JPS60209158A - 熱流束示差走査熱量計用試料セル - Google Patents
熱流束示差走査熱量計用試料セルInfo
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- JPS60209158A JPS60209158A JP6482384A JP6482384A JPS60209158A JP S60209158 A JPS60209158 A JP S60209158A JP 6482384 A JP6482384 A JP 6482384A JP 6482384 A JP6482384 A JP 6482384A JP S60209158 A JPS60209158 A JP S60209158A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
- G01N25/20—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity
- G01N25/48—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity on solution, sorption, or a chemical reaction not involving combustion or catalytic oxidation
- G01N25/4846—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity on solution, sorption, or a chemical reaction not involving combustion or catalytic oxidation for a motionless, e.g. solid sample
- G01N25/4866—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity on solution, sorption, or a chemical reaction not involving combustion or catalytic oxidation for a motionless, e.g. solid sample by using a differential method
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は測定試料と標準物質とを同一条件で加熱しつつ
それらの温度差を測定することにより測定試料の転移温
度及び転移エンタルピー変化量を測定して熱分析を行な
う熱流束示差走査熱量計で使用される試料セルに関する
。
それらの温度差を測定することにより測定試料の転移温
度及び転移エンタルピー変化量を測定して熱分析を行な
う熱流束示差走査熱量計で使用される試料セルに関する
。
（従来技術）
熱流束示差走査熱量計（ＤＳＣ：装置）の試料セルとし
ては、第１図に示されるものが知られている。銀のよう
に熱伝導性のよい金属で作られた加熱炉としての均熱ブ
ロックｌと蓋２で囲まわた空間に、伝熱板としての１枚
の熱電ディスク３が均熱ブロックｌに接触して設けられ
ている。その熱電ディスク３上で均熱ブロック１から均
等な位置に試料容器４と標準物質容器５が載置され、両
容器４，５にはそれぞれ測定試料と標準物質が収容され
て均熱ブロック１から熱電ディスク３を経て同一条件で
加熱される。６はヒータ巻線である。
ては、第１図に示されるものが知られている。銀のよう
に熱伝導性のよい金属で作られた加熱炉としての均熱ブ
ロックｌと蓋２で囲まわた空間に、伝熱板としての１枚
の熱電ディスク３が均熱ブロックｌに接触して設けられ
ている。その熱電ディスク３上で均熱ブロック１から均
等な位置に試料容器４と標準物質容器５が載置され、両
容器４，５にはそれぞれ測定試料と標準物質が収容され
て均熱ブロック１から熱電ディスク３を経て同一条件で
加熱される。６はヒータ巻線である。
熱電ディスク３は例えばコンスタンタンがらなり、試料
容器４と標準物質容器５が載置されている部分（試料部
という）の裏面にはそれぞれクロメルウェハ７．８が接
合されてこの熱電ディスク３とともに熱電対を溝成して
おり、これにより測定試料と標準物質の温度差を検出す
るようになっている。
容器４と標準物質容器５が載置されている部分（試料部
という）の裏面にはそれぞれクロメルウェハ７．８が接
合されてこの熱電ディスク３とともに熱電対を溝成して
おり、これにより測定試料と標準物質の温度差を検出す
るようになっている。
また測定試料と標準物質の温度は、それぞれクロメル−
アルメル熱電対９，１０によって測定される。
アルメル熱電対９，１０によって測定される。
また、この試料セル内には置換気体が流され、蓋２の穴
１１から排気される。
１１から排気される。
ところで、このような熱流束示差走査熱量計用の試料セ
ルにおいて、一般に温度差検出感度を高めるには、加熱
炉と試料部との熱抵抗を大きくしてやればよいが、従来
の型式の試料セルでは伝熱板としての熱電ディスク３の
厚みを薄くすることで達成できる。しかし、この伝熱板
は試料容器４及び標準物質容器５を支持するだけの機械
的強度を備えなければならず、したがって、その厚さを
薄くするのにも限界がある。
ルにおいて、一般に温度差検出感度を高めるには、加熱
炉と試料部との熱抵抗を大きくしてやればよいが、従来
の型式の試料セルでは伝熱板としての熱電ディスク３の
厚みを薄くすることで達成できる。しかし、この伝熱板
は試料容器４及び標準物質容器５を支持するだけの機械
的強度を備えなければならず、したがって、その厚さを
薄くするのにも限界がある。
また、高温域における炉壁からの輻射による試料容器４
及び標準物質容器５の加熱、並びに試料容器４及び標準
物質容器５からの輻射による熱散逸を小さくするために
、試料容器４の表面及び標準物質容器５の表面と、加熱
炉の内壁との温度差を小さくする努力がなされてきた。
及び標準物質容器５の加熱、並びに試料容器４及び標準
物質容器５からの輻射による熱散逸を小さくするために
、試料容器４の表面及び標準物質容器５の表面と、加熱
炉の内壁との温度差を小さくする努力がなされてきた。
しかし、高温域（３００〜４００°Ｃ以上）では、熱伝
達の形式として伝導より輻射の方が優性になり、同時に
加熱炉内部の温度勾配が険しくなって試料容器及び標準
物質容器の表面と炉壁との温度差が拡大する。その結果
、輻射による加熱又は熱の散逸が目立って大きくなり、
これは伝熱板を流れる熱流束に対するノイズとなり、熱
流束示差走査熱量計のベースラインがドリフトしたり、
熱量測定感度（装置定数たるべきもの）が低温域での値
から変動したりする。これは、精確な定量に対して少な
からぬ障害となっている。
達の形式として伝導より輻射の方が優性になり、同時に
加熱炉内部の温度勾配が険しくなって試料容器及び標準
物質容器の表面と炉壁との温度差が拡大する。その結果
、輻射による加熱又は熱の散逸が目立って大きくなり、
これは伝熱板を流れる熱流束に対するノイズとなり、熱
流束示差走査熱量計のベースラインがドリフトしたり、
熱量測定感度（装置定数たるべきもの）が低温域での値
から変動したりする。これは、精確な定量に対して少な
からぬ障害となっている。
（目的）
本発明は加熱炉、と試料部の間の熱抵抗を大４くして温
度差検出感度を高めるとともに、熱輻射を抑えて高温域
での装置の安定性を高め、もって広い温度範囲において
Ｓ／Ｎ比を向上させた熱流束示差走査熱量計用試料セル
を提供することを目的とするものである。
度差検出感度を高めるとともに、熱輻射を抑えて高温域
での装置の安定性を高め、もって広い温度範囲において
Ｓ／Ｎ比を向上させた熱流束示差走査熱量計用試料セル
を提供することを目的とするものである。
（構成）
本発明の試料セルでは、加熱炉から試料部への伝熱経路
上に空隙が設けられ、前記加熱炉と試料部の間は高熱抵
抗の形状・材質の部材により連結されており、かつ、前
記試料部の上方及び下方には内面が鏡面である熱遮蔽部
材が設けられている。
上に空隙が設けられ、前記加熱炉と試料部の間は高熱抵
抗の形状・材質の部材により連結されており、かつ、前
記試料部の上方及び下方には内面が鏡面である熱遮蔽部
材が設けられている。
加熱炉と試料部の間の伝導熱伝達経路１に空隙を設け、
その両側を細い線状又は帯状の物体でつなぐことで、熱
抵抗を著しく富める。その線状又は帯状の物体の本数や
径・幅を変えるだけで熱抵抗を調節することができる。
その両側を細い線状又は帯状の物体でつなぐことで、熱
抵抗を著しく富める。その線状又は帯状の物体の本数や
径・幅を変えるだけで熱抵抗を調節することができる。
次に高温域における熱輻射を抑えるために、試料部の上
方と下方に熱遮蔽部材を設ける。この熱遮蔽部材の内面
を鏡面とすることで、エネルギーの外部流出を最小限に
し、また加熱炉からの熱輻射による試料部などの加熱を
防止したものである。
方と下方に熱遮蔽部材を設ける。この熱遮蔽部材の内面
を鏡面とすることで、エネルギーの外部流出を最小限に
し、また加熱炉からの熱輻射による試料部などの加熱を
防止したものである。
（実施例）
第２図は本発明の一実施例を断面図で表わし、第３図は
その内部を熱遮蔽蓋を除去した状態の平面図で表わした
ものである。
その内部を熱遮蔽蓋を除去した状態の平面図で表わした
ものである。
ヒータ巻線（図示略）が巻かれ加熱炉としての銀製の均
熱ブロック１と銀製の外蓋２で囲まれた空間内には、均
熱ブロック１がら相互に均等な位置に２個の試料部が形
成されており、一方の試料部は測定試料を収容する試料
容器４が載置される試料台２０であり、他方の試料部は
標準物質を収容する標準物質容器５が載置される標準物
質台２１である。
熱ブロック１と銀製の外蓋２で囲まれた空間内には、均
熱ブロック１がら相互に均等な位置に２個の試料部が形
成されており、一方の試料部は測定試料を収容する試料
容器４が載置される試料台２０であり、他方の試料部は
標準物質を収容する標準物質容器５が載置される標準物
質台２１である。
試料部２０．２１と均熱ブロックｌとの間にはそれぞれ
空隙２３，２４が設けられ、両試料部２０．２１と均熱
ブロック１との間は数本の線状又は帯状の高熱抵抗部材
２６．２７により連結されている。この高熱抵抗部材２
６．２７は試料部２０．２１とは別途形成した後に融着
してもよく、あるいは薄板をレーザ加工などの手段で加
工して試料部２０．２１と同時に形成してもよい。高熱
抵抗部材２６．２７の材質としては熱抵抗率の高いもの
が好ましく、例えばクロメルやアルメルなどの熱電対材
料、ステンレスなどが適当である。
空隙２３，２４が設けられ、両試料部２０．２１と均熱
ブロック１との間は数本の線状又は帯状の高熱抵抗部材
２６．２７により連結されている。この高熱抵抗部材２
６．２７は試料部２０．２１とは別途形成した後に融着
してもよく、あるいは薄板をレーザ加工などの手段で加
工して試料部２０．２１と同時に形成してもよい。高熱
抵抗部材２６．２７の材質としては熱抵抗率の高いもの
が好ましく、例えばクロメルやアルメルなどの熱電対材
料、ステンレスなどが適当である。
また、試料部２０．２１の材質は金属であれば特に制限
はない。
はない。
両試料部２０．２１の裏面は、それぞれ熱電対９．１０
が接合されて温度検出部となっている。
が接合されて温度検出部となっている。
両試料部２０．２１の上方にはそれぞれ金製の熱遮蔽蓋
３０．３１が被せられ、両試料部２０゜２１の下方にも
それぞれ金製の熱遮蔽蓋３２゜３３が被せられている。
３０．３１が被せられ、両試料部２０゜２１の下方にも
それぞれ金製の熱遮蔽蓋３２゜３３が被せられている。
これらの熱遮蔽蓋３０〜３３はその内面が鏡面に加工さ
れており、均熱ブロック１と接触している。
れており、均熱ブロック１と接触している。
３４．３５，３６，１１はそれぞれ均熱ブロック１、試
料部の下方の熱遮蔽蓋、上方の熱遮蔽蓋、外蓋２に開け
られた置換気体用の穴であり、置換気体は均熱ブロック
ｌの穴３４を通ってこの試料セル内に入り、熱遮蔽蓋の
穴３５．３６を通って外蓋２の穴１１から外部へ排気さ
れる。
料部の下方の熱遮蔽蓋、上方の熱遮蔽蓋、外蓋２に開け
られた置換気体用の穴であり、置換気体は均熱ブロック
ｌの穴３４を通ってこの試料セル内に入り、熱遮蔽蓋の
穴３５．３６を通って外蓋２の穴１１から外部へ排気さ
れる。
本実施例において、測定試料と標準物質とを図のように
セットし、ヒータ巻線に通電して加熱しつつ、熱電対９
，１０間の電位差を測定することにより、測定試料と標
準物質との温度差を測定していく。
セットし、ヒータ巻線に通電して加熱しつつ、熱電対９
，１０間の電位差を測定することにより、測定試料と標
準物質との温度差を測定していく。
このとき、両試料部２０．２１と加熱炉としての均熱ブ
ロック１との間の連結は高熱抵抗部材２６．２７により
行なわれているので、高感度の測定が行なわれる。そし
て、高熱抵抗部材２６゜２７はその形状や材質を選択す
ることによりその熱抵抗の大きさを調節することができ
る。
ロック１との間の連結は高熱抵抗部材２６．２７により
行なわれているので、高感度の測定が行なわれる。そし
て、高熱抵抗部材２６゜２７はその形状や材質を選択す
ることによりその熱抵抗の大きさを調節することができ
る。
また、高温における試料容器４及び試料部２０の裏面の
温度検出部からの熱輻射、及び標準物質容器５及び試料
部２１の裏面の温度検出部からの熱輻射はそれぞれ熱遮
蔽蓋３０，３２及び３１゜３３の内面で反射されて熱エ
ネルギーの散逸が抑えられる。また、均熱ブロック１及
び外蓋２の内壁からの熱輻射もこの熱遮蔽蓋３０〜３３
で遮蔽されて試料容器４、標準物質容器５及び各温度検
出部には到達しない。
温度検出部からの熱輻射、及び標準物質容器５及び試料
部２１の裏面の温度検出部からの熱輻射はそれぞれ熱遮
蔽蓋３０，３２及び３１゜３３の内面で反射されて熱エ
ネルギーの散逸が抑えられる。また、均熱ブロック１及
び外蓋２の内壁からの熱輻射もこの熱遮蔽蓋３０〜３３
で遮蔽されて試料容器４、標準物質容器５及び各温度検
出部には到達しない。
本実施例において、各部の材質は一例を挙げたにすぎず
、他の材質を用いてもよい。例えば、均熱ブロック１や
外蓋２は熱伝導のよい材料であればよく、銀のほか金や
銅でもよい。また、熱遮蔽蓋３１〜３３も温度により反
射率の変化の少ない金を使用したが他の材料でもよい。
、他の材質を用いてもよい。例えば、均熱ブロック１や
外蓋２は熱伝導のよい材料であればよく、銀のほか金や
銅でもよい。また、熱遮蔽蓋３１〜３３も温度により反
射率の変化の少ない金を使用したが他の材料でもよい。
第２図では熱遮蔽蓋３０及び３１はそれぞれ試料容器４
及び標準物質容器５の側部も上部も覆っているので、熱
輻射を遮蔽するためには最も好ましい態様である。
及び標準物質容器５の側部も上部も覆っているので、熱
輻射を遮蔽するためには最も好ましい態様である。
しかし、測定試料を設置あるいは交換する際には熱遮蔽
蓋３０，３１を除去しなくてはならない。
蓋３０，３１を除去しなくてはならない。
他の実施例はその熱遮蔽蓋３０．３１のうち、試料容器
４の上部及び標準物質容器５の上部を開放したものであ
る。
４の上部及び標準物質容器５の上部を開放したものであ
る。
そのような実施例によれば、熱輻射を遮蔽する効果は第
２図のものより多少劣るものの、試料設置の際の操作性
が向上する利点がある。
２図のものより多少劣るものの、試料設置の際の操作性
が向上する利点がある。
（効果）
本発明の試料セルを使用すれば、熱抵抗を大きくしたこ
とで温度差検出感度が向上する。
とで温度差検出感度が向上する。
また、高温域においても試料容器、標準物質容器及び各
試料部からの熱輻射による熱エネルギーの散逸、並びに
均熱ブロック内壁等からの熱輻射によりそれらが加熱さ
れることが抑えられるので、示差走査熱量測定における
ベースラインの安定性が向上し、熱量計感度の温度変動
も少なくなって、装置の定量性、信頼性、使い易さが改
善される。
試料部からの熱輻射による熱エネルギーの散逸、並びに
均熱ブロック内壁等からの熱輻射によりそれらが加熱さ
れることが抑えられるので、示差走査熱量測定における
ベースラインの安定性が向上し、熱量計感度の温度変動
も少なくなって、装置の定量性、信頼性、使い易さが改
善される。
以上の結果として、広範な温度範囲でＳ／Ｎ比が改善さ
れる。
れる。
第１図は従来の試料セルを示す断面図、第２図は本発明
の一実施例を示す断面図、第３図は第２図の内部を示す
Ｘ−Ｙ線断面図である。 ■・・・・・・加熱炉としての均熱ブロック、 ２・旧
・・外蓋、 ４・・・・・・試料を収容した試料容器、
５・旧・・標準物質を収容した標準物質容器、 ２０
，２１・・・・・・試料部、 ２３，２４・・・・・・
空隙、２６．２７・・・・・・高熱抵抗部材、 ３０〜
３３・・・・・・熱遮蔽蓋。 代理人 弁理士 野口繁雄 第１図 第２図 １ 第３ ロ
の一実施例を示す断面図、第３図は第２図の内部を示す
Ｘ−Ｙ線断面図である。 ■・・・・・・加熱炉としての均熱ブロック、 ２・旧
・・外蓋、 ４・・・・・・試料を収容した試料容器、
５・旧・・標準物質を収容した標準物質容器、 ２０
，２１・・・・・・試料部、 ２３，２４・・・・・・
空隙、２６．２７・・・・・・高熱抵抗部材、 ３０〜
３３・・・・・・熱遮蔽蓋。 代理人 弁理士 野口繁雄 第１図 第２図 １ 第３ ロ
Claims (1)
- （１）加熱炉から試料部への伝熱経路上に空隙が設けら
れ、前記加熱炉と試料部の間は高熱抵抗の形状・材質の
部材により連結されモおり、かつ、前記試料部の上方及
び下方には内面が鏡面である熱遮蔽部材が設けられてい
ることを特徴とする熱流束示差走査熱量計用試料セル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6482384A JPS60209158A (ja) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | 熱流束示差走査熱量計用試料セル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6482384A JPS60209158A (ja) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | 熱流束示差走査熱量計用試料セル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60209158A true JPS60209158A (ja) | 1985-10-21 |
Family
ID=13269354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6482384A Pending JPS60209158A (ja) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | 熱流束示差走査熱量計用試料セル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60209158A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6375855U (ja) * | 1986-05-07 | 1988-05-20 | ||
| US4783174A (en) * | 1985-08-16 | 1988-11-08 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V. | Differential isoperibol scanning calorimeter |
| JPH06281603A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-07 | Shimadzu Corp | 熱分析装置 |
| EP0723141A1 (en) * | 1995-01-17 | 1996-07-24 | Applied Materials, Inc. | Sensors for measuring temperature and methods of measuring workpiece temperatures |
| US6390669B1 (en) * | 1998-07-14 | 2002-05-21 | Seiko Instruments Inc. | Heat flux type differential scanning calorimeter |
| CN113030173A (zh) * | 2021-04-06 | 2021-06-25 | 南京工业大学 | 一种基于样品池内表面温度测量的绝热加速量热仪 |
| US11143541B2 (en) | 2016-03-25 | 2021-10-12 | Hitachi High-Tech Science Corporation | Sample container and thermal analyzer |
-
1984
- 1984-03-31 JP JP6482384A patent/JPS60209158A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4783174A (en) * | 1985-08-16 | 1988-11-08 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V. | Differential isoperibol scanning calorimeter |
| JPS6375855U (ja) * | 1986-05-07 | 1988-05-20 | ||
| JPH06281603A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-07 | Shimadzu Corp | 熱分析装置 |
| EP0723141A1 (en) * | 1995-01-17 | 1996-07-24 | Applied Materials, Inc. | Sensors for measuring temperature and methods of measuring workpiece temperatures |
| US5716133A (en) * | 1995-01-17 | 1998-02-10 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Shielded heat sensor for measuring temperature |
| US6390669B1 (en) * | 1998-07-14 | 2002-05-21 | Seiko Instruments Inc. | Heat flux type differential scanning calorimeter |
| US11143541B2 (en) | 2016-03-25 | 2021-10-12 | Hitachi High-Tech Science Corporation | Sample container and thermal analyzer |
| CN113030173A (zh) * | 2021-04-06 | 2021-06-25 | 南京工业大学 | 一种基于样品池内表面温度测量的绝热加速量热仪 |
| CN113030173B (zh) * | 2021-04-06 | 2021-09-14 | 南京工业大学 | 一种基于样品池内表面温度测量的绝热加速量热仪 |
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