JPS60191763A - フエライト結晶の加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術的分野〕 本発明は磁性材料であるフェライトの単結晶および多結
晶を高精度、高能率、低加工変質層深さに加工する技術
に関するものである。

〔発明の背景〕

従来フェライト結晶は鉛、錫などの軟質金属定盤にダイ
ヤモンド砥粒を撒布したものを工具として加工していた
。この場合、鉛、錫などは組成変形しやすく、被加工飲
料の陵や角などが接触すると条痕や打痕が発生し、それ
ぞれの痕の周辺には盛り上がりも生ずる。これらの盛り
上がり部には砥粒が集中しやすく、したがって加工作用
上砥石が突き出した形となる。このため被加工面にスク
ラッチが発生するなどお欠点があった。

また、ダイヤモンド粒子では加工変質層が発生し、表面
粗さも粗いので、微粒子としてコロイド状のシリカ（Ｓ
ｉＯ２で粒子径７０〜１００Å）を使って加工変質層の
ない超精密な加工面を得る方法も実効されている。

しかしながら、加工剤のベースが弱アリカリ性でフェラ
イト結晶は侵されず、またＳｉＯ２も超微粒子で機械加
工作用も小さいので、加工能率が１μｍ／ｈｒ以下と低
い欠点があった。

［発明の概説〕 本発明は上述の点に鑑みなされたものであり、高能率で
しかも低加工変質層のポリシングのできるフェライト結
晶の加工方法を提供することを目的とする。

したがって本発明によるフェライト結晶の加工方法によ
れば、高い粘弾性を有する樹脂を定盤とし、該定盤上に
加工液に懸濁させた微粒子を撒布して回転させた定盤面
にフェライト結晶を押しつけて、相互に摺動させて加工
することを特徴とするものである。

本発明によれば、硬質の定盤を使用し弱酸性の加工液中
に酸化鉄粒子を懸濁させて定盤上に撒布し、フェライト
結晶を研摩するようにしたために化学、機械作用で高能
率で、かつ低加工変質層のポリミングができるという利
点がある。

〔発明の詳細な説明〕

本発明をさらに詳しく説明する。

本発明によるフェライト結晶の加工方法によれば高い粘
弾性を示す樹脂を定盤としている。このような樹脂とし
ては、たとえば塩化ビニル、ナイロン、テフロン、ジュ
ラコンなどの硬質粘弾性体を使用することんができる。

また、本発明に用いられる加工波は酸性の加工液である
。酸性の加工液を用いることにより、フェライト結晶面
を溶去し、機械加工ばかりでなく化学的にも加工せんと
するものである。この酸性加工液のＰＨは好ましくは５
以下であるのがよい。

ＰＨが５より大きいと前述の化学加工が十分でない露を
生じるからである。加工時の取り扱い易さ、制御性など
を考慮すると、最も好ましくは、ＰＨ３〜４の弱酸性の
ものであるのがよい。このような加工液としては、たと
えば希塩酸を滴下した水溶液あるいは蓚酸を滴下した水
溶液などを用いることができる。

このような加工液に懸濁される微粒子としてはフェライ
ト結晶とほとんど同じ硬度を有する粒子、たとえば酸化
鉄系微粒子、アルミナ微粒子、酸化クロム微粒子、酸化
ジルコニウム微粒子などをあげることができる。

第１図は本発明の一実施例を示す図であり、１はステン
レス基盤、２はステンレス基盤１上に貼り付けた硬質樹
脂板、３は試料貼付け具、４は被加工飲料（フェライト
結晶片）５は加工液供給ノズル、６は加工液である。第
２図は第１図のＡ部分の拡大図であり、図中、２０１は
樹脂定盤１に刻設された溝を示している。

第１図および第２図より明らかなように、本発明におい
てはステンレスなどの基盤１は回転可能に構成されてい
るとともに、この基盤上に、さらに硬質樹脂定盤２が貼
着されている。この樹脂製定盤２には保持するためのも
のであるから、前記溝形状に限定されるものではなく、
前記加工液６を有効に保持しえる形状の凹みであれば基
本的にいかなるものでもよい。たとえば、前記溝のほか
、規則的な凸凹を定盤２表面に形成してもよい。

前記ステンレス基盤１は、本発明において限定されるも
のではなく、たとえば４０〜５０ｍｍ厚の硬質樹脂基盤
あるいはセラミック基盤を使用してもよい。

この定盤と対向して被加工試料であるフェライト結晶４
を指示する試料貼付け具３が設けられており、この試料
貼付け具３は前記フェライト結晶４を回転指示するよう
になっている。

この定盤２上部には前記点盤２上に加工液６を供給する
ための加工液供給ノズル５が設けられている。

前述のような装置において露出部は全て樹脂または樹脂
コーティングしたステンレスなどにしめもよい。

このような装置を用いフェライト結晶を加工するには、
前記試料貼付け具３にフェライト結晶片４を張付けると
ともに、この試料貼付け具を回転せしめる。一方、ステ
ンレス基盤１に取付けられた樹脂定盤２に前記加工液供
給ノズル５より加工液６を提供するとともに、ステンレ
ス基盤１を回転せしめることにより樹脂定盤２を回転せ
しめて、前記試料片４を摺動加工するものである。

前記定盤２上には溝２０１が刻設されており、このため
定盤２上に供給された加工波６は溝２０１中に保持され
る。この前記溝２０１中の加工液６はその中に懸濁され
ている微粒子を定盤２の尾根部に供給し、微粒子は定盤
２上に埋め込み保持されて機械的作用により微小にファ
ライト結晶を除去加工する作用を営む。一方、加工液は
酸性であるので、前記加工液６は溝２０１から常時フェ
ライト結晶片４の加工面に供給され、フェライト結晶を
学的に溶夫する。

このように酸化鉄などの微粒子の機械的作用と酸性液の
化学的作用によって、高い加工率と加工面の低加工変質
層化が図りうる。また定盤面が金属ではないため、耐化
学薬品性に優れ、鉛、錫の軟質金属のように局部の組成
変形が生じにくく、また硬質樹脂であるために弾性変形
量が小さいので端部のダレの小さい高精度の平面が再現
子よく得られるという利点がある。

前述のような装置を用い、加工液として酸化鉄を懸濁し
たＰＨ５の希塩酸水溶液を用い、加工圧２００ｇ／ｃｍ
２でＭｎ・Ｚｎ系フェライト単結晶をポリシングしたと
ころ、加工能率は５〜１０μｍ／ｈｒ、平面度０．３μ
ｍ／１０ｍｍＸ２０ｍｍ片以下、表面粗さＲｍａｘ４０
°以下、電子回析によるパターンは明瞭は菊池線を示す
などの良好な結果を得た。

〔発明の効果〕

以上説明したように硬く脆いフェライト結晶の仕上げポ
リシング法として高い粘弾性を有する樹脂定盤と細いピ
ッチの溝を形成し、加工液としてファライト結晶を腐食
する化学液を使用し、加工液中に酸化鉄系などの微粒子
を懸濁させて使用するため、定盤の溝より常時化学液と
微粒子によって化学機械作用で高能率で低加工変質層の
ポリンングが可能になる。また定盤が耐薬品性の樹脂で
あるために、定盤の腐食がなく、鉛、錫等の軟質金属の
ような局部の塑性変形が生しにくく、かつ硬質樹脂のた
めに弾性変形量も小さいので端部のダレが小さく、平面
度の高い加工面が再現性よく得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の加工方法を実施するための装置の概略
図、第２図の前記装置のＡ部分の拡大図置である。 １・・・ステンレス基盤、２・・・硬質樹脂定盤、３・
・・試料貼付け具、４・・・被加工試料、５・・・加工
液供給ノズル、６・・・加工液、２０１・・・溝。 第１図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）高い粘弾性を有する樹脂を定盤とし、該定盤上に
   酸性加工液に懸濁させた微粒子を撒布するとともに、回
   転させた該定盤面にフェライト結晶を押しつけて、相互
   に摺動させて加工することを特徴とするフェライト結晶
   の加工方法。
2. （２）前記微粒子は酸化鉄系微粒子であることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のフェライト結晶の加工
   方法。
3. （３）前記定盤の表面に規則的凸凹または溝を設けたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載
   のフェライト結晶の加工方法。