JPS60242365A - 超音波検査装置 - Google Patents
超音波検査装置Info
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- JPS60242365A JPS60242365A JP59098288A JP9828884A JPS60242365A JP S60242365 A JPS60242365 A JP S60242365A JP 59098288 A JP59098288 A JP 59098288A JP 9828884 A JP9828884 A JP 9828884A JP S60242365 A JPS60242365 A JP S60242365A
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- Japan
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- ultrasonic
- receiver
- transmitter
- ultrasonic wave
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- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S15/00—Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
- G01S15/88—Sonar systems specially adapted for specific applications
- G01S15/89—Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S15/8906—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
- G01S15/8997—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques using synthetic aperture techniques
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
- G01N29/0654—Imaging
- G01N29/069—Defect imaging, localisation and sizing using, e.g. time of flight diffraction [TOFD], synthetic aperture focusing technique [SAFT], Amplituden-Laufzeit-Ortskurven [ALOK] technique
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- G—PHYSICS
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- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
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- G—PHYSICS
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- G01S15/89—Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S15/8906—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
- G01S15/8909—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques using a static transducer configuration
- G01S15/8915—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques using a static transducer configuration using a transducer array
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発・明は、超音波送受信器を走査し、この超音波送
受信器の指向角による開口を合成する超音波検査装置に
関するものである。
受信器の指向角による開口を合成する超音波検査装置に
関するものである。
従来この種の超音波検査装置としては、Ｍ１図に示すも
のがあった。第１図は従来の超音波検査装置を示すブロ
ック構成図である。図において、１は被検査材、２は超
音波送受信器、３は超音波送受信器２ｔｌ−被検査材１
上に走査させる走査機構、４は超音波送受信器２をパル
ス的に駆動するためのパルサ、５は超音波送受信器２で
検出した信号を増幅するためのレシーバ、６は、走査機
構３で決められた超音波送受信器２の位置と、レシーバ
５の出力信号とから開口を合成して映像情報とするため
の開口合成演算装置、７は開口合成演算装置６で得られ
た映像情報を表示するための表示装置である。
のがあった。第１図は従来の超音波検査装置を示すブロ
ック構成図である。図において、１は被検査材、２は超
音波送受信器、３は超音波送受信器２ｔｌ−被検査材１
上に走査させる走査機構、４は超音波送受信器２をパル
ス的に駆動するためのパルサ、５は超音波送受信器２で
検出した信号を増幅するためのレシーバ、６は、走査機
構３で決められた超音波送受信器２の位置と、レシーバ
５の出力信号とから開口を合成して映像情報とするため
の開口合成演算装置、７は開口合成演算装置６で得られ
た映像情報を表示するための表示装置である。
第２図μ、第１図の超音波検査装置の動作を説明するた
めの図、第３図は、Ｍ１図の超音波検査装置に用いられ
る超音波送受信器の一例を示す図である。
めの図、第３図は、Ｍ１図の超音波検査装置に用いられ
る超音波送受信器の一例を示す図である。
次に、上記第１図に示す従来の超音波検査装置の動作に
ついて説明する。被検査材１に音響的にカップリングさ
れた超音波送受信器２は、走査機構３によル、′ｉｇ２
図に示す様に走査される。超音液送受信器２の各位置Ａ
、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅにおいて、パルサ４とレシーバ５とに
より超音波が送受信され、被検査材１の内部からのエコ
ー、例えば点０からのエコーが検出される。上記各位置
Ａ〜Ｅで得られるエコーは、超音波送受信器２の指向角
でカバーされる角度範囲内から生ずるエコーに限られる
。これら各位置Ａ−Ｅでのエコーは、開口合成演算装置
６で記憶、演′Ｘが行われ、その結果が表示装置７に表
示される。開口合成波Ｘ装置６の内容に、周知であるの
で詳細な説明は省略するが、その動作原理から、音源は
点音源であることが必要であり、また、超音波送受信器
２全走査した範囲の開口が有効になるのは、上記各位置
Ａ〜Ｅでの超音波送受信器２がカバーする範囲の共通な
領域（第２図において、斜線で囲まれた領域）である。
ついて説明する。被検査材１に音響的にカップリングさ
れた超音波送受信器２は、走査機構３によル、′ｉｇ２
図に示す様に走査される。超音液送受信器２の各位置Ａ
、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅにおいて、パルサ４とレシーバ５とに
より超音波が送受信され、被検査材１の内部からのエコ
ー、例えば点０からのエコーが検出される。上記各位置
Ａ〜Ｅで得られるエコーは、超音波送受信器２の指向角
でカバーされる角度範囲内から生ずるエコーに限られる
。これら各位置Ａ−Ｅでのエコーは、開口合成演算装置
６で記憶、演′Ｘが行われ、その結果が表示装置７に表
示される。開口合成波Ｘ装置６の内容に、周知であるの
で詳細な説明は省略するが、その動作原理から、音源は
点音源であることが必要であり、また、超音波送受信器
２全走査した範囲の開口が有効になるのは、上記各位置
Ａ〜Ｅでの超音波送受信器２がカバーする範囲の共通な
領域（第２図において、斜線で囲まれた領域）である。
したがって、開口を太き（するためには、超音波送受信
器２には指向角ができるだけ広いものを用いる必要があ
る。このことは、超音波送受信器２の径をごく小さくす
ることによシ実現できる。しかし、超音波送受信器２の
径を小さくすると、送信される超音波パワーが小さくな
ると共に、受信電圧も小さくなり、充分なＳ／Ｎ比を持
った信号が得難い。この解決策のために、第３図に示す
様に、集束型の超音波送受信器２を用い、その焦点を被
検査材１の表面に置き、これを点音源とする方式が提案
されている。この場合、超音波送受信器２の焦点距離を
短くすれば、その指向角を広くすることができる。この
方式では、超音波送受信器２全走査する時に、その焦点
が常に被検査材１の表面に来る様にしなければならない
。さて、開口を大きくするためには、上記した様に超音
波送受信器２の指向角を広くした方が良いのであるが、
一方、検査対象範囲外、例えは第２図に示す点Ｐにエコ
ーを発生するものがある場合には、開口合成演算装置６
による開口合成演算時に、そのエコーの信号も入って来
て、得られる映像のＳ／Ｎ比が劣化する。
器２には指向角ができるだけ広いものを用いる必要があ
る。このことは、超音波送受信器２の径をごく小さくす
ることによシ実現できる。しかし、超音波送受信器２の
径を小さくすると、送信される超音波パワーが小さくな
ると共に、受信電圧も小さくなり、充分なＳ／Ｎ比を持
った信号が得難い。この解決策のために、第３図に示す
様に、集束型の超音波送受信器２を用い、その焦点を被
検査材１の表面に置き、これを点音源とする方式が提案
されている。この場合、超音波送受信器２の焦点距離を
短くすれば、その指向角を広くすることができる。この
方式では、超音波送受信器２全走査する時に、その焦点
が常に被検査材１の表面に来る様にしなければならない
。さて、開口を大きくするためには、上記した様に超音
波送受信器２の指向角を広くした方が良いのであるが、
一方、検査対象範囲外、例えは第２図に示す点Ｐにエコ
ーを発生するものがある場合には、開口合成演算装置６
による開口合成演算時に、そのエコーの信号も入って来
て、得られる映像のＳ／Ｎ比が劣化する。
従来−の超音波検査装置は以上の様に構成されているの
で、被検査材１に対する検査感度が低刀為ったり、超音
波送受信器２の走査機Ｗ３が繁雑であつたル踵また、検
査対象範囲の周辺にある欠陥や境界などのエコー源にょ
シＳ／Ｎ比が劣化するなどの欠点があった。
で、被検査材１に対する検査感度が低刀為ったり、超音
波送受信器２の走査機Ｗ３が繁雑であつたル踵また、検
査対象範囲の周辺にある欠陥や境界などのエコー源にょ
シＳ／Ｎ比が劣化するなどの欠点があった。
この発明は、上記の様な従来のものの欠点を改善する目
的でなされたもので、超音波送受信器に振動子アレイを
用い、この振動子アレイ全コントロールすることにょフ
、見掛は上の点音源を作〕、検査対象範囲に応じて超音
波の広がり方を制御する様にＳ成し、検査感度が高く、
また、検査対象範囲外のエコーを取シ込まない、ＳｌＮ
比の高い超音波検査装置ｋ提供するものである。
的でなされたもので、超音波送受信器に振動子アレイを
用い、この振動子アレイ全コントロールすることにょフ
、見掛は上の点音源を作〕、検査対象範囲に応じて超音
波の広がり方を制御する様にＳ成し、検査感度が高く、
また、検査対象範囲外のエコーを取シ込まない、ＳｌＮ
比の高い超音波検査装置ｋ提供するものである。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第４図はこの発明の一実施例である超音波検査装置を示
すブロック構成図、第５図ないし第７図は、それぞ孔筒
４図の超音波検査装置の動作を説明するための−である
。第４図において、１は被検査材、２は振動子アレイに
ょ多構成される超音波送受信器、３ゆ超音波送受信器２
を被検査材１上に走査させる走査機構、４は超音波送受
信器２の各振動子を所定の時刻に駆動するパルサ、５１
″［、超音波送受信器２の各振動子の検出信号を各々所
定の時間だけ遅延させて刀ロ算、増幅するレシーバ、６
は、走査機構３で決められた超音波送受信器２の位置と
、レシーバ５の出力信号とから開口を合成して映像情報
とするための開口合成演算装置、７は開口合成演算装置
６で得られた映像情報を表示するための表示装置、８１
グ、走査機構３から出力される超音波送受信器２の位置
情報により、パルサ４及びレシーバ５の時刻９時間の設
定を行うと共に、開口合成演算装置６へ作り出される点
音源（後述する）の位置情報全送シ出すコントローラで
ある。
すブロック構成図、第５図ないし第７図は、それぞ孔筒
４図の超音波検査装置の動作を説明するための−である
。第４図において、１は被検査材、２は振動子アレイに
ょ多構成される超音波送受信器、３ゆ超音波送受信器２
を被検査材１上に走査させる走査機構、４は超音波送受
信器２の各振動子を所定の時刻に駆動するパルサ、５１
″［、超音波送受信器２の各振動子の検出信号を各々所
定の時間だけ遅延させて刀ロ算、増幅するレシーバ、６
は、走査機構３で決められた超音波送受信器２の位置と
、レシーバ５の出力信号とから開口を合成して映像情報
とするための開口合成演算装置、７は開口合成演算装置
６で得られた映像情報を表示するための表示装置、８１
グ、走査機構３から出力される超音波送受信器２の位置
情報により、パルサ４及びレシーバ５の時刻９時間の設
定を行うと共に、開口合成演算装置６へ作り出される点
音源（後述する）の位置情報全送シ出すコントローラで
ある。
次に、上記第４囚に示すこの発明の一実施例である超音
波検査装置の動作につ（八で説明する。まず、超音波送
受信器２とパルサ４とによ９点音源を作υ出す方法につ
いて述べる。第５図に示す様に、超音波送受信器２は、
２ｎ個の振動子２１１゜・・・・・・ｒ ｚｔｘ 、・
・・・・・、 ２ｎｌ 、 ２１２ 、・・・・・・、
２ｎ２のアレイによ多構成される。今、これらの振動子
の左側に点音源Ｆがあると仮定すると、点音源Ｆから各
振動子までの距離１＋は、次式によって与えられる。
波検査装置の動作につ（八で説明する。まず、超音波送
受信器２とパルサ４とによ９点音源を作υ出す方法につ
いて述べる。第５図に示す様に、超音波送受信器２は、
２ｎ個の振動子２１１゜・・・・・・ｒ ｚｔｘ 、・
・・・・・、 ２ｎｌ 、 ２１２ 、・・・・・・、
２ｎ２のアレイによ多構成される。今、これらの振動子
の左側に点音源Ｆがあると仮定すると、点音源Ｆから各
振動子までの距離１＋は、次式によって与えられる。
ここで、ｆは点音源Ｆから振動子までの距離、ｄμ各振
動子間の間隔である。
動子間の間隔である。
被検査材１中での音速＝ｉＣとすると、距離Ａｉｉ超音
波が伝播する時間１１は、 である。したがって、超音波送受信器２に送信指令を与
えてから、時間ｔｉだけ経過した時刻に各振動子２＋１
＋ ２＋２ ｆ駆動すれば、見掛は上の点音源Ｆを音
源とした様な音場が得られる。この場合の各振動子全体
の指′向角は、理論的にはｆの値を小さくすれば広くな
る。実際には、各振動子２１１゜・・・・・・２ｎｌ
、 ２１２ 、・・・・・・２ｎ２の寸法によって制約
され、この寸法を小さくする程ｆを小さく、すなわち、
各振動子全体の指向角を大きくすることができる。この
時の超音波エネルギーは、各振動子全体で決まるので、
各振動子の１つ１つを小さくしても超音波エネルギーが
大幅に減少するという損失はなくなる。また、第６図に
示す様に、点音源Ｆ＝に超音波送受信器２の中心軸上か
らずｆｌ−た位置に想定して考えて見る。各振動子を駆
動する時刻を、超音波送受信器２への送信指令が与えら
れてから次の時間ｔｉだけ経過した時刻とすることによ
り、点音源Ｆｋ音源とみなせる音場か得られる。
波が伝播する時間１１は、 である。したがって、超音波送受信器２に送信指令を与
えてから、時間ｔｉだけ経過した時刻に各振動子２＋１
＋ ２＋２ ｆ駆動すれば、見掛は上の点音源Ｆを音
源とした様な音場が得られる。この場合の各振動子全体
の指′向角は、理論的にはｆの値を小さくすれば広くな
る。実際には、各振動子２１１゜・・・・・・２ｎｌ
、 ２１２ 、・・・・・・２ｎ２の寸法によって制約
され、この寸法を小さくする程ｆを小さく、すなわち、
各振動子全体の指向角を大きくすることができる。この
時の超音波エネルギーは、各振動子全体で決まるので、
各振動子の１つ１つを小さくしても超音波エネルギーが
大幅に減少するという損失はなくなる。また、第６図に
示す様に、点音源Ｆ＝に超音波送受信器２の中心軸上か
らずｆｌ−た位置に想定して考えて見る。各振動子を駆
動する時刻を、超音波送受信器２への送信指令が与えら
れてから次の時間ｔｉだけ経過した時刻とすることによ
り、点音源Ｆｋ音源とみなせる音場か得られる。
この時、角度θを変えると、超音波の広がる方向が変化
する。
する。
以上の説明は、各振動子による送信の場合の点音源Ｆ’
ｌｌｒ作ること、及び指向性のコントロールについて述
べたが、受信の場合は、各振動子で検出した信号音、送
信の場合と同様に時間ｔｉだけ各々遅延させた後、加算
９合成することによって、送信の場合と同様の指向特性
を得ることができる。
ｌｌｒ作ること、及び指向性のコントロールについて述
べたが、受信の場合は、各振動子で検出した信号音、送
信の場合と同様に時間ｔｉだけ各々遅延させた後、加算
９合成することによって、送信の場合と同様の指向特性
を得ることができる。
上述した説明において、各振動子の駆動時刻をずらせた
り、検出信号を遅延、加算したりする方法は、従来より
ビーム走査形の超音波診断装置で実用にされているのと
同様の方法により実現できる。
り、検出信号を遅延、加算したりする方法は、従来より
ビーム走査形の超音波診断装置で実用にされているのと
同様の方法により実現できる。
さて、以上の様な方法によシ、超音波の広がり方をコン
トロールできる点を源Ｆ＝を超音波送受信器２として用
いて走置し、開口合成用データを得る方法を、第７図に
したがって説明する。超音波送受信器２は、走置機構３
によシ各位置Ａ 、 Ｂ 、 Ｃ。
トロールできる点を源Ｆ＝を超音波送受信器２として用
いて走置し、開口合成用データを得る方法を、第７図に
したがって説明する。超音波送受信器２は、走置機構３
によシ各位置Ａ 、 Ｂ 、 Ｃ。
Ｄへ順次に移される。検査対象範囲’ｋＬとした場合、
各位置Ａ−Ｄでの超音波の広がシ方を、第７囚に示す様
にコントロールすれば、すべての各位置Ａ−Ｄで検査対
象範囲Ｉ’ｒカバーし、かつこの検査対象範囲り外へ超
音波が広がっている程度は、上記第２図に示す従来例の
場合と比べて非常に小さくなる。例えば、点Ｐに超音波
を反射するものがあっても、超音波は点Ｐへは及はない
ために不要なエコーは発生せずに、このため、検査対象
範囲り内の映像へのノイズを抑えることができる。
各位置Ａ−Ｄでの超音波の広がシ方を、第７囚に示す様
にコントロールすれば、すべての各位置Ａ−Ｄで検査対
象範囲Ｉ’ｒカバーし、かつこの検査対象範囲り外へ超
音波が広がっている程度は、上記第２図に示す従来例の
場合と比べて非常に小さくなる。例えば、点Ｐに超音波
を反射するものがあっても、超音波は点Ｐへは及はない
ために不要なエコーは発生せずに、このため、検査対象
範囲り内の映像へのノイズを抑えることができる。
定食機構３による超音波送受信器２０位置は、開口合成
演算装置６と共にコントローラ８へ送られる。コントロ
ーラ８では、あらかじめ与えら力、た検査対象範囲りと
の関係全考慮し、ｆ、θを決定し、パルサ４．レシーバ
′５−＼与える。ハルｆ ４ ｒレシーバ５は、前述し
た様に、ｆ、θに対応した時間ｔ１の設定を行い、超音
波送受信器２全コ／［・ロールする。ｆ、θは、また、
開口合成演算装置６へ与えられる。開口合成演算装置６
では、超音波送受信器２の位置とｆ、θとにしム第７図
に示す様な各点ＦＡ ＋ ＦＢ ＋ Ｆｃ ＋ ＦＤを
算出し、この各点ＦＡ−ＦＤｋ送受信点とみなして開口
の合成を行ン。
演算装置６と共にコントローラ８へ送られる。コントロ
ーラ８では、あらかじめ与えら力、た検査対象範囲りと
の関係全考慮し、ｆ、θを決定し、パルサ４．レシーバ
′５−＼与える。ハルｆ ４ ｒレシーバ５は、前述し
た様に、ｆ、θに対応した時間ｔ１の設定を行い、超音
波送受信器２全コ／［・ロールする。ｆ、θは、また、
開口合成演算装置６へ与えられる。開口合成演算装置６
では、超音波送受信器２の位置とｆ、θとにしム第７図
に示す様な各点ＦＡ ＋ ＦＢ ＋ Ｆｃ ＋ ＦＤを
算出し、この各点ＦＡ−ＦＤｋ送受信点とみなして開口
の合成を行ン。
この発明に以上説明した様に、超音波検査装置において
、超音波送受信器に振動子アＬ・イ全用い、この振動子
アレイケコントロールすることによシ、見掛は上の点音
源全作υ、検査対象範囲に応じて超音波の広がり方を制
御する様に構成したので、検査感度が非常に高（、また
、検査対象範囲外のエコーを取り込まない様にして、Ｓ
／Ｎ比が高く、画質劣化の少ない超音波検査装置が得ら
れるという優れた効果ケ奏するものである。
、超音波送受信器に振動子アＬ・イ全用い、この振動子
アレイケコントロールすることによシ、見掛は上の点音
源全作υ、検査対象範囲に応じて超音波の広がり方を制
御する様に構成したので、検査感度が非常に高（、また
、検査対象範囲外のエコーを取り込まない様にして、Ｓ
／Ｎ比が高く、画質劣化の少ない超音波検査装置が得ら
れるという優れた効果ケ奏するものである。
第１図は従来の超音波検査装置を示すブロック構成図、
第２図は、第１図の超音波検査装置の動作全説明するた
めの図、第３図は、第１図の超音波検査装置に用いられ
る超音波送受信器の一例を示す図、第４図はこの発明の
一実施例である超音波検査装ｆｔ’に示すブロック構成
図、第５図ないし第７図は、それぞれ第４図の超音波検
査装置の動作全説明するための図である。 図において、１・・・被検査材、２・・・超音波送受信
器、３・・・走査機ｍ、４・・・バルサ、５・・・レシ
ーバ、ｂ・・・開口合成演算装置、７・・・表示装置、
２１１．・・・・・、 ２ｒ１＋・・・・・・＋ ２ｎ
ｌ 、 ２１２ 、・・・・・・、２ｎ２ ・・・・振
動子である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は和尚部分を示ブー
０ 代理人 大岩増雄 第１図 第５図 第６図
第２図は、第１図の超音波検査装置の動作全説明するた
めの図、第３図は、第１図の超音波検査装置に用いられ
る超音波送受信器の一例を示す図、第４図はこの発明の
一実施例である超音波検査装ｆｔ’に示すブロック構成
図、第５図ないし第７図は、それぞれ第４図の超音波検
査装置の動作全説明するための図である。 図において、１・・・被検査材、２・・・超音波送受信
器、３・・・走査機ｍ、４・・・バルサ、５・・・レシ
ーバ、ｂ・・・開口合成演算装置、７・・・表示装置、
２１１．・・・・・、 ２ｒ１＋・・・・・・＋ ２ｎ
ｌ 、 ２１２ 、・・・・・・、２ｎ２ ・・・・振
動子である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は和尚部分を示ブー
０ 代理人 大岩増雄 第１図 第５図 第６図
Claims (1)
- 超音波送受信器全走査し、この超音波送受信器の指向角
による開口全合成する超音波検査装置において、前記超
音波送受信器に振動子アレイを用い、この振動子アレイ
をコントロールすることにより、見掛は上の点音源を作
シ、この点音源によシ作られる音場が検査対象範囲内全
限定的に覆う様に、前記音場を前記超音波送受信器の走
査に合わせて制御する様にしたことを特徴とする超音波
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59098288A JPS60242365A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | 超音波検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59098288A JPS60242365A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | 超音波検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60242365A true JPS60242365A (ja) | 1985-12-02 |
| JPH0565821B2 JPH0565821B2 (ja) | 1993-09-20 |
Family
ID=14215736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59098288A Granted JPS60242365A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | 超音波検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60242365A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8956297B2 (en) | 2009-09-10 | 2015-02-17 | Chikayoshi Sumi | Displacement measurement method and apparatus, and ultrasonic diagnostic apparatus |
| CN106770664A (zh) * | 2016-11-22 | 2017-05-31 | 中国计量大学 | 一种基于全聚焦成像算法改进边缘缺陷检测的方法 |
| CN111289022A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-06-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种传感器及其驱动方法和制备方法 |
-
1984
- 1984-05-16 JP JP59098288A patent/JPS60242365A/ja active Granted
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| US9993228B2 (en) | 2009-09-10 | 2018-06-12 | Chikayoshi Sumi | Displacement measurement method and apparatus, and ultrasonic diagnostic apparatus |
| US11026660B2 (en) | 2009-09-10 | 2021-06-08 | Chikayoshi Sumi | Displacement measurement method and apparatus, and ultrasonic diagnostic apparatus |
| CN106770664A (zh) * | 2016-11-22 | 2017-05-31 | 中国计量大学 | 一种基于全聚焦成像算法改进边缘缺陷检测的方法 |
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| CN111289022B (zh) * | 2020-02-26 | 2022-08-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种传感器及其驱动方法和制备方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0565821B2 (ja) | 1993-09-20 |
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