JPS60205897A - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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JPS60205897A
JPS60205897A JP59062729A JP6272984A JPS60205897A JP S60205897 A JPS60205897 A JP S60205897A JP 59062729 A JP59062729 A JP 59062729A JP 6272984 A JP6272984 A JP 6272984A JP S60205897 A JPS60205897 A JP S60205897A
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JP
Japan
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blocks
memory array
signal
defective
activation signal
Prior art date
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Pending
Application number
JP59062729A
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Japanese (ja)
Inventor
Fumio Horiguchi
文男 堀口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS60205897A publication Critical patent/JPS60205897A/en
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices

Abstract

PURPOSE:To produce an initial defect in a short period and to shorten the screening time by controlling an activation signal distributing circuit which supplies the activation signal to one of memory array blocks and then supplying the activation signals simultaneously to >=2 blocks. CONSTITUTION:A distributing circuit 5 impresses the input activation signals phi0 to the row decoder and controller parts 21 and 31 or 22 and 32 in response to addresses A0 and A0' given from an address buffer 4 and set at ''1'' and ''0'' or vice versa. Then a memory array 11 or 12 which is divided into blocks is used selectively. When an external signal psiT is impressed to the buffer 4, both addresses A0 and A0' are set at 0. At the same time, the signals phi0 are supplied simultaneously to circuits 21 and 31 as well as 22 and 32 respectively. Then both arrays 11 and 12 are selected to produce an initial defect in a short period for a performance test at a plant. This can shorten the screening time of non-defective/defective.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] この発明は、メモリアレイを複数ブロックに分割して消
費電力低減を図った半導体記憶装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a semiconductor memory device in which a memory array is divided into a plurality of blocks to reduce power consumption.

[発明の技術的背景とその問題点] 近年半導採集積回路(IC)の発展は目ざましく、特に
メモリの分野での進展はすばらしいものがある。最も集
積化が進んでいるのは、ダイナミックRAMの分野であ
り、現在256にビットMOSダイナミックRAMが商
品化されつつある。
[Technical background of the invention and its problems] The development of semiconductor integrated circuits (ICs) has been remarkable in recent years, and particularly the progress in the field of memory has been remarkable. The field of dynamic RAM is where integration is progressing the most, and 256-bit MOS dynamic RAM is currently being commercialized.

さらに1Mビット、4Mビットと、そのメモリ蜆模が増
大していくことは疑いないことである。
There is no doubt that the memory size will further increase to 1M bits and 4M bits.

工場ではICの一゛定期間の動作試験を行い、不良とな
るものを除き良品のみをユーザーに提供することが行な
われている。これは、一般に製品の故障率が第1図に示
すような経時変化を示すためである。即ち動作初期に最
も故障が多く発生し、し、長期使用後には各部の疲労に
よる故゛障率の増大が見られる。そこで、初期不良期間
を動作試験期間とし動作中にすぐに不良となるものを除
いてから良品のみを出荷すれば、非常に故障率の低い製
品をユーザーに提供することができる。従来の製品、た
とえば64kbitダイナミックRAMであれば、この
初期不良を起す期間の試験を行うのに要する時間は数1
0時間もあれば十分であり、2〜3日間の試験で、初期
不良のチェックを行うことが可能である。この動作試験
では、不良が発生しやすいように実使用の電源電圧より
高い電圧、温度で行なわれるが、それでも、数10時間
の時間が必−である。64にダイナミックRAMでは、
リフレッシュサイクルが128サイクルですべてのメモ
リセルのリフレッシュを行うことができるが、256に
ダイナミックRAMでは256リフレツシユサイクルが
主流であり、2倍のサイクルでリフレッシュされる。こ
の場合、メモリセルがアクセスされる確率も1/2と5
なり、動作時にメモリセルに電圧が印加される時間が1
28リフレツシユサイクルに対して1/2となるため、
初期不良発生期間が64にダイナミックRAMに比べ長
くなる。従来、初期不良発生期間が数10時間内であっ
たものが、100時間を超えるようになってくる。1M
ビットのダイナミックRAMではさらに2倍のリフレッ
シュサイクル、512リフレツシユサイクルが主流とな
れば、初期不良発生期間が2倍となり、動作試験だけで
数日から数週間を必要とし、試験に要するコストが増大
し、在庫期間の増大から、市場への対応が遅れるなどの
問題が発生する。
At the factory, ICs are tested for a certain period of time, and only good products are provided to users, excluding those that are defective. This is because the failure rate of a product generally shows a change over time as shown in FIG. That is, most failures occur during the early stages of operation, and after long-term use, the failure rate increases due to fatigue of various parts. Therefore, by using the initial failure period as an operation test period and excluding those that quickly become defective during operation before shipping only non-defective products, it is possible to provide users with products that have an extremely low failure rate. For conventional products, such as 64kbit dynamic RAM, the time required to test the period during which initial failure occurs is several tens of hours.
0 hours is sufficient, and it is possible to check for initial defects by testing for 2 to 3 days. This operation test is conducted at a voltage and temperature higher than the power supply voltage actually used so that defects are likely to occur, but it still requires several tens of hours. 64 with dynamic RAM,
All memory cells can be refreshed in 128 refresh cycles, but 256 refresh cycles are the mainstream in dynamic RAM, which is twice as many cycles. In this case, the probability that the memory cell will be accessed is also 1/2 and 5
Therefore, the time during which voltage is applied to the memory cell during operation is 1
Since it is 1/2 of 28 refresh cycles,
The initial failure occurrence period is 64 times longer than that of dynamic RAM. Conventionally, the initial failure occurrence period was within several tens of hours, but now it is over 100 hours. 1M
If the double refresh cycle (512 refresh cycles) becomes mainstream for bit dynamic RAM, the initial failure period will double, requiring several days to weeks just for operational testing, and the cost required for testing will increase. However, problems such as a delay in responding to the market arise due to an increase in the inventory period.

そこで、動作試験時には、なるべく短期間で初期不良発
生期間が通過できるような工夫が必要となってくる。
Therefore, during operation tests, it is necessary to devise ways to pass the initial failure occurrence period in as short a time as possible.

[発明の目的] この発明は上記した点に鑑みてなされたもので、動作試
験時に、短期間で初期不良を発生させ、不良品を選別で
きる回路方式を持った半導体、記憶装置を提供すること
を目的とする。
[Object of the Invention] The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and an object of the present invention is to provide a semiconductor and a memory device having a circuit system that can generate initial defects in a short period of time and select defective products during an operation test. With the goal.

[発明の概要] 本発明は、大規模化した場合の消費電流を低減させる目
的から、半導体記憶装置の基本構成として、メモリアレ
イを複数のブロックに分割して、外部アドレス入力によ
って任意の一つのブロックを選択して書込み、読出し動
作を行う方式を採用する。そして本発明は、このような
記憶装置において、出荷前の動作試験時には複数のブロ
ックのうち二つ以上を同時に活性化して動作させる手段
を備え、短期間に初期不良を選別できるようにしたこと
を特徴とするものである。
[Summary of the Invention] For the purpose of reducing current consumption when increasing the scale, the present invention divides a memory array into a plurality of blocks as a basic configuration of a semiconductor memory device, and blocks any one block by inputting an external address. A method is adopted in which blocks are selected for write and read operations. The present invention provides such a storage device with means for simultaneously activating and operating two or more of a plurality of blocks during an operation test before shipment, thereby making it possible to screen out initial failures in a short period of time. This is a characteristic feature.

[発明の効果] 本発明によれば、初期不良発生に必要な動作試験期間、
即ち製品の不良品をスクリーニングする期間を短くする
ことが可能であり、従ってまた試験に必要なコストの低
減および生産から出荷までに要する期間の短縮が図られ
、ユーザーのニーズにすぐに対応できるという利点が得
られる。また、機能チェックに必要な時間も短縮するこ
とが可能\ である。
[Effects of the Invention] According to the present invention, the operation test period required for initial failure occurrence,
In other words, it is possible to shorten the period of screening for defective products, thereby reducing the cost required for testing and the time required from production to shipment, allowing for immediate response to user needs. Benefits can be obtained. It is also possible to shorten the time required for functional checks.

[発明の実施例] 以下に図面を用いて本発明の詳細な説明する。[Embodiments of the invention] The present invention will be described in detail below using the drawings.

第2図は一実施例のMOSダイナミックRA Mの要部
構成を示す。この実施例では、メモリアレイは二つのブ
ロック11.12に分割されて集積形成されている。各
メモリアレイブロック11゜12は、周知のメモリセル
配列およびセンスアンプ群を含み、それぞれを制御する
ためにロウデコーダ21,22、コントロール回路3s
 、32が設けられている。4はアドレスバッファであ
り、外部アドレス入力に応じてメモリアレイ選択用内部
アドレス信号を発生する。5は、メモリアレイブロック
11.12を択一的に選択駆動するための活性化信号φ
0を、内部アドレス信号Ao 。
FIG. 2 shows the main structure of a MOS dynamic RAM according to an embodiment. In this embodiment, the memory array is divided into two blocks 11, 12 and integrated. Each memory array block 11, 12 includes a well-known memory cell array and a group of sense amplifiers, and for controlling each, row decoders 21, 22 and a control circuit 3s.
, 32 are provided. 4 is an address buffer, which generates an internal address signal for memory array selection in response to an external address input. 5 is an activation signal φ for selectively driving the memory array blocks 11 and 12.
0 as the internal address signal Ao.

Aoによって分配するための分配回路である。通常動作
時には、Aa 、Anの一方が′1″、他方が°“ON
であり、これにより活性化信号φ0は、ロウデコーダ2
1、コントロール回路31側またはロウデコーダ22、
コントロール回路3.2側のい−ずれかニ゛方にのみ供
給されるようになっている。
This is a distribution circuit for distribution according to Ao. During normal operation, one of Aa and An is '1'' and the other is 'ON'.
Therefore, the activation signal φ0 is applied to the row decoder 2.
1. Control circuit 31 side or row decoder 22,
The signal is supplied only to either side of the control circuit 3.2.

アドレスバッファ4には、外部信号入力6ビンからアド
レス入力とは別に外部制御信号vTが入力される。この
制御信号v丁が入力されるとアドレスバッファ4の出力
An 、Anが同時に“0”になるように制御され、こ
の結果、活性化信号分配回路5は、活性化信号φ0をメ
モリアレイブロック11.12の両方の制御回路部に供
給するようになっている。
In addition to the address input, an external control signal vT is input to the address buffer 4 from six external signal input bins. When this control signal v is input, the outputs An and An of the address buffer 4 are controlled to become "0" at the same time, and as a result, the activation signal distribution circuit 5 transmits the activation signal φ0 to the memory array block 11. .12 control circuit sections.

各部の具体的な回路例を第3図〜第5図を用いて説明す
る。第3図はエンハンスメント形のMO8Trを用いて
構成したダイナミック形アドレスバッファ4の1例であ
り、クロックφ1〜φ3によって参照電圧V refに
対して外部アドレス入力信号を比較することにより、A
o 、Aoの出力を出す。この動作タイミングは第6図
に示す通りである。φpはプリチャージ用クロックであ
る。ここで、このアドレスバッファの出力段およびその
前段に、短絡用MOSトランジスタQl 、 Q2 。
Specific circuit examples of each part will be explained using FIGS. 3 to 5. FIG. 3 shows an example of a dynamic address buffer 4 configured using an enhancement-type MO8Tr.
o, outputs the output of Ao. The timing of this operation is as shown in FIG. φp is a precharge clock. Here, shorting MOS transistors Ql and Q2 are provided at the output stage of this address buffer and at the preceding stage.

Q3 、Q4を設けている点が通常と異なる。これらの
トランジスタ01〜Q4のゲートにはMOSトランジス
タQ5 、Qsを介してプリチャージ信号φpと逆相の
信号φpが選択的に供給されるようになっている。この
MOSトランジスタQs 。
It is different from normal in that Q3 and Q4 are provided. A signal φp having an opposite phase to the precharge signal φp is selectively supplied to the gates of these transistors 01 to Q4 via MOS transistors Q5 and Qs. This MOS transistor Qs.

Qsのゲートを制御するのが、前述の外部制御信号vT
である。即ち、14/、が高レベルであれば、出力Ao
 、Anは共にO“′となり、ψTが低レベルのときに
アドレス入力に応じてAo 、/’lが1111I、“
0”となる。
The aforementioned external control signal vT controls the gate of Qs.
It is. That is, if 14/ is at a high level, the output Ao
, An are both O"', and when ψT is low level, Ao, /'l becomes 1111I, " according to the address input.
0”.

第6図では、試験動作時の信号状態を破線で示しである
In FIG. 6, the signal state during the test operation is indicated by a broken line.

第4図は分配回路5の具体例である。07〜Q14は全
てEタイプMOSトランジスタであり、プリチャージ用
クロックφpが高レベルになった後、内部アドレス信号
AO、Anの一方が“1″、他方が1101+となる通
常動作時には、MOSトランジスタQ7 、Qeのいず
れか一方がオン、従ってMOSトランジスタQs s 
、 Qt 4のいずれか一方がオンとなって、活性化信
号φ0がメモリアレイブロック11側または12側のい
ずれ、かに選択的に供給されるようになっている。一方
、vTが入ってAn =Ao = ”O”となる試験動
作時には、MOSトランジスタQs :l 、Q14が
同時にオとなり、活性化信号φ0はメモリアレイ11゜
12側の両方に同時に供給されることになる。
FIG. 4 shows a specific example of the distribution circuit 5. 07 to Q14 are all E type MOS transistors, and during normal operation when one of the internal address signals AO and An becomes "1" and the other becomes 1101+ after the precharge clock φp becomes high level, the MOS transistor Q7 , Qe is on, so the MOS transistor Qs s
, Qt4 is turned on, and the activation signal φ0 is selectively supplied to either the memory array block 11 side or the memory array block 12 side. On the other hand, during the test operation when vT is applied and An = Ao = "O", MOS transistors Qs:l and Q14 are turned on at the same time, and the activation signal φ0 is supplied to both sides of the memory arrays 11 and 12 at the same time. become.

第5図はロウデコーダの具体例である。通常動作時には
ロウデコーダ21.22内の全ての内部アドレス入力が
0″となる部分の出力が高レベルとなって一本のワード
線WLが選択される。動作試験時には、An =An 
= ”O”となるため、ロウデコーダ21.22の双方
において、同時に出力が高レベルとなるアドレスがあり
、メモリアレイ11.12の双方で同時に一本ずつワー
ド線WLが選択されることになる。
FIG. 5 shows a specific example of a row decoder. During normal operation, the output of the part where all internal address inputs in the row decoders 21 and 22 are 0'' becomes high level, and one word line WL is selected. During an operation test, An = An
= "O", there is an address where the output of both row decoders 21 and 22 becomes high level at the same time, and word lines WL are selected one by one in both memory arrays 11 and 12 at the same time. .

次に外部制御信号vTの印加法であるが、これはNCビ
ン(N o Connection P In、即ちス
ペック上と・の内部回路とも接続されていないビン)を
利用して、チップ外部から加える。その具体例として第
7図に示す3種の方法が考えられる。(a)は、NCビ
ン6からポリS1などのヒユーズ7を介してψ■を印加
する方法である。過負荷試験後は、レーザーでこのヒユ
ーズ7を溶断し、NCビンと内部回路とを切断して出荷
する。この方法ではパッケージングされたICの過負荷
試験後のヒユーズの溶断は、パッケージ材に対して透過
性のあるレーザー波長を選択しなければならない。ある
いは、レーザ光に対しt透過性のあるパッケージ材、あ
るいは窓を開けることが必要である。
Next is a method of applying the external control signal vT, which is applied from outside the chip using an NC bin (No Connection P In, ie, a bin that is not connected to any internal circuit according to the specifications). As specific examples, three methods shown in FIG. 7 can be considered. (a) is a method in which ψ■ is applied from the NC bin 6 through a fuse 7 such as poly S1. After the overload test, the fuse 7 is fused with a laser, the NC bottle and the internal circuit are disconnected, and the product is shipped. In this method, a laser wavelength that is transparent to the packaging material must be selected to blow the fuse after an overload test of the packaged IC. Alternatively, it is necessary to use a package material that is transparent to the laser beam or to open a window.

(b)の方法は、レーザー光を使用しない方法であり、
NCビン6からヒユーズ7を通してvTを印加するのは
(a)と同様であるが、過負荷試験後は、NCビンに高
電圧を印加してヒユーズ7を溶断する。溶断電流は、抵
抗8を通して流す。この方法であれば、パッケージング
後の試論も可能である。(C)の方法は、NCビン6か
らフローティングゲート構造のスイッチングトランジス
タ9を介してvT倍信号メモリセル選択用アドレスバッ
ファに印加する。あらかじめパッケージングの段階で端
子10からコントロールゲートに負の高電圧を印加して
トランジスタ9のフローティングゲートに正孔を注入し
、しきい値を低くしてこのトランジスタ9をON状態に
しておき1、NCビン6からの信号がアドレスバッファ
に印加されるようにする。この状態で過負荷試験を行な
い、パッケージの外部からX線を照射することによりト
ランジスタ9のフローティングゲートの正孔を電子と再
結合させ、そのしきい値を高めて、トランジスタ9をO
FF状態にして製品を出荷する。
Method (b) is a method that does not use laser light,
Applying vT from the NC bottle 6 through the fuse 7 is the same as in (a), but after the overload test, a high voltage is applied to the NC bottle and the fuse 7 is blown. The fusing current is passed through the resistor 8. With this method, it is also possible to conduct a trial analysis after packaging. In the method (C), a vT multiplied signal is applied from the NC bin 6 to the memory cell selection address buffer via the switching transistor 9 having a floating gate structure. In advance, at the packaging stage, apply a high negative voltage to the control gate from the terminal 10 to inject holes into the floating gate of the transistor 9, lower the threshold value, and turn on the transistor 9. Allow the signal from NC Bin 6 to be applied to the address buffer. An overload test is performed in this state, and by irradiating X-rays from outside the package, the holes in the floating gate of transistor 9 are recombined with electrons, the threshold is increased, and transistor 9 is
The product is shipped in the FF state.

第7図では、すべてNCビンからv丁の信号を印加する
ことにしたが、これは伯のアドレスビン、データ入力や
データ出力ビンまたはチップイネーブルビンと共用して
も実現可能である。
In FIG. 7, all the signals of V are applied from the NC bin, but this can also be realized by sharing the address bin, data input, data output bin, or chip enable bin.

以上のように上記実施例によれば、大規模化したダイナ
ミックRAMの初期不良のスクリーニングを短時間に行
うことができる。
As described above, according to the above embodiment, initial failure screening of a large-scale dynamic RAM can be performed in a short time.

以上の説明においては、メモリアレイを2つのブロック
に分割した例をとって説明したが、3個以上のメモリア
レイブロックに分割して試験時にはこのうちのいくつか
、あるいはすべてのブロックを同時に動作させるように
する場合にも本発明は有効である。才だ、外部信号をN
Cビンあるいは、他のアドレス入力ビン、データ入力ビ
ン、データ出力ビン、ライトイネーブルビンと共用して
試験時のみに印加するという手法は、たとえば、メモリ
プレートに高電圧を印加して酸化膜耐圧試験を行う場合
にも有効である。
In the above explanation, we took an example in which the memory array was divided into two blocks, but if the memory array is divided into three or more blocks, some or all of these blocks may be operated simultaneously during testing. The present invention is also effective in this case. It's a good idea to turn the external signal into
For example, applying a high voltage to the memory plate to test the oxide film withstand voltage can be applied to the C bin or other address input bins, data input bins, data output bins, and write enable bins only during testing. It is also effective when doing.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、一般的な製品の故障率の経時変化を示す図、
第2図は本発明の一実施例のダイナミックRAMの要部
構成を示す図、第3図はそのアドレスバッファの具体・
的回路図、第4図は活性化信号分配回路の具体的回路図
、第5図はロウデコーダの具体的回路図、第6図は上記
アドレスバッファの動作タイミングを示す図、第7図は
試験動作時の外部制御信号印加法を説明するための図で
ある。 11.12・・・メモリアレイブロック、21゜22・
・・ロウデコーダ、31.32・・・コントロール回路
、4・・・アドレスバッファ、5・・・活性化信号分配
回路、ψ丁・・・外部制御信号、φ0・・・活性上信号
。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第4図 第5図 Ao A、 A2−−−−−An (入0) 第7図
Figure 1 is a diagram showing the change in failure rate of general products over time.
FIG. 2 is a diagram showing the main part configuration of a dynamic RAM according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram showing the specific structure of the address buffer.
4 is a specific circuit diagram of the activation signal distribution circuit, FIG. 5 is a specific circuit diagram of the row decoder, FIG. 6 is a diagram showing the operation timing of the address buffer, and FIG. 7 is a test diagram. FIG. 3 is a diagram for explaining a method of applying an external control signal during operation. 11.12...Memory array block, 21°22.
. . . Row decoder, 31.32 . . . Control circuit, 4 . . . Address buffer, 5 . Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue Figure 4 Figure 5 Ao A, A2 ------An (Entry 0) Figure 7

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 半導体基板に、複数のブロックに分割されたメモリアレ
イが集積形成され、外部アドレス入力により任意の一つ
のブロックが選択駆動されるように構成した半導体記憶
装置において、前記外部アドレス入力に応じて前記複数
のブロックのうち一つを選択駆動するための活性化信号
分配回路と、動作試験時にこの分配回路を制御して前記
複数のブロックのうち二つ以上に同時に活性化信号を供
給させる手段とを備えたことを特徴とする半導体記憶装
置。
In a semiconductor memory device configured such that a memory array divided into a plurality of blocks is integrated and formed on a semiconductor substrate, and any one block is selectively driven by an external address input, the plurality of blocks are selectively driven in response to an external address input. an activation signal distribution circuit for selectively driving one of the blocks, and means for controlling the distribution circuit during an operation test to simultaneously supply activation signals to two or more of the plurality of blocks. A semiconductor memory device characterized by:
JP59062729A 1984-03-30 1984-03-30 Semiconductor memory Pending JPS60205897A (en)

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