JPS60190037U - ワイヤボンダ - Google Patents
ワイヤボンダInfo
- Publication number
- JPS60190037U JPS60190037U JP7821784U JP7821784U JPS60190037U JP S60190037 U JPS60190037 U JP S60190037U JP 7821784 U JP7821784 U JP 7821784U JP 7821784 U JP7821784 U JP 7821784U JP S60190037 U JPS60190037 U JP S60190037U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- wire
- wire bonding
- jig
- wire bonder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のワイヤホンダにおけるツールの上下動の
一例を示すタイミングチャート、第2図は本考案の一実
施例を示す側面図、第3図a、 bは本考案の動作を示
すタイミングチャートである。 1・・・・・・ボンディング用工具、2・・・・・・ボ
ンディングアーム、3・・・・・・直動軸受、4・・・
・・・軸、5・・・・・・部材、6・・・・・・ナツト
、7・・・・・・ねじ軸、8・・・・・・回転軸受、9
・・・・・・フレーム部材、10,11・・・・・・歯
車、12・・・・・・モータ、13・・・・・−XYテ
ーブル、14・・・・・・半導体装置、15・・・・・
・治具、16・・・・・・直動軸−受、17・・・・・
・部材、18・・・・・・軸、19・・・・・・ナラ−
ト、20・・・・・・ねじ軸、21・・・・・・回転軸
受、22・・・・・・フレーム部材、23.24・・・
・・・歯車、25・・・・・・モータ。
一例を示すタイミングチャート、第2図は本考案の一実
施例を示す側面図、第3図a、 bは本考案の動作を示
すタイミングチャートである。 1・・・・・・ボンディング用工具、2・・・・・・ボ
ンディングアーム、3・・・・・・直動軸受、4・・・
・・・軸、5・・・・・・部材、6・・・・・・ナツト
、7・・・・・・ねじ軸、8・・・・・・回転軸受、9
・・・・・・フレーム部材、10,11・・・・・・歯
車、12・・・・・・モータ、13・・・・・−XYテ
ーブル、14・・・・・・半導体装置、15・・・・・
・治具、16・・・・・・直動軸−受、17・・・・・
・部材、18・・・・・・軸、19・・・・・・ナラ−
ト、20・・・・・・ねじ軸、21・・・・・・回転軸
受、22・・・・・・フレーム部材、23.24・・・
・・・歯車、25・・・・・・モータ。
Claims (1)
- 半導体装置内の半導体ペレットと外部リードとの間を金
属細線でワイヤボンディングする工具を上下させる工具
上下機構部と、前記半導体装置を載置した治具を上下さ
せる治具上下機構部とを具備し、ワイヤボンディング時
に前記工具を上昇もしくは下降させると同時に前記治具
を下降もしくは上昇させることによりワイヤボンディン
グすることを特徴とするワイヤホンダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7821784U JPS60190037U (ja) | 1984-05-28 | 1984-05-28 | ワイヤボンダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7821784U JPS60190037U (ja) | 1984-05-28 | 1984-05-28 | ワイヤボンダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60190037U true JPS60190037U (ja) | 1985-12-16 |
Family
ID=30621996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7821784U Pending JPS60190037U (ja) | 1984-05-28 | 1984-05-28 | ワイヤボンダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60190037U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0388344A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-12 | Seiko Epson Corp | インナーリードのボンディング方法 |
-
1984
- 1984-05-28 JP JP7821784U patent/JPS60190037U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0388344A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-12 | Seiko Epson Corp | インナーリードのボンディング方法 |
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