のガス導入口からなっており、前記排出
部は前記放電管の軸と対称に配置された複数個のガス排
出口とからなっていることを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11252884A JPS60257188A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11252884A JPS60257188A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60257188A true JPS60257188A (ja) | 1985-12-18 |
Family
ID=14588898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11252884A Pending JPS60257188A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60257188A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01500070A (ja) * | 1986-03-12 | 1989-01-12 | ピーアールシー コーポレーション | 軸方向ガスレーザの操作安定化法と軸方向ガスレーザ |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP11252884A patent/JPS60257188A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01500070A (ja) * | 1986-03-12 | 1989-01-12 | ピーアールシー コーポレーション | 軸方向ガスレーザの操作安定化法と軸方向ガスレーザ |
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