JPS60220812A - 内外径測定装置 - Google Patents

内外径測定装置

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Publication number
JPS60220812A
JPS60220812A JP7789684A JP7789684A JPS60220812A JP S60220812 A JPS60220812 A JP S60220812A JP 7789684 A JP7789684 A JP 7789684A JP 7789684 A JP7789684 A JP 7789684A JP S60220812 A JPS60220812 A JP S60220812A
Authority
JP
Japan
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detector
probe
line
rotation
measured
Prior art date
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Pending
Application number
JP7789684A
Other languages
English (en)
Inventor
Tamotsu Kimura
保 木村
Fumiaki Kikushima
菊島 文彬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Seimitsu Co Ltd filed Critical Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority to JP7789684A priority Critical patent/JPS60220812A/ja
Publication of JPS60220812A publication Critical patent/JPS60220812A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/10Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring diameters

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、内径および外径の測定を、異なる寸法であ
っても、測定ヘッドの交換を要せず測定できる測定装置
に係るものである。特に内、外径の測定の際、厳密な芯
合わせを要することな(高精度の測定を可能とするもの
である。
内径、外径の測定においては、被測定物の中心を通る直
径方向からその内外周面に測定子を当てて測定する必要
があり、その測定点のずれは測定誤差の原因となる。こ
のため、従来、工作機械で加工された被測定物等の寸法
を測定するような場合には、特に、この芯出し作業に多
くの手順と手数を要し、測定の効率化、自動化の支障と
なっていた。 ・ また、被測定物に複数の測定個所がある場合には、それ
に対応して複数の測定ヘッドが必要となり、その調達、
操作にコストと時間を要し、測定個所の位置、形状等の
関係によっては、測定ヘッドが相互に干渉し、測定不能
となる等の問題があった。
本発明は、これらの点を改善し、簡単な機構で内、外径
の寸法を広範囲に亘り、自動的に測定できる装置を提供
するものである。
以下図面を参照に本発明の詳細な説明する。
第1図、第2図において、基台1の上に旋回中心支点2
を有する旋回テーブル3を設ける。
旋回テーブル3は基台1に取り付けられたモータ4の正
、逆回転により、駆動ベルトを介して支点2を中心とし
て旋回し、その回転角度はモータ4の制御によって行な
う。旋回テーブル3の上には前後進機構を設ける。すな
わち旋回テーブル3の上に案内レール5を設け、これに
沿って水平動可能にスライドテーブル6を取り付ける。
そしてねじ軸、ナツトによる駆動機構を設け、ねじ軸を
モータ7によって回転しこれに噛み合うナツトをスライ
ドテーブル6に取り付け、前・後進可能とする。また、
スライドテーブル6の移動量は移動長さ読取装置8、例
えばモアレ縞スケール等のディジタルスケール、および
その読取器によって検出する。
スライドテーブル6には、図において左方向に杆9を水
平に突出させて、その左端にクラッチ10、歯車11を
介して、杆9に対して直角のアーム12を取り付ける。
アーム12の端部(第1図の上端)には差動トランス等
の検出器円筒20(内容後記)を設け、これに直角に測
子14を突出させる。杆9はスライドレール5に、検出
器円筒20の外殻は杆9に・(それぞれ平行とする。そ
して測子14の先端の接触子15は、杆9の中心線上に
位置するように設ける。
また、クラッチlOに取り付けられた歯車11は内外径
測定モードの切り替え用モータ16によって駆動され、
クラッチの係止を外し、モータ16を回転させると、ア
ーム12、検出器の円筒20、測子14は90°旋回し
て、第3図の状態となって、内径測定を可能とする姿勢
をとる。
検出器の内部は1例として第4図に示す構造のもので、
外殻をなす円筒20の中にL字形に測子14を取り付け
たレバー21が差し込まれており、レバー21は支点2
2で支持され、その変位量は検出器23によって検出さ
れる。なお測子14の先端の接触子15が杆9の中心線
の延長線上にあるとき検出器は零を出力し、レバー21
は出力零に向かって常に付勢され、支点22を中心に時
計方向、反時計方向に回動可能とされている。
また第2図に示す被測定物Wの載置または取イ」台24
は上下動可能であって、図示の多段のワークの直径を順
次測定するときには、接触子15の旋回平面に対象直径
位置を合わせるように、台24を上下動させる。
第5図によりこの装置を使って外径測定を行なう手順に
ついて説明する。図において小円は接触子15を示し、
接触子の左方向移動を前進、右方向移動を後退として述
べる。(1)まず、被測定物の直径が図においてX−X
線よりわずかに上部に位置するようにセットし、接触子
15を原点a位置からスタートさせ、X−X線上を前進
させ、検出器の出力により、接触子が所定量押し込まれ
たことを検知した所、b位置で前進を停止し、ディジタ
ルスケールの表示カウンタを零にセットし、M、として
記憶する。(2)旋回テーブル3により接触子15を図
面では時計方向に回転させ、検出器出力の旋回中の最大
値G + 1)(被測定物の中心と旋回中心を結ぶ線を
通過するときの値)を記憶し、所定角旋回した後、0点
で停止させる。(3)次に接触子15を被測定直径寸法
より若干大きい鉗離、d位置まで前進させ、前進端確認
スイッチ(図示せず)によって停止させる。ついで、旋
回テーブル3の反時計方向の回転により接触子15をe
位置まで移動させ、、続いて、接触子15を後退させて
被測定物に当て、所定量押し込まれたことを検出器で検
知して、f位置で後退を停止し、ディジタルスケールの
表示カワンタの値をラッチし:その値をM2として記憶
する。(4)旋回テーブル3の時計方向の回転により接
触子15をg位置まで移動させ、このときの検出器の最
小値G2pを記憶する。
(5)その後接触子15はb点まで後退し旋回して原点
aに戻り、測定の動作サイクルを完了する。
(6)測定値Aは次式の計算によりめる。
A”M2+G11l+ l G21) l ’。
上式のM2はM、=0としてセットしたときのM2でラ
ッチされた値、G + pは最大値、G2.は最小値、
aは補正値(ボール径+検出器の補正値)を表わす。実
際上は補正値aは測定径等により変わるものではないた
め、M、で零セットするのでなく、M、=−aとプリセ
ットする。
なお、内径測定の場合は、測定サイクルの開始位置(原
点a)は測子のストロークの中間位置とし、旋回角度を
小さな値とする他は、外径の場合の動作サイクルに準じ
て実施で軽る。
第6図は上記の検出、演算を実施するための回路図の1
例であって前述の検出器により検出した最大値と最小値
(の絶対値)とを記憶して、加算し、A−D変換してデ
ィジタルスケールの読取値M、に加算して直径として表
示する。
上述の説明においては、旋回テーブル3を基台1上で回
動させ、検出器による最大値(Gap)、最小値(G 
2 p )をめるとしたが、基台1上に、測子の前進、
後退方向、X方向と直交するY方向にレール、案内等の
機構を設け、テーブル3をY方向に移動させるように構
成しても全く同様の結果が得られる。
以上説明したように本願発明の装置は被測定物の直径方
向の同曲面を検出器の接触子により走査して走査中の最
大値と最小値をめ、別に設けた測定機構により検出器の
移動長を検出し、これら王者の演算により、内、外径の
測定値を得るように構成されているので、被測定物の厳
密な芯出し、位置決めを行なわなくても高精度の測定が
可能となる。
また、検出RMIの移動範囲、接触子の取り付けられる
コ字形部材のふところ等を適宜に選ぶことにより、寸法
の異なる多種の内、外径の測定に適用で終る。
さらに、予め設定されたプログラムに従って被測定物の
設置、測定装置の移動機構等の駆動、制御を行なえば、
測定の自動化が容易で、特にNC工作機械等による被測
定物の多種の加工径の自動測定に極めて有効である。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の実施例の平面図、第2図はその側面図
、第3図は内径測定状態を示す側面図、第4図は検出部
の機構例の説明図、第5図は本発明の装置の使用操作の
説明図、第6図は測定値処置回路のブロック図。 1:基台 2:旋回支点 3:旋回テーブル4:旋回用
モータ 5ニスライドレール6:スライドテーブル 8
:ディジタルスケールと読取装置 9:杆 14:測子 15:接触子 16:内外径測定モード切替モータ20
:検出器円筒 22:検出器支点 24:載物台 特許出願人 株式会社 東京精密

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)直径方向がほぼx−X線上に位置する被測定対象
    に当接するコ字形に形成した部材の先端に設けられた接
    触子のX−X方向変位を検出する検出機構と、前記接触
    子が被測定直径を含む断面の内、外周上をX−X線をよ
    ぎって走査可能とする磯溝と、上記検出機構をX−X方
    向に移動させる移動機構と、そのX方向移動量の読取機
    構と、接触子を測定対象に押し付け、走査したときの検
    出器出力の最大値、最小値と検出器のX方向移動量の読
    取値との演算により、直径をめて表示する回路とからな
    る内外径測定装置。 (2、特許請求の範囲第1項において、検出器の接触子
    をX−X線をよぎって走査する8!構を検出器の取付杆
    を設けたテーブルをX−X線上の支点を中心として旋回
    する(幾構とした内外径測定装置。 (3)特許請求の範囲WS1項において、検出器の接触
    子をX−Xg上をよぎって走査する機構を検出器の取付
    杆を設けたテーブルをX−X線と直角な方向に移動する
    機構とした内外径測定装置。 (4)特許請求の範囲第1項ないし第3項において、接
    触子を有する前記コ字形に形成された部材の取り付は角
    度をx−X線と直角な面内で90゜変換する機構を有す
    る内外径測定装置。
JP7789684A 1984-04-18 1984-04-18 内外径測定装置 Pending JPS60220812A (ja)

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JP7789684A JPS60220812A (ja) 1984-04-18 1984-04-18 内外径測定装置

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JP7789684A JPS60220812A (ja) 1984-04-18 1984-04-18 内外径測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60220812A true JPS60220812A (ja) 1985-11-05

Family

ID=13646835

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JP7789684A Pending JPS60220812A (ja) 1984-04-18 1984-04-18 内外径測定装置

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JP (1) JPS60220812A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01121701A (ja) * 1987-09-25 1989-05-15 Timken Co:The 対象物の測定装置
US5426069A (en) * 1992-04-09 1995-06-20 Dalsa Inc. Method for making silicon-germanium devices using germanium implantation

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01121701A (ja) * 1987-09-25 1989-05-15 Timken Co:The 対象物の測定装置
US5426069A (en) * 1992-04-09 1995-06-20 Dalsa Inc. Method for making silicon-germanium devices using germanium implantation

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