JPS60249545A - 回転テ−ブル装置 - Google Patents
回転テ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS60249545A JPS60249545A JP10570884A JP10570884A JPS60249545A JP S60249545 A JPS60249545 A JP S60249545A JP 10570884 A JP10570884 A JP 10570884A JP 10570884 A JP10570884 A JP 10570884A JP S60249545 A JPS60249545 A JP S60249545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ribs
- onto
- driving
- guide
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/385—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously using a gear and rack mechanism or a friction wheel co-operating with a rail
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/52—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
- B23Q1/522—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair which is perpendicular to the working surface
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、工作機械における被加工物設置テーブル等に
適用される回転テーブル装置に係り一特に超精密工作機
械の分野にて利用される高回転速度精度、高回転送り剛
性を持つ回転テーブル装置に関するものである。
適用される回転テーブル装置に係り一特に超精密工作機
械の分野にて利用される高回転速度精度、高回転送り剛
性を持つ回転テーブル装置に関するものである。
一般に回転テーブル装置は一本体上にラジアル案内−ス
ラスト案内の案内手段を介して回転自在に配置されたテ
ーブルを一同軸に設けられたプーリ及びベルトを介して
フ動モータ等の回転駆動源により回転させる構造をなし
ている。
ラスト案内の案内手段を介して回転自在に配置されたテ
ーブルを一同軸に設けられたプーリ及びベルトを介して
フ動モータ等の回転駆動源により回転させる構造をなし
ている。
従来のこの種の装置では使用されるベルトは市販のＶベ
ルトが利用されている。Ｖベルトには金属ワイヤー等が
ゴム質の中に保強材として用いられているが、目的から
当然曲げ自在であり伸び。
ルトが利用されている。Ｖベルトには金属ワイヤー等が
ゴム質の中に保強材として用いられているが、目的から
当然曲げ自在であり伸び。
及び伸び方向の弾性があるのが通常である。
また前記テーブル案内手段とし、て、特に荷重を強く受
けるスラスト案内には潤滑油を用いた動圧すべり案内に
よる構成がとられてい、る。動圧すべり案内には固有の
摩擦特性に一静止摩擦特性と動的摩擦特性が異なる非線
型性の存在する事は一般に知られている事であり一駆動
手段の駆動剛性が低い場合には、スティック−スリップ
と呼ばれる不等速の非線型運動を行う。
けるスラスト案内には潤滑油を用いた動圧すべり案内に
よる構成がとられてい、る。動圧すべり案内には固有の
摩擦特性に一静止摩擦特性と動的摩擦特性が異なる非線
型性の存在する事は一般に知られている事であり一駆動
手段の駆動剛性が低い場合には、スティック−スリップ
と呼ばれる不等速の非線型運動を行う。
回転テーブルの場合でも−＠記動圧すベリ案内と駆動ベ
ルトの弾性により一駆動モータが強力且つ正確な回転駆
動を行ってもテーブルばスティック−スリップ現象を起
こし、テーブル回転が不均−となる事が多かった、また
ベルト駆動の場合には一ベルトをプーリに押しつげ駆動
摩擦力を生ぜ１めるため、及びベルトにゆるみ遊びを無
くすためにプーリ軸間距離を調整しまたリーアイドルプ
−１１を設けてベルトにテンション（引張り応力）を与
える必要がある、 しかし此のテンションのためにテーブル軸は駆動軸より
回転力以外に曲げ力等の外力を受けテーブルの回転精度
を損う事が多かった、またその結果被加工物の加工寸法
に誤差を生じること−及び回転むらマークを生じ品質を
損う車が多かった。
ルトの弾性により一駆動モータが強力且つ正確な回転駆
動を行ってもテーブルばスティック−スリップ現象を起
こし、テーブル回転が不均−となる事が多かった、また
ベルト駆動の場合には一ベルトをプーリに押しつげ駆動
摩擦力を生ぜ１めるため、及びベルトにゆるみ遊びを無
くすためにプーリ軸間距離を調整しまたリーアイドルプ
−１１を設けてベルトにテンション（引張り応力）を与
える必要がある、 しかし此のテンションのためにテーブル軸は駆動軸より
回転力以外に曲げ力等の外力を受けテーブルの回転精度
を損う事が多かった、またその結果被加工物の加工寸法
に誤差を生じること−及び回転むらマークを生じ品質を
損う車が多かった。
これらの事情は、特にＯ，１μ単位の高精度を要求され
る超精密加工の分野にお℃・ては装置の信頼性を著し、
く低下させる要因となり重大な問題であった。例えば、
被加工物がシリコンウェハー等の鏡面仕上を必要とされ
るものにおいてはその仕上面に縞模様を生じ不都合があ
った。
る超精密加工の分野にお℃・ては装置の信頼性を著し、
く低下させる要因となり重大な問題であった。例えば、
被加工物がシリコンウェハー等の鏡面仕上を必要とされ
るものにおいてはその仕上面に縞模様を生じ不都合があ
った。
本発明は上述した如き事情に基いてなされたものであり
−その目的は高い回転送り剛性を持つ構造と共に−高い
回転速度精度部゛ｆ９均一回転を行わせ且つ駆動力がテ
ーブルの案内部に対し精度を狂わせる外力を与えない回
転テーブルを提供することである。
−その目的は高い回転送り剛性を持つ構造と共に−高い
回転速度精度部゛ｆ９均一回転を行わせ且つ駆動力がテ
ーブルの案内部に対し精度を狂わせる外力を与えない回
転テーブルを提供することである。
本発明は上記目的を達成するために次の如く構成したこ
とを特徴とする。
とを特徴とする。
すなわち一本体とこの本体上にラジアル案内−スラスト
案内の案内手段を介して回転自在に配置されたテーブル
と−このテーブルを回転駆動する駆動源を持ち、テーブ
ルの外周近い位置にリプな設は一回転駆動源より小径の
摩擦ロールにより摩擦駆動することにより強力且つガタ
の無い駆動を行う、且つ駆動源はテーブル接線方向以外
には自在に運動可能な機構部材の上に設置され、テーブ
ル案内部に外力な与えない事を特徴とするものである。
案内の案内手段を介して回転自在に配置されたテーブル
と−このテーブルを回転駆動する駆動源を持ち、テーブ
ルの外周近い位置にリプな設は一回転駆動源より小径の
摩擦ロールにより摩擦駆動することにより強力且つガタ
の無い駆動を行う、且つ駆動源はテーブル接線方向以外
には自在に運動可能な機構部材の上に設置され、テーブ
ル案内部に外力な与えない事を特徴とするものである。
以下一本発明の一笑施例を図面に基いて説明する。
第１図は本実施例の回転テーブル装置０）概略構成を示
す正断面図である、図中１は回転テーブル装置の本体で
あり−その上部にはテーブル２か配設されている、テー
ブル２の中心には中心軸６が固定されており．本体１に
設けられたラジアル案内部４−スラスト案内部５により
案内されて本体１上で回転を行う。
す正断面図である、図中１は回転テーブル装置の本体で
あり−その上部にはテーブル２か配設されている、テー
ブル２の中心には中心軸６が固定されており．本体１に
設けられたラジアル案内部４−スラスト案内部５により
案内されて本体１上で回転を行う。
テーブル２の外周部にはリプ６がありその内周に溝７が
設けられている。溝７には駆動ロール８がかん合し一駆
動ロール８は駆動モータ１０で回転駆動される。揺動部
材１１σ）上に駆動モータ１０と．アリ溝部１１ｉにガ
イドされた７１１部材１２がある。アリ部材１２には加
圧ロール９が設けられ，スプリング１６によりリプ６に
加圧される。即ちリプ６は駆動ロール８と圧力ロール９
ではさまれる状態になり摩擦力により回転駆動される。
設けられている。溝７には駆動ロール８がかん合し一駆
動ロール８は駆動モータ１０で回転駆動される。揺動部
材１１σ）上に駆動モータ１０と．アリ溝部１１ｉにガ
イドされた７１１部材１２がある。アリ部材１２には加
圧ロール９が設けられ，スプリング１６によりリプ６に
加圧される。即ちリプ６は駆動ロール８と圧力ロール９
ではさまれる状態になり摩擦力により回転駆動される。
第２図は回転テーブル装置上面図で一説明の都合上，テ
ーブル２を除キリプロを想像線で示した図である。
ーブル２を除キリプロを想像線で示した図である。
揺動部材１１は本体１より突出した支持部材１６上の自
在接手１５によりー リプ６の接線方向以外には自由に
揺動出来る。
在接手１５によりー リプ６の接線方向以外には自由に
揺動出来る。
第３図は第１図と直角方向より見た正面図である。揺動
部材１１が自在接手１５により上下方向にも自在である
事を示している。
部材１１が自在接手１５により上下方向にも自在である
事を示している。
次に本実施例の作用を説明する。
テーブル２は外周の太径σ）リプ６をはさむ小径の駆動
ロール８−圧力ロール９により摩擦駆動されるため強力
な回転力が加えられると共に此の，駆動系にはバネ弾性
の要素，ガタの要素が無し・ためにテーブル２が高荷重
低速に運動を行いスティック−スリップ運動ケ起し易い
場合でも安定した回転運動が得られる、 また−駆動ロール８は溝７にならって走り且つ揺動部材
１１上にあるため，駆動力はリプ６の接線方向のみに働
く−従ってテーブル２はラジアル案内渡，スラスト案内
５０案内精度のみにより回転する事が可能となる。本実
施例ではラジアル案内−スラスト案内を動圧すベリ案内
で構成したが−ボール案内、静圧案内で構成しても回様
の効果を得る事が出来る。
ロール８−圧力ロール９により摩擦駆動されるため強力
な回転力が加えられると共に此の，駆動系にはバネ弾性
の要素，ガタの要素が無し・ためにテーブル２が高荷重
低速に運動を行いスティック−スリップ運動ケ起し易い
場合でも安定した回転運動が得られる、 また−駆動ロール８は溝７にならって走り且つ揺動部材
１１上にあるため，駆動力はリプ６の接線方向のみに働
く−従ってテーブル２はラジアル案内渡，スラスト案内
５０案内精度のみにより回転する事が可能となる。本実
施例ではラジアル案内−スラスト案内を動圧すベリ案内
で構成したが−ボール案内、静圧案内で構成しても回様
の効果を得る事が出来る。
以上の説明から明らかなように本発明によれば。
特にすべり案内等の非線型摩擦特性を持つようなテーブ
ルに於てもスティック−スリップのような不均一速度の
回転運動を行うことなく一動圧すべり案内の持つ良℃・
面−即ち荷重に対しては高い負荷特性−及び振動に対し
ては高（・振動吸撮特性を生かした精度θ）高い回転テ
ーブル装置を提供することができる。
ルに於てもスティック−スリップのような不均一速度の
回転運動を行うことなく一動圧すべり案内の持つ良℃・
面−即ち荷重に対しては高い負荷特性−及び振動に対し
ては高（・振動吸撮特性を生かした精度θ）高い回転テ
ーブル装置を提供することができる。
図面は本発明の一実施例を示すものであり、第１図は回
転テーブル装置の概略構成を示す正断面図、第２図はテ
ーブルを除（・た上面図−第３図は第１図を直角方向よ
り見た正面図である。 １・・・・本体−２・・・・・テーブル−６・・・・・
・中心軸−４・・・・・ラジアル案内部−５・・・ ス
ラスト案内部−６・・・・＋１ブー７・・・・・・溝−
８・・・・・・駆動ロール−９・・・・・・圧力ロール
−１０・・・・・Ｋｌ 動モー ター１１・・・・・揺
動部材−１２・・・・・アリ部材−１３・・・・・・ス
プリング−１７ｉ・自・アリ溝部。 １５・・・・・・自在接手、１６・・・・支持部利。 特許出願人 シチズン時言」株式会社 第２図 第３図
転テーブル装置の概略構成を示す正断面図、第２図はテ
ーブルを除（・た上面図−第３図は第１図を直角方向よ
り見た正面図である。 １・・・・本体−２・・・・・テーブル−６・・・・・
・中心軸−４・・・・・ラジアル案内部−５・・・ ス
ラスト案内部−６・・・・＋１ブー７・・・・・・溝−
８・・・・・・駆動ロール−９・・・・・・圧力ロール
−１０・・・・・Ｋｌ 動モー ター１１・・・・・揺
動部材−１２・・・・・アリ部材−１３・・・・・・ス
プリング−１７ｉ・自・アリ溝部。 １５・・・・・・自在接手、１６・・・・支持部利。 特許出願人 シチズン時言」株式会社 第２図 第３図
Claims (1)
- 本体と、この本体に案内手段を介して回転自在に配設さ
れたテーブルと一テーブル外周部のリブを駆動する駆動
ロール−駆動源、圧力ロール加圧手段を持ち一前記駆動
ロールー駆動源−圧力ロール加圧手段が本体と自在接手
により結合されている事を特徴とする回転テーブル装置
。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10570884A JPS60249545A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 回転テ−ブル装置 |
| GB08512803A GB2160451B (en) | 1984-05-25 | 1985-05-21 | A rotary table unit |
| US06/737,267 US4656951A (en) | 1984-05-25 | 1985-05-23 | Rotary table unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10570884A JPS60249545A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 回転テ−ブル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60249545A true JPS60249545A (ja) | 1985-12-10 |
| JPH0536179B2 JPH0536179B2 (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=14414844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10570884A Granted JPS60249545A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 回転テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60249545A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107891362A (zh) * | 2017-12-10 | 2018-04-10 | 无锡威克莱科技有限公司 | 一种磨盘加工用快速固定装置 |
-
1984
- 1984-05-25 JP JP10570884A patent/JPS60249545A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107891362A (zh) * | 2017-12-10 | 2018-04-10 | 无锡威克莱科技有限公司 | 一种磨盘加工用快速固定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0536179B2 (ja) | 1993-05-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3090857B2 (ja) | 段付き工作物外周加工機 | |
| JPS6249499B2 (ja) | ||
| CA1075006A (en) | Tilt infeed by eccentric wheelhead support | |
| JPS60249545A (ja) | 回転テ−ブル装置 | |
| JPH06339733A (ja) | 回転加工機 | |
| US4369603A (en) | Method of positioning and rotating workpiece and arrangement implementing same | |
| JPH06341506A (ja) | 位置決め装置 | |
| US4762005A (en) | Abrasive grinding belt test machine | |
| JPH1026203A (ja) | 摩擦駆動機構 | |
| JPH0970744A (ja) | ベルト研削装置 | |
| JPH0618762Y2 (ja) | リング部品の仕上装置 | |
| JPH04101769A (ja) | 治具グラインダ装置 | |
| KR950031377A (ko) | 로울연마기 | |
| JP3074580B2 (ja) | バリ取り研削装置 | |
| JPS59115152A (ja) | 研削機 | |
| JPH045248Y2 (ja) | ||
| SU1085771A1 (ru) | Устройство дл абразивной обработки | |
| SU837799A1 (ru) | Устройство дл абразивной обработкидЕТАлЕй B пСЕВдООжижЕННОй СРЕдЕ | |
| JP2003117812A (ja) | 旋回テーブル装置 | |
| SU1135618A1 (ru) | Устройство дл шлифовани А.Ф.Первуна | |
| JP2630033B2 (ja) | 両面研摩装置 | |
| JPS61248955A (ja) | リニアドライブユニツト | |
| JPH018287Y2 (ja) | ||
| WO1996024461A1 (fr) | Dispositif pour table orientable | |
| US233753A (en) | Half to william h |