RU2610009C2 - Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве - Google Patents

Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве Download PDF

Info

Publication number
RU2610009C2
RU2610009C2 RU2013121064A RU2013121064A RU2610009C2 RU 2610009 C2 RU2610009 C2 RU 2610009C2 RU 2013121064 A RU2013121064 A RU 2013121064A RU 2013121064 A RU2013121064 A RU 2013121064A RU 2610009 C2 RU2610009 C2 RU 2610009C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
light
measurement
deviation
deviations
image
Prior art date
Application number
RU2013121064A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2013121064A (ru
Inventor
Сергей Владимирович Двойнишников
Юрий Александрович Аникин
Дмитрий Викторович Куликов
Владимир Генриевич Меледин
Виталий Владиславович Рахманов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН)
Открытое акционерное общество "Институт оптико-электронных информационных технологий" (ОАО "ИОИТ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН), Открытое акционерное общество "Институт оптико-электронных информационных технологий" (ОАО "ИОИТ") filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук (ИТ СО РАН)
Priority to RU2013121064A priority Critical patent/RU2610009C2/ru
Publication of RU2013121064A publication Critical patent/RU2013121064A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2610009C2 publication Critical patent/RU2610009C2/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C3/00Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
    • G01C3/10Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders using a parallactic triangle with variable angles and a base of fixed length in the observation station, e.g. in the instrument
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/46Indirect determination of position data
    • G01S17/48Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве содержит этап, на котором источник излучения формирует на поверхности исследуемого объекта световое пятно в виде двух пересекающихся световых линий за счет освещения исследуемого объекта засветкой в виде двух ортогональных световых ножей. Величину отклонения исследуемого объекта определяют по отклонению центра пересечения световых линий на принимаемом изображении, а ориентацию исследуемого объекта в пространстве определяют на основании значений двух углов наклона световых линий на принимаемом изображении. Технический результат заключается в повышении точности измерений отклонений объекта. 1 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в машиностроении, приборостроении, оптической промышленности при разработке систем неразрушающего контроля отклонений плоских объектов.
Известен способ триангуляционного измерения объектов (патент РФ №45520 на полезную модель «Лазерный триангуляционный измеритель», 2004 г., G01B 11/00), при котором источник излучения формирует на поверхности исследуемого объекта световое пятно, отраженное световое излучение фокусируется на объективе приемника оптического излучения, при этом приемная система также содержит, по крайней мере, две апертурные диафрагмы, сужающие угол обзора объектива приемника, расположенные между исследуемым объектом и объективом приемника.
Известен триангуляционный способ измерения (патент США №5815272 «Filter for laser gaging system», 1996 г., G01S 17/46; G01S 17/89; G02B 5/20), при котором источник излучения формирует на поверхности исследуемого объекта световое пятно, отраженное световое излучение фокусируется на объективе приемника оптического излучения, при этом приемная система содержит две линзы, между которыми размещена щелевая диафрагма. Диафрагма располагается в фокусе первой, ближайшей к измеряемому объекту линзы и размер ее щели подбирается в соответствии с размером зондирующего пятна на поверхности объекта. Отраженное от поверхности объекта световое излучение фокусируется первой линзой в плоскость щели и сформированное таким образом промежуточное изображение, затем фокусируется в плоскость объектива, который, в свою очередь, фокусирует световое пятно на приемнике оптического излучения.
Наиболее близким по технической сущности заявляемому способу является электронно-оптический способ измерения (патент США №4248532 «Electro-optical distance-measuring system», 1978 г., G01C 3/10; G01S 17/46; (IPC 1-7): G01C 11/26; G01C 3/00; G01C 5/00), при котором источник излучения формирует на поверхности исследуемого объекта световое пятно, отраженное световое излучение фокусируется на объективе приемника оптического излучения.
Во всех вышеперечисленных способах величину отклонения исследуемого объекта определяют по отклонению центра изображения с учетом средневзвешенного значения координаты светового пятна.
Недостатком всех перечисленных способов является низкая точность определения внешних смещений центра полученного изображения вследствие того, что помимо его смещения, связанного с отклонением исследуемой точки объекта, происходит еще дополнительное случайное смещение, связанное с изменением формы самого светового пятна (например, вследствие перепада рельефа или попадания в область пятна мельчайших песчинок, капель масла и пр.), а также из-за наличия неравномерного коэффициента преломления воздуха в оптическом пути источника и приемника излучения, который может быть вызван температурным градиентом воздуха. Кроме того, перечисленные способы измерений не позволяют определить ориентацию поверхности исследуемого объекта в пространстве.
Задачей заявляемого способа является повышение точности измерений отклонений объекта и расширение функциональности за счет возможности измерять не только отклонение измеряемого объекта, но и определять его ориентацию в пространстве.
Поставленная задача решается тем, что в триангуляционном способе измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве, при котором источник излучения формирует на поверхности исследуемого объекта световое пятно, отраженное световое излучение фокусируется на объективе приемника оптического излучения, величину отклонения объекта определяют по отклонению центра изображения пятна, согласно изобретению, световое пятно представляет собой две пересекающиеся световые линии за счет освещения исследуемого объекта засветкой, в виде двух ортогональных световых ножей, при этом величину отклонения объекта определяют по координатам точки пересечения световых линий на принимаемом изображении, а ориентацию исследуемого объекта в пространстве определяют из значения углов наклона световых линий на принимаемом изображении.
За счет получения изображения в виде двух пересекающихся световых линий повышается точность измерения отклонения объекта, а также появляется возможность определять ориентацию объекта в пространстве.
На фигуре 1 представлен общий вид устройства для осуществления триангуляционного способа измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве. Использованы следующие обозначения: 1 - исследуемый объект, 2 - источник оптического излучения, 3 - приемник оптического излучения, 4 - засветка, сформированная на поверхности объекта источником оптического излучения, 5 - изображение исследуемого объекта, полученное приемником оптического излучения.
Измерение величины отклонения объекта осуществляют следующим образом.
Исследуемый объект 1 освещают источником оптического излучения 2 и наблюдают приемником оптического излучения 3 с направления, отличного от направления освещения. Источник оптического излучения 1 формирует излучение в виде двух ортогональных световых ножей, которые образуют на поверхности исследуемого объекта засветку в виде пересечения двух линий 4. Приемник оптического излучения 3 размещают так, чтобы он мог принимать изображение объекта 1 с засветкой 4. В результате на матрице приемника оптического излучения 3 формируется изображение засветки исследуемого объекта 5. Горизонтальная координата точки пересечения световых лучей 4 на изображении 5 определяет расстояние от источника излучения 2 до исследуемого объекта 1.
В приближении отсутствия параллакса у приемника оптического излучения 3, зависимость расстояния между источником излучения 2 и исследуемым объектом 1 от горизонтальной координаты точки пересечения световых лучей 4 на изображении 5 будет линейная. Если оптическая система приемника оптического излучения будет иметь параллакс, то для точного определения расстояния до исследуемого объекта необходимо провести калибровку измерителя от расстояния до исследуемого объекта.
Калибровку расстояния до исследуемого объекта выполняют следующим образом. Берут плоскую поверхность, которую определяют калибровочной. Калибровочную поверхность размещают на различных расстояниях (как минимум на трех различных расстояниях) от источника оптического излучения, измеряют расстояние и фиксируют координаты точки пересечения световых ножей на изображении калибровочной поверхности 5 приемника оптического излучения 3. На основе полученных данных строят регрессионную функцию в виде многочлена для определения расстояния от источника оптического излучения 2 до исследуемого объекта 1 в зависимости от координаты точки пересечения световых ножей на изображении 5 исследуемого объекта 1.
Предлагаемый способ позволяет определить ориентацию поверхности исследуемого объекта 1 в пространстве, а именно определить угол наклона поверхности относительно оси X, совпадающей с нормалью к плоскости триангуляции (плоскость, образованная оптическими осями источника и приемника оптического излучения) и осью Y, расположенной в плоскости триангуляции и перпендикулярной оптической оси источника излучения 1. Для определения положения поверхности исследуемого объекта измеряют угол наклона линий относительно горизонтали на изображении 5, сформированных световыми ножами источника оптического излучения 2. Пусть угол наклона одной линии равен A, угол наклона второй линии B. Тогда угол наклона исследуемой поверхности относительно оси X монотонно зависит от разности (A-B), угол наклона исследуемой поверхности относительно оси Y монотонно зависит от суммы (A+B).
Для определения функции зависимости углов наклона относительно осей X и Y от A и B необходимо провести калибровку системы по углам.
Калибровку по углам выполняют следующим образом.
Берут плоскую поверхность, которую определяют калибровочной. Калибровочную поверхность размещают на фиксированном расстоянии от источника оптического излучения, но под разными углами относительно оси X и оси Y, измеряют угол наклона калибровочной поверхности, фиксируют углы A и B наклона световых линий на изображении 5. На основе полученных данных строят регрессионную функцию в виде многочлена для определения угла наклона относительно осей X и Y от значения углов A и B.
Предлагаемый триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве обладает существенно более низкой погрешностью по сравнению с триангуляционными способами измерения на основе точечного источника излучения. Если предположить, что эффективный диаметр светового пятна, детектируемого приемной частью измерителя с точечным источником излучения, равен D (размер пятна, по которому оценивают координаты центра для определения измеряемого расстояния), а эффективный размер линии, детектируемой приемной частью в предлагаемом изобретении, равен D×N, где D - поперечный размер линии, а N - продольный размер, причем N>>D. Учитывая, что погрешность измерения обратно пропорциональна квадратному корню площади изображения, по которому определяется точка на приемнике излучения, то в случае с точечным источником:
Figure 00000001
,
а в случае предлагаемого триангуляционного способа, площадь двух линий будет равна 2*D*N, а погрешность будет пропорциональна:
Figure 00000002
.
Из полученных оценок видно, что погрешность предлагаемого триангуляционного способа существенно меньше погрешности триангуляционных способов, использующих точечный источник излучения:
Figure 00000003
.
В результате повышается точность измерения и появляется возможность определить ориентацию исследуемого объекта в пространстве.

Claims (1)

  1. Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве, при котором на поверхности исследуемого объекта формируют световое пятно в виде двух пересекающихся световых линий, отражённое световое излучение наблюдают с направления, отличного от направления освещения, отклонение объекта в пространстве определяют по отклонению центра светового пятна на принимаемом изображении, отличающийся тем, что выполняют измерение значений двух углов наклона световых линий на принимаемом изображении светового пятна в плоскости изображения и бесконтактно определяют ориентацию исследуемого объекта в пространстве на основе значений двух углов наклона световых линий на изображении.
RU2013121064A 2013-05-07 2013-05-07 Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве RU2610009C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013121064A RU2610009C2 (ru) 2013-05-07 2013-05-07 Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013121064A RU2610009C2 (ru) 2013-05-07 2013-05-07 Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013121064A RU2013121064A (ru) 2014-11-20
RU2610009C2 true RU2610009C2 (ru) 2017-02-07

Family

ID=53380922

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013121064A RU2610009C2 (ru) 2013-05-07 2013-05-07 Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2610009C2 (ru)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4248532A (en) * 1978-12-26 1981-02-03 Nosler John C Electro-optical distance-measuring system
JPS60250201A (ja) * 1984-05-25 1985-12-10 Agency Of Ind Science & Technol 投影像の二次元的な変位測定装置
SU1490466A1 (ru) * 1987-12-28 1989-06-30 Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро Автоматизации Тяжелого Металлорежущего Оборудования Фотоэлектрический двухкоординатный измеритель смещений
JPH026709A (ja) * 1988-06-23 1990-01-10 Nikon Corp 表面変位検出装置
JPH0655477A (ja) * 1992-08-11 1994-03-01 Daifuku Co Ltd 物品位置検出装置
RU2049307C1 (ru) * 1991-06-13 1995-11-27 Государственный союзный сибирский научно-исследовательский институт авиации им.С.А.Чаплыгина Способ определения смещений сечений крупногабаритных конструкций
RU6619U1 (ru) * 1997-04-25 1998-05-16 Андрей Иванович Телегин Установка для определения отклонения объекта
JP2008304190A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Toyo Seiki Seisakusho:Kk レーザ反射光による被計測物の高精度変位計測方法とその装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4248532A (en) * 1978-12-26 1981-02-03 Nosler John C Electro-optical distance-measuring system
JPS60250201A (ja) * 1984-05-25 1985-12-10 Agency Of Ind Science & Technol 投影像の二次元的な変位測定装置
SU1490466A1 (ru) * 1987-12-28 1989-06-30 Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро Автоматизации Тяжелого Металлорежущего Оборудования Фотоэлектрический двухкоординатный измеритель смещений
JPH026709A (ja) * 1988-06-23 1990-01-10 Nikon Corp 表面変位検出装置
RU2049307C1 (ru) * 1991-06-13 1995-11-27 Государственный союзный сибирский научно-исследовательский институт авиации им.С.А.Чаплыгина Способ определения смещений сечений крупногабаритных конструкций
JPH0655477A (ja) * 1992-08-11 1994-03-01 Daifuku Co Ltd 物品位置検出装置
RU6619U1 (ru) * 1997-04-25 1998-05-16 Андрей Иванович Телегин Установка для определения отклонения объекта
JP2008304190A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Toyo Seiki Seisakusho:Kk レーザ反射光による被計測物の高精度変位計測方法とその装置

Also Published As

Publication number Publication date
RU2013121064A (ru) 2014-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7298468B2 (en) Method and measuring device for contactless measurement of angles or angle changes on objects
CN105277133B (zh) 表面倾斜或弯曲的透明材料的主体的高度图的计算方法
KR101391160B1 (ko) 굴절률 분포 계측방법, 굴절률 분포 계측장치 및 광학소자의 제조 방법
CN101915658B (zh) 激光指示器多参数检测仪
JP2014163895A (ja) シャック・ハルトマンセンサーを用いた状計測装置、形状計測方法
US20140233040A1 (en) Methods and Devices for Measuring Homogeneously Reflective Surfaces
CN103471561A (zh) 一种三维小角度测量装置及方法
TWI638133B (zh) 非接觸式鏡片曲率半徑與厚度檢測裝置及其檢測方法
CN116381708A (zh) 一种高精度激光三角测距系统
JP5698969B2 (ja) 測定装置、位置測定システム、測定方法、較正方法及びプログラム
RU2610009C2 (ru) Триангуляционный способ измерения отклонения объекта и определения его ориентации в пространстве
CN108195566B (zh) 检测任意波长任意形状口径光学系统透射波前的方法
CN108151674B (zh) 一种提高光学检测仪器精度的方法与装置
CN105783859B (zh) 一种三轴运动平台的高精度控制方法
CN104729431A (zh) 一种小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法
JP2010216922A (ja) 光学式変位計及び光学式変位測定方法
Buschinelli et al. Optical profilometer using laser based conical triangulation for inspection of inner geometry of corroded pipes in cylindrical coordinates
CN108106560B (zh) 光学元件大曲率半径的比较法测量方法及其测量装置
Kienle et al. Increasing the sensitivity of laser triangulation systems using structured optical surfaces
CN110440715A (zh) 光电自准直仪在长距离工作条件下的误差补偿方法
CN109668525A (zh) 基于反射光栅的高精度三维角度测量方法与装置
RU2769305C1 (ru) Автоколлиматор
KR102057153B1 (ko) 렌즈의 양면 곡률 형상과 굴절률 분포의 동시 측정방법 및 측정장치
CN114858053B (zh) 一种确定工业相机的入瞳中心空间坐标的方法
JP2013024737A (ja) 3次元形状測定方法及び装置並びに3次元形状測定用顕微鏡装置