JPS60221944A - 総合局所分析方法 - Google Patents
総合局所分析方法Info
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- JPS60221944A JPS60221944A JP60064592A JP6459285A JPS60221944A JP S60221944 A JPS60221944 A JP S60221944A JP 60064592 A JP60064592 A JP 60064592A JP 6459285 A JP6459285 A JP 6459285A JP S60221944 A JPS60221944 A JP S60221944A
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 11
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 2
- 241000195493 Cryptophyta Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 230000002262 irrigation Effects 0.000 description 1
- 238000003973 irrigation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は励起線を試料に照射し、試料から出る放射線，
粒子等を検出する型の複数種の局所分析装置を利用して
試料の同一点の総合分析を行う方法に関する。
粒子等を検出する型の複数種の局所分析装置を利用して
試料の同一点の総合分析を行う方法に関する。
上記したような局所分析装置は励起線の種類と試料から
出る放射線１粒子の種類及びこれらの放射線１粒子の如
何なる特性例えばエネルギー、質量類、波長等の何れを
測定するかによって多種の分析装置が構成される。これ
らの分析装置の共通の特長は励起線である電子線、イオ
ン線等をきわめて細く収束し、試料のきわめて小さな領
域を照射することができる点にある。他方これら各種の
分析装置は夫々異る特徴を有し、成るものは試料のごく
表面のみを分析し、他のものけ表面から成る程度の深さ
までの分析が可能であり、まだ試料に含まれる元素を検
出できるもの、結晶状態を知ることのできるもの、或は
原子間の結合状態を知り得るもの等種々の特徴を有する
。従って一つの試料について一つの分析装置だけで分析
をするより、数種の装置で分析をする方が試料につｂて
より豊富で総合的な情報が得られ、その際各分析装＃は
局所分析をするものであるから、試料の同一点について
分析ができれば、各種分析結果の総合判断かより一層効
果的にできることになる。
出る放射線１粒子の種類及びこれらの放射線１粒子の如
何なる特性例えばエネルギー、質量類、波長等の何れを
測定するかによって多種の分析装置が構成される。これ
らの分析装置の共通の特長は励起線である電子線、イオ
ン線等をきわめて細く収束し、試料のきわめて小さな領
域を照射することができる点にある。他方これら各種の
分析装置は夫々異る特徴を有し、成るものは試料のごく
表面のみを分析し、他のものけ表面から成る程度の深さ
までの分析が可能であり、まだ試料に含まれる元素を検
出できるもの、結晶状態を知ることのできるもの、或は
原子間の結合状態を知り得るもの等種々の特徴を有する
。従って一つの試料について一つの分析装置だけで分析
をするより、数種の装置で分析をする方が試料につｂて
より豊富で総合的な情報が得られ、その際各分析装＃は
局所分析をするものであるから、試料の同一点について
分析ができれば、各種分析結果の総合判断かより一層効
果的にできることになる。
所が現在の所上述した各種分析装置は各単独に分析をす
ることのみを念頭に置いて作られており、試料の互嵌性
がないから、同一試料を各種の装置で分析するのけきわ
めて面倒なことであり、まして同一試料の同一点につｂ
て各種分析を行う等と云うことは不可能に近い。
ることのみを念頭に置いて作られており、試料の互嵌性
がないから、同一試料を各種の装置で分析するのけきわ
めて面倒なことであり、まして同一試料の同一点につｂ
て各種分析を行う等と云うことは不可能に近い。
発明
水利は上述したような現況を考え、各種の局所分析装置
において試料の豆炭性を与え試料の同一点を指定して分
析位置に持って来ることを可能にすることを目的として
いる。
において試料の豆炭性を与え試料の同一点を指定して分
析位置に持って来ることを可能にすることを目的として
いる。
本寵は各種局所分析装置におりて試料ステージを同一構
造とし、同じ試料ホルダが設置できるようにし、各試料
ステージけｘ、ｙ、ｚ８軸の微動に対し座標値が与えら
れて座標さえ指定すれば萌 案を説明する。
造とし、同じ試料ホルダが設置できるようにし、各試料
ステージけｘ、ｙ、ｚ８軸の微動に対し座標値が与えら
れて座標さえ指定すれば萌 案を説明する。
図で人はイオン質量分析装置、Ｂは電子線マイクロプロ
ーブ分析装置を示す。イオン質量分析装置はイオン銃工
より一次イオンビ〜ムを発射させ、静電レンズＥＬによ
って試料Ｓ表面に収束して、試料を一次イオンビームで
照射し、試料表面の原子に衝撃を与え、試料から出る二
次イオンを側方の質量分析部Ｍに送って質量分析するも
のである。
ーブ分析装置を示す。イオン質量分析装置はイオン銃工
より一次イオンビ〜ムを発射させ、静電レンズＥＬによ
って試料Ｓ表面に収束して、試料を一次イオンビームで
照射し、試料表面の原子に衝撃を与え、試料から出る二
次イオンを側方の質量分析部Ｍに送って質量分析するも
のである。
電子線マイクロプローブ分析装置Ｂけ電子銃Ｅより電子
線を発射させ、電磁レンズＭＬで試料８表面に電子線を
収束させ、試料から出るＸ線を側方のＸ線分光装置Ｘで
波長解析する。或は電子線を掃引し、試料から出る二次
電子、Ｘ線等を検出して２次元的に表示して試料面の形
状の映像を得る走査型電子顕微鏡としても用い得る。
線を発射させ、電磁レンズＭＬで試料８表面に電子線を
収束させ、試料から出るＸ線を側方のＸ線分光装置Ｘで
波長解析する。或は電子線を掃引し、試料から出る二次
電子、Ｘ線等を検出して２次元的に表示して試料面の形
状の映像を得る走査型電子顕微鏡としても用い得る。
上記Ａ、Ｂ両装置共全体は真空容器を外筐として構成さ
れるものであり、■は真空ポンプ、Ｗけ両装置同−構造
の試料ステージで、Ｈけ何れの試料ステージにも合致す
る試料ホルダである。試料ステージＷけＸ、Ｙ、Ｚ：３
軸方向の微動装置を有し、各微動装置はパルスモータで
駆動され、パルスカウンタの計数値によって載置された
試料ホルダの座標が判るようになっている。試料ステー
ジＷとそれに載置される試料ホルダＨとの間には位置決
め用の係合構造が設けてあり、試料ホルダＨけ自動的に
試料ステージＷに対し位置が決る。従って試料ステージ
の各方向微動装置の座標値を同一にすれば何れの分析装
置に試料ホルダを設置しても試料上の同一点が励起線（
上側で云えばＡにおいては一次イオンビーム、Ｂでは電
子線）によ置において試料ステージを同構造とし、試料
ホルダに豆炭性を与え、各試料ステージに対し試料ホル
ダが同一位置に設定されるようになっているので、同一
試料を何れの分析装置にセットしても容易に同一点につ
いて分析をすることができ、各種分析装置の分析結果の
有機的総合判断が適確にでき、材料の種々の検討にきわ
めて有益な情報が得られることになる。
れるものであり、■は真空ポンプ、Ｗけ両装置同−構造
の試料ステージで、Ｈけ何れの試料ステージにも合致す
る試料ホルダである。試料ステージＷけＸ、Ｙ、Ｚ：３
軸方向の微動装置を有し、各微動装置はパルスモータで
駆動され、パルスカウンタの計数値によって載置された
試料ホルダの座標が判るようになっている。試料ステー
ジＷとそれに載置される試料ホルダＨとの間には位置決
め用の係合構造が設けてあり、試料ホルダＨけ自動的に
試料ステージＷに対し位置が決る。従って試料ステージ
の各方向微動装置の座標値を同一にすれば何れの分析装
置に試料ホルダを設置しても試料上の同一点が励起線（
上側で云えばＡにおいては一次イオンビーム、Ｂでは電
子線）によ置において試料ステージを同構造とし、試料
ホルダに豆炭性を与え、各試料ステージに対し試料ホル
ダが同一位置に設定されるようになっているので、同一
試料を何れの分析装置にセットしても容易に同一点につ
いて分析をすることができ、各種分析装置の分析結果の
有機的総合判断が適確にでき、材料の種々の検討にきわ
めて有益な情報が得られることになる。
本論藻
図面ば の一実施例を示す縦断側面図である。
Ａ・・・イオン質量分析装置、Ｂ・・・電子線マイクロ
プローブ分析装置、Ｗ・・・試料ステージ、■・・試料
ホルダ、Ｓ・・・試料。 代理人 弁理士 線 浩 介
プローブ分析装置、Ｗ・・・試料ステージ、■・・試料
ホルダ、Ｓ・・・試料。 代理人 弁理士 線 浩 介
Claims (1)
- 励起線で試料を照射し、試料から出る各種放射線１粒子
を検出し分析する型の複数種の局所分析装置の組合せで
、各分析装置において、試料ステージをｘ、ｙ、ｚ軸方
向の微動装置に移動量を指定できるようにした同一構造
とし、試料ステージに対し位置決めの係合構造を有する
互嵌的試料ホルダを用意した総合局分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60064592A JPS60221944A (ja) | 1985-03-28 | 1985-03-28 | 総合局所分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60064592A JPS60221944A (ja) | 1985-03-28 | 1985-03-28 | 総合局所分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60221944A true JPS60221944A (ja) | 1985-11-06 |
Family
ID=13262677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60064592A Pending JPS60221944A (ja) | 1985-03-28 | 1985-03-28 | 総合局所分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60221944A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5093692A (ja) * | 1973-12-17 | 1975-07-25 |
-
1985
- 1985-03-28 JP JP60064592A patent/JPS60221944A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5093692A (ja) * | 1973-12-17 | 1975-07-25 |
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