JPS60233503A - 位置検出方法 - Google Patents
位置検出方法Info
- Publication number
- JPS60233503A JPS60233503A JP8897584A JP8897584A JPS60233503A JP S60233503 A JPS60233503 A JP S60233503A JP 8897584 A JP8897584 A JP 8897584A JP 8897584 A JP8897584 A JP 8897584A JP S60233503 A JPS60233503 A JP S60233503A
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
対象物を撮像し、その画像信号をデジタル処理する画像
処理装置において、対象物の位置を検出する位置検出方
法に関する。
処理装置において、対象物の位置を検出する位置検出方
法に関する。
背景技術
第１図は、従来技術の画像処理を説明するためのブロッ
ク図である。工業用テレビカメフ１は、被検出物体から
の反射光によってイメージセンサ２上にレンズ３で像を
結んで被検出物体を撮像する。イメージセンサ２上の一
画面分の画像は、アドレス発生手段４によってアドレス
を与えられて読み出され、画像信号として２値化回路５
に入力される。２値化回路５によってデジタル化された
画像信号は、被検出物体の画像データとしてメモリ６に
ストアされる。画像処理子Ｐｉ７は、メモリ６にストア
された画像データに基づいて画像を処理する。
ク図である。工業用テレビカメフ１は、被検出物体から
の反射光によってイメージセンサ２上にレンズ３で像を
結んで被検出物体を撮像する。イメージセンサ２上の一
画面分の画像は、アドレス発生手段４によってアドレス
を与えられて読み出され、画像信号として２値化回路５
に入力される。２値化回路５によってデジタル化された
画像信号は、被検出物体の画像データとしてメモリ６に
ストアされる。画像処理子Ｐｉ７は、メモリ６にストア
された画像データに基づいて画像を処理する。
このような画像処理装置において、被検出物体が撮像さ
れた１画面分の画像データをメモリ６にストアしておき
、その画像データの中から被検出物体の必要である部分
のデータのみ読み出す。被検出物体が標準位置からずれ
た位置にあって撮像された場合、被検出物体の画像に与
えられたアドレスを補正する必要が生じる。たとえば被
検出物体の一部分の形状を検査するとき、標準位置にあ
る標準物体の７ドレスに基づいて、その検査部分を走査
するので、被検出物体が標準位置よりずれていると走査
されるべき部分が走査されないということがある。
れた１画面分の画像データをメモリ６にストアしておき
、その画像データの中から被検出物体の必要である部分
のデータのみ読み出す。被検出物体が標準位置からずれ
た位置にあって撮像された場合、被検出物体の画像に与
えられたアドレスを補正する必要が生じる。たとえば被
検出物体の一部分の形状を検査するとき、標準位置にあ
る標準物体の７ドレスに基づいて、その検査部分を走査
するので、被検出物体が標準位置よりずれていると走査
されるべき部分が走査されないということがある。
従来技術では、予め標準物体の撮像された画像データを
メモリ６にストアしておき、そのデータに基づいて被検
出物体の画像データを補正するプログラムを画像処理手
段７に入力して、位置補正された画像データを得ている
。この上、うな従来技術では、撮像された画像の画像デ
ータをメモリ６にストアしておき、プログラムによって
位置補正を行なうので、その処理に時間を要し、作業効
率が悪いという問題がある。
メモリ６にストアしておき、そのデータに基づいて被検
出物体の画像データを補正するプログラムを画像処理手
段７に入力して、位置補正された画像データを得ている
。この上、うな従来技術では、撮像された画像の画像デ
ータをメモリ６にストアしておき、プログラムによって
位置補正を行なうので、その処理に時間を要し、作業効
率が悪いという問題がある。
目 的
本発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、被検出物
体の位置ずれを簡単に、しかも高速に補正することがで
きる位置検出方法を提供することである。
体の位置ずれを簡単に、しかも高速に補正することがで
きる位置検出方法を提供することである。
実施例
第２図は、本発明が実施されて構成される画像処理装置
のブロック図である。工業用テレビカメラＴは撮像レン
ズ１０とイメージセンサ１１とを含む。撮像レンズ１０
は被検出物体からの反射光によって、被検出物体の像を
イメージセンサ１１上に結像する。
のブロック図である。工業用テレビカメラＴは撮像レン
ズ１０とイメージセンサ１１とを含む。撮像レンズ１０
は被検出物体からの反射光によって、被検出物体の像を
イメージセンサ１１上に結像する。
イメージセンサ１１は、マトリクス状に配列された感光
素子を含む。その感光素子は感光コンデンサによって実
現され、予め充電される。各感光コンデンサは被検出物
体からの反射光が照射されると放電する。感光コンデン
サの電圧がしきい値以上のときを論理値「１」とし、そ
の電圧がしきい値以下のときを論理値「０」とすること
で、イメージセンサ１１は、被検出物体の影像をストア
する。このイメージセンサ１１に２値化してストアされ
た画像の各画素は、マトリクスの行Ｙと列Ｘによって現
わされる座標を持つ。前記画像の必要な部分のアドレス
をイメージセンサ１１に与えることによって、必要な部
分の画像データを読み出すことができる。
素子を含む。その感光素子は感光コンデンサによって実
現され、予め充電される。各感光コンデンサは被検出物
体からの反射光が照射されると放電する。感光コンデン
サの電圧がしきい値以上のときを論理値「１」とし、そ
の電圧がしきい値以下のときを論理値「０」とすること
で、イメージセンサ１１は、被検出物体の影像をストア
する。このイメージセンサ１１に２値化してストアされ
た画像の各画素は、マトリクスの行Ｙと列Ｘによって現
わされる座標を持つ。前記画像の必要な部分のアドレス
をイメージセンサ１１に与えることによって、必要な部
分の画像データを読み出すことができる。
第３図は、標準物体０１が撮像されてイメージセンサ１
１上にストアされた一画面Ａを示す図である。画面Ａに
おいて、クロスハツチで示される標準物体０１の影像部
分は、論理値「０」であり、その他の部分は論理値「１
」である。図中において、左上部の隅を座標（０，０）
とし、横軸が列Ｘ１縦軸が行Ｙとする。たとえば参照符
Ｐで示される一感光素子である一画素の座標は （Ｘｉ
、Ｙｌ）である。第４図は、被検出物体０２が撮像され
てイメージセンサ１１上にストアされた一画面Ｂを示す
。クロスハツチで示される被検出物体０２の影像の位置
は、前記標準物体０１の影像の位置と異なる。被検出物
体０２の影像の形状は、標準物体ｏ１の影像の形状にほ
ぼ一致する。
１上にストアされた一画面Ａを示す図である。画面Ａに
おいて、クロスハツチで示される標準物体０１の影像部
分は、論理値「０」であり、その他の部分は論理値「１
」である。図中において、左上部の隅を座標（０，０）
とし、横軸が列Ｘ１縦軸が行Ｙとする。たとえば参照符
Ｐで示される一感光素子である一画素の座標は （Ｘｉ
、Ｙｌ）である。第４図は、被検出物体０２が撮像され
てイメージセンサ１１上にストアされた一画面Ｂを示す
。クロスハツチで示される被検出物体０２の影像の位置
は、前記標準物体０１の影像の位置と異なる。被検出物
体０２の影像の形状は、標準物体ｏ１の影像の形状にほ
ぼ一致する。
第２図、第３図および第４図を参照して、本発明におけ
る標準物体０１および被検出物体０２の影像位置の検出
について説明する。また第３図示の画面Ａの標準物体０
１の影像の位置を標準位置とし、第４図示の被検出物体
０２の影像の位置が゛その標準位置とどれだけずれてい
るかを検出することについても述べる。
る標準物体０１および被検出物体０２の影像位置の検出
について説明する。また第３図示の画面Ａの標準物体０
１の影像の位置を標準位置とし、第４図示の被検出物体
０２の影像の位置が゛その標準位置とどれだけずれてい
るかを検出することについても述べる。
中央処理装置１２は、ライン１１にイメージセンサ１１
の画面の座標（Ｘ、Ｙ）値を出力する。
の画面の座標（Ｘ、Ｙ）値を出力する。
選択回路１３は、中央処理装置１２から出力された選択
信号によってライン！１を選択し、前記座標（Ｘ、Ｙ）
値をイメージセンサ１１に与える。
信号によってライン！１を選択し、前記座標（Ｘ、Ｙ）
値をイメージセンサ１１に与える。
第６図示の画面Ａを参照して、イメージセンサ１１に座
標値を （０，０）、（１，０）、（２，ＯＬ・・・、
（Ｘｎ、０）と与えることによって、水平走査ラインＬ
ＸＯが得られる。参照符Ｐ１で示される被検出物体０１
の影像の一点を予め定められた基準点として、中央処理
装置１２は、その基準点Ｐ１の位置を検出する。
標値を （０，０）、（１，０）、（２，ＯＬ・・・、
（Ｘｎ、０）と与えることによって、水平走査ラインＬ
ＸＯが得られる。参照符Ｐ１で示される被検出物体０１
の影像の一点を予め定められた基準点として、中央処理
装置１２は、その基準点Ｐ１の位置を検出する。
走査開始点の座標を （０，Ｙ）とする水平走査ライン
ＬＸをＹ輪方向 （図中において下方向）へ移動するこ
とによって、基準点Ｐ１の座標（ｘｌ。
ＬＸをＹ輪方向 （図中において下方向）へ移動するこ
とによって、基準点Ｐ１の座標（ｘｌ。
Ｙｌ）を含む水平走査ラインＬＸＩを得る。中央処理装
置１２は一水平走査うインＬＸによって読み出される画
像データに含まれる影像部分である論理値「０」の数Ｎ
Ｘを予め与えられている。この数ＮＸが含まれる水平走
査ラインＬＸＩによる画像データが得られたら、中央処
理装置１２はＹ軸方向の水平走査をやめ、基準点Ｐ１の
Ｘ座標Ｘ１をストアする。
置１２は一水平走査うインＬＸによって読み出される画
像データに含まれる影像部分である論理値「０」の数Ｎ
Ｘを予め与えられている。この数ＮＸが含まれる水平走
査ラインＬＸＩによる画像データが得られたら、中央処
理装置１２はＹ軸方向の水平走査をやめ、基準点Ｐ１の
Ｘ座標Ｘ１をストアする。
次に中央処理装置１２は、前記水平走査と同様に、Ｘ軸
方向 （図中において右方）に垂直走査を垂直走査ライ
ンＬＹＯから行なう。垂直走査ラインＬＹが右方に移動
して走査ラインＬＹＩとなったとき、つまり予め与えら
れた論理値ｒＯＪの数ＮＹが得られたら、中央処理装置
１２．は、垂直走査をやめ、基準点Ｐ１のＹｓＡ楳Ｙ１
をストアする。
方向 （図中において右方）に垂直走査を垂直走査ライ
ンＬＹＯから行なう。垂直走査ラインＬＹが右方に移動
して走査ラインＬＹＩとなったとき、つまり予め与えら
れた論理値ｒＯＪの数ＮＹが得られたら、中央処理装置
１２．は、垂直走査をやめ、基準点Ｐ１のＹｓＡ楳Ｙ１
をストアする。
このようにして中火処理装置１２は基準点Ｐ１の座標（
Ｘｉ、Ｙｌ）値をストアする。ここで標準物体０１の影
像形状などのデータは、中央処理装置１２に予めストア
されているものとする。
Ｘｉ、Ｙｌ）値をストアする。ここで標準物体０１の影
像形状などのデータは、中央処理装置１２に予めストア
されているものとする。
標準物体０１の標準位置を示す基準点Ｐ１の座標（Ｘｌ
、Ｙｌ）値が中火処理装置１２にストアされた後、被検
出物体０２が撮像され、第４図示のようにイメージセン
サ１１、にストアされる。第３図示の画面Ａの走査の場
合と同様に、第４図示の画面Ｂの走査が行なわれる。中
央処理装置１２は画面Ｂを走査して、被検出物体０２の
影像の基準点Ｐ２の影像の基準点Ｐ２の座標（Ｘ２．Ｙ
２）をストアする。被検出物体０２の基準点Ｐ２は、標
準物体０１の基準点Ｐ１に対応する部分である。
、Ｙｌ）値が中火処理装置１２にストアされた後、被検
出物体０２が撮像され、第４図示のようにイメージセン
サ１１、にストアされる。第３図示の画面Ａの走査の場
合と同様に、第４図示の画面Ｂの走査が行なわれる。中
央処理装置１２は画面Ｂを走査して、被検出物体０２の
影像の基準点Ｐ２の影像の基準点Ｐ２の座標（Ｘ２．Ｙ
２）をストアする。被検出物体０２の基準点Ｐ２は、標
準物体０１の基準点Ｐ１に対応する部分である。
中央処理装置１２は、標準位置に対して被検出管体０２
の位置を補正するために、前記基準点Ｐ１、Ｐ２の座標
値から補正値／Ｘおよび補正値７Ｙを演算する。補正値
／Ｘは次の第１式で表わされる。
の位置を補正するために、前記基準点Ｐ１、Ｐ２の座標
値から補正値／Ｘおよび補正値７Ｙを演算する。補正値
／Ｘは次の第１式で表わされる。
〆Ｘ＝ ｌ Ｘ２−Ｘｉ ｌ −（１）また補正値／Ｙ
は次の第２式で表わされる。
は次の第２式で表わされる。
メＹ＝ｌＹ２−Ｙｌｌ ・・・（２）
補正値／Ｘは第１ラッチ回路１４に出力され、補正値／
Ｙは第２ラッチ回路１５に出力される。出力された補正
値／Ｘ、 ／Ｙは、各ラッチ回路１４゜１５にそれぞれ
保持される。
Ｙは第２ラッチ回路１５に出力される。出力された補正
値／Ｘ、 ／Ｙは、各ラッチ回路１４゜１５にそれぞれ
保持される。
被検出物体０２の部分検査などのために、その影像の一
部分を走査すると仮定する。中央処理装置１２には、標
準物体０１の影像データに基づいいて、ｔＩＩＪ３図示
におけるＳ分走査うインＬ１の座標値が入力される。入
力された部分走査ラインＬ１を示す座標値は、中央処理
装置１２からメモリ１６に入力される。カウンタ１７が
クロック信号によってカウントアツプしてしメモリアド
レスをメモリ１６に与えることによって、そのアドレス
に前記座標値がストアされる。この処理は、被検出物体
０１が撮像される前でも後でもよい。
部分を走査すると仮定する。中央処理装置１２には、標
準物体０１の影像データに基づいいて、ｔＩＩＪ３図示
におけるＳ分走査うインＬ１の座標値が入力される。入
力された部分走査ラインＬ１を示す座標値は、中央処理
装置１２からメモリ１６に入力される。カウンタ１７が
クロック信号によってカウントアツプしてしメモリアド
レスをメモリ１６に与えることによって、そのアドレス
に前記座標値がストアされる。この処理は、被検出物体
０１が撮像される前でも後でもよい。
中央処理装置１２に被検出物体０２の部分走査指令が出
されると、メモリ１６にスト、アされていた部分走査ラ
インＬ１の座標値が演算回路１８に入力される。このと
きラッチ回路１４．１５に保持されていた補正値ｄＸ、
、ｄＹも演算回路１８に入力され、前記座標値に補正値
／Ｘ、 ／Ｙが加算または減算される。この演算回路で
前記部分走査ラインＬ１の座標値が補正され、第４図示
の走査ラインＬ２の座標値に変換される。
されると、メモリ１６にスト、アされていた部分走査ラ
インＬ１の座標値が演算回路１８に入力される。このと
きラッチ回路１４．１５に保持されていた補正値ｄＸ、
、ｄＹも演算回路１８に入力され、前記座標値に補正値
／Ｘ、 ／Ｙが加算または減算される。この演算回路で
前記部分走査ラインＬ１の座標値が補正され、第４図示
の走査ラインＬ２の座標値に変換される。
演算回路１８は走査ラインＬ２の座標値をライン！４に
出力する。選択回路１３は中央処理装置１２からの選択
信号によってライン！４の出力をイメージセンサ１１に
与える。走査ラインＬ２の座標値が画面Ｂに与えられる
ことによって、中央処理装置１２は走査ラインＬ２で得
られた画像データを読み出す。このようにして標準物体
０１の影像に対応する被検出物体０２の影像の部分デー
タを得ることができる。
出力する。選択回路１３は中央処理装置１２からの選択
信号によってライン！４の出力をイメージセンサ１１に
与える。走査ラインＬ２の座標値が画面Ｂに与えられる
ことによって、中央処理装置１２は走査ラインＬ２で得
られた画像データを読み出す。このようにして標準物体
０１の影像に対応する被検出物体０２の影像の部分デー
タを得ることができる。
上述の実施例において、標準物体０１の姿勢と被検出物
体０２の姿勢は一致するものとする。
体０２の姿勢は一致するものとする。
従来技術においてプログツムで行なわれている位置補正
処理の一部を簡単な構成で行なうことによって高速にそ
の処理されることができる。
処理の一部を簡単な構成で行なうことによって高速にそ
の処理されることができる。
効 果
以上のように本発明によれば、被検出物体の標準位置の
ずれを演算して、標準物体の被検出位置を補正して被検
出位置を検出するので、簡単に、しかも高速に位置補正
をすることができる。
ずれを演算して、標準物体の被検出位置を補正して被検
出位置を検出するので、簡単に、しかも高速に位置補正
をすることができる。
第１図は従来技術の画像処理を説明するためのブロック
図、第２図は本発明が実施されて構成される画像処理装
置のブロック図、第３図はイメージセンサ１１の画面Ａ
の画像を示す図、第４図はその画面Ｂの画像を示す図で
ある。 １１・・・イメージセンサ、１２・・・中央処理装置、
１４．１５・・・ラッチ回路、１８・・・演算回路代理
人 弁理士西教圭一部 第２図 グロック 第３図 ４ｒＩＩＩ 手続補正書 昭不１１６０年 ２月１８日 特許庁長官殿 ２、発明の名称 検出位置補正方法 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 住所 名称（５８３）松下電工株式会社 代表者 電話（０６）５３８−０２６３（代表）氏名弁理士−（
７５５５）西教圭一部 ５、補正命令の日付 ６、補正の対象 願書および明細書の発明の名称の欄、明細書の特許請求
の範囲の欄および発明の詳細な説明の欄正の内容 明の名称を下記のとおりに訂正する。 記 検出位置補正方法 （２、特許請求の範囲は別紙のとおり。 （３）明細書第１頁第１７行目〜第１８行目を下記のと
おりに訂正する。 記 する画像処理装置において、対象物の位置を検出昌位置
を補正する方法に関する。 １置県３頁第１６行目において「位置検出あるを、 「
検出位置補正方法」に訂正す（５）明細書第４頁第１３
行目において「２値化して」と゛あるを、 「２値化さ
れて」に訂正する。 （６）明細書第５頁第５行目において「参照符Ｐ」（７
）明細書！＠７頁第１１行目〜第１３行目において［こ
こで標準物体０１の・・・されているものとする。］と
あるを削除する。 （８）明細書第９頁第５行目〜第６行目において「この
処理は、・・・後でもよい。」とあるを削除する。 以 上 特許請求の範囲 撮像するイ〆−７センサを備え、 標準となる物体のある特定の位置をストアしておき、 被検出物体の画像内容に基づいて、標準物体と被検出物
体との対応する標準位置のずれを演算し、被検出物体の
検出すべき被検出位置を前記演算結果と、被検出位置に
対応した標準物体の位置とに基づいて演算することをｖ
ｆ徴とする検出位置補正方法。
図、第２図は本発明が実施されて構成される画像処理装
置のブロック図、第３図はイメージセンサ１１の画面Ａ
の画像を示す図、第４図はその画面Ｂの画像を示す図で
ある。 １１・・・イメージセンサ、１２・・・中央処理装置、
１４．１５・・・ラッチ回路、１８・・・演算回路代理
人 弁理士西教圭一部 第２図 グロック 第３図 ４ｒＩＩＩ 手続補正書 昭不１１６０年 ２月１８日 特許庁長官殿 ２、発明の名称 検出位置補正方法 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 住所 名称（５８３）松下電工株式会社 代表者 電話（０６）５３８−０２６３（代表）氏名弁理士−（
７５５５）西教圭一部 ５、補正命令の日付 ６、補正の対象 願書および明細書の発明の名称の欄、明細書の特許請求
の範囲の欄および発明の詳細な説明の欄正の内容 明の名称を下記のとおりに訂正する。 記 検出位置補正方法 （２、特許請求の範囲は別紙のとおり。 （３）明細書第１頁第１７行目〜第１８行目を下記のと
おりに訂正する。 記 する画像処理装置において、対象物の位置を検出昌位置
を補正する方法に関する。 １置県３頁第１６行目において「位置検出あるを、 「
検出位置補正方法」に訂正す（５）明細書第４頁第１３
行目において「２値化して」と゛あるを、 「２値化さ
れて」に訂正する。 （６）明細書第５頁第５行目において「参照符Ｐ」（７
）明細書！＠７頁第１１行目〜第１３行目において［こ
こで標準物体０１の・・・されているものとする。］と
あるを削除する。 （８）明細書第９頁第５行目〜第６行目において「この
処理は、・・・後でもよい。」とあるを削除する。 以 上 特許請求の範囲 撮像するイ〆−７センサを備え、 標準となる物体のある特定の位置をストアしておき、 被検出物体の画像内容に基づいて、標準物体と被検出物
体との対応する標準位置のずれを演算し、被検出物体の
検出すべき被検出位置を前記演算結果と、被検出位置に
対応した標準物体の位置とに基づいて演算することをｖ
ｆ徴とする検出位置補正方法。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 撮像するイメージセンサを備え、 標準となる物体および被検出物体の画像をストアしてお
き、 そのストア内容に基づいて、標準物体と被検出物体との
対応する標準位置のずれを演算し、被検出物体の検出す
べき被検出位置を前記演算結果と、被検出位置に対応し
た標準物体の位置とに基づいて演算することを特徴とす
る位置検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8897584A JPS60233503A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8897584A JPS60233503A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 位置検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60233503A true JPS60233503A (ja) | 1985-11-20 |
Family
ID=13957800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8897584A Pending JPS60233503A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60233503A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62240871A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-21 | Fujitsu Ltd | プリント板測定装置のプロービング方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5540987A (en) * | 1978-09-19 | 1980-03-22 | Sony Corp | Discriminating unit |
| JPS57194304A (en) * | 1981-05-27 | 1982-11-29 | Hitachi Ltd | Inspecting method for circuit pattern |
-
1984
- 1984-05-02 JP JP8897584A patent/JPS60233503A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5540987A (en) * | 1978-09-19 | 1980-03-22 | Sony Corp | Discriminating unit |
| JPS57194304A (en) * | 1981-05-27 | 1982-11-29 | Hitachi Ltd | Inspecting method for circuit pattern |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62240871A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-21 | Fujitsu Ltd | プリント板測定装置のプロービング方法 |
| JPH0569390B2 (ja) * | 1986-04-14 | 1993-09-30 | Fujitsu Ltd |
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