JPS60197868A - 蒸発源用カツタ−機構付ワイヤ−状資料供給装置 - Google Patents
蒸発源用カツタ−機構付ワイヤ−状資料供給装置Info
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- JPS60197868A JPS60197868A JP5119784A JP5119784A JPS60197868A JP S60197868 A JPS60197868 A JP S60197868A JP 5119784 A JP5119784 A JP 5119784A JP 5119784 A JP5119784 A JP 5119784A JP S60197868 A JPS60197868 A JP S60197868A
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- cutter mechanism
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
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- Organic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、棟々の型式の蒸着装置に用いられる蒸発源用
のカッター機構付ワイヤー状資料供給装置に関するもの
である。
のカッター機構付ワイヤー状資料供給装置に関するもの
である。
〔発明の技術的背景およびその問題点〕一般にこの種の
蒸発源としては電子ビーム加熱方式、抵抗加熱方式或い
は高周波誘導加熱方式等が知られており、従来、蒸発源
へ質料を自動的に供給する場合、例えば蒸発源が電子ビ
ーム加熱方式のもので資料がアルミニウム等のように比
較的柔かい場合には資料をワイヤー形状にしてそれを蒸
発源へ予定の長さ送り込み、そして蒸発源からの電子ビ
ームで切断するいわゆるワイヤーフィーダ一方式が多く
用いられてきた・ また、高周波誘導加熱や抵抗加熱方式の蒸発源では、資
料が銅のように比較的硬い場合にはワイヤーフィーダ一
方式を用いたのでは資料が送り機構内で詰ったり引かか
つたりし易いため、ペレツトフ４−／一方式或いはノ々
イブレーションフイーメ一方式が用いられてきた。
蒸発源としては電子ビーム加熱方式、抵抗加熱方式或い
は高周波誘導加熱方式等が知られており、従来、蒸発源
へ質料を自動的に供給する場合、例えば蒸発源が電子ビ
ーム加熱方式のもので資料がアルミニウム等のように比
較的柔かい場合には資料をワイヤー形状にしてそれを蒸
発源へ予定の長さ送り込み、そして蒸発源からの電子ビ
ームで切断するいわゆるワイヤーフィーダ一方式が多く
用いられてきた・ また、高周波誘導加熱や抵抗加熱方式の蒸発源では、資
料が銅のように比較的硬い場合にはワイヤーフィーダ一
方式を用いたのでは資料が送り機構内で詰ったり引かか
つたりし易いため、ペレツトフ４−／一方式或いはノ々
イブレーションフイーメ一方式が用いられてきた。
ところで、ワイヤーフィーに方式において電子ビームで
ワイヤー状資料を溶断する場合には笑質的に蒸発源の上
方位置で溶断するためワイヤー状資料の先端の突出した
部分は溶断操作後送り機構内へ引き戻さｎる。しかしな
がら、電子ビームで溶断さ几るワイヤー状ｆ【料の先端
部はしばしば溶融により変形して送りイ先構内で詰りゃ
引かかり現象が生じ故障の原因となっている。また銅や
チタンのような比較的硬い資料をペレット形態で供給す
る場合には、各ペレット状資料における一様な高純度を
保証したり汚染防止のためペレット状資料がコスト高と
なる欠点がある。蒸発源や供給さｎる資料の高純度や汚
染防止は例えば超ＬＳＩ技術においては特に重要な要素
となっている。
ワイヤー状資料を溶断する場合には笑質的に蒸発源の上
方位置で溶断するためワイヤー状資料の先端の突出した
部分は溶断操作後送り機構内へ引き戻さｎる。しかしな
がら、電子ビームで溶断さ几るワイヤー状ｆ【料の先端
部はしばしば溶融により変形して送りイ先構内で詰りゃ
引かかり現象が生じ故障の原因となっている。また銅や
チタンのような比較的硬い資料をペレット形態で供給す
る場合には、各ペレット状資料における一様な高純度を
保証したり汚染防止のためペレット状資料がコスト高と
なる欠点がある。蒸発源や供給さｎる資料の高純度や汚
染防止は例えば超ＬＳＩ技術においては特に重要な要素
となっている。
そこで、本発明の目的は、資料をワイヤー状形態で供給
すると共にその資料の切断全カッター機構で行なうよう
にした蒸発源用のカッター機構付ワイヤー状資料供給装
置を提供することにある。
すると共にその資料の切断全カッター機構で行なうよう
にした蒸発源用のカッター機構付ワイヤー状資料供給装
置を提供することにある。
この明細書において、用語１ワイヤー状資料”は、横断
面形が円形であるものは勿論のこと、その他の形状（例
えば矩形、長方形、だ円形等）のものも包含するものと
する。
面形が円形であるものは勿論のこと、その他の形状（例
えば矩形、長方形、だ円形等）のものも包含するものと
する。
上記目的を達成するために、本発明による蒸発源用のカ
ッター機構付ワイヤー状資料供給装置は、蒸発源に対し
て供給位置と待避位置との間で回動できるようにさ几た
支持台に、供給すべきワイヤー状資料の資料リールと、
上記供給位置にあるとき、上記資料リールから蒸発源へ
平滑な円弧状軌道に沿ってワイヤー状資料を所定の長さ
供給する送り機構と、送り機構の出口側に配置さ几、送
り機構がワイヤー状資料を所定の長さ供給したとき作動
してワイヤー状資料を切断するカッター機構とを設け、
ワイヤー状資料の供給後被蒸着基板の影とならない上記
待避位置へ移動するように構成したこと全特徴としてい
る。
ッター機構付ワイヤー状資料供給装置は、蒸発源に対し
て供給位置と待避位置との間で回動できるようにさ几た
支持台に、供給すべきワイヤー状資料の資料リールと、
上記供給位置にあるとき、上記資料リールから蒸発源へ
平滑な円弧状軌道に沿ってワイヤー状資料を所定の長さ
供給する送り機構と、送り機構の出口側に配置さ几、送
り機構がワイヤー状資料を所定の長さ供給したとき作動
してワイヤー状資料を切断するカッター機構とを設け、
ワイヤー状資料の供給後被蒸着基板の影とならない上記
待避位置へ移動するように構成したこと全特徴としてい
る。
以下本発明を添付図面を参照して一実施例について説明
する。
する。
第１図には本発明による装置の一実施例の要部を概略的
に示し、ｌは真空槽壁であり、この真空槽壁／の開口部
コに本装置のペース板３が密封的に取付けら几ている。
に示し、ｌは真空槽壁であり、この真空槽壁／の開口部
コに本装置のペース板３が密封的に取付けら几ている。
このペース板３を貫通して駆動軸ｌがのびており、この
駆動軸μはペース板３にシールドカラ一部材！および回
転軸シール部材乙により密封的に取付けら九ている。ま
た駆動軸ダの下方端はカップリング７およびギヤヘッド
ｔを介して駆動モータタに連結さ九、ギヤヘッドｒおよ
び駆動モータタは支持部材ＩＯによりペース板３の下側
すなわち外側に取付けられている。
駆動軸μはペース板３にシールドカラ一部材！および回
転軸シール部材乙により密封的に取付けら九ている。ま
た駆動軸ダの下方端はカップリング７およびギヤヘッド
ｔを介して駆動モータタに連結さ九、ギヤヘッドｒおよ
び駆動モータタは支持部材ＩＯによりペース板３の下側
すなわち外側に取付けられている。
駆動軸ｌはカップリング／／ｆ介して上方へ伸び、そし
てペース板３上に支持ポル）／Ｊによって支持さ几た支
持板／３上に取付けら几た軸受／４ｔｉ貝通している。
てペース板３上に支持ポル）／Ｊによって支持さ几た支
持板／３上に取付けら几た軸受／４ｔｉ貝通している。
この軸受／＜４の上側において駆動軸μには旋回歯車／
ｊが取付らｎている。
ｊが取付らｎている。
旋回歯車ｌＪ′の上側面には旋回板／ｌが取付けら几、
この旋回板ｉｔには支持ゼルト／７を介して回動支持台
ｉｔが取付けられている。駆動＋ｔｌの先端は上記回動
支持台ｌざの下側に取付けらｎ；７’（軸受ｌりを通り
、そして駆動歯車コＯが装着さ几ている。また回動支持
台／ｌｒにはワイヤーリール２１およびこのワイヤーリ
ール２／から巻き戻されるワイヤーココの軌道に沿って
送り機構コ３が取付けられている。送り機構２３は三対
のローラＪＪａ、コ３ｂ％コ３ｃを有し、各対のローラ
はワイヤー２コを上下からはさむように配列されており
、第１．第一対のローラス３ａ、コ３ｂの下側のローラ
は駆動ローラー３ｄを介しで駆動軸μの先端に装着され
た駆動歯車λＯによって駆動され、従って第３対のロー
ラＪｊｃは案内ローラとして作用する。またこれらのロ
ーラはワイヤーココの汚染を防止する観点からワイヤー
、２コに対する接触圧および接触抵抗を可能な限り小さ
くなるように構成される。
この旋回板ｉｔには支持ゼルト／７を介して回動支持台
ｉｔが取付けられている。駆動＋ｔｌの先端は上記回動
支持台ｌざの下側に取付けらｎ；７’（軸受ｌりを通り
、そして駆動歯車コＯが装着さ几ている。また回動支持
台／ｌｒにはワイヤーリール２１およびこのワイヤーリ
ール２／から巻き戻されるワイヤーココの軌道に沿って
送り機構コ３が取付けられている。送り機構２３は三対
のローラＪＪａ、コ３ｂ％コ３ｃを有し、各対のローラ
はワイヤー２コを上下からはさむように配列されており
、第１．第一対のローラス３ａ、コ３ｂの下側のローラ
は駆動ローラー３ｄを介しで駆動軸μの先端に装着され
た駆動歯車λＯによって駆動され、従って第３対のロー
ラＪｊｃは案内ローラとして作用する。またこれらのロ
ーラはワイヤーココの汚染を防止する観点からワイヤー
、２コに対する接触圧および接触抵抗を可能な限り小さ
くなるように構成される。
この送り機構２３の前方において回動支持台ｉｔ上には
カッター機、購コアが設けられており、このカッター機
構λμは刃部材λ！とこの刃部材２ｊを 受ける受け部
材、２６とワイヤーコλを案内するシュートλ７とから
成っており、刃部材Ｊｊの一端２ｊａは第２図に示すよ
うにカッター作動装＠２１の先端の押下げ部材コｒａと
係合するようにされている。また第１図において２りは
蒸発源である。
カッター機、購コアが設けられており、このカッター機
構λμは刃部材λ！とこの刃部材２ｊを 受ける受け部
材、２６とワイヤーコλを案内するシュートλ７とから
成っており、刃部材Ｊｊの一端２ｊａは第２図に示すよ
うにカッター作動装＠２１の先端の押下げ部材コｒａと
係合するようにされている。また第１図において２りは
蒸発源である。
第一図に示すように、回動支持台Ｉｆは、送り機構コ３
が蒸発源コタに対向するワイヤー供給位置とこの位置か
らほぼりＯｏの角度の待避位置との間で回動するように
される。この回動は第３図に示すセンサ装置によって制
御される。
が蒸発源コタに対向するワイヤー供給位置とこの位置か
らほぼりＯｏの角度の待避位置との間で回動するように
される。この回動は第３図に示すセンサ装置によって制
御される。
第３図において３０は駆動Ｉｔ１１弘に装着された旋回
歯車／ｊと係合する旋回歯車で、旋回軸３１にＨｍされ
ており、この旋回軸３／はスペーサ３２およびカップリ
ング３３を介して軸受３μによりペース板３に支持され
ており、そして旋回軸３１の下端にはマグネット３！が
取付られている。このマグネット３ｊと対向できる位置
にはセンサ３ｔがペース板３の下側に固定した取付板３
７によって支持されている。従ってこのセンサ装置ａは
、旋回歯車ｌ！および従って回動支持台ｌざの回動をマ
グネット３ｊとセンサ（例えばリードスイッチ）３ｚと
の共ＩＪｈによって検出し、駆動軸μの駆動系を制御す
るように作用する。こうして旋回歯車／ｊの回動、停止
が制御され得る。
歯車／ｊと係合する旋回歯車で、旋回軸３１にＨｍされ
ており、この旋回軸３／はスペーサ３２およびカップリ
ング３３を介して軸受３μによりペース板３に支持され
ており、そして旋回軸３１の下端にはマグネット３！が
取付られている。このマグネット３ｊと対向できる位置
にはセンサ３ｔがペース板３の下側に固定した取付板３
７によって支持されている。従ってこのセンサ装置ａは
、旋回歯車ｌ！および従って回動支持台ｌざの回動をマ
グネット３ｊとセンサ（例えばリードスイッチ）３ｚと
の共ＩＪｈによって検出し、駆動軸μの駆動系を制御す
るように作用する。こうして旋回歯車／ｊの回動、停止
が制御され得る。
第グ図にはカッター作動装置λｒを示し、この装置の先
端の押下げ部材２ｇａは軸３ｇに取付り−られており、
この軸３１は支持板１３上に支持された軸受３りおよび
ペース板３における軸受弘θを通り、支持柱μ／に沿っ
て摺ＭＪする摺動板ダコに装着したカップリング４Ａ３
で終端している。
端の押下げ部材２ｇａは軸３ｇに取付り−られており、
この軸３１は支持板１３上に支持された軸受３りおよび
ペース板３における軸受弘θを通り、支持柱μ／に沿っ
て摺ＭＪする摺動板ダコに装着したカップリング４Ａ３
で終端している。
摺動板４Ｌλの下側には駆動シリンダａ４Ａが取付板ａ
ｔによって支持されている。従ってシリンダμμの応動
により摺動板４１３は支持柱Ｊｌに沿って下方へ駆動さ
れ、それにより軸３ざは引き下げられ刃部材コｊの端部
コｊａを押下げ部材、２♂ａでばねλ！ｂに抗して押下
げさせるように作用す０ 送り機構λ３およびカッター作動装置、２ｒの動作は図
示してない適当な制御装置によって制御するようにされ
得る。
ｔによって支持されている。従ってシリンダμμの応動
により摺動板４１３は支持柱Ｊｌに沿って下方へ駆動さ
れ、それにより軸３ざは引き下げられ刃部材コｊの端部
コｊａを押下げ部材、２♂ａでばねλ！ｂに抗して押下
げさせるように作用す０ 送り機構λ３およびカッター作動装置、２ｒの動作は図
示してない適当な制御装置によって制御するようにされ
得る。
以上のように構成した本発明の図示装置の動作は次の通
りである。
りである。
まず、駆動モータタにより駆動軸μを駆動し、回動支持
台７ｇを真空プロセス装置内の蒸発分コタに対向する供
給位置（第２図の状態）に回動させ、そして送り機構、
２３の作動により供給１べきワイヤー形状をリール！／
から対のローラ２３ａ、コ３ｂ、コ３Ｃを介してカッタ
ーｊ１＆構コグを通りシュート−７によって蒸発源、２
Ｆのるつぼ内へ予足長さ繰り出される。その後カッター
機構λμの刃部材コｊをカッター作動装置ηコｇの作動
により駆動させ、ワイヤー、２．２を切断する。これに
より切断部分より先方のワイヤー目るつぼ内に落下する
。そしてワイヤー２．２の先端は送り機構λ３によって
所定の位置まで引っ込められ、回動支持台Ｉｔは再び待
避位置へ戻される。こうしてるつぼへのワイヤーの供給
または補給操作が行なわれる。
台７ｇを真空プロセス装置内の蒸発分コタに対向する供
給位置（第２図の状態）に回動させ、そして送り機構、
２３の作動により供給１べきワイヤー形状をリール！／
から対のローラ２３ａ、コ３ｂ、コ３Ｃを介してカッタ
ーｊ１＆構コグを通りシュート−７によって蒸発源、２
Ｆのるつぼ内へ予足長さ繰り出される。その後カッター
機構λμの刃部材コｊをカッター作動装置ηコｇの作動
により駆動させ、ワイヤー、２．２を切断する。これに
より切断部分より先方のワイヤー目るつぼ内に落下する
。そしてワイヤー２．２の先端は送り機構λ３によって
所定の位置まで引っ込められ、回動支持台Ｉｔは再び待
避位置へ戻される。こうしてるつぼへのワイヤーの供給
または補給操作が行なわれる。
従って本発明による装置は供給または補給すべへワイヤ
ーを機械的に切断するので送り機構や送り溝内でワイヤ
ーが詰ったりひっかかったりすることがなく、ワイヤー
の供給または補給を確爽に行なうことができ、また本装
置はワイヤー供給位置と待避位置との間で移動できるの
で、プロセス室内の動作はワイヤー供給装置に全く影響
されずに行なわれ得る。さらに本装置はワイヤー送り機
構とカッター機構とを一体的に構成しているので、一連
の動作を容易に制御することができる。
ーを機械的に切断するので送り機構や送り溝内でワイヤ
ーが詰ったりひっかかったりすることがなく、ワイヤー
の供給または補給を確爽に行なうことができ、また本装
置はワイヤー供給位置と待避位置との間で移動できるの
で、プロセス室内の動作はワイヤー供給装置に全く影響
されずに行なわれ得る。さらに本装置はワイヤー送り機
構とカッター機構とを一体的に構成しているので、一連
の動作を容易に制御することができる。
（発明の効果〕
以上説明してきたように本発明によれば、資料をワイヤ
ー形状で供給できるため従来の粒状またはペレット状の
資料より高純度でしかも安価に作ることができる。また
本装置は送り機構とカッター機構とを一体化しているの
で装置自体を小型化でき、従って複数の蒸発源および資
料供給装置を使用する場合でも蒸発源室は比較的小さく
てよい。
ー形状で供給できるため従来の粒状またはペレット状の
資料より高純度でしかも安価に作ることができる。また
本装置は送り機構とカッター機構とを一体化しているの
で装置自体を小型化でき、従って複数の蒸発源および資
料供給装置を使用する場合でも蒸発源室は比較的小さく
てよい。
第７図は本発明の装置の要部を示す概略断面図、第２図
は第７図の装置の概略平面図、第３．μ図は本装置の異
なる部分を示す概略部分断面図である。 図中、ｔｒ：回動支持台、コ／：資料リール、ココ：ワ
イヤー状資料１．ｚ、ｚ：送り機構、２ｑ：カッター機
構。 范２図 惠４図 手続補正書（方式） 昭和５９年４月１３日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第５１１９フ 号２、発明の名称 蒸発源用カッター機構付ワイヤー状資料供給装置３、補
正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 神奈川県茅ケ崎市萩園２５００番地名称 日本
真空技術株式会社 ４、代理人 〒１０５住所 東京都港区西新橋１丁目１番１５号物産
ビル別館 電話（５９１） ０２６１図 面 ６、補正の内容 別紙の通り （Ｉシ〈１ｉｒ：；、署」・、１１１＋、バ１．に変更
７シし）。
は第７図の装置の概略平面図、第３．μ図は本装置の異
なる部分を示す概略部分断面図である。 図中、ｔｒ：回動支持台、コ／：資料リール、ココ：ワ
イヤー状資料１．ｚ、ｚ：送り機構、２ｑ：カッター機
構。 范２図 惠４図 手続補正書（方式） 昭和５９年４月１３日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第５１１９フ 号２、発明の名称 蒸発源用カッター機構付ワイヤー状資料供給装置３、補
正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 神奈川県茅ケ崎市萩園２５００番地名称 日本
真空技術株式会社 ４、代理人 〒１０５住所 東京都港区西新橋１丁目１番１５号物産
ビル別館 電話（５９１） ０２６１図 面 ６、補正の内容 別紙の通り （Ｉシ〈１ｉｒ：；、署」・、１１１＋、バ１．に変更
７シし）。
Claims (1)
- 蒸発源に対して供給位置と待避位置との間で回動できる
ようにされた支持台に、供給すべきワイヤー状資料の資
料リールと、上記供給位置にあるとき上記資料リールか
ら蒸発源へ平滑な円弧状軌道に沿ってワイヤー状資料を
所定の長さ供給する送り機構と、送り機構の出口側に配
置され、送り機構がワイヤー状資料を所定の長さ供給し
たとき作動してワイヤー状資料を切断するカッター機構
とを設け、ワイヤー状資料の供給後、被蒸着基板の影と
ならない上記待避位置へ移動するように構成したことを
特徴とする蒸発源用カッター機構付ワイヤー状資料供給
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5119784A JPH0245699B2 (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | Johatsugenyokatsutaakikotsukiwaiyaajoshiryokyokyusochi |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5119784A JPH0245699B2 (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | Johatsugenyokatsutaakikotsukiwaiyaajoshiryokyokyusochi |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60197868A true JPS60197868A (ja) | 1985-10-07 |
| JPH0245699B2 JPH0245699B2 (ja) | 1990-10-11 |
Family
ID=12880156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5119784A Expired - Lifetime JPH0245699B2 (ja) | 1984-03-19 | 1984-03-19 | Johatsugenyokatsutaakikotsukiwaiyaajoshiryokyokyusochi |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0245699B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100711815B1 (ko) | 2005-10-19 | 2007-04-30 | 두산디앤디 주식회사 | 대용량 증착용 금속 공급장치 |
| JP2015101755A (ja) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | 株式会社アルバック | 蒸発材料供給装置及び蒸着装置 |
-
1984
- 1984-03-19 JP JP5119784A patent/JPH0245699B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100711815B1 (ko) | 2005-10-19 | 2007-04-30 | 두산디앤디 주식회사 | 대용량 증착용 금속 공급장치 |
| JP2015101755A (ja) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | 株式会社アルバック | 蒸発材料供給装置及び蒸着装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0245699B2 (ja) | 1990-10-11 |
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