JPS60201235A - 多孔性光フアイバ−を用いたガス検知方法およびその装置 - Google Patents

多孔性光フアイバ−を用いたガス検知方法およびその装置

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JPS60201235A
JPS60201235A JP5623484A JP5623484A JPS60201235A JP S60201235 A JPS60201235 A JP S60201235A JP 5623484 A JP5623484 A JP 5623484A JP 5623484 A JP5623484 A JP 5623484A JP S60201235 A JPS60201235 A JP S60201235A
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optical fiber
light
gas
gas detection
porous
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JP5623484A
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Inventor
Yoshiaki Arakawa
荒川 美明
Fumio Inaba
稲場 文男
Akio Shinohara
篠原 彰男
Shigeru Nakamura
茂 中村
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Resonac Holdings Corp
Original Assignee
Showa Denko KK
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/85Investigating moving fluids or granular solids
    • G01N21/8507Probe photometers, i.e. with optical measuring part dipped into fluid sample

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  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は測定地点が遠く離れた箇所での可燃性ガス、爆
発性ガス、毒性ガスなどを光ファイバーを用いて線分春
画に検知を行なうもので、少ない測定本数で広範囲にわ
たる前記ガスの検知に好適な測定方法およびその装置に
係わる。
(従来技術とその問題点) 可燃性ガス、爆発ガス、毒性ガス等を遠く離れている箇
所から測定する方式としては半導体ガスセンサ、接触燃
焼式センサ、熱伝導式センサなどを測定地点に設置し、
長い電線で検出メータまで電気信号を伝送して測定する
方法がある。また別の方法として測定地点まで長いパイ
プを布設し、吸引ポンプによってガス検知器までガスを
吸引した後、赤外線吸光光度法によってガス検知を行な
う方法・装ばかある。さらに吸収セルと呼ばれるを伝送
し、セル中を光が通過する間に特定波長の光がセル中の
ガスで吸収され、その光を光ファイバーで受光部まで戻
し、特定波長の光の吸収率からガス濃度を検知する方法
・装置が既に我々によって提案された(特願昭57−1
6E183El昭57.9.25メタンガス濃I隻測定
法およびその測定装置、特願昭58−5511El 昭
58.4.1 アンモニアガス濃度の測定法およびその
測定装置など)。
上述した装置、方法はいずれも、測定地域における「点
測定Jであって、信号を伝送する電線、ケーブル、光フ
ァイバーの存在する領域近傍にあるガスは検知できない
方式であった。すなわち、スポット測定と称される測定
である。これらの測定方式であると広い領域にわたって
ガス検知をしようとする場合、非常に多数のセンサやセ
ルをその広い領域に分布配置して測定する必要がある。
すなわち、検知される濃度と位置との関係は明確になる
が、経済的に莫大な費用を要する欠点があった。
(本発明の目的と概要) これらの事情に鑑みて、本発明では広い領域にわたるガ
ス検知をスポット的ではなくて、多孔性の光ファイバー
をセンサとして利用して線状または適当な形状として配
置し、該光フアイバー近傍に存在する被測定ガスの在、
不在そしてガス濃度がどの程度であるか等々の検知を目
的とした。濃度測定としては、空間的分解精度は余り望
めないが、検知領域については広い領域がカバーでき。
極めて経済的に、かつ確実に実施でき、さらに保守、交
換の容易なガス検知の方法争装鐙を提供することにある
。この多孔性ファイバーを利用すれば、例えばファイバ
ーをぐるぐる巻さとしてスポット測定用にも供すること
ができるものである。
本発明は、近年光通信用、光計測用として開発されてい
るガラス系光ファイバー、プラスチックファイバーに着
眼し、そのファイバーの線長にわたって無数の微細孔を
径方向に設けた光ファイバーを用い、その光ファイバー
をガス検知する領域に線状にまたは適当な形状に配設し
、該無数の孔を被検知ガスが通過あるいは孔に侵入する
と光フアイバー中を発光源から伝送される光のうち特定
波長において吸収され、その吸収率からガス検知を行な
うようにしたものである。この目的のために微細な孔を
もつ多孔性光ファイバーを利用する。
(関連技術との対比) 以下図面を参照しながら従来までのガス濃度の検知方法
および装置と本願の方法・装置について詳細に説明する
第1図は光伝送用に利用されるガラス系光ファイバーの
伝送損失の例を示す図である。石英系ガラスファイバー
(A)の光伝送性能は高く(実線)、特に最近では低O
H石英系光ファイバーが開発されたため同図点線の如く
伝送特性の良いファイバーが市販されている。石芙系光
ファイバー(B)は図示の如く波長が1.0〜1.8J
Lmの範囲で光伝送損失がldb/km以下と非常に低
い。また多成分系ガラスファイバー(C)はS + 0
2を主体としてNa2O,B2O3、Al2O3等から
成るもので、同図にこの伝送損失の例を示したが、石英
系光ファイバーに比して伝送損失が大きいものの1.0
〜1.3 pmで10〜20db/kmであり実用に充
分供せる性能を有している。
なお、同図の多成分ガラス系ファイバーの例は一例であ
って、光伝送波長がもっと長い波長まで送れる多成分ガ
ラス系光ファイバーのあることは言うまでもない。
第2〜6図は我々が既に提案した、この発明の対比とな
る光フアイバー吸収セル(測定セル)等からなる吸光光
度法ガス濃度の遠隔検知装置の例である(プロパンガス
濃度の測定方法およびその装置 特−昭58−2059
93号)。
第2〜4図の発光源、測定セルまでの回路について説明
する0発光ダイオード(LED)、ハロゲンランプなど
から成る発光源lから発せられた近赤外光は光コネクタ
−(集光装置を舎む)2を通して、石英ガラスなどの低
伝送損失の長距離光ファイバー3の中を伝送される。そ
して、被測定ガスを検知するために検知場所に設置され
ている測定セル(吸収セル)4へ至る。−このセル4は
通常50〜+00cm長の円筒状や直方体状であって、
被測定ガスが自由に流出入できる多孔性材料4aによっ
て覆われている。
前記光は光コネクタ−4b(集光装置を含む)からセル
内へ放射され、被測定ガスによって特定波長の光が吸収
された光となり、光コネクタ−4b’へ達する。光コネ
クタ−4b’にも集光装N(レンズ)が組み込まれてい
る。そして、光ファイバー5によって光検出器側(受光
部41)へ送られる。
受−先部4Iにおける伝送された光の処理方法、装置に
ついて説明する。第2図においては被測定ガスによって
特定波長の吸収された光(測定光)と被測定ガスによっ
て光の吸収されない光(参照光)を各々少なくとも1つ
以り選ぶ。第2図の受光部では干渉フィルター(帯域透
過フィルター)9.14.15の3個を使用し、所望の
波長(ある波長を中心波長とする狭い帯域)を帯域透過
させる方式を用いている。
測定光が少なくとも1つ以ト、参照光が少なくとも1つ
以1−の条件に対して、第2図では測定光が2つ、窓開
光が1つ選ばれている。すなわち帯域透過フィルター8
と14によって測定光が又帯域透過フィルター15によ
って参照光が選ばれる。
光結合器6を出た光はビームスプリッタ−7及び11で
光間が分けられ、帯域透過フィルター8.14、15に
よって所望の波長を中心波長とする狭い波長域の光とな
る。各々の光は光−電気変換器18、1?、18によっ
て電気信号に変えられる。光−電気変換器にはFD(フ
ォトダイオード)やAPD(アバランシェ者フォトダイ
オード)などが用いられる。増幅器18.20.21で
増幅される信号量は演算処理器22において測定光と参
照光の強度の比が演算され、被測定ガスによって吸収さ
れた測定光の減衰率から被測定ガスの濃度が測定される
。もっとも、演算処理器22には予め標準ガスによって
別途求められた濃度と吸収率との関係が記憶されており
、その関係からガス濃度が算定され1表示器23に表示
される。あるいは表示器23で、ガス濃度が許容値を越
えた場合警報が出される。
−L述したように、ガス濃度を吸光光度法で検知、測定
することはよく知られた方法であるが。
近年発展のめざましい光ファイバーを応用する];から
は利用する波長帯域は可視〜近赤外域(高々2)pm程
度)が最も望ましい。そして、これらの波長域において
、既に我々はメタンガス、プロパンガス、エチレンガス
等の可燃性、爆発性ガスの特性吸収波長帯を新発見し、
その波長を用いる吸光光度法ガス濃度遠隔検知方法及び
装rについて特許出願している。
第3図はwS2図に示したものと同等の機能を果たす部
分には同一の符λを記した。ただし、受光N41におい
て、ビームスプリ・ツタ−7,11を用いるかわりに、
光分波器24によって光量を3つに分け、さらにチョッ
パー28によって3つの光が各々交流状態または0N−
OFF状態で帯域透過フィルター〇、14.15へ導か
れる。すなわち帯域透過フィルター9.14,15を通
して、所望の波長を中心波長とする狭い波長帯域となっ
た光は交流的に光−電気変換器18.1?、18へ送ら
れるため、それぞれの電気信号も交流となり、次段へつ
ながる演算増幅器28.30でのゼロドリフトなど電気
系統での測定誤差が極めて小となる。演算増幅器28.
30において測定光と参照光の強度比がとられ前述した
内容のようにガス濃度が演算処理器22でめられる。
32は同期信号発生器でチロツバ−によっていずれの光
が光−電気変換器16.17.18へ入っているかを知
るために用いている。
第4図は受光部41での処理装置の別の例であっ透過フ
ィルター13.14.15をとりつけ、1つの光−電気
変換器へ、順次、測定光、参照光をパルス的に送る。送
られたパルス光を電気信号に変換した後、増幅器18へ
送る。所望の波長を中心波長とする狭い帯域の波長(測
定光、参照光とも)は時系列的にパルス光として演算処
理器22へ送られ。
いずれの光であるか知られるので、この信号によって測
定光と参照光を識別し、前述したように、測定光の強度
と参照光の強度との比を演算し、被測定ガスの濃度がま
る。
第5図はLEDのかわりにLD(レーザーダイオード)
を用いる装置の例を示したものである。
参照光用、測定光用、各々1つとして示しであるが、い
ずれの光も少なくとも1つ以トのLDを用いる。そして
、LDを複数個用いることによって、精度、信頼性は増
す。本図に従って説明する。
LDは所望の波長を中心波長として、もともと非常に狭
い帯域の光を発するものであるから、千lti フィル
ター、あるいはプリズム等による帯域透過フィルターが
不要となる。発振波長の異なるIaのLDと1bのLD
とからの光をチョッパー28を通して交互に光コネクタ
−2を経由して光合波器35へ送る。そして更に光フア
イバー3C中を各々の光を伝送させ、 111+1定セ
ル4を通過するときに、一方の光(たとえばlaの光)
は被測定ガスの特性吸収う波長に合致しているので、そ
のガスによって光の吸収された状態となって受光部41
へ伝送される。他方の光(lbの光)は参照、用で、被
測定ガスによって、光の吸収されない波長の光であって
、そのまま受光部41へ伝送される。そして前述したよ
うに受光部で両者の光の強度比と濃度の関係が予めめら
れ記憶されているので、その関係を用いてガス濃度が算
出される。
ヒ述した受光部41での参照光と測定光の強度比の@算
処理装置は一例であって、現状のエレクトロニクス技術
によれば種々の変形が可能である。
第6図(a)、は長距離光伝送用として使用される光フ
ァイバー3を往路用のみでなく、復路用にも使用するた
めに、光方向結合器38.37を用いた測定回路の例で
ある。このようにすることによって現状まだまだ高価な
光ファイバーが単線で済むこととなり経済的となる。同
図(b)は測定セルの一端から入射して、他端へ出射す
る方式ではなく、セル内f(Rにある反射ミラー38に
よって、入力端側へ戻される方式のセルを示すものであ
る。同図では1回反射であるが、これを多重反射型吸収
セルとして、光の吸収される光路長を長くとることは感
度向トにとって有効である。
いずれにしても光ファイバーは単線で用いられる例であ
る。
以り述べた内容が既出願の可燃性ガス、爆発性ガス、1
1i性ガスなどの吸光光度法によるガス濃度の遠隔検知
方法・装置である。ここで、ガス検知される部分は測定
セルの部分であって、このセルの長さが50〜100c
m程度でることを考えれば、その検知の範囲はそれ程広
い領域ではない。すなわちガス検知する場所が例えば5
00m四方程度の広さであれば、少なくとも測定セルを
50〜100ケ程度適当な間隔をもって配設する必要の
あることが推定できる。これに対して、測定セルが非常
に長いセル、例えば10〜20mであれば、確かにその
検知範囲はセル長の範囲と広くなるが、光コネクタ−(
集光装置を含む) 4bから放射された光をしぼられた
細いビームとすることはかなり面倒な調整を要すること
、長時間にわたって光軸を安定させることの難しいこと
などから実用上高度の技術を要する方法・装置といえる
(本発明の構成) そこで、光フアイバー自体がセンサとなるように二「作
されたものを用い、その光フアイバー中を光を伝送し、
伝送される間にその雰囲気に存在する被検知ガスによっ
て特定波長の光が吸収され、その吸光度を検出すること
によって被検知ガスの濃度、存在の状態を知る方法・装
置を考えついた。その要旨は特許請求の範囲に記載の通
りである。
(実施例) に述の方法・装置の1つとして、例えば第7図のように
、現在市販されている石英系光ファイバーの1部区間4
3のクラッド部分を取り除いたものを用意する。その区
間の数は1ケ所以七またはかなり長い範囲にわたって1
区間を設けておく。
このような光フアイバー中に光を伝送すると通常の光フ
アイバ一部分(ま極めて低伝送損失で光が送られるが、
クラッド44のない部分では特定波長の光がその周囲に
存在する被検知ガスで吸収された光となり、ガスの存在
、濃度がわかる。この方法およびその応用装置は液体中
の糖度、アルコール分の検知や空気中の可燃性ガス、爆
発性ガスなどの被検知ガスに利用され、市販されている
ようである。
これに対して、本発明においては第8図、第9図のよう
に径方向に非常に小径の孔(貫通又はコアまで達してい
る孔4B)があき、さらに長さ方向にわたって多数の孔
の存在する光ファイバーをガス検知用のセルの替わりに
利用する。
多孔性の光ファイバーは、現在の液体クロマトグラフ用
のゲルとして使われる非常に小さい、例えば1〜20ル
m直径の球に無数の微小径の孔、たとえばlO〜100
0大直径を設ける技術を応用して多孔性光ファイバーが
得られる。
第8図は例えば多成分ガラス系光ファイバーに孔を設け
た構造を模型的に示したものである。
この光ファイバーは例えばケイ酸ガラスの一種(Si0
2+Na2048203)を原材料として、シリカプア
層とシリカリッチ層に相分離する熱処理を施すことによ
って光ファイバーが用意される。又、光ファイバーの製
法は二重るつぼ法などが多成分ガラス系光ファイバーの
製法が応用できる。細孔を設けるためには塩酸などの酸
によるエツチング処理、洗炸処理(水洗、アルカリ処理
)を実施する。孔の直径については100スを超えて大
きくなると光ファイバーは次第に半透明〜不透明すなわ
ち光フアイバー中を伝送する光の散乱が大きくなって光
ファイバーの用をなさなくなるので、10〜100大直
径の孔にそろえるようなコントロールが重要である。
lO〜100大程度の孔径程度れば、被検知ガスは孔に
自由に流出入、貫流し、該ガスが光ファイバーのコア部
に達する孔に侵入したとき、コア内を伝送される光は特
定波長においてそのガスで吸収され、測定セルで検知す
る場合と同様に前述の長尺の多孔性光ファイバーを用い
た吸光光度法によるガスの検知が可能となる。
光ファイバーは通常外皮にビニール被覆管を付した形式
で用いられるが、本発明の多孔性光ファイバーにおいて
は連続通気状の、しかも孔径が少なくともgmオーダー
以上の多孔性高分子材料(ウレタン、シリコーン樹脂な
ど)によって被覆し、機械的強度をもたせるなどの考慮
をして使用する方が実用ヒ得策である。
多成分ガラス系光ファイバーの成分としては、S iO
2をベースとしテCaO1A1203. Na、、0、
B2O3などをめ宜ノ11′、合したガラスが知られて
おり、相分離する性質が利用でき、かつ適当な化学的処
理によって細孔が穿たれるものであって、光ファイバー
としては可視域〜近赤外〜赤外域で有効に用いることの
できるものであればlい。
m 9図は’1% 2の多孔性光ファイバーの構造を模
式的に示した図である。たとえば、コアをなす石英系ガ
ラス、あるいは多成分系ガラス、プラスチックスの外側
に別途クラ7ド部をなすプラスチックス、多成分系ガラ
スなどの管をかぶせた構造のものである。微細な孔はク
ラッド部のみに設けられ、コアとクラフトとの間には第
9図(a)または(b)に示すように間隙が存在する。
コア材料の屈折率n1>クラッド材料の屈折率n2とな
るようにコア材、クラフト材を製作あるいは選択すれば
、第7図で説明した構造のものに比して被測定ガスの検
知効率はは′るかに高まり、実用に供することができる
第9図の光ファイバーではクラッド部のみに孔を設ける
ものであるので、前述した多成分系ガラスで相分離の性
質を利用できる#1成のものでは化学的処理によって1
0〜+00λ直径の孔を設けることが容易となる他、ア
クリレート樹脂、ポリスチレン樹脂等でも、例えば、炭
酸カルシウムを混在させたパイプを用意し、酸処理など
の化学的処理によって、10〜100 、jの微細孔を
設けることが容易となる。
第10図は第9図のコア部分を省略した形式の光ファイ
バーであって、コア剖が中空となっているためnl<n
2となって、光の伝送損失が大きくなるので長尺センサ
としての利用は難しいが、数mの長さとして通常の光フ
ァイバーに挿入接続して用いれば、ガス検知用の多孔性
ファイバーとして使用できる。
ヒ述の細孔の設は方については液体クロマトグラフ用ゲ
ル製造の手法によるが、電子ビームやイオンビームなど
の高エネルギー粒子ビームを利用した物理的微細孔穿け
が応用できる。
1−記したような方法によって得られた光ファイバーで
、長さ方向に無数の微細孔をもつ光ファイバーをガス検
知用センサとして使用する方法について述べる。第11
図は例えば数100mの多孔性光ファイバー47を、ガ
ス検知すべき領域48へ配設する方//:の例を示した
ものである。(a)のように縦#横のマトリックス配置
によって、少ない検知本数でかなりf確にガス検知場所
が知られる。また、(b)では直線状ではなく、ガス検
知すべき領域を形にとられれず配設し、しかもガス発生
の確率の高い場所では多孔性ファイバーをら線状など密
に存在するが如く考慮して配置した例を示オ。
第11図(a) (b)の例では光ファイバーを見掛は
上往線、復線として用いたが、光ファイバーの先端部分
に反射鏡を設け、第11図(c)のように光の往路、復
路を兼ねる単線構成とすることも可能である。
第12図は多孔性光ファイバー47をガス検知センサと
して用いる場合の用法の例を示す。(a)のように多孔
性光ファイバー47のみで配設することもできるが、通
常の光ファイバーを用いてガス検知領域48まで導き、
多孔性光ファイバー47に接続しなおす(b)の方法が
一般的と考える。(b)の方法であれば多孔性光ファイ
バーの長さは適当な長さに選ぶことができ、第8図から
m10図までのいずれの構造の光ファイバーも利用でき
る。同図(e)は通常の光ファイバー48と多孔性ファ
イバー47を交Wに接続した方式のもので、ガスの発生
しゃすい81(分に配設されるセンサとして多孔性光フ
ァイバーを用いており、効率的といえる。前述した通常
の光ファイバー49と多孔性光ファイバー47との接続
は光コネクターや直接融着させるなどの方法によって行
なう。
次に、多孔性光ファイバーを用いたガス検知装置につい
て述べる。第2図〜第5図の構成において、測定セル4
の部分を、第11図、第12図に示した多孔性光フアイ
バ一部分に置き換えればそのまま使用できる。
発光源として、LD、LED、ハロゲンランプなど被検
知ガスの特性吸収波長を含む光を発することのできる光
源を用い、少なくとも1つの波長を測定光に、また、少
なくとも1つの波長を参照光として選び、両者の光強度
比か、ら吸光光度法によるガス検知が可能である。1例
として、可燃性ガスの近赤外域における特性吸収波長帯
をtJSlG図に示したが、これら1〜2gm帯の特性
吸収波長帯を・利用すれば容易に、かつこれらのガスを
高感度検知できる。
(本発明の効果) ヒ述17たように、測定セルのかわりに新たに発案した
多孔性光ファイバーを用いることによって、ガスの検知
をスボッI・測定からライン測定へと2次元的、さらに
は3次元的に拡大することができ、経済性、検知領域の
拡大、布設、保守の簡便さ等々多くの利点を生ずる方法
・装置が提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、光伝送用に利用されるガラス系光ファイバー
の伝送損失の例を示す図。 第2図〜第6図は、既提案のガス遠隔検知装置第7図は
、石英系光ファイバーの加工側図。 第8図〜第12図は1本発明にがかる光ファイバーの使
用実施例図、 第13図は、可燃性ガスの近赤外域における特性吸収波
長帯図である。 1、la、lb・・・発光源、2・・・光コネクタ−,
3,3c・・・光ファイバー、4・・・測定セル、 4
a・・・多、孔性材料、4b、4b“・・・光コネクタ
−,5・・・光ファイバー、8・・・光結合器、7,1
1・・・ビームスプリッタ−、8,10,12,13・
・・光束、 9,14.15・・・帯域透過フィルター
、18.17.18・・・光−電気変換器、18,20
゜21・・・増幅器、22・・・演算処理器、23・・
・表示器、24・・・光分波器、 25.28.27・
・・光結合器、28・・・チョッパ+、29.30・・
・演算増幅器、31・・・回転セクター、32.33.
34・・・同期信号発生器、35・・・光結合器、36
・・・光分波器、37・・・光合波器、38・・・反射
ミラー、39・・・被覆材、41・・・受光部、42・
・・発光部、43・・・一部区間、44・・・クラッド
、45・・・コア、 4B・・・孔、47・・・多孔性
光ファイバー、48・・・ガス検知領域、48・・・通
常の光ファイバー、 51・・・アンモニア1気圧、52・・・アンモニア1
00Tart、 53・・・プロパン1気圧、54川プ
ロパン200Torr、55 ・・・メタy 300T
orr、5G・・・メタ780Torr、57・・・エ
チレン850Torr、58・・・水蒸気、A・・・低
OH・石英ガラスファイバー、B・・・石英系ガラスフ
ァイバー、C・・・多成分ガラスファイバー出願人 昭
和電工株式会?1 稲場文男 代理人 弁理士 菊地精− 伝送損失■ 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 番 受光 (b) 受光 第7図 第8図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、多孔性光ファイバーを用いることを特徴とするガス
    検知方法。 2、多孔性光ファイバーを備えることを特徴とするガス
    検知装鍔。 3、コヒーレント光またはインコヒーレント光を連続的
    に、またはパルス的に発光させ、この光を、全部または
    一部が多孔性である光ファイバーに送り、被測定ガスを
    通過した光を電気信号に変換し、演算処理によってガス
    濃度をめることを特徴とするガス検知方法。 4、コヒーレット光またはインコヒーレント光を連続的
    に、またはパルス的に発する光源とこの光源からの出力
    光を伝送するための。 全部または一部が多孔性の光ファイバーと。 該光フアイバー中を伝送された光を電気信号に変換する
    素子と、 少なくとも1つの測定光と少なくとも1つの参照光との
    比から、吸光光度法によってガス濃度をめるための演算
    処理器 とを具備することを特徴とするガス検知装置。 5、第8図の構造を有する多孔性光ファイバーを用いる
    特許請求の範囲第4項記載のガス検知装置。 6、第9図の構造を有する多孔性光ファイバーを用いる
    特許請求の範囲第4項記載のガス検知製図。 7、第1θ図の構造を有する多孔性光ファイバーを用い
    る特許請求の範囲第4項記戦のガス検知装置。 8、微細孔の直径が、100ス以下である光ファイバー
    を用いる特許請求の範囲第4項記載のガス検知装置。 9、微細孔の直径が、100ス以下であり、かつ第8図
    の構造を有する多孔性光ファイバーを用いる特許請求の
    範囲第4項記載のガス検知装置。 10、微細孔の直径が、100大以下であり、かつ第9
    図の構造を有する多孔性光ファイバーを用いる特許請求
    の範囲第4項記載のガス検知装置。 Il、 微細孔の直径が、100大以下であり、かつ第
    10図の構造を有する多孔性光ファイバーを用いる特許
    請求の範囲第4項記載のガス検知装置。 12、発光源としてLED、LDまたはハロゲンランプ
    を用いることを特徴とする特許請求の範囲第4 in記
    載のガス検知装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110602983A (zh) * 2017-05-17 2019-12-20 雷迪奥米特医学公司 用于检测流体中分析物的多孔光纤

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110602983A (zh) * 2017-05-17 2019-12-20 雷迪奥米特医学公司 用于检测流体中分析物的多孔光纤
CN110602983B (zh) * 2017-05-17 2022-07-19 雷迪奥米特医学公司 用于检测流体中分析物的多孔光纤

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