JPS60250201A - 投影像の二次元的な変位測定装置 - Google Patents
投影像の二次元的な変位測定装置Info
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- JPS60250201A JPS60250201A JP10698584A JP10698584A JPS60250201A JP S60250201 A JPS60250201 A JP S60250201A JP 10698584 A JP10698584 A JP 10698584A JP 10698584 A JP10698584 A JP 10698584A JP S60250201 A JPS60250201 A JP S60250201A
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- Japan
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Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/28—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication
- G01D5/30—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with deflection of beams of light, e.g. for direct optical indication the beams of light being detected by photocells
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、網目模様の投影像を生ずる光学系、投影像の
２軸方向にそれぞれ平行でかつ互に直角に配置した２対
の光電素子、上記光電素子出力に基づく投影像の二次元
的な変位信号を軸別に分離する論理回路、上記光電素子
の出力に基づく投影像の正負方向を弁別する弁別回路、
上記論理回路による分離及び弁別回路による弁別に基づ
く変位信号を表示する２軸周表示器を備えているので、
二次元的な変位を同時に検出・表示でき、−センサなど
による画像処理法より安価かつ簡便で、応答性も高いな
ど、従来の方法に較べて効率の高い測定ができることを
特徴とする。
２軸方向にそれぞれ平行でかつ互に直角に配置した２対
の光電素子、上記光電素子出力に基づく投影像の二次元
的な変位信号を軸別に分離する論理回路、上記光電素子
の出力に基づく投影像の正負方向を弁別する弁別回路、
上記論理回路による分離及び弁別回路による弁別に基づ
く変位信号を表示する２軸周表示器を備えているので、
二次元的な変位を同時に検出・表示でき、−センサなど
による画像処理法より安価かつ簡便で、応答性も高いな
ど、従来の方法に較べて効率の高い測定ができることを
特徴とする。
以下９図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明する
。投影像を得る一例としてオートコリメータの光学系を
引用する。
。投影像を得る一例としてオートコリメータの光学系を
引用する。
１図１において、光源１からの光栄は十字線をもつ照明
側焦点板２を通り、対物レンズ３から平行光栄となって
相対した反射鏡１４に向かい２反射されて再び対物レン
ズ３を通り接眼レンズ側焦点板５の上に十字線を結ぶ。
側焦点板２を通り、対物レンズ３から平行光栄となって
相対した反射鏡１４に向かい２反射されて再び対物レン
ズ３を通り接眼レンズ側焦点板５の上に十字線を結ぶ。
反射鏡がθだけ傾くと、十字線像は焦点板上５で破線の
位置に移動する。この移動量を接眼鏡６により測定して
傾き角θを知ることができる。これがオートコリメータ
の原理である。
位置に移動する。この移動量を接眼鏡６により測定して
傾き角θを知ることができる。これがオートコリメータ
の原理である。
十字線をもつ照明側焦点板２の代わりに図２に示すよう
なピッチの十分細かい高精度な網目模様の焦点板８を用
い、接眼鏡６の代わりにスクリーン７を設ければ、ここ
に網目模様の明暗による投影像を得ることができる。ス
クリーン７に近接して。
なピッチの十分細かい高精度な網目模様の焦点板８を用
い、接眼鏡６の代わりにスクリーン７を設ければ、ここ
に網目模様の明暗による投影像を得ることができる。ス
クリーン７に近接して。
図３に示すように投影像の暗線の巾より開口の小さい３
個の光電素子１０Ｗ、ＩＯＸ、ＩＯＹを、直角三角形の
頂点の位置でその２辺が投影像１１の２軸と平行になる
ように、かっ２軸方向の２対の光電素子１０Ｗ、ＩＯＸ
及びＩＯＷ、ＩＯＹのそれぞれの間隔が Ｎλ＋１／４λ （λ：ピッチ、Ｎ：整数）となるよう
に配置する。
個の光電素子１０Ｗ、ＩＯＸ、ＩＯＹを、直角三角形の
頂点の位置でその２辺が投影像１１の２軸と平行になる
ように、かっ２軸方向の２対の光電素子１０Ｗ、ＩＯＸ
及びＩＯＷ、ＩＯＹのそれぞれの間隔が Ｎλ＋１／４λ （λ：ピッチ、Ｎ：整数）となるよう
に配置する。
光電素子１．ＯＷ、１０Ｘ、１０Ｙの上を投影像１１が
通過するとき信号が出るとすると、投影像１］の移動の
軸方向と光電素子１０Ｗ、ＩＯＸ、１．ＯＹの受信の条
件の組合せは、］）Ｘ軸方向上にのみ移動したときは１
．ＯＷとＩＯＸが同時受信、２）Ｙ軸方向にのみ移動し
たときはＩＯＷとＩＯＹが同時受信、３）４５０方向に
移動したときは１． ＯＷとＩＯＸ及びＩＯＷと１０Ｙ
それぞれがともに同時受信の３通りとなる。これを図４
に一例を示すような論理回路１２を用いて処理すれば、
投影像１１の二次元的な変位を２軸に分離することがで
きる。
通過するとき信号が出るとすると、投影像１］の移動の
軸方向と光電素子１０Ｗ、ＩＯＸ、１．ＯＹの受信の条
件の組合せは、］）Ｘ軸方向上にのみ移動したときは１
．ＯＷとＩＯＸが同時受信、２）Ｙ軸方向にのみ移動し
たときはＩＯＷとＩＯＹが同時受信、３）４５０方向に
移動したときは１． ＯＷとＩＯＸ及びＩＯＷと１０Ｙ
それぞれがともに同時受信の３通りとなる。これを図４
に一例を示すような論理回路１２を用いて処理すれば、
投影像１１の二次元的な変位を２軸に分離することがで
きる。
両軸それぞれの正負方向の弁別は２両軸それぞれの方向
に配置された光電素子の間隔の端数部分１／４λを用い
て行う。この様子を図５に示す。投影像の移動に伴う光
電素子からの信号の正負方向による位相関係の違いから
、投影像の正負方向の弁別を行うものである。
に配置された光電素子の間隔の端数部分１／４λを用い
て行う。この様子を図５に示す。投影像の移動に伴う光
電素子からの信号の正負方向による位相関係の違いから
、投影像の正負方向の弁別を行うものである。
以上に詳細したところから明らかなように１本発明によ
る測定装置は、投影像の二次元的な変位を同時に検出・
表示できるので測定の効率化が得られ、さらに投影像の
ピッチを細かくすることにより高精度な測定も可能であ
る。詳細したオートコリメータの例での特徴を述べれば
、運動の真直度や静止面の温度・応力などによる二次元
的変形の経時的変化を、２軸方向の角度量として自動測
定できることである。
る測定装置は、投影像の二次元的な変位を同時に検出・
表示できるので測定の効率化が得られ、さらに投影像の
ピッチを細かくすることにより高精度な測定も可能であ
る。詳細したオートコリメータの例での特徴を述べれば
、運動の真直度や静止面の温度・応力などによる二次元
的変形の経時的変化を、２軸方向の角度量として自動測
定できることである。
図１はオートコリメータの光学系を示す正面図２図２は
実施例の網目模様焦点板を示す平面図１図３は本発明の
実施例の投影像と光電素子との配置を示す説明図２図４
は実施例の論理回路を示す説明図２図５は実施例の弁別
回路に基づく位相関係を示す説明図である。 ９−−−−−−−−−−−一網目模様の焦点板１０Ｗ、
１．ＯＸ、ｌ０Ｙ−−一光電素子１１−−−−−−−−
−−一投影像
実施例の網目模様焦点板を示す平面図１図３は本発明の
実施例の投影像と光電素子との配置を示す説明図２図４
は実施例の論理回路を示す説明図２図５は実施例の弁別
回路に基づく位相関係を示す説明図である。 ９−−−−−−−−−−−一網目模様の焦点板１０Ｗ、
１．ＯＸ、ｌ０Ｙ−−一光電素子１１−−−−−−−−
−−一投影像
Claims (1)
- 網目模様の投影像を生ずる光学系、投影像の２軸方向に
それぞれ平行でかつ互に直角に配置した２対の光電素子
、上記光電素子出力に基づく投影像の二次元的な変位信
号を軸別に分離する論理回路、上記光電素子の出力に基
づく投影像の正負方向を弁別する弁別回路、上記論理回
路による分離及び弁別回路による弁別に基づく変位信号
を表示する２軸周表示器を備えたことを特徴とする投影
像の二次元的な変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10698584A JPS60250201A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 投影像の二次元的な変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10698584A JPS60250201A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 投影像の二次元的な変位測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60250201A true JPS60250201A (ja) | 1985-12-10 |
Family
ID=14447549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10698584A Pending JPS60250201A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 投影像の二次元的な変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60250201A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2610009C2 (ru) * | 2013-05-07 | 2017-02-07 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН) | Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5177352A (ja) * | 1974-11-25 | 1976-07-05 | Bendix Corp |
-
1984
- 1984-05-25 JP JP10698584A patent/JPS60250201A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5177352A (ja) * | 1974-11-25 | 1976-07-05 | Bendix Corp |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2610009C2 (ru) * | 2013-05-07 | 2017-02-07 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН) | Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве |
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