JPS60233538A - 水素化物生成炭素，燐，硫黄成分の迅速分析方法および装置 - Google Patents
水素化物生成炭素，燐，硫黄成分の迅速分析方法および装置Info
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- JPS60233538A JPS60233538A JP59088370A JP8837084A JPS60233538A JP S60233538 A JPS60233538 A JP S60233538A JP 59088370 A JP59088370 A JP 59088370A JP 8837084 A JP8837084 A JP 8837084A JP S60233538 A JPS60233538 A JP S60233538A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/72—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited using flame burners
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は分析試料中に含まれる炭素、燐、硫黄を水素ガ
ス雰囲気中でスパーク放電等によって励起さｉ、各成分
を水素化物ガスに変え、水素炎イオン化検出器および水
素炎光度検出器によって各ガス成分濃度を測定し、分析
試料中の各成分含有率を簡単、迅速に分析する方法およ
び装置に関するものである。
ス雰囲気中でスパーク放電等によって励起さｉ、各成分
を水素化物ガスに変え、水素炎イオン化検出器および水
素炎光度検出器によって各ガス成分濃度を測定し、分析
試料中の各成分含有率を簡単、迅速に分析する方法およ
び装置に関するものである。
金属の精錬、製鋼プロセスなどの操業の管理には、可能
な限り迅速に分析して成分含有率を把握し、その結果に
よって対応処理をとる必要がある。また、製品の検定に
も高精度、迅速分析が必要である。分析対象成分の中で
も、炭素、燐、硫黄については特に製鉄において、品質
を決定する上で重要な成分である。本発明は、上記のよ
うに製鉄業あるいは各種非鉄金属製造業などにおける製
造工程管理分析や品質管理分析の分野で利用されるもの
である。
な限り迅速に分析して成分含有率を把握し、その結果に
よって対応処理をとる必要がある。また、製品の検定に
も高精度、迅速分析が必要である。分析対象成分の中で
も、炭素、燐、硫黄については特に製鉄において、品質
を決定する上で重要な成分である。本発明は、上記のよ
うに製鉄業あるいは各種非鉄金属製造業などにおける製
造工程管理分析や品質管理分析の分野で利用されるもの
である。
（従来技術）
金属試料押の炭素、燐、硫黄の分析方法は各種いろいる
あるが、これら３成分を迅速に分析する方法としては１
発光分光分析方法（ＪＩＳ ０１２０３鉄および鋼の光
電測光法による発光分光分析方法通則（１ｆ３８Ｂ）
、 ＪＩＳ Ｇ１２５３鉄および鋼の光電測光法による
発光分光分析方法）が活用されている。この分析方法は
、分析試料片表面とタングステン等の対電極先端部間に
高電圧をかけてスパーク放電を行なわせ、分析成分を励
起発光させ、励起光を分光器によって分光し、各成分の
発光スペクトル線強度から試料中の含有率をめる方法で
ある。
あるが、これら３成分を迅速に分析する方法としては１
発光分光分析方法（ＪＩＳ ０１２０３鉄および鋼の光
電測光法による発光分光分析方法通則（１ｆ３８Ｂ）
、 ＪＩＳ Ｇ１２５３鉄および鋼の光電測光法による
発光分光分析方法）が活用されている。この分析方法は
、分析試料片表面とタングステン等の対電極先端部間に
高電圧をかけてスパーク放電を行なわせ、分析成分を励
起発光させ、励起光を分光器によって分光し、各成分の
発光スペクトル線強度から試料中の含有率をめる方法で
ある。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の発光分光分析法は、短時間で複数元素を同時分析
できる実用的な方法である。しかし、同時に発光する各
元素のスペクトル線の干渉を防ぐために１オングストロ
ーム以下の高分解能の発光スペクトルの分光が必要にな
る。従って、分光器は大型となり、分析装置全体が占め
るスペースは大きく分光器は精密光学装置であるために
室温変化が少なく、振動が起らずまた塵埃の少ない場所
に設置しなけらばならない９分析装置の価格も非常に高
価になる。
できる実用的な方法である。しかし、同時に発光する各
元素のスペクトル線の干渉を防ぐために１オングストロ
ーム以下の高分解能の発光スペクトルの分光が必要にな
る。従って、分光器は大型となり、分析装置全体が占め
るスペースは大きく分光器は精密光学装置であるために
室温変化が少なく、振動が起らずまた塵埃の少ない場所
に設置しなけらばならない９分析装置の価格も非常に高
価になる。
そこで、従来の発光分光分析法のように非常に複数の元
素を同時分析できなくとも、必要最小限の元素を簡単、
迅速に分析でき、しかも設置上の制約条件が厳しくなく
、安価な分析装置が望まれる場合が多い０本発明はこの
ような目的のために提供されるもので、方法、原理的に
も全く新規のものである。すなわち、金属の機械的強度
などの品質評価に重要な影響を与える主要な元素である
炭素、燐、硫黄を簡単、迅速に高感度、高性能で分析で
き、しかも、温度変化、振動、塵埃等設置環境上の制約
がゆるく、装置価格も安価である。
素を同時分析できなくとも、必要最小限の元素を簡単、
迅速に分析でき、しかも設置上の制約条件が厳しくなく
、安価な分析装置が望まれる場合が多い０本発明はこの
ような目的のために提供されるもので、方法、原理的に
も全く新規のものである。すなわち、金属の機械的強度
などの品質評価に重要な影響を与える主要な元素である
炭素、燐、硫黄を簡単、迅速に高感度、高性能で分析で
き、しかも、温度変化、振動、塵埃等設置環境上の制約
がゆるく、装置価格も安価である。
また、近年の高純度金属生産に必須である高感度分析の
面ではとくに従来法よりも優れる特徴をもつ。
面ではとくに従来法よりも優れる特徴をもつ。
（発明の構成・作用・実施例）
第１図に示す本発明の実施装置例をもとに、本発明の帽
し作用について説明する。第１図には分析試料の励起エ
ネルギー源としてスパーク放電を採用した例を示した。
し作用について説明する。第１図には分析試料の励起エ
ネルギー源としてスパーク放電を採用した例を示した。
本発明の装置は、水素化物生成部１．スパーク放電用電
源部２．アルゴンなどのガス制御部３゜水素化物ガスサ
ンプリング部４．検出部５およびデータ処理部６を主体
に構成される。水素化物生成部１は分析試料７に対抗し
てタングステン製などの対電極８が設けられ、水素ガス
を混合したアルゴンなどの不活性ガス供給口と排出口を
設けた小容積の放電室９を形成している。対電極８は耐
熱絶縁材で保持されており、分析試料７とは絶縁状態と
している。また、放電室９の密閉性を保つために分析試
料７は耐熱樹脂性リングを介して押圧した状態で保持す
る０分析試料７および対電極８にはスパーク放電用電源
装置２の陰極および陽極がそれぞれ接続されている。こ
の両極に高電圧をかけて分析試料７表面と対電極８先端
部間に電気°的火花放電を飛ばし、分析試料中容元素を
励起蒸発させる。スパーク放電の条件は各元素の励起の
再現性が良い条件が適当である。例えば、スパーク放電
回路定数が自己銹導１０ＩＬＨ，静電容量３ＪＬＦ＋抵
抗ＯΩで、電圧は１ｏｏｏｖ 、周波数は１００〜４０
０ Ｈｚ、電極間間隙は４〜６＋ｕ＋程度の一般的な低
圧スパーク放電条件を採用した場合、定量結果の感度、
精度が優れていた。
源部２．アルゴンなどのガス制御部３゜水素化物ガスサ
ンプリング部４．検出部５およびデータ処理部６を主体
に構成される。水素化物生成部１は分析試料７に対抗し
てタングステン製などの対電極８が設けられ、水素ガス
を混合したアルゴンなどの不活性ガス供給口と排出口を
設けた小容積の放電室９を形成している。対電極８は耐
熱絶縁材で保持されており、分析試料７とは絶縁状態と
している。また、放電室９の密閉性を保つために分析試
料７は耐熱樹脂性リングを介して押圧した状態で保持す
る０分析試料７および対電極８にはスパーク放電用電源
装置２の陰極および陽極がそれぞれ接続されている。こ
の両極に高電圧をかけて分析試料７表面と対電極８先端
部間に電気°的火花放電を飛ばし、分析試料中容元素を
励起蒸発させる。スパーク放電の条件は各元素の励起の
再現性が良い条件が適当である。例えば、スパーク放電
回路定数が自己銹導１０ＩＬＨ，静電容量３ＪＬＦ＋抵
抗ＯΩで、電圧は１ｏｏｏｖ 、周波数は１００〜４０
０ Ｈｚ、電極間間隙は４〜６＋ｕ＋程度の一般的な低
圧スパーク放電条件を採用した場合、定量結果の感度、
精度が優れていた。
ガ艮制御部３は、水素ガスを２〜２０％程度混合した高
純度アルゴンガスポンベ１０．高純度アルゴンガスポン
ベ１１．二−ドルバルフ付流量計１８ａ。
純度アルゴンガスポンベ１０．高純度アルゴンガスポン
ベ１１．二−ドルバルフ付流量計１８ａ。
１８ｂ、 １８ｃ 、電磁弁１１ａ〜Ｌ９ｅなどから構
成される水素混合アルゴンガスおよびアルゴンガスの流
路切替および流量制御を行なう。まず、水素化物生成部
１に分析試料７を設定したあと、第１図の実線矢印→の
経路（プリフラッシュガス経路）、すなわち、水素混合
アルゴンガスポンベ１０．流量計（流量１０〜２０１
／ ｗｉｎ ） １８ｂ 、電磁弁１１１ｂ、 １９ｃ
。
成される水素混合アルゴンガスおよびアルゴンガスの流
路切替および流量制御を行なう。まず、水素化物生成部
１に分析試料７を設定したあと、第１図の実線矢印→の
経路（プリフラッシュガス経路）、すなわち、水素混合
アルゴンガスポンベ１０．流量計（流量１０〜２０１
／ ｗｉｎ ） １８ｂ 、電磁弁１１１ｂ、 １９ｃ
。
ガス供給管１Ｂ、放電室９．ガス搬送管１７．電磁弁１
９ｄ、四方口切替弁２０ａにガスを流して放電室９内に
残留した大気を排出除去する。次に上記の１８ｂおよび
１８ｂにかわって流量計（流量０．５〜２旦／ｍ１ｎ）
１８ａ、電磁弁ｌｅａを通りほかはすべて上記と同じ
経路（キャリアーガス経路）に水素混合アルゴンガスを
流し、試料７表面および対電極８先端間にスパーク放電
を飛ばし、励起して反応゛生成した試料中の炭素、燐、
硫黄の水素化物ガスを放電室９より搬送管１７へ運び出
す、水素化物ガスハ搬送管１７から検出部５へ送られて
、各元素の分析が行なわれるが、ｌ試料の分析終了後に
は、第１図の破線矢印−ヤの経路（クリーニングガス経
路）すなわちアルゴンガスボンベ１１． 流量計１ｓｃ
。
９ｄ、四方口切替弁２０ａにガスを流して放電室９内に
残留した大気を排出除去する。次に上記の１８ｂおよび
１８ｂにかわって流量計（流量０．５〜２旦／ｍ１ｎ）
１８ａ、電磁弁ｌｅａを通りほかはすべて上記と同じ
経路（キャリアーガス経路）に水素混合アルゴンガスを
流し、試料７表面および対電極８先端間にスパーク放電
を飛ばし、励起して反応゛生成した試料中の炭素、燐、
硫黄の水素化物ガスを放電室９より搬送管１７へ運び出
す、水素化物ガスハ搬送管１７から検出部５へ送られて
、各元素の分析が行なわれるが、ｌ試料の分析終了後に
は、第１図の破線矢印−ヤの経路（クリーニングガス経
路）すなわちアルゴンガスボンベ１１． 流量計１ｓｃ
。
電磁弁１８ｅ、四方口切替弁２０ａ、電磁弁 １８ｄ、
搬送管１７．放電室９．ガス供給管ＩＳ、電磁弁１８ｃ
にアルゴンガスを流して搬送管１７や放電室９内に残留
した分析試料の蒸発微粒子などを洗浄除去する。
搬送管１７．放電室９．ガス供給管ＩＳ、電磁弁１８ｃ
にアルゴンガスを流して搬送管１７や放電室９内に残留
した分析試料の蒸発微粒子などを洗浄除去する。
分析試料７に鉄鋼試料を用い、高純度アルゴンガス流通
下でスパーク放電を行なうと、鉄鋼試料中の鉄、マンガ
ン、けい素、炭素、硫黄、燐などの各元素は励起される
が、ごく短時間のうちにお互いが粒子を形成する。この
粒子は０．０１７Ｌｍ程度の極めて微細な超微粒子で、
スパーク放電の回路定数などにも左右されるが、その成
分組成はもとの鉄鋼試料の成分組成に近い、・しかし、
高純度アルゴンガスに水素ガスを混合して上記と同様に
スパーク放電を行なうと、鉄鋼試料中の鉄、マンガン、
けい素等水素に対して安定な元素は上記と同様に超微粒
子を形成するが、炭素、燐、硫黄は励起された瞬間に水
素と反応してそれぞれメタン。
下でスパーク放電を行なうと、鉄鋼試料中の鉄、マンガ
ン、けい素、炭素、硫黄、燐などの各元素は励起される
が、ごく短時間のうちにお互いが粒子を形成する。この
粒子は０．０１７Ｌｍ程度の極めて微細な超微粒子で、
スパーク放電の回路定数などにも左右されるが、その成
分組成はもとの鉄鋼試料の成分組成に近い、・しかし、
高純度アルゴンガスに水素ガスを混合して上記と同様に
スパーク放電を行なうと、鉄鋼試料中の鉄、マンガン、
けい素等水素に対して安定な元素は上記と同様に超微粒
子を形成するが、炭素、燐、硫黄は励起された瞬間に水
素と反応してそれぞれメタン。
ホズフィン、硫化水素などの各々のガス状の水素化物が
生成することを見い出した。生成した各水素化物ガスは
、放電室９から搬送管１７を通り電磁弁１１１ｄ 、四
方口切替弁２０ａを経て系外に排出されるが、所定時期
に３方口電磁弁１１３ｄを切替えてサンプリングして検
出部５へ送り込み各元素濃度を測定する。
生成することを見い出した。生成した各水素化物ガスは
、放電室９から搬送管１７を通り電磁弁１１１ｄ 、四
方口切替弁２０ａを経て系外に排出されるが、所定時期
に３方口電磁弁１１３ｄを切替えてサンプリングして検
出部５へ送り込み各元素濃度を測定する。
サンプリング部４は、微粒子フィルター１２．ガス計量
管１３ａ〜 １３ｃ、電磁弁１８８Ｎｌｌｉから構成さ
れる。電磁弁１１１ｄを経て送られてきた水素化物ガス
は、フィルター１２で一緒に送られてきた鉄などの超微
粒子が除去され、四方口切替弁２０ｂを通り１〜５ｃｃ
程度で一定容量とした細管からなるガス計量管１３ａ〜
１３ｃ中を満たして電磁弁１１１ｆ〜１１１ｈより系
外へ排出される。計量計１３ａ〜 １３ｃに計量サンプ
リングされた水素化物ガスは四方口切替弁２０ａ、 ２
０ｂを切替えることによって、ポンベ１１から高純度ア
ルゴンガスをキャリアーガスとして各々検出部５へ送ら
れる。
管１３ａ〜 １３ｃ、電磁弁１８８Ｎｌｌｉから構成さ
れる。電磁弁１１１ｄを経て送られてきた水素化物ガス
は、フィルター１２で一緒に送られてきた鉄などの超微
粒子が除去され、四方口切替弁２０ｂを通り１〜５ｃｃ
程度で一定容量とした細管からなるガス計量管１３ａ〜
１３ｃ中を満たして電磁弁１１１ｆ〜１１１ｈより系
外へ排出される。計量計１３ａ〜 １３ｃに計量サンプ
リングされた水素化物ガスは四方口切替弁２０ａ、 ２
０ｂを切替えることによって、ポンベ１１から高純度ア
ルゴンガスをキャリアーガスとして各々検出部５へ送ら
れる。
検出部５は水素炎イオン化検出器（ＦＩＤ） １４．水
素炎光度検出器（ＦＰ［］） １５ａ、 １５ｂから構
成される。
素炎光度検出器（ＦＰ［］） １５ａ、 １５ｂから構
成される。
再検出器ともガスクロマトグラフに一般的に用いられる
検出器であるが、ＦＩＤは水素炎を励起源として分析成
分をイオン化しその導電率を測定するものである。ＦＰ
Ｄは水素炎を励起源として分析成分を発光させて得た発
光スペクトルを測定するものである０本発明においてＦ
ＩＤは炭素の水素化物の検出に、ＦＰＤは燐および硫黄
の水素化物の検出に用いた。 ＦＰＤは燐および硫黄化
合物に対して選択的に高感度をもつが、燐については５
３０ｎｍ付近に、硫黄については４００ｎ■付近に最大
強度を示す波長をもつので、これらの波長領域をよく通
す干渉フィルターを用いて選択を行ない、光電子増倍管
で各々のスペクトル強度を測定する。検出信号はデータ
処理部６に送られ、各水素化物のピーク高さあるいはピ
ーク面積がめられ、予め鉄鋼標準試料を用いて決定され
た検量線をもとに、鉄鋼試料中の炭素、燐、硫黄の各含
有量が算出される。鉄鋼試料を対象に前述の一般的な低
圧スパーク放電を行なった場合は、■パルスの放電で鉄
鋼試料の約１μｇが励起蒸発する。周波数２００Ｈｚを
採用した場合には、１分間に約１２ｍｇの試料が蒸発し
、例えば鉄鋼試料中の１０ｐｐｍの炭素、燐、１ｉ＆黄
は水素混合アルゴンガス流量を０．５１７ ｍｉｎとし
た場合に、メタン、ホスフィン、硫化水素の生成効率を
１０ｏｚとすると、アルゴンガス中の各元素の濃度はそ
れぞれ約１ ｐｐｍとなる。ＦＩＤ、 ＦＰＤともに各
水素化物の検出濃度は更に低く、ｉ ｐｐｍ＋の濃度は
十分に余裕のある定量濃度であり、水素化物の生成効率
が例えば２０％程度であっても定量できる。従って末法
の定量感度は著しく高感度であり、鋼中１０ｐｐｍ程度
の極微量の炭素、燐、硫黄は十分定量できる。また、分
析所要時間は、試料を水素化物生成部に設定後約１分以
内の短時間で分析することができ迅速性にすぐれる。
検出器であるが、ＦＩＤは水素炎を励起源として分析成
分をイオン化しその導電率を測定するものである。ＦＰ
Ｄは水素炎を励起源として分析成分を発光させて得た発
光スペクトルを測定するものである０本発明においてＦ
ＩＤは炭素の水素化物の検出に、ＦＰＤは燐および硫黄
の水素化物の検出に用いた。 ＦＰＤは燐および硫黄化
合物に対して選択的に高感度をもつが、燐については５
３０ｎｍ付近に、硫黄については４００ｎ■付近に最大
強度を示す波長をもつので、これらの波長領域をよく通
す干渉フィルターを用いて選択を行ない、光電子増倍管
で各々のスペクトル強度を測定する。検出信号はデータ
処理部６に送られ、各水素化物のピーク高さあるいはピ
ーク面積がめられ、予め鉄鋼標準試料を用いて決定され
た検量線をもとに、鉄鋼試料中の炭素、燐、硫黄の各含
有量が算出される。鉄鋼試料を対象に前述の一般的な低
圧スパーク放電を行なった場合は、■パルスの放電で鉄
鋼試料の約１μｇが励起蒸発する。周波数２００Ｈｚを
採用した場合には、１分間に約１２ｍｇの試料が蒸発し
、例えば鉄鋼試料中の１０ｐｐｍの炭素、燐、１ｉ＆黄
は水素混合アルゴンガス流量を０．５１７ ｍｉｎとし
た場合に、メタン、ホスフィン、硫化水素の生成効率を
１０ｏｚとすると、アルゴンガス中の各元素の濃度はそ
れぞれ約１ ｐｐｍとなる。ＦＩＤ、 ＦＰＤともに各
水素化物の検出濃度は更に低く、ｉ ｐｐｍ＋の濃度は
十分に余裕のある定量濃度であり、水素化物の生成効率
が例えば２０％程度であっても定量できる。従って末法
の定量感度は著しく高感度であり、鋼中１０ｐｐｍ程度
の極微量の炭素、燐、硫黄は十分定量できる。また、分
析所要時間は、試料を水素化物生成部に設定後約１分以
内の短時間で分析することができ迅速性にすぐれる。
以上本発明の内容を、鉄鋼試料を対象に、また試料の励
起蒸発エネルギー源としてスパーク放電を例に説明した
が、試料の励起エネルギーにはスパーク放電以外にアー
ク放電、プラズマアーク放電、レーザー光照射などが適
用でき、対象試料には鉄鋼試料以外に各種非鉄金属、鉱
物、セラミックスなどに適用できる。
起蒸発エネルギー源としてスパーク放電を例に説明した
が、試料の励起エネルギーにはスパーク放電以外にアー
ク放電、プラズマアーク放電、レーザー光照射などが適
用でき、対象試料には鉄鋼試料以外に各種非鉄金属、鉱
物、セラミックスなどに適用できる。
（発明の効果）
本発明は以上説明したように、これまで採用されてきた
分析試料中の複数元素を同時に迅速分析する発光分光分
析法に比べ、分析対象元素は炭素、燐、硫黄に限定され
るものの、振動、温度変化、塵埃等測定環境等分析装置
に対する制約条件がゆるく、また装置価格も１／３程度
の安価である。分析所要時間も短かく、定量感度にも優
れる非破壊迅速分析として有用で、金属等の品質評価に
最も重要な元素である炭素、燐、硫黄の主要元素を対象
とすることから、金属の精錬や製造プロセス等の操業管
理に極めて効果が大きい。
分析試料中の複数元素を同時に迅速分析する発光分光分
析法に比べ、分析対象元素は炭素、燐、硫黄に限定され
るものの、振動、温度変化、塵埃等測定環境等分析装置
に対する制約条件がゆるく、また装置価格も１／３程度
の安価である。分析所要時間も短かく、定量感度にも優
れる非破壊迅速分析として有用で、金属等の品質評価に
最も重要な元素である炭素、燐、硫黄の主要元素を対象
とすることから、金属の精錬や製造プロセス等の操業管
理に極めて効果が大きい。
第１図は本発明実施例装置の説明図である。
ｌ・・・水素化物生成部、２・・・スパーク放電用電源
部、３・・・ガス制御部、４・・・水素化物ガスサンプ
リング−９５・・・検出部、６・・・データ処理部、７
・・・分析試料、８・・・対電極゛′、９・・・放電室
、１０・・・水素混合アルゴンガスポンベ、１１・・・
アルゴンガスポンベ。 １２・・・微粒子フィルター、 １３ａ、１３ｂ、１３
ｃ・・・ガス計量管、１４・・・水素炎イオン化検出器
（ＦＩＤ） 、 １５ａ、１５ｂ・・・水素炎光度検出
器（ＦＰＤ） 、 １Ｂ・・・水素混合アルゴンガス供
給管、１７・・・水素化物ガス搬送管、 １８ａ。 １８ｂ、１８ｃ・・・流量調節器付ガス流量計、１８ａ
〜１８ｈ。 ２０ａ、 ２０ｂ・・・ガス切替バルブ特許出願人 代
理人 弁理士 矢 葺 知 之 （ほか１名）
部、３・・・ガス制御部、４・・・水素化物ガスサンプ
リング−９５・・・検出部、６・・・データ処理部、７
・・・分析試料、８・・・対電極゛′、９・・・放電室
、１０・・・水素混合アルゴンガスポンベ、１１・・・
アルゴンガスポンベ。 １２・・・微粒子フィルター、 １３ａ、１３ｂ、１３
ｃ・・・ガス計量管、１４・・・水素炎イオン化検出器
（ＦＩＤ） 、 １５ａ、１５ｂ・・・水素炎光度検出
器（ＦＰＤ） 、 １Ｂ・・・水素混合アルゴンガス供
給管、１７・・・水素化物ガス搬送管、 １８ａ。 １８ｂ、１８ｃ・・・流量調節器付ガス流量計、１８ａ
〜１８ｈ。 ２０ａ、 ２０ｂ・・・ガス切替バルブ特許出願人 代
理人 弁理士 矢 葺 知 之 （ほか１名）
Claims (2)
- （１）水素ガスを混合した不活性ガス雰囲気ないしは水
素ガス雰囲気中で分析試料表面にスパーク放電、アーク
放電、プラズマアーク放電、レーザービーム照射のいず
れかのエネルギーを供与することにより、分析試料中に
含まれる炭素、燐、硫黄成分を励起してガス状の水素化
物に変化させ、これら水素化物を水素炎中に導入して各
元素の発光強度もしくは導電率を測定し、各元素の試料
中の含有率をめることを特徴とする炭素、燐、硫黄の迅
速分析方法。 - （２）分析試料設定部、同分析試料面に対向して設けた
スパーク放電、アーク放電、プラズマアーク放電、レー
ザービーム照射等の分析試料の励起エネルギー発生部、
水素ガスないしは水素ガスを混合した不活性ガス供給口
および水素化物ガスの排出口を設けた密閉状で小容積の
水素化物ガス生成室を有する分析試料中の炭素、燐、硫
黄の各水素化物ガス生成装置。 前記分析試料の励起エネルギー発生部に接続する各励起
エネルギー発生装置、前記不活性ガス供給口に接続する
水素ガスないしは水素ガスを混合した不活性ガスの流量
制御装置、前記水素化物ガス排出口に水素化物ガス搬送
管および同ガスサンプリング装置を介して接続した水素
炎、イオン化検出器、水素炎光度検出器およびデータ処
理装置から構成することを特徴とする分析試料中の炭素
、燐、硫黄の迅速分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59088370A JPS60233538A (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | 水素化物生成炭素，燐，硫黄成分の迅速分析方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59088370A JPS60233538A (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | 水素化物生成炭素，燐，硫黄成分の迅速分析方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60233538A true JPS60233538A (ja) | 1985-11-20 |
Family
ID=13940905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59088370A Pending JPS60233538A (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | 水素化物生成炭素，燐，硫黄成分の迅速分析方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60233538A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0502121A1 (en) * | 1989-12-01 | 1992-09-09 | Sievers Research, Inc. | Process and apparatus for simultaneous measurement of sulfur and non-sulfur containing compounds |
| RU2541135C2 (ru) * | 2013-05-22 | 2015-02-10 | Открытое Акционерное Общество "Научно-Производственное Предприятие "Дельта" (Оао "Нпп "Дельта") | Электроразрядный имитатор поверочных газовых смесей |
| CN109596603A (zh) * | 2018-12-24 | 2019-04-09 | 河南省核工业放射性核素检测中心 | 一种土壤中痕量砷与多种金属元素同时测定的方法 |
-
1984
- 1984-05-04 JP JP59088370A patent/JPS60233538A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0502121A1 (en) * | 1989-12-01 | 1992-09-09 | Sievers Research, Inc. | Process and apparatus for simultaneous measurement of sulfur and non-sulfur containing compounds |
| RU2541135C2 (ru) * | 2013-05-22 | 2015-02-10 | Открытое Акционерное Общество "Научно-Производственное Предприятие "Дельта" (Оао "Нпп "Дельта") | Электроразрядный имитатор поверочных газовых смесей |
| CN109596603A (zh) * | 2018-12-24 | 2019-04-09 | 河南省核工业放射性核素检测中心 | 一种土壤中痕量砷与多种金属元素同时测定的方法 |
| CN109596603B (zh) * | 2018-12-24 | 2021-04-02 | 河南省核工业放射性核素检测中心 | 一种土壤中痕量砷与多种金属元素同时测定的方法 |
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