JPS60223718A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS60223718A JPS60223718A JP6356485A JP6356485A JPS60223718A JP S60223718 A JPS60223718 A JP S60223718A JP 6356485 A JP6356485 A JP 6356485A JP 6356485 A JP6356485 A JP 6356485A JP S60223718 A JPS60223718 A JP S60223718A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cartridge
- tube
- conveying
- air
- end closed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
- B65G51/04—Conveying the articles in carriers having a cross-section approximating that of the pipe or tube; Tube mail systems
- B65G51/26—Stations
- B65G51/32—Stations for despatch, delivery, and transit
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体ウェハ等用のカートリッジの搬送装置
に関する。
に関する。
従来、半導体ウェハの搬送は、人手によって行なわれて
いた。そのため、ホコリ等をかぶりやすくまた省力化の
ためにも、自動化が必要とされる。
いた。そのため、ホコリ等をかぶりやすくまた省力化の
ためにも、自動化が必要とされる。
本発明は、この問題点を解消するため、各ラインプロセ
スをエアパイプで接続し、その中を半導体ウェハをつめ
込んだカートリッジを流体であるエアで搬送し、必要と
される箇所で、それを受け止め、取り入れそしてウェハ
の処理後送り出すという３つのプロセスを行なう自動化
のための搬送装置を提供することを目的とする。これに
より、半導体にとって天敵であるホコリ等から保護でき
また自動化による省力化が実現できる。５、第１図に搬
送方式の構成例を示す。カートリッジ１は、パイプライ
ン２の内径に近い外径の、半導体ウェハのつまったカー
トリッジでこ九をエアの圧力で搬送する。このエアはバ
ルブ３．バルブ４で制御されることにより双方向にカー
トリッジを送ったり止めたりする事が可能である。
スをエアパイプで接続し、その中を半導体ウェハをつめ
込んだカートリッジを流体であるエアで搬送し、必要と
される箇所で、それを受け止め、取り入れそしてウェハ
の処理後送り出すという３つのプロセスを行なう自動化
のための搬送装置を提供することを目的とする。これに
より、半導体にとって天敵であるホコリ等から保護でき
また自動化による省力化が実現できる。５、第１図に搬
送方式の構成例を示す。カートリッジ１は、パイプライ
ン２の内径に近い外径の、半導体ウェハのつまったカー
トリッジでこ九をエアの圧力で搬送する。このエアはバ
ルブ３．バルブ４で制御されることにより双方向にカー
トリッジを送ったり止めたりする事が可能である。
各プロセスでは、第２図の様なカートリッジｌを受け止
めるため１端１０が閉じ、他端１１が開き、かつ、片開
き側の側面のみに穴９が設けられた２本の穴あきチュー
ブ５（双方向のため、左片閉じのもの、右片閉じのもの
）、および第３図のような両端１３．１４が開いた２本
のチューブ６を用意する６両端開きのチューブ６は、他
のプロセス間の伝送路として用いられたり、取り入れた
カートリッジ内のウェハの処理後、再び、カートリッジ
にウェハをのせて、このカートリッジを他へ送り出す時
に用いられる。
めるため１端１０が閉じ、他端１１が開き、かつ、片開
き側の側面のみに穴９が設けられた２本の穴あきチュー
ブ５（双方向のため、左片閉じのもの、右片閉じのもの
）、および第３図のような両端１３．１４が開いた２本
のチューブ６を用意する６両端開きのチューブ６は、他
のプロセス間の伝送路として用いられたり、取り入れた
カートリッジ内のウェハの処理後、再び、カートリッジ
にウェハをのせて、このカートリッジを他へ送り出す時
に用いられる。
本発明はチューブ構成に特徴があり、これら合計４本の
チューブの取り換えとバルブを制御することにより、無
人で容易に半導体ウェハをのせたカートリッジを搬送で
きる搬送装置を提供することを目的とする。
チューブの取り換えとバルブを制御することにより、無
人で容易に半導体ウェハをのせたカートリッジを搬送で
きる搬送装置を提供することを目的とする。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第４図および第５図において、プロセス９のカートリッ
ジをプロセス８が必要とする時、バルブ４を開き圧さく
空気を送ると、プロセス９からカートリッジｌが送り出
される。プロセス８はカートリッジ１を受け止めるため
、片閉じチューブ５をパイプライン２に位置合ぜし、カ
ートリッジ全体がチューブに入ると同時にバルブ４を閉
じてエアを止める。第６図のようにチューブ５の穴９は
カートリッジに比べて長さが長いのでエアはこの穴９か
ら漏れ始め、カートリッジ１は加速を失い、慣性で１２
の部分に突入する。この時１２の部分の空気がカートリ
ッジｌによって圧迫される。いわゆる注射器で針の穴を
ふさいでピストンを押すとある程度以上はピストンは押
せない。この原理でカートリッジ１はこの部分１２のあ
る所で止まる。つまり１２の部分は、ダンパーとしての
働きを持ち、カートリッジ１を衝撃なく自然に止めるこ
とができる。
ジをプロセス８が必要とする時、バルブ４を開き圧さく
空気を送ると、プロセス９からカートリッジｌが送り出
される。プロセス８はカートリッジ１を受け止めるため
、片閉じチューブ５をパイプライン２に位置合ぜし、カ
ートリッジ全体がチューブに入ると同時にバルブ４を閉
じてエアを止める。第６図のようにチューブ５の穴９は
カートリッジに比べて長さが長いのでエアはこの穴９か
ら漏れ始め、カートリッジ１は加速を失い、慣性で１２
の部分に突入する。この時１２の部分の空気がカートリ
ッジｌによって圧迫される。いわゆる注射器で針の穴を
ふさいでピストンを押すとある程度以上はピストンは押
せない。この原理でカートリッジ１はこの部分１２のあ
る所で止まる。つまり１２の部分は、ダンパーとしての
働きを持ち、カートリッジ１を衝撃なく自然に止めるこ
とができる。
次に軸２０を回転させ、チューブ５をパイプライン２か
らはずしチューブ６をパイプライン２に位置決めする。
らはずしチューブ６をパイプライン２に位置決めする。
これによってこの部分を通過して他のプロセス間の搬送
が可能になる。
が可能になる。
次に第７図に示すように、パイプライン２から取り入れ
たカートリッジ内の半導体ウェハの処理後、再びウェハ
をカートリッジにつめて、さらにプロセス７に送り出す
場合、両開きチューブ６にカートリッジ１を入れ、これ
をパイプライン２に位置決めし、それからバルブ４を開
く。このようにして、カートリッジ１をプロセス７に送
り出すことができる。
たカートリッジ内の半導体ウェハの処理後、再びウェハ
をカートリッジにつめて、さらにプロセス７に送り出す
場合、両開きチューブ６にカートリッジ１を入れ、これ
をパイプライン２に位置決めし、それからバルブ４を開
く。このようにして、カートリッジ１をプロセス７に送
り出すことができる。
エアパイプはバルブ３，４により双方向であるので、上
記の方向と逆向きの搬送はチューブ５とは逆の片閉じの
チューブ５′を用いて、バルブ３を制御することにより
可能となる。
記の方向と逆向きの搬送はチューブ５とは逆の片閉じの
チューブ５′を用いて、バルブ３を制御することにより
可能となる。
以上の様に受け取り、送出９通過（バイパス）チューブ
を各プロセスに設置し、その選択制御とバルブ制御を行
なうことにより、パイプライン２中のカートリッジ１を
受け止め、取り入れ、また送り出すという３つのプロセ
スを自動的に行なうことにより搬送の省力化が可能とな
る６
を各プロセスに設置し、その選択制御とバルブ制御を行
なうことにより、パイプライン２中のカートリッジ１を
受け止め、取り入れ、また送り出すという３つのプロセ
スを自動的に行なうことにより搬送の省力化が可能とな
る６
第１図〜第７図は本発明の説明図である。
市 １ 図
″ｆｉＪｚ図ｖＪ３１２１
閉５ 図・
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、管内の流体圧を制御することにより、該管内のカー
トリッジを搬送する搬送装置において。 上記管の一部は、一端が閉じ、他端が開き、かつ。 上記他端よりの側壁に穴が設けられた着脱可能な管体部
からなる搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6356485A JPS60223718A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6356485A JPS60223718A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60223718A true JPS60223718A (ja) | 1985-11-08 |
Family
ID=13232852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6356485A Pending JPS60223718A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60223718A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6326630U (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-22 | ||
| JP2017154040A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | ダイハツ工業株式会社 | 塗料カートリッジ供給システム |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP6356485A patent/JPS60223718A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6326630U (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-22 | ||
| JPH048104Y2 (ja) * | 1986-08-06 | 1992-03-02 | ||
| JP2017154040A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | ダイハツ工業株式会社 | 塗料カートリッジ供給システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7241080B2 (en) | Pump for transferring particulate material | |
| US3372958A (en) | Automatic feeder for pneumatic conveying lines | |
| US5584612A (en) | Apparatus and process for pneumatically conveying material and for controlling the feed of supplemental gas | |
| EP0296803A2 (en) | High density pneumatic transport method for use in powder or granular material and system for practising the method | |
| JPS60223718A (ja) | 搬送装置 | |
| EP0190718B1 (en) | Sampling device for gas analyzers | |
| JPS59131717A (ja) | 自動車の排気消音器の消音材充填方法および装置 | |
| JPS56145029A (en) | Change-over device of capsule tube conveyor system | |
| JPS6216893B2 (ja) | ||
| US4859120A (en) | Pneumatic conveying system | |
| JPS5943366B2 (ja) | エア−シユ−タ | |
| JP2526061B2 (ja) | 吸引式空気輸送装置 | |
| SU1654171A1 (ru) | Способ управлени режимом пневматического транспортировани материалов в закольцованном трубопроводе | |
| KR101942561B1 (ko) | 기송자 이송 시스템 | |
| CN109607203A (zh) | 一种分段式正压浓相气力烟丝输送系统及输送方法 | |
| JPH03106712A (ja) | 粒状の固体物質を排出する装置 | |
| JP4015220B2 (ja) | 気送設備における受信方法 | |
| RU2026249C1 (ru) | Камерный насос непрерывного действия для пневматического транспортирования сыпучего материала | |
| SU1615092A1 (ru) | Пневмоподъемник дл сыпучих материалов | |
| JP2510500B2 (ja) | 固形物の空気輸送方法およびその装置 | |
| CN211659285U (zh) | 用于喷雾干燥机的连续出料收集装置 | |
| JPS5943367B2 (ja) | 往復単管式気密気送装置 | |
| JPH03147623A (ja) | 空気搬送装置 | |
| SU660908A1 (ru) | Пневмотранспортна установка дл перегрузки сыпучих материалов | |
| SU1081099A1 (ru) | Устройство дл ввода сыпучих материалов в горизонтальный пневмотранспортный трубопровод |