JPS60234948A - トルクセンサ−用非晶質合金 - Google Patents
トルクセンサ−用非晶質合金Info
- Publication number
- JPS60234948A JPS60234948A JP59088424A JP8842484A JPS60234948A JP S60234948 A JPS60234948 A JP S60234948A JP 59088424 A JP59088424 A JP 59088424A JP 8842484 A JP8842484 A JP 8842484A JP S60234948 A JPS60234948 A JP S60234948A
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- JP
- Japan
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- alloy
- amorphous
- torque
- amorphous alloy
- torque sensor
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
この発明は例えば非接触でトルクを検出するトルクセン
サーに用いられる非晶質合金に係り、特に耐環境性にす
ぐれた非晶質合金に関する。
サーに用いられる非晶質合金に係り、特に耐環境性にす
ぐれた非晶質合金に関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
近年回転体のトルクを正確に検出することがめられてい
て、この要望に対しては回転体に検出体が接触しない非
接触方式が適している。
て、この要望に対しては回転体に検出体が接触しない非
接触方式が適している。
従来このような非接触方式によるトルクセンサーとして
は、軸のねじり角を光や磁気により検出して間接的にト
ルクを検出する間接方式によるもの、あるいけ回転体に
磁性体を設けこの磁性体の回転による磁気歪現象を利用
してトルクを検出する直接方式によるもの等が試みられ
ている。しかしながら実用上これらは使用に耐えるもの
ではない。
は、軸のねじり角を光や磁気により検出して間接的にト
ルクを検出する間接方式によるもの、あるいけ回転体に
磁性体を設けこの磁性体の回転による磁気歪現象を利用
してトルクを検出する直接方式によるもの等が試みられ
ている。しかしながら実用上これらは使用に耐えるもの
ではない。
前記直接方式のものは間接方式のものに比べ、簡便でか
つ静止、正転、逆転時のトルクの検出が可能で応用上好
ましいが、従来のものでは磁性体の磁気的特性の不均一
により正確なトルクの検出が困難であった。
つ静止、正転、逆転時のトルクの検出が可能で応用上好
ましいが、従来のものでは磁性体の磁気的特性の不均一
により正確なトルクの検出が困難であった。
ところで最近非晶質磁性合金の磁気歪特性を利用し、直
接非接触でトルクを検出するトルクセンサーが提案され
ている。(1!気学会マグネテイツクス研究余資刺、
MAG−81−71)。こnは大きな磁気歪特性を有す
る非晶質磁性合金薄帯を回転軸に巻いて固足し、トルク
による軸の歪応力が非晶質磁性合金薄帯に導入されるよ
うにして、磁気歪現象による非晶質磁性合金薄帯の磁、
気特性の変化を外部から非接触で検出することによりト
ルクを検出するものである。すなわち前記トルクセンサ
ーは第1図に示すように回転軸(1)に嵌装された非晶
質磁性合金薄帯からなる環状磁芯(2)を有する。
接非接触でトルクを検出するトルクセンサーが提案され
ている。(1!気学会マグネテイツクス研究余資刺、
MAG−81−71)。こnは大きな磁気歪特性を有す
る非晶質磁性合金薄帯を回転軸に巻いて固足し、トルク
による軸の歪応力が非晶質磁性合金薄帯に導入されるよ
うにして、磁気歪現象による非晶質磁性合金薄帯の磁、
気特性の変化を外部から非接触で検出することによりト
ルクを検出するものである。すなわち前記トルクセンサ
ーは第1図に示すように回転軸(1)に嵌装された非晶
質磁性合金薄帯からなる環状磁芯(2)を有する。
このようなトルクセンサーにおいては、トルク(81を
回転軸(1)に加えると、回転軸(1)にはその長手方
向に対して145度の方向に歪応力(4)が加わり、こ
れに伴って回転軸(1)に完全密着した環状磁芯(2)
にも第1図に示すようにその長手方向に対して145度
のφ応力の(4)が生ずる。一方環状磁芯(2)として
第2図に示すようにたとえば0=45度の方向に一軸異
方性Ku(5)が付与されたものを用いれば、前記トル
ク(81を加えることによって生じた歪応力?(4)に
より、そのKu(5)はKu’(6)に変化する。した
がって前記−軸異方性の変化量を電気的に検出すること
により回転軸に加わるトルクを検出することができる。
回転軸(1)に加えると、回転軸(1)にはその長手方
向に対して145度の方向に歪応力(4)が加わり、こ
れに伴って回転軸(1)に完全密着した環状磁芯(2)
にも第1図に示すようにその長手方向に対して145度
のφ応力の(4)が生ずる。一方環状磁芯(2)として
第2図に示すようにたとえば0=45度の方向に一軸異
方性Ku(5)が付与されたものを用いれば、前記トル
ク(81を加えることによって生じた歪応力?(4)に
より、そのKu(5)はKu’(6)に変化する。した
がって前記−軸異方性の変化量を電気的に検出すること
により回転軸に加わるトルクを検出することができる。
上述した誘導磁気異方性を付与する具体的な方法として
は、回転軸の径に合わせて非晶質磁性合金薄帯の環状磁
芯を作製し、熱処理して内部応力を除去した後これを前
記回転軸に嵌装して軸く二ねじりを与えた状態で接着し
、軸のねじりをもどすをTとすると、出力はλs (T
o −T )に比例する。
は、回転軸の径に合わせて非晶質磁性合金薄帯の環状磁
芯を作製し、熱処理して内部応力を除去した後これを前
記回転軸に嵌装して軸く二ねじりを与えた状態で接着し
、軸のねじりをもどすをTとすると、出力はλs (T
o −T )に比例する。
ここで1mは非晶質磁性合金の磁歪定数である。
前記のトルクセンサーにおいそは、非晶質磁性合金とし
ては磁歪定数が大きく、飽和磁化が高い#1と大きな出
力が得られるので、このような特性をもったものを用い
ることが望ましい。また大きなトルクTを検出するため
にはs TQを予め大きくしておけばよい。すなわち回
転軸に大きなねじりを加えた状態で非晶質磁性合金を接
着すればよい。
ては磁歪定数が大きく、飽和磁化が高い#1と大きな出
力が得られるので、このような特性をもったものを用い
ることが望ましい。また大きなトルクTを検出するため
にはs TQを予め大きくしておけばよい。すなわち回
転軸に大きなねじりを加えた状態で非晶質磁性合金を接
着すればよい。
さらに実際仁使用される状態を考慮した場合には、すべ
ての非晶質磁性合金がトルクセンサーとして適するもの
ではまく、たとえば耐食性が悪いと、表面にさびが発生
し、トルクの検出出力が劣化することがあるので、耐環
境性にすぐれた非晶質合金が要望されていた。
ての非晶質磁性合金がトルクセンサーとして適するもの
ではまく、たとえば耐食性が悪いと、表面にさびが発生
し、トルクの検出出力が劣化することがあるので、耐環
境性にすぐれた非晶質合金が要望されていた。
[発明の目的]
この発明tまこのような要望に対してなされたものであ
って、トルクを良好に検出することのできるトルクセン
サー用として改善され、磁気特性とともに耐環境性のす
ぐれたトルクセンサー用非晶質合金を提供することを目
的とするものである。
って、トルクを良好に検出することのできるトルクセン
サー用として改善され、磁気特性とともに耐環境性のす
ぐれたトルクセンサー用非晶質合金を提供することを目
的とするものである。
「発明の仙、要」
この発明の合金は、上述の特性を有する非晶質合金とし
て、本発明者が研究して得られたもので、Cr、白金族
元素の少なくとも1種を含有させた鉄基非晶質合金ある
いViCr、白金族元素の少なくとも1 種とNl、C
oの少なくとも1種を含鳴させた鉄基非晶質合金にして
、一般式FeaMbSjOBd(ここにMはCr、白金
族元素の少なくとも1種、a+b+cod = 100
s 1≦b≦10.0≦C≦20.5≦d≦30.1
5≦cod≦30)あるいはFeの一部なNi、Coノ
少なくとも1aにて0〜aoatsc Oは含まず)置
換してなるもので表わされる非晶質合金である。このも
のは高飽和磁束密度と高磁歪を有し、耐環境性にすぐれ
たものでおる。
て、本発明者が研究して得られたもので、Cr、白金族
元素の少なくとも1種を含有させた鉄基非晶質合金ある
いViCr、白金族元素の少なくとも1 種とNl、C
oの少なくとも1種を含鳴させた鉄基非晶質合金にして
、一般式FeaMbSjOBd(ここにMはCr、白金
族元素の少なくとも1種、a+b+cod = 100
s 1≦b≦10.0≦C≦20.5≦d≦30.1
5≦cod≦30)あるいはFeの一部なNi、Coノ
少なくとも1aにて0〜aoatsc Oは含まず)置
換してなるもので表わされる非晶質合金である。このも
のは高飽和磁束密度と高磁歪を有し、耐環境性にすぐれ
たものでおる。
[発明の実施例]
この発明のトルクセンサー用の非晶質磁性合金の実施例
について以下説明する。第1表にこの発明の非晶質合金
の組成を示す。例1.〜例5.ldこの発明のものにし
て、例6.と例7.は比較例として示す従来のものでお
る。
について以下説明する。第1表にこの発明の非晶質合金
の組成を示す。例1.〜例5.ldこの発明のものにし
て、例6.と例7.は比較例として示す従来のものでお
る。
第1宍
例 組 成
1・(F”0.8?CrO,08NiO,IO)?98
i8B1B2、(Feo、57Cro、osCoo、t
o)n817Bt。
i8B1B2、(Feo、57Cro、osCoo、t
o)n817Bt。
3、(Feo、oaRuo、o4)7s8ioBu4、
(FeO,90PtO,06C00,05)80Si5
B155、(Feo、5aCro、o2”o、o2c’
o、lo)?78sB1s6= (Feo、ovMno
、os)y7811oB1g7、Fe7g5IBBIB この各合金を単ロール法を用いて作製し、幅約1o l
j1平均板厚約18μmの薄帯な形成する。次いでこれ
らの合金薄帯を予め回転軸の径(1ow)に合わせて巻
き、環状磁芯を作製して後内部応力除去のための熱処理
を施した。つづいて環状磁芯を前記回転軸に嵌挿し、5
Kg−mまでのトルクを測定しようとして軸にねじりを
与えた状態で接着剤によって固定した後、軸のねじりを
もどして前記環状磁芯に誘導磁気異方性Kuを与えた。
(FeO,90PtO,06C00,05)80Si5
B155、(Feo、5aCro、o2”o、o2c’
o、lo)?78sB1s6= (Feo、ovMno
、os)y7811oB1g7、Fe7g5IBBIB この各合金を単ロール法を用いて作製し、幅約1o l
j1平均板厚約18μmの薄帯な形成する。次いでこれ
らの合金薄帯を予め回転軸の径(1ow)に合わせて巻
き、環状磁芯を作製して後内部応力除去のための熱処理
を施した。つづいて環状磁芯を前記回転軸に嵌挿し、5
Kg−mまでのトルクを測定しようとして軸にねじりを
与えた状態で接着剤によって固定した後、軸のねじりを
もどして前記環状磁芯に誘導磁気異方性Kuを与えた。
次いで軸を回転させ、トルクを変化させて動トルクを検
出した。測定すべきトルクが5Kf−mの時の出力(m
V)を次の第2表に示す。
出した。測定すべきトルクが5Kf−mの時の出力(m
V)を次の第2表に示す。
第2表
例 出力
640
2、 720
680
700
5、 690
680
7.700
さらに耐環境試験として、■pH3の酸性油中(25℃
)と、■温度80℃、湿度80%の2つの条件下で、各
々1000時間放置し、このものを前記と同一条件で出
力を測定し、初期値に対する相対値として、その値を次
の第3表に示す。(単位%)第3表 例 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7゜試験条
件■ 98.1 97.7 98.298.599.0
g9.282.5試験条件■ 9B、9 99.0
99.299.499.590,184.0この表から
分るように、この発明によるものは長期間にわたる苛酷
な外的状況に対してもその特性を劣化させることなく、
表面にさびの発生もみられず、耐環境性が極めてすぐれ
ているものである0 この発明の合金において、Cr、白金族元素は耐食性を
改善するのに最も効果があるもので、その効果は181
%以上で顕著である。ただ1Qat%をこえると飽和磁
束密度がIQ KO以下となり、また磁歪も小さくなる
ので、添加割合は1〜1Qat%(好ましぐは1〜8a
t%)が適当である。
)と、■温度80℃、湿度80%の2つの条件下で、各
々1000時間放置し、このものを前記と同一条件で出
力を測定し、初期値に対する相対値として、その値を次
の第3表に示す。(単位%)第3表 例 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7゜試験条
件■ 98.1 97.7 98.298.599.0
g9.282.5試験条件■ 9B、9 99.0
99.299.499.590,184.0この表から
分るように、この発明によるものは長期間にわたる苛酷
な外的状況に対してもその特性を劣化させることなく、
表面にさびの発生もみられず、耐環境性が極めてすぐれ
ているものである0 この発明の合金において、Cr、白金族元素は耐食性を
改善するのに最も効果があるもので、その効果は181
%以上で顕著である。ただ1Qat%をこえると飽和磁
束密度がIQ KO以下となり、また磁歪も小さくなる
ので、添加割合は1〜1Qat%(好ましぐは1〜8a
t%)が適当である。
Bは非晶質合金の製造に不可欠の元素であって、含有謝
が5at%より少ないときあるいは3Qat%より多い
ときけ非晶質の状態が得られにくくなるので5〜3Qa
t%の範囲が好ましい。
が5at%より少ないときあるいは3Qat%より多い
ときけ非晶質の状態が得られにくくなるので5〜3Qa
t%の範囲が好ましい。
又、SIは結晶化温度を上昇させ非晶質の状態を安定化
させるのに効果のある元素であって、 29atチをこ
えると非晶質状態が得られにくくなるので20 at
%以下が好ましい。このような非晶質合金とするに必要
な元素であるBとSiとはその合量が15〜3Qat%
の範囲にあることがきわめて好ましいものである。
させるのに効果のある元素であって、 29atチをこ
えると非晶質状態が得られにくくなるので20 at
%以下が好ましい。このような非晶質合金とするに必要
な元素であるBとSiとはその合量が15〜3Qat%
の範囲にあることがきわめて好ましいものである。
さらに、Ni、Coは飽和磁化、磁歪を高めるのに効果
のある元素であって、耐食性をも改善し助長するが、3
Qat%をこえると飽和磁化、磁歪とも小さくなるので
、あまり実用的ではなくなる。
のある元素であって、耐食性をも改善し助長するが、3
Qat%をこえると飽和磁化、磁歪とも小さくなるので
、あまり実用的ではなくなる。
また前記のものをくみあわせた非晶質合金にTi、 Z
r、 Hf1V、Nb、 Ta、 W、 Mo%Mn
、希土類金属などの非磁性遷移金属を少量添加すること
は磁気特性を改善する効果をもたらす。
r、 Hf1V、Nb、 Ta、 W、 Mo%Mn
、希土類金属などの非磁性遷移金属を少量添加すること
は磁気特性を改善する効果をもたらす。
[発明の効果]
この発明の非晶質合金は、Cr、白金族元素の少なくと
も1種あるいはさらにNi、 Coの少なくとも1種を
添加したことによって、耐食性をきわめて良好にし、長
時間苛酷な外的状態のもとでもさびの発生をみることな
く、高飽和磁束密度と高磁歪を有し、トルクセンサーに
使用されてきわめて好適な、工業的に有用な非晶質合金
である。
も1種あるいはさらにNi、 Coの少なくとも1種を
添加したことによって、耐食性をきわめて良好にし、長
時間苛酷な外的状態のもとでもさびの発生をみることな
く、高飽和磁束密度と高磁歪を有し、トルクセンサーに
使用されてきわめて好適な、工業的に有用な非晶質合金
である。
第1図と第2図は非接触型のトルクセンサーの原理図で
ある。 l・・・回転軸 2・・・環状磁芯 3・・・トルク 4・・・歪応力 代理人 弁理士 井 上 −男
ある。 l・・・回転軸 2・・・環状磁芯 3・・・トルク 4・・・歪応力 代理人 弁理士 井 上 −男
Claims (2)
- (1)Fe −8i −B系非晶質合金にして、一般式
%式% ここにMはCr、白金族元素の少なくとも1種の元素に
して、a+b+c+d=100.1≦b≦10.0≦C
≦20.5≦d≦30.15≦cod≦30で表わされ
ることを特徴とするトルクセンサー用非晶質合金。 - (2) Feの一部なNi、Coの少なくとも1種(二
て0〜3Qat%(0は含まず)置換してなる特許請求
の範囲第1項記載のトルクセンサー用非晶質合金。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59088424A JPS60234948A (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | トルクセンサ−用非晶質合金 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59088424A JPS60234948A (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | トルクセンサ−用非晶質合金 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60234948A true JPS60234948A (ja) | 1985-11-21 |
Family
ID=13942396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59088424A Pending JPS60234948A (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | トルクセンサ−用非晶質合金 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60234948A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5585574A (en) * | 1993-02-02 | 1996-12-17 | Mitsubishi Materials Corporation | Shaft having a magnetostrictive torque sensor and a method for making same |
-
1984
- 1984-05-04 JP JP59088424A patent/JPS60234948A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5585574A (en) * | 1993-02-02 | 1996-12-17 | Mitsubishi Materials Corporation | Shaft having a magnetostrictive torque sensor and a method for making same |
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