JPS6025643A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPS6025643A JPS6025643A JP13370783A JP13370783A JPS6025643A JP S6025643 A JPS6025643 A JP S6025643A JP 13370783 A JP13370783 A JP 13370783A JP 13370783 A JP13370783 A JP 13370783A JP S6025643 A JPS6025643 A JP S6025643A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- voice coil
- coil motor
- plane surface
- work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B9/065—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明シ１：セラミソク，フエライ１・等の硬脆材料製
で、微小面積の平面を有する被加工物（例えば磁気ヘッ
ド等）の稜を除去研磨する研磨装置に関する。
で、微小面積の平面を有する被加工物（例えば磁気ヘッ
ド等）の稜を除去研磨する研磨装置に関する。
（ｂ） 従来技術と問題点
従来、被加工物の稜を除去研磨するときに用いられる直
腺往復運動研暦装置においては、直線往復運動の駆動方
法として第１図（イ）に示すように研磨板Ａが偏心カム
ｌと板バネ２によシ駆動される機構，あるいは第１図（
口）に示すように研磨板Ａがピストンクランク機構３に
よシ駆動される機構が用いられている。なお、４はバネ
を示す。
腺往復運動研暦装置においては、直線往復運動の駆動方
法として第１図（イ）に示すように研磨板Ａが偏心カム
ｌと板バネ２によシ駆動される機構，あるいは第１図（
口）に示すように研磨板Ａがピストンクランク機構３に
よシ駆動される機構が用いられている。なお、４はバネ
を示す。
例えば、第２図に示すような磁気ヘッド５を有するスラ
イダ６はセラミック，フェライト等の硬脆材料で構成さ
れ、しかも微小面積の平面ａを有する。このスライダ６
の稜７は記録媒体を保護するために面取りが行われてい
る。
イダ６はセラミック，フェライト等の硬脆材料で構成さ
れ、しかも微小面積の平面ａを有する。このスライダ６
の稜７は記録媒体を保護するために面取りが行われてい
る。
上記稜７の面取り量は数μｍという微小餓であシ、その
数μｍをコントロールするために、研磨板Ａのストロー
クを０．１〜０．２ｍ程度に小さくしないと、第３図（
イ）のように研磨布８（研磨板Ａに研磨布８を固定）を
移動させたとき、第３図（口）に示すような中高な面９
となり、第３図（ハ）に示すような必要とする平坦面１
０が得られない。
数μｍをコントロールするために、研磨板Ａのストロー
クを０．１〜０．２ｍ程度に小さくしないと、第３図（
イ）のように研磨布８（研磨板Ａに研磨布８を固定）を
移動させたとき、第３図（口）に示すような中高な面９
となり、第３図（ハ）に示すような必要とする平坦面１
０が得られない。
ところが、第１図（イ）に示す偏心カムによる｛幾構で
は直線往復運動の商速性が得られ易いが、研磨板Ａと偏
心カム１が接する面の摩耗によシ上記微小ストローク（
０．１〜０．２ｗａ ）の維持が難しい。又第１図（ロ
）に示すピストンクランク機借では４７・１造的に２〜
３ｍ＋ストローク程度が限界で、要求される微小ストロ
ークは無理であり、さらに摺動面がちＺ）ため高速化も
難しい。
は直線往復運動の商速性が得られ易いが、研磨板Ａと偏
心カム１が接する面の摩耗によシ上記微小ストローク（
０．１〜０．２ｗａ ）の維持が難しい。又第１図（ロ
）に示すピストンクランク機借では４７・１造的に２〜
３ｍ＋ストローク程度が限界で、要求される微小ストロ
ークは無理であり、さらに摺動面がちＺ）ため高速化も
難しい。
（Ｃ）発明の目的
本発明の目的は硬脆利別製で微小面積の平面を有する被
加工物の等該平面と他の面とで構成される稜の除去研磨
を当該平面に損傷を与えることな〈実施できる研磨装置
を提供することにある。
加工物の等該平面と他の面とで構成される稜の除去研磨
を当該平面に損傷を与えることな〈実施できる研磨装置
を提供することにある。
（ｄ） 発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、研磨布、研磨砥石、
あるいは研磨定盤等を直線往復運動させ被加工物を研肪
する研磨装置において、前記研磨布、研肥・砥石、ある
いは研磨定盤等をボイスコイルモータの可動部に連結し
、該ボイスコイルモータによシ前記直線往復運動を行う
ことを特徴とする研磨装置を提供することにより達成さ
れる。
あるいは研磨定盤等を直線往復運動させ被加工物を研肪
する研磨装置において、前記研磨布、研肥・砥石、ある
いは研磨定盤等をボイスコイルモータの可動部に連結し
、該ボイスコイルモータによシ前記直線往復運動を行う
ことを特徴とする研磨装置を提供することにより達成さ
れる。
（ｅ） 発明の実施例
以下、本発明の実施例を図面によって詳述する。
第４図は本発明の研磨装置の一実施例を示す正面図、第
５図は第４図を矢印入方向より見た側面図である。
５図は第４図を矢印入方向より見た側面図である。
図において、研磨装置１１はボイスコイルモータ本体部
１２の内部に、永久磁石１３と磁束密度を上げるだめの
鉄心１４がハウジング１５に固定され、又ハウジング１
５に固定された彷旧バネ１６が可動コイル１７を保持し
、該可動コイル１７に可動部１８が取付けられている。
１２の内部に、永久磁石１３と磁束密度を上げるだめの
鉄心１４がハウジング１５に固定され、又ハウジング１
５に固定された彷旧バネ１６が可動コイル１７を保持し
、該可動コイル１７に可動部１８が取付けられている。
該可動部１８に研磨台１９が取付けられていて、該研磨
台１９上には研磨布（研磨砥石、研磨定盤）２０を貼ｐ
っけた弾性体であるシリコンゴム２１がある。該研磨布
２０に接し被加工物２２がホルダ２３に保持されている
。該ホルダ２３はホルダガイド２４のＩＶ１２５に沿っ
て上下移動可能で、さらにホルダ２３上部に、ｉＤ ２
６が載せられ、重り２６の増減にょ）負荷荷重が調整で
きる構造である。又ホルダガイド２４は支柱２７上をガ
イド溝２８に沿って移動し、被加工物の大きさにょシ所
定の高さに設定し、ツマミネジ２９で固定している。
台１９上には研磨布（研磨砥石、研磨定盤）２０を貼ｐ
っけた弾性体であるシリコンゴム２１がある。該研磨布
２０に接し被加工物２２がホルダ２３に保持されている
。該ホルダ２３はホルダガイド２４のＩＶ１２５に沿っ
て上下移動可能で、さらにホルダ２３上部に、ｉＤ ２
６が載せられ、重り２６の増減にょ）負荷荷重が調整で
きる構造である。又ホルダガイド２４は支柱２７上をガ
イド溝２８に沿って移動し、被加工物の大きさにょシ所
定の高さに設定し、ツマミネジ２９で固定している。
ホルダ２３先端に取付けられている被加工物２２は研磨
台１９上の研磨布２０に所定負荷で押圧され沈んだ状態
にあり、その研磨台１９がボイスコイルモータによシ左
右の往復直線運動することで、被加工物の稜面取りが行
われる。この場合、ボイスコイルモータの微小移動量制
御特性及び高振動数を得やすい特性が利用できるので、
前述したような硬脆側斜の微小面積の平面を治する被加
工物を当該平面を損傷することなく、稜７の除去研磨が
可能となる。（第３図（イ）〜（ハ）参照）この研磨装
置１１を用いて、実施υ°りとしてセラミック劇の平面
面積が３〜５ｍＸ０．３〜０．４ｍの被加工物の稜に、
下記条件で面取り加工を行った結果、前記平面を損傷す
ることなく数μｍの面取ｐを施すことができた。
台１９上の研磨布２０に所定負荷で押圧され沈んだ状態
にあり、その研磨台１９がボイスコイルモータによシ左
右の往復直線運動することで、被加工物の稜面取りが行
われる。この場合、ボイスコイルモータの微小移動量制
御特性及び高振動数を得やすい特性が利用できるので、
前述したような硬脆側斜の微小面積の平面を治する被加
工物を当該平面を損傷することなく、稜７の除去研磨が
可能となる。（第３図（イ）〜（ハ）参照）この研磨装
置１１を用いて、実施υ°りとしてセラミック劇の平面
面積が３〜５ｍＸ０．３〜０．４ｍの被加工物の稜に、
下記条件で面取り加工を行った結果、前記平面を損傷す
ることなく数μｍの面取ｐを施すことができた。
加工条件； ４
（１）研磨布；２５μｍ厚左利上に粒径０．５μｍダイ
ヤモンドをつけたシートを厚さ５ｍ。
ヤモンドをつけたシートを厚さ５ｍ。
ゴム硬度４５°のゴムシートで裏打ち
したもの。
（２）仙バ１１イ［］往復移動距離がｏ、ｉ〜０．２日
（ストロ一り）。
（ストロ一り）。
（３）研磨布往復移動サイクルが１００ ｃ／、 ０（
４）研磨荷重が８０８０−１Ｏ０／ｗｊ。
４）研磨荷重が８０８０−１Ｏ０／ｗｊ。
（ｆ） 発明の効果
以上詳細に説明したように、本発明の研磨装置はボイス
コイルモータの可動部に研磨板を取付け、ボイスコイル
モータの微小移動量制御特性と高振動数が得やすい特性
を利用したことにょシ、従来の研磨装置では得られなか
った研磨板の小さなストロークを高速の直線往復移動を
得ることができる。その結果、研磨板の小さなストロー
クと高速の直線往復移動を必要とする硬脆材料製の微小
面積の平面を有する被加工物の稜の除去研磨が該平面を
損傷することなく実現できる効果は大きい。
コイルモータの可動部に研磨板を取付け、ボイスコイル
モータの微小移動量制御特性と高振動数が得やすい特性
を利用したことにょシ、従来の研磨装置では得られなか
った研磨板の小さなストロークを高速の直線往復移動を
得ることができる。その結果、研磨板の小さなストロー
クと高速の直線往復移動を必要とする硬脆材料製の微小
面積の平面を有する被加工物の稜の除去研磨が該平面を
損傷することなく実現できる効果は大きい。
第１図（イ）、（ロ）は従来の直線往復運動研磨装置を
説明するための図、第２図は被加工物のスライダの斜視
図、第３図（イ）、（ロ）、（ハ）は稜研磨後の平面形
状を説明するための図、第４図は本発明の研磨装置の一
実施例を示す正面図、第５図は第４図の矢卵入方向の側
面図を示す。 図において、１１は研磨装置、１２はモータ本体部、１
３は永久磁石、１４は鉄心、１５はハウジング、１６は
復旧バネ、１７１−１：可動コイル、１８は可動部、１
９は研磨台、２０は研磨布、２１はシリコンゴム、２２
は被加工物、２３はホルダ、２４はホルダガイド、２５
は溝、２６は重シ１．２７は支柱、２８はガイド溝、２
９はツマミネジである０
説明するための図、第２図は被加工物のスライダの斜視
図、第３図（イ）、（ロ）、（ハ）は稜研磨後の平面形
状を説明するための図、第４図は本発明の研磨装置の一
実施例を示す正面図、第５図は第４図の矢卵入方向の側
面図を示す。 図において、１１は研磨装置、１２はモータ本体部、１
３は永久磁石、１４は鉄心、１５はハウジング、１６は
復旧バネ、１７１−１：可動コイル、１８は可動部、１
９は研磨台、２０は研磨布、２１はシリコンゴム、２２
は被加工物、２３はホルダ、２４はホルダガイド、２５
は溝、２６は重シ１．２７は支柱、２８はガイド溝、２
９はツマミネジである０
Claims (1)
- 研磨布、研磨砥石、あるいは研磨定盤等を直線往（■運
動させて、被加工物を研磨する研磨装置において、前記
研磨布、研磨砥石、あるいは研磨定盤等をボイスコイル
モータの可動部に連結し、該ボイスコイルモータにより
前記直線往復運動を行うことを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13370783A JPS6025643A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13370783A JPS6025643A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6025643A true JPS6025643A (ja) | 1985-02-08 |
Family
ID=15111006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13370783A Pending JPS6025643A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025643A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6233792B1 (en) * | 1998-08-06 | 2001-05-22 | Emhart Inc. | Bumper holding clip |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49112272A (ja) * | 1973-02-28 | 1974-10-25 |
-
1983
- 1983-07-22 JP JP13370783A patent/JPS6025643A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49112272A (ja) * | 1973-02-28 | 1974-10-25 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6233792B1 (en) * | 1998-08-06 | 2001-05-22 | Emhart Inc. | Bumper holding clip |
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