JPS60214232A - 力測定装置 - Google Patents

力測定装置

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JPS60214232A
JPS60214232A JP7213184A JP7213184A JPS60214232A JP S60214232 A JPS60214232 A JP S60214232A JP 7213184 A JP7213184 A JP 7213184A JP 7213184 A JP7213184 A JP 7213184A JP S60214232 A JPS60214232 A JP S60214232A
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JP
Japan
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piezoelectric element
force
filter
integrator
static pressure
Prior art date
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Pending
Application number
JP7213184A
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English (en)
Inventor
Toshio Horiguchi
敏男 堀口
Hiroki Ikeda
宏樹 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by NEC Corp, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Corp
Priority to JP7213184A priority Critical patent/JPS60214232A/ja
Publication of JPS60214232A publication Critical patent/JPS60214232A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は圧電素子を用いて力を測定する装置lこ関する
。更に詳しくは圧電素子さ、前記素子の出力信号を等化
するためのフィルタから構成される力41り定装置に関
する。
(従来技術とその問題点) 多くの産業分野で、力計測の必要性がある。例えばロボ
ットのハン白こよって硬い物体、軟らかな物体あるいは
脆弱物体を把持する場合には、物体を破壊しないように
把持力を制御する必要がある。
ロボットの把持力を制御するためのセンサとしては歪ゲ
ージを用いることが多いが、歪ゲージは一般に弾性体に
貼り付けて使用するために耐久性、安定性、応答速度等
に問題があっ1こ。
把持力の測定は圧電効果を用いた素子(圧電素子)Iこ
よっても行うことができる。圧電素子ffA速応答、小
形軽量、高温使用可能、長寿命等の利点を持つ。しかし
、圧電素子においては印加力に比例して発生する%5荷
を電圧の形で取り出すのでリーク(漏洩)抵抗があると
電圧が次第に減皺し静圧の計測が困難であること力)ら
、圧電素子はこれまで主に加速度センサ弄の動圧の測定
に用いられてきた。
一般に、静圧によって発生されたN fT ’e長時間
(5〜6分)一定値に維持するには極めて高い4 (100以上の)絶縁抵抗が必要であり、センサ(圧電
素子)、ケーブル、アンプの厳しい絶縁管理が要求され
、FBTによるインピーダンス変換、チャージアンプ等
の回路技術がこれまで用いられてきた。しかし、これら
の技術をもってしても、センサを例えば湿度の高い場所
で使う場合にはリーク抵抗の存在が問題となる。
又、ロボットハンドの把持力をサーボ回路によって制御
するためlこは動圧と静圧の両方を計測する必要がある
。以上のようlこ圧電素子を用いて静圧と動圧の両方を
測定するための適切な手段はこれまで存在しなかった。
(発明の目的) 従って本発明の目的は圧電素子を用いて静圧と動圧の両
方を測定するための適切な手段を提供するにある。
(発明の構成) 本発明によれば前述の11−り抵抗の影響を補償するこ
とが可能な等化フィルタが得られ、前記等化フィルタに
よって圧電素子を用いた圧力測定装置を構成できる。
前記等価フィルタは、圧電素子の伝達関数の逆数を伝達
関数として有する、比例−積分(Proportion
al−Integral、PI )フィルタとして容易
に実現される・ これによって、湿度の高い場所等−こおけるロボット・
ハンドの把持力制御が可能となる。
(本発明の原理) 第1図のように圧電素子lに印加される力Fζこよって
圧電素子内に発生する電荷をQとするとQはF#こ比例
しQ = a Fと表わされる。ここでaは圧電素子の
機何形状デ及び材料で決定される比例定数である。同図
のように圧電素子1と電圧増幅器4がケーブル2で接続
されており、圧電素子lの容量とケーブル2の分布容量
の和そ0、リーク抵抗5の抵抗値R(Rgこは増幅器4
の入力抵抗も含まれる)とすれば圧電素子1の伝達関数
v/Fは近似的に次式で表わされる。
削成−こおいてSはラプラス変数、K = a−几。
T=01(である。従って圧電素子の時定数Tはリーク
抵抗5の抵抗値Rが小さい程、短かくなる。
前述のように、圧電素子lこよる静圧の計測が困難なの
はリーク抵抗Rの存在に帰因する。
又、既に述べたように静圧による電荷を長時間、一定値
に維持するには、圧電素子、ケーブルに対する厳しい絶
縁管理が要求され、湿度の高い場所での使用が困難とな
る。
本発明では、リーク抵抗凡の影響を簡単な等価フィルタ
によって補償し、静圧及び動圧の長時間の計測を可能な
らしめている・ いま、時定数Tの推定値をT、とすれは、式(1)の逆
数の形を有する式(2)の等価フィルタH(81ζこよ
って圧電素子の出力重圧■から力、Fを再生でき式(2
)による用生力をFr(8)とすればFr(8)は式(
3)で表わされる。
但し、△Tは時定数の推定誤差で△T、=’l’−Tf
又、便宜上Kf −K = 1と仮定した。
削成を時間領域で表わせば、 t 上式(3)より次のことが分る6 (a) 静圧状態(t゛−0)ではF誂Fに漸近しくF
rミF)、推定誤差△Illの影響は無視できる。
CbJ 時定舷’l’=ouが小さいほど、従ってリー
ク抵抗Eが小さい程、F、のFへの収束が速い。
(C)動圧状態(F〆0)でも△T / ’l’が小さ
いか、父はFの便化がゆるやか(IFlが小)であれは
゛、FrはFを良く近似する(pr=i;゛)。
以上より、等化フィルタH(S)fこよって動圧と静圧
の両方を再生できることが理解される。
父、以上の説明から、前記等化フィルタの時定数Tfは
圧電素子の時定数Tに厳1Ifjcこ一致させる必要に
なく、およその近似値でf分であることが分る。
第2図(at 、 (blは圧電素子にステ、プ状の力
、Fを印加した時の応答を示す。F(1)が同図(a)
のよう丁となる。
従って第2図(b))こ示すように、圧電素子tこステ
ップ人力Fを与えた時の応答、■が最大値から約60%
にμった時の時間を時定数Tの推定値、すなわちI”(
、ll!:して用いることができる。
削成(2)より等価フィルタH(S)は積分器8、ゲイ
ン′v、の電圧増幅器と′電圧加算器によって構成され
る周知比例積分フィルタであることが分る。
(実施例1) 以下、本発明の実施例により、詳細に説明する。
第3図は本発明の一実施例の構成図を示す。図において
回路10は利得Kfの増幅器、回路11は積分回路、回
路12は利得II゛、の電圧増幅器、回路13は電圧加
JI器である。
前記回路10〜13によって、等価フィルタ又は比例噴
分フィルタH(81−K ((冶+’l’()が実現さ
れることは容易に理解できる。又、回路10〜13ケ演
算増幅器等の手段を用いて容易にi、[でき、さらにそ
の構成方法も周知である。
第4図は第3図に示した本発明の一実施例をより詳細【
こ説明するための図で、第4図において5はリーク抵抗
几、4は入力増幅器、34及び35は抵抗R,,、at
 、 364町コンデンサ01.33は演lJ#−増幅
器、37及び38は切換えスイッチである。
第4図憂こおいては、入力増幅器4は各段間の分離と他
回路の駆動に適し、さらに低エネルギの信号を直接検出
するのζこ適したゲイン1のホロワ構成を採用している
前記入力増幅器4としては演算増幅器、あるいは高入力
インピータンスのFgTアンプのいづれも使用可能であ
る。入力増幅器4の出力電圧Vは比例積分器40ζこよ
ってフィルタリンクされる。比例積分器40は、演算増
幅器33、前記リーク抵抗枕。
R2、KIJ記コンテンサC1及びnil記スイッチ5
WISW2によって構成される。
同図においてSWIがON 、8W2がOFFの状態で
は比例積分器40の伝達関数F r (S) / V 
(S)は次式で表わされる。
式(5)と式(2)を比べれば明らかなように、式(2
)の等化フィルタは前記抵抗R1、R,及びコンデンサ
C0をKt 01=Tt 、Kf=ととなるように選択
すれは良い。ここでフィルタ時定数T(は、前述の第2
図のように、ステップ応答V (t)が最大値から約6
()%になる時間に等しくとれば良い。
前記SWI 、SW2は積分器の初期値設定に用いられ
る。すなわち、圧力の計測の前f乙8WlをOFF、S
W2をONとすることによって前記コンデンサ01の電
荷を放電し、積分値を零1こする。圧力計測を行うには
、8W1をON 、SW2をOFFにして積分を開始さ
せる。
前記8Wl 、8W2はリレー等の適切な手段によって
容易に構成できる。
以上のようIC,第3図又は第4図の構成によって、等
価フィルタを構成できる、しかしながら、これらのフィ
ルタ(ゴアナログ回路によって構成されており、第4図
における積分用コンデンサC1には漏れコンダクタンス
が存在し、長時間の静圧の計測を行うには比例積分器4
0に対する厳しG)絶縁管理が要求される。従って、長
時間の静圧の計測を実現するζこは以下のようにディジ
タルルタを用いれば良い、 (実施例2) 第5図はディジタル・フィルタを用いる場合の本発明の
第二の実施例を示す。図をこおし)て1は圧電素子、4
は入力増幅器、回路20ハ入力増幅器のアナログ出力電
圧をディジタル・コードに変換するためのA/D変換器
(アナログ・テイジタル変換器)、回路21はマイクロ
プロセッサである。
第5図を参照すれば、A/D変換器20ヲこよってアナ
ログ電圧をディジタル化(量子化)し、マイクロプロセ
ッサ2Hこよって式(2)を用いて等価フィルタリング
を行う。
すなわち、マイクロプロセッサ21は下式によってフィ
ルタリングを行う。
式(6)においてV(i) 、 Fr (i)はそれぞ
れ、電圧v(t)。
再生力F、(t)の時刻iTs lこおけるサンプル値
である。Tsはサンプリング周期である。
下式によってフィルタリングを行うこともできる。
(発明の効果) 以上詳細に述べた通り、本発明によれば圧電素子の出力
和、圧から静圧及び動圧を再生(又は復元)するフィル
タを得ることができ、このフィルタを用いてロボット・
ハンドの把持力制御等を効果的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は圧電素子を用いた力測定系のブロック図、第2
図は圧電素子のステップ応答を示す図、第3図は本発明
lこよる力測定装置のプロ、り図、第4図は第3図に示
した本発明ζこよる力測定装置の詳細な第1の実施例を
示すブロック図、第5図は本発明の第2の実施例として
ディジタル信号処理を用いる場合の力測定装置のブロッ
ク図である。 図において、■は圧電素子、2は信号ケーブル、3はケ
ーブル分布容量、4は電圧増幅器、5はリーク抵抗、1
0はゲインKfの電圧増@器、11は積分器、■2はゲ
イン′vfの電圧増幅器、13は電圧加算器、32は入
力増幅器、33は演算増幅器、34及び35は抵抗、3
6はコンデンサ、37及び38はスイ・2チ、40は比
例積分器、20はA/L)変換器、21はマイクロプロ
セ、すをそれぞれ示す。 第1 図 72図 ;+3図 2 75図 42リ 21

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 圧電素子と、前記圧電素子の出力電圧信号を受
JP7213184A 1984-04-11 1984-04-11 力測定装置 Pending JPS60214232A (ja)

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JP7213184A JPS60214232A (ja) 1984-04-11 1984-04-11 力測定装置

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JP7213184A JPS60214232A (ja) 1984-04-11 1984-04-11 力測定装置

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JPS60214232A true JPS60214232A (ja) 1985-10-26

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ID=13480434

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JP7213184A Pending JPS60214232A (ja) 1984-04-11 1984-04-11 力測定装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH041539A (ja) * 1990-04-17 1992-01-07 Murata Mfg Co Ltd 圧電素子の感度係数測定方法
JPH06241921A (ja) * 1993-02-17 1994-09-02 Sanyo Electric Co Ltd 外力測定装置及びこれを用いた部品装着装置
US5523642A (en) * 1992-09-28 1996-06-04 Sanyo Electric Co., Ltd. External force measuring system and component mounting apparatus equipped with same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH041539A (ja) * 1990-04-17 1992-01-07 Murata Mfg Co Ltd 圧電素子の感度係数測定方法
US5523642A (en) * 1992-09-28 1996-06-04 Sanyo Electric Co., Ltd. External force measuring system and component mounting apparatus equipped with same
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