JPS60237264A - セラミツクス製結合部材の製造方法 - Google Patents
セラミツクス製結合部材の製造方法Info
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- JPS60237264A JPS60237264A JP9378884A JP9378884A JPS60237264A JP S60237264 A JPS60237264 A JP S60237264A JP 9378884 A JP9378884 A JP 9378884A JP 9378884 A JP9378884 A JP 9378884A JP S60237264 A JPS60237264 A JP S60237264A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- ceramics
- ceramic
- base body
- silicon nitride
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J3/00—Diaphragms; Bellows; Bellows pistons
- F16J3/04—Bellows
- F16J3/047—Metallic bellows
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明け、管等の機械部品や装置間の結合、接続に利用
されるベローズ等の結合部材、特に高温環境下での使用
に適するセラミックス製結合部材の製造方法に関する。
されるベローズ等の結合部材、特に高温環境下での使用
に適するセラミックス製結合部材の製造方法に関する。
（従来の技術）
従来より、結合部材のベローズ等は、振動また叶卒位す
る枦械部品等との結合、接続によ〈利用されているが、
従来のべｐ−ズ等雌、主にステンレス鋼等の金属製であ
り、例えは８（１０’０以上の高温状態で使用すると、
酸化腐食を生じるなめ、高温流体がベローズ内を流れる
などの高？ｆＪＬ環境下での使用が困簿であった＠この
ため、金属より一般に耐熱耐食性に優れるセラミックス
を材質とする結合部材の開発が望まれていた〇近年、薄
肉でも十分に高い強度を有する高性能セラミックス、例
えば窒化珪素（８１５Ｎ４ ） 、炭化珪素（Ｓｉｎ）
などが開発され、ベローズ等の一肉結合部材の製造の可
能性が出てきｌｔ、Ｌかしながら・この種のセラミック
ス製薄肉結合部材と、仲、の様械部品との接続用のセラ
ミックス継手とを取り付ける方法が未だ提案されておら
ず、これ故、セラミックス製ベローズ等岐有効に実用化
さ、れていなかった。
る枦械部品等との結合、接続によ〈利用されているが、
従来のべｐ−ズ等雌、主にステンレス鋼等の金属製であ
り、例えは８（１０’０以上の高温状態で使用すると、
酸化腐食を生じるなめ、高温流体がベローズ内を流れる
などの高？ｆＪＬ環境下での使用が困簿であった＠この
ため、金属より一般に耐熱耐食性に優れるセラミックス
を材質とする結合部材の開発が望まれていた〇近年、薄
肉でも十分に高い強度を有する高性能セラミックス、例
えば窒化珪素（８１５Ｎ４ ） 、炭化珪素（Ｓｉｎ）
などが開発され、ベローズ等の一肉結合部材の製造の可
能性が出てきｌｔ、Ｌかしながら・この種のセラミック
ス製薄肉結合部材と、仲、の様械部品との接続用のセラ
ミックス継手とを取り付ける方法が未だ提案されておら
ず、これ故、セラミックス製ベローズ等岐有効に実用化
さ、れていなかった。
（発明の目的）
本発明け、上記の事情を考慮してなされたも “ので、
その目的岐、高温でかつ振動や外′カ等が加わる状態で
も使用可能なセラミックス製結合部材の製造方法を提供
することにある。
その目的岐、高温でかつ振動や外′カ等が加わる状態で
も使用可能なセラミックス製結合部材の製造方法を提供
することにある。
（発明の構成）
本発明のセラミックス製結合部材の製造方法はＳＯＶＤ
（Ｏｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｕｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉ
ｏｎ ）を利用して、セラミックス膜を気相成長させて
、ベローズ等の結合部材を成形する方法で、その構成は
、ベローズ等の結合部材の外形形状を有する基体を黒鉛
等の焼却可能な材料で成形し、該基体の両端にセラミッ
クス継手を付設し１次に窒化珪素、炭化珪素等のセラミ
ックスを前記基体および継手の表面に析出させ、その後
前記基体を焼却することを特徴をするものである。本発
明を更に詳述すると、本発明の製造方法社、例えばまず
塊状や略筒形等の黒鉛基体を、所望′の結合部材の外形
形状を有するように、例えｄベローズの場合には蛇腹形
状の面を有するように成形し、続いてセラミックス継手
を、例えばベローズの場合に岐フランジ形状の継手を黒
鉛基体の両端に付設好ましくは該基体に固定し、次にこ
の黒鉛基体を加熱炉の反応管内に収め、ＯＶＤにより例
えは窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）の場合に轄３ ＳｉＯ／４
＋ ４ＮＨ５→Ｓｉ ５Ｎ４ ＋ １２ＨＯＪという化
学反応、または炭化珪素（８ｉ０）の場合にけ５ｉ（Ｏ
Ｈ５）０７５→８ｉ０＋３ＨＯＡ！ という化学反応を
利用して、テトラタνロシラン（８ｉ（Ｖ４）およびア
ンモニア。
（Ｏｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｕｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉ
ｏｎ ）を利用して、セラミックス膜を気相成長させて
、ベローズ等の結合部材を成形する方法で、その構成は
、ベローズ等の結合部材の外形形状を有する基体を黒鉛
等の焼却可能な材料で成形し、該基体の両端にセラミッ
クス継手を付設し１次に窒化珪素、炭化珪素等のセラミ
ックスを前記基体および継手の表面に析出させ、その後
前記基体を焼却することを特徴をするものである。本発
明を更に詳述すると、本発明の製造方法社、例えばまず
塊状や略筒形等の黒鉛基体を、所望′の結合部材の外形
形状を有するように、例えｄベローズの場合には蛇腹形
状の面を有するように成形し、続いてセラミックス継手
を、例えばベローズの場合に岐フランジ形状の継手を黒
鉛基体の両端に付設好ましくは該基体に固定し、次にこ
の黒鉛基体を加熱炉の反応管内に収め、ＯＶＤにより例
えは窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）の場合に轄３ ＳｉＯ／４
＋ ４ＮＨ５→Ｓｉ ５Ｎ４ ＋ １２ＨＯＪという化
学反応、または炭化珪素（８ｉ０）の場合にけ５ｉ（Ｏ
Ｈ５）０７５→８ｉ０＋３ＨＯＡ！ という化学反応を
利用して、テトラタνロシラン（８ｉ（Ｖ４）およびア
ンモニア。
メチルトリフルロシラン（Ｓｉ （ａ（ｓ）Ｃｌｓ）ｅ
の蒸気をキャリヤーガス（例えば、水素ガス）と共に反
応管中に導き、窒化珪素、炭化珪素等のセラミックスを
黒鉛基体の表面およびセラミックス継手の表面に連続し
て析出させ、そのセラミックス膜を気相成長させて所望
の肉厚を有するベローズ等の結合部材を形成し、しかる
後黒鉛基体を空気巾約７００°Ｃの温度で加熱、焼却す
る製法である。従って、この製法により、セラミ。
の蒸気をキャリヤーガス（例えば、水素ガス）と共に反
応管中に導き、窒化珪素、炭化珪素等のセラミックスを
黒鉛基体の表面およびセラミックス継手の表面に連続し
て析出させ、そのセラミックス膜を気相成長させて所望
の肉厚を有するベローズ等の結合部材を形成し、しかる
後黒鉛基体を空気巾約７００°Ｃの温度で加熱、焼却す
る製法である。従って、この製法により、セラミ。
クス継手を一体に備えたセラミックス製結合部材が得ら
れることとなる。ＤＩ上述べた本発明の製造方法は、下
記の実施例により更に明らかとなる。
れることとなる。ＤＩ上述べた本発明の製造方法は、下
記の実施例により更に明らかとなる。
（実施例）
実施例１
との実施例の製造方法は、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）製セ
ラミックス継手を有する窒化珪素（Ｓｉ３Ｎａ）製セラ
ミックスベローズを製造する方法である〇以下、詳述す
る。まず、第１図に示すように、黒鉛よりなる略筒形の
基体１を成形した。基体１の外周面には、ベローズの外
形形状をなす蛇腹状の基礎向２が形成され、また基体１
の両側に蝶、円板リング形状の窒化珪素製セラミックス
継手３が付設されている。さらに、基体１の内側両端に
は、反応ガスが基体１内に侵入するのを防止するための
円板４が嵌合して収められている。
ラミックス継手を有する窒化珪素（Ｓｉ３Ｎａ）製セラ
ミックスベローズを製造する方法である〇以下、詳述す
る。まず、第１図に示すように、黒鉛よりなる略筒形の
基体１を成形した。基体１の外周面には、ベローズの外
形形状をなす蛇腹状の基礎向２が形成され、また基体１
の両側に蝶、円板リング形状の窒化珪素製セラミックス
継手３が付設されている。さらに、基体１の内側両端に
は、反応ガスが基体１内に侵入するのを防止するための
円板４が嵌合して収められている。
次に、第２図に示すように、基体１を加熱炉５の反応管
６内に設置した。反応管６の容積岐十分に大きく取られ
ており、基体１を均一に加熱することができる。紗いて
、炉５を加熱して炉内温度を１４００ｏＣに維持する七
共に、減圧して、 反応管６内の真空度を３０Ｔｏｒｒ
に保ち、テトラクｏｐシラン（８ｉ０１４＞およびアン
モニア（ＮＨ，）の蒸気を１：１０流に比で水素ガスの
キャリヤーガスと共に反応管６内に送り込み（図中、矢
印Ｐ方向）、窒化珪素を基体１０基礎面２およびセラミ
ックス継手３０表面などに析出させたＯこの条件での窒
化珪素膜の成長速度社約０．１ｍｍ／ｈｒであった。反
応蒸気を２時間流し続けて、窒化珪素膜の厚さが約０．
２ ｍｍに達したところで、反応蒸気の供給を止め、基
体１を放冷した〇しかる後、窒化珪素付着の基体ｌをｔ
ａＸ炉（図示せず）内に移し、大気雰囲気中で７（’１
０００ ｔで徐々に加熱して、黒鉛製の基体１を酸化、
焼却した。この結果、第３図に示すような、両側にセラ
ミックス継手３，３を一体に備えた窒化珪素製ベローズ
７（肉厚約０．２ｍｍ）が得られた。
６内に設置した。反応管６の容積岐十分に大きく取られ
ており、基体１を均一に加熱することができる。紗いて
、炉５を加熱して炉内温度を１４００ｏＣに維持する七
共に、減圧して、 反応管６内の真空度を３０Ｔｏｒｒ
に保ち、テトラクｏｐシラン（８ｉ０１４＞およびアン
モニア（ＮＨ，）の蒸気を１：１０流に比で水素ガスの
キャリヤーガスと共に反応管６内に送り込み（図中、矢
印Ｐ方向）、窒化珪素を基体１０基礎面２およびセラミ
ックス継手３０表面などに析出させたＯこの条件での窒
化珪素膜の成長速度社約０．１ｍｍ／ｈｒであった。反
応蒸気を２時間流し続けて、窒化珪素膜の厚さが約０．
２ ｍｍに達したところで、反応蒸気の供給を止め、基
体１を放冷した〇しかる後、窒化珪素付着の基体ｌをｔ
ａＸ炉（図示せず）内に移し、大気雰囲気中で７（’１
０００ ｔで徐々に加熱して、黒鉛製の基体１を酸化、
焼却した。この結果、第３図に示すような、両側にセラ
ミックス継手３，３を一体に備えた窒化珪素製ベローズ
７（肉厚約０．２ｍｍ）が得られた。
このベローズ７祉、継手３と一体であり、管等の機械部
品と容易に接続、結合することができ七〇。
品と容易に接続、結合することができ七〇。
実施例２
この実施例は、ガス々−ビン用回転式熱交換器のシール
部に使用するベローズのＩＩ造方法である。以下、詳述
する。
部に使用するベローズのＩＩ造方法である。以下、詳述
する。
第４図ないしが６図に示す回転式熱交換器において、８
け熱交換器コアを示し、また９位数ファ８を回転させる
コア回転ギヤ、１０・−・鉱該コア８を支持するベアリ
ングを夫々示す。熱交換器コア８岐、低圧部１１と高圧
部１２とに分れており、ガスタービン（図示せず）より
の７５０°０ないし１２００°０の高温排ガスが低圧部
１１に供給され（図中、矢印Ａ方向）その後大気中へ放
出される（図中、矢印Ｂ方向）一方、４ ｋｇ／ｃｍ２
ないし６ｋｇ／ｃｍ２の圧縮空気が高圧部１２に送り込
まれ（図中、矢印Ｃ方向）その後ガスタービンの燃焼室
へ逆り出されるようになっている（図中＼矢印り方向）
。その際、コア８内で熱交換が行なわれて、排ガス社冷
却される一方、圧縮空気岐６５０°０ないし１１００°
ａｔで加熱されて高温吸気となるようになっている。１
３および１４ｔ；を高温排ガスおよび高温吸気が流れる
低圧力差シよび高圧力差シール部を示す。このシール部
１３．１４（全体の外在的４３１１ｒｒｍ）を第７図に
拡大して示すように、熱交換器コア８とガスタービン本
体の間には、両端に炭化珪素（８ｉ０） １ｌｔｌセラ
ミックス継手３８〜３ｄを接合する炭化珪素（ＳｉＯ）
製ぺｐ−ズ７ａ、７ｂが夫々、コア８側に酸化ニッケル
（Ｎｉｐ）製摺動材１５を介在させて接続され”Ｃおり
１ガスタービンの振動卒位を吸収可能としている０次に
、この低圧力差シール部１３内のイレーズ７ａの製造過
程を述べると、まず第８図に示すように、ベローズの外
形形状をなす基礎面２ａを有する黒鉛Ｗ基体１ａを成形
し、炭化珪素製セラミックス継手３ａ、３ｂを該基体１
ａＯ両側に付設した。
け熱交換器コアを示し、また９位数ファ８を回転させる
コア回転ギヤ、１０・−・鉱該コア８を支持するベアリ
ングを夫々示す。熱交換器コア８岐、低圧部１１と高圧
部１２とに分れており、ガスタービン（図示せず）より
の７５０°０ないし１２００°０の高温排ガスが低圧部
１１に供給され（図中、矢印Ａ方向）その後大気中へ放
出される（図中、矢印Ｂ方向）一方、４ ｋｇ／ｃｍ２
ないし６ｋｇ／ｃｍ２の圧縮空気が高圧部１２に送り込
まれ（図中、矢印Ｃ方向）その後ガスタービンの燃焼室
へ逆り出されるようになっている（図中＼矢印り方向）
。その際、コア８内で熱交換が行なわれて、排ガス社冷
却される一方、圧縮空気岐６５０°０ないし１１００°
ａｔで加熱されて高温吸気となるようになっている。１
３および１４ｔ；を高温排ガスおよび高温吸気が流れる
低圧力差シよび高圧力差シール部を示す。このシール部
１３．１４（全体の外在的４３１１ｒｒｍ）を第７図に
拡大して示すように、熱交換器コア８とガスタービン本
体の間には、両端に炭化珪素（８ｉ０） １ｌｔｌセラ
ミックス継手３８〜３ｄを接合する炭化珪素（ＳｉＯ）
製ぺｐ−ズ７ａ、７ｂが夫々、コア８側に酸化ニッケル
（Ｎｉｐ）製摺動材１５を介在させて接続され”Ｃおり
１ガスタービンの振動卒位を吸収可能としている０次に
、この低圧力差シール部１３内のイレーズ７ａの製造過
程を述べると、まず第８図に示すように、ベローズの外
形形状をなす基礎面２ａを有する黒鉛Ｗ基体１ａを成形
し、炭化珪素製セラミックス継手３ａ、３ｂを該基体１
ａＯ両側に付設した。
次に、この基体１ａを実施例１と同様な炉の反応管内に
設置し、続いて炉を加熱しかつ反応管内を減圧して、炉
内温度を１４５０°Ｃ９反応管内の真空度を約３０ Ｔ
ｏｒｒ Ｋ ＊ 節し、メチルトリクロロシラン（５ｉ
（ａ（ｓ）Ｏｌｓ）の蒸気をキャリヤーガス（水素ガス
）と共に反応管中に導き、炭化珪素を基体１ａの基礎面
２およびセラミックス継手３ａ、３ｂの表面に析出させ
た。この条件での炭化珪素膜の成長蒼度岐約０．１ ｍ
ｍ／ｈ ｒであった０なお、この場合、炭化珪素膜を形
成する必要がない基体部分には、予め窒化硼素（ＢＮ）
粉末を塗布しておき、炭化珪素の析出を防止した。メチ
ルトリクロロシラン蒸気を２時間流し続けて、炭化珪素
膜の厚さが約０．２ｍｍに達したところで、その蒸気の
供給を止め、基体１ａを放冷した。
設置し、続いて炉を加熱しかつ反応管内を減圧して、炉
内温度を１４５０°Ｃ９反応管内の真空度を約３０ Ｔ
ｏｒｒ Ｋ ＊ 節し、メチルトリクロロシラン（５ｉ
（ａ（ｓ）Ｏｌｓ）の蒸気をキャリヤーガス（水素ガス
）と共に反応管中に導き、炭化珪素を基体１ａの基礎面
２およびセラミックス継手３ａ、３ｂの表面に析出させ
た。この条件での炭化珪素膜の成長蒼度岐約０．１ ｍ
ｍ／ｈ ｒであった０なお、この場合、炭化珪素膜を形
成する必要がない基体部分には、予め窒化硼素（ＢＮ）
粉末を塗布しておき、炭化珪素の析出を防止した。メチ
ルトリクロロシラン蒸気を２時間流し続けて、炭化珪素
膜の厚さが約０．２ｍｍに達したところで、その蒸気の
供給を止め、基体１ａを放冷した。
しかる後、炭化珪素付着の基体１ａを炉より取出し、大
気雰囲気中で約７００°Ｃまで加熱して、黒鉛製の基体
１ａを焼却し、この結果両側にセラミックス継手３ａ、
３ｂを一体に備えた炭化珪素製ベローズ７ａが得られた
◇高圧力差シール部内の炭化珪素製ベローズ７ｂも、上
記と同様にして得ることができた。
気雰囲気中で約７００°Ｃまで加熱して、黒鉛製の基体
１ａを焼却し、この結果両側にセラミックス継手３ａ、
３ｂを一体に備えた炭化珪素製ベローズ７ａが得られた
◇高圧力差シール部内の炭化珪素製ベローズ７ｂも、上
記と同様にして得ることができた。
従来のシール部では、第９図に示すような、両端にステ
ンレス鋼（８０８）製継手１６．１６を接合したステン
レス鋼製ベローズ１７を使用していたため・耐熱性に劣
り、ガスタービンか♂ｉ温排ガスおよび高温吸気の熱に
よってシール部が破損し易く、排ガス等が外部に漏れる
ことが多かった。これに対して、実施例２の製法によ抄
得念継手一体の炭化珪素製ベローズ７ａ、 ７ｂを用い
た場合に蝶、ガスタービンの振動が伝達される状態で使
用されかつ１２００°０にもなる高温排ガス。
ンレス鋼（８０８）製継手１６．１６を接合したステン
レス鋼製ベローズ１７を使用していたため・耐熱性に劣
り、ガスタービンか♂ｉ温排ガスおよび高温吸気の熱に
よってシール部が破損し易く、排ガス等が外部に漏れる
ことが多かった。これに対して、実施例２の製法によ抄
得念継手一体の炭化珪素製ベローズ７ａ、 ７ｂを用い
た場合に蝶、ガスタービンの振動が伝達される状態で使
用されかつ１２００°０にもなる高温排ガス。
および高温吸気が流通しても、ベローズ等が破損し排ガ
ス等が漏れることが無かった〇（発明の効果） 以上説明したように、本発明の結合部材の製造方法ｄ、
ＯＶＤによりセラミックス膜をセラミックス継手付設の
基体の装面上に気相成長させて結合部材を成形ししかる
後該基体を焼却する製法としたことにより、他の機械部
品との接続、結合が容易で、かつ高温流体（例えは、８
００００以上）が流れるなどの高ｆ！Ａ′ｆＲ境下に適
用可能な継手一体のセラミックス製結合部材を製造する
ことができ、しかもベローズ等を製造する場合には０、
約８０α００以上の高温下で振動や外力等が加わる状態
においても使用可能な結合部材を得る仁とができる。従
って、本発明の製法による結合部材社特に、自動車エン
ジン等の振動機械とセラミックス製ターボ・チャージャ
八ウジング等の高温装置との接続などに有用である。
ス等が漏れることが無かった〇（発明の効果） 以上説明したように、本発明の結合部材の製造方法ｄ、
ＯＶＤによりセラミックス膜をセラミックス継手付設の
基体の装面上に気相成長させて結合部材を成形ししかる
後該基体を焼却する製法としたことにより、他の機械部
品との接続、結合が容易で、かつ高温流体（例えは、８
００００以上）が流れるなどの高ｆ！Ａ′ｆＲ境下に適
用可能な継手一体のセラミックス製結合部材を製造する
ことができ、しかもベローズ等を製造する場合には０、
約８０α００以上の高温下で振動や外力等が加わる状態
においても使用可能な結合部材を得る仁とができる。従
って、本発明の製法による結合部材社特に、自動車エン
ジン等の振動機械とセラミックス製ターボ・チャージャ
八ウジング等の高温装置との接続などに有用である。
第１図および第２図は本発明の実施例１のセラミックス
製結合部材の製造方法に従う各製造過程を示す図、 第３図れ実施例１ｃＩ製造方法に従って得られたセラミ
ックス製結合部材を示す断面図、第４図は実施例２の製
造方法に従って得られた結合部材を備え付けた回転式熱
交換器を示す・正面図、 第５図は第４図の回転式熱交換器を示す平面図（シール
部を除く。）、 第６図は第４図のｖ’ｒ−ｖＴ、ｍにおける断面図、第
７図は第６図の回転式熱交換器近傍のシール部を示す拡
大断面図、 第８図は実施例２の製造方法に従って得られた結合部材
（第７図に図示する。）の製造過程を示す図、 第９図位従来のシール部の要部を示す断面図であ７−８ 図中、 １．１ａ・・・基体 ３．３ａ〜３ｄ・・・セラミックス継手７．７ａ、７ｂ
・・・セラミックス製ベローズ特許出願人 株式会社
豊田中央研究所第１図 才２図 第３図
製結合部材の製造方法に従う各製造過程を示す図、 第３図れ実施例１ｃＩ製造方法に従って得られたセラミ
ックス製結合部材を示す断面図、第４図は実施例２の製
造方法に従って得られた結合部材を備え付けた回転式熱
交換器を示す・正面図、 第５図は第４図の回転式熱交換器を示す平面図（シール
部を除く。）、 第６図は第４図のｖ’ｒ−ｖＴ、ｍにおける断面図、第
７図は第６図の回転式熱交換器近傍のシール部を示す拡
大断面図、 第８図は実施例２の製造方法に従って得られた結合部材
（第７図に図示する。）の製造過程を示す図、 第９図位従来のシール部の要部を示す断面図であ７−８ 図中、 １．１ａ・・・基体 ３．３ａ〜３ｄ・・・セラミックス継手７．７ａ、７ｂ
・・・セラミックス製ベローズ特許出願人 株式会社
豊田中央研究所第１図 才２図 第３図
Claims (1)
- ベローズ等の結合部材の外形形状を有する基体を黒鉛等
の焼却可能な材料で成形し、該を体の両端にセラミック
ス継手を付設し、次に窒化硅素、炭化珪素等のセラミッ
クスを前記基体および継手の表面に析出させ、その後前
記基体を焼却することを特徴とする継手を一体的に備え
たセラミックス製結合部材の製造方法０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9378884A JPS60237264A (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | セラミツクス製結合部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9378884A JPS60237264A (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | セラミツクス製結合部材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60237264A true JPS60237264A (ja) | 1985-11-26 |
Family
ID=14092152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9378884A Pending JPS60237264A (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | セラミツクス製結合部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60237264A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7055236B2 (en) * | 1999-08-13 | 2006-06-06 | Asahi Glass Company, Limited | Joining method for high-purity ceramic parts |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5128647A (ja) * | 1974-09-03 | 1976-03-11 | Fujitsu Ten Ltd | Kanonsoshi |
-
1984
- 1984-05-10 JP JP9378884A patent/JPS60237264A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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| JPS5128647A (ja) * | 1974-09-03 | 1976-03-11 | Fujitsu Ten Ltd | Kanonsoshi |
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| US7055236B2 (en) * | 1999-08-13 | 2006-06-06 | Asahi Glass Company, Limited | Joining method for high-purity ceramic parts |
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