JPS60189149A - エネルギ−分析装置 - Google Patents
エネルギ−分析装置Info
- Publication number
- JPS60189149A JPS60189149A JP59042542A JP4254284A JPS60189149A JP S60189149 A JPS60189149 A JP S60189149A JP 59042542 A JP59042542 A JP 59042542A JP 4254284 A JP4254284 A JP 4254284A JP S60189149 A JPS60189149 A JP S60189149A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- secondary electron
- electrons
- electron
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はエネルギー分析装置、特に２次電子のエネルギ
ー分析の可能なエネルギー分析装置に関するものでおる
。
ー分析の可能なエネルギー分析装置に関するものでおる
。
従来、２次電子のエネルギー分析を行なうには、阻止電
圧型分析器またはシリンドリカルミラー形分析器などが
用いられているが、これらの分析器で検出できるのは２
次電子のエネルギースペクトルまたはオージェ電子のピ
ーク情報のみで、特定のエネルギー範囲に含まれる２次
電子の分布をＷ１４べることはできない。
圧型分析器またはシリンドリカルミラー形分析器などが
用いられているが、これらの分析器で検出できるのは２
次電子のエネルギースペクトルまたはオージェ電子のピ
ーク情報のみで、特定のエネルギー範囲に含まれる２次
電子の分布をＷ１４べることはできない。
本発明は特定のエネルギー範囲に含まれる２次電子の分
布を高検出効率、高分解能、無指向で検出可能とするこ
とを目的とするものである。
布を高検出効率、高分解能、無指向で検出可能とするこ
とを目的とするものである。
本発明は、対物レンズで集束された１次電子で試料を走
査して、該試料から放出される２次電子を用いて該試料
の表面状態を分析するエネルギー分析装置において、前
記試料の前方で前記１次［電子の入射方向に配設された
前記２次電子の引出電極及び電圧の調整が可能で前記２
次電子のうち所定のエネルギー以下の２次電子を阻止す
る阻止電極と、該阻止電極を通過した２次電子を検出す
る２次電子検出器と、該２次電子検出器の前記阻止電極
の第１の阻止電圧における２次電子検出信号を記憶させ
る画像メモリと、第２の阻止電圧における２次電子検出
信号と該画像メモリに記憶させた前記第１の阻止電圧に
おける２次電子検出信号とが試料上同一位置になるよう
同期させて差をめ像表示装置に表益する手段とを有して
いることを特徴とするものである。
査して、該試料から放出される２次電子を用いて該試料
の表面状態を分析するエネルギー分析装置において、前
記試料の前方で前記１次［電子の入射方向に配設された
前記２次電子の引出電極及び電圧の調整が可能で前記２
次電子のうち所定のエネルギー以下の２次電子を阻止す
る阻止電極と、該阻止電極を通過した２次電子を検出す
る２次電子検出器と、該２次電子検出器の前記阻止電極
の第１の阻止電圧における２次電子検出信号を記憶させ
る画像メモリと、第２の阻止電圧における２次電子検出
信号と該画像メモリに記憶させた前記第１の阻止電圧に
おける２次電子検出信号とが試料上同一位置になるよう
同期させて差をめ像表示装置に表益する手段とを有して
いることを特徴とするものである。
本発明は、従来のエネルギー分析装置を用いて、特定の
エネルギー範囲に含まれる２次電子の分布を検出する試
みを行なって得られた結果に基づいてなされたものであ
る。すなわち、第１図は検討を行なったシリンドリカル
ミラー形分析器１を用いたオージェ電子分析装置の構成
を示すもので、２は試料、３は１次電子、４は２次電子
、５は２次電子増倍器を示している。こめようなオージ
ェ電子分析装置では、オージェ電子の検出効率を高める
ために試料を傾斜させざるを得す、またシリンドリカル
ミラー形分析器１を試料２のごく近くまで近づけないと
２次電子４を十分検出できないため、対物レンズ（図示
せず］と試料２との距離（Ｗｏｒｋｉｎｇ Ｄｉｓｔａ
ｎｃｅ ）が長くなシ、レンズ収差が大きくなって高分
解能観察ができなくなる。
エネルギー範囲に含まれる２次電子の分布を検出する試
みを行なって得られた結果に基づいてなされたものであ
る。すなわち、第１図は検討を行なったシリンドリカル
ミラー形分析器１を用いたオージェ電子分析装置の構成
を示すもので、２は試料、３は１次電子、４は２次電子
、５は２次電子増倍器を示している。こめようなオージ
ェ電子分析装置では、オージェ電子の検出効率を高める
ために試料を傾斜させざるを得す、またシリンドリカル
ミラー形分析器１を試料２のごく近くまで近づけないと
２次電子４を十分検出できないため、対物レンズ（図示
せず］と試料２との距離（Ｗｏｒｋｉｎｇ Ｄｉｓｔａ
ｎｃｅ ）が長くなシ、レンズ収差が大きくなって高分
解能観察ができなくなる。
さらに特定の方向性を持つ２次電子だけを検出するので
、その検出効率はきわめて悪かった。
、その検出効率はきわめて悪かった。
これらの検討の結果、このようなオージェ電子分析装置
を用いていたのでは、従来のエネルギー分析装置の問題
点を除去することはできないことが明らかとなったため
、エネルギー分析装置の構造をある特定のエネルギー範
囲の２次電子像のみを検出可能とし、これによって、通
常の２次電子像とは異なるコントラストを有する２次電
子像をを得ることを可能として所期の目的を達成し得た
ものである。
を用いていたのでは、従来のエネルギー分析装置の問題
点を除去することはできないことが明らかとなったため
、エネルギー分析装置の構造をある特定のエネルギー範
囲の２次電子像のみを検出可能とし、これによって、通
常の２次電子像とは異なるコントラストを有する２次電
子像をを得ることを可能として所期の目的を達成し得た
ものである。
以下、実施例について説明する、
第２図は一実施例の説明図で、′「は１次電子、７は偏
向器、８は対物レンズ、９は試料、１０は２次電子引出
電極、１１は２次電子引出電圧、１２は２次電子阻止電
極、１３は２次電子阻子電圧、１４は２次電子、１５は
２次電子検出器、１６は増幅器、１７はサンプラー、１
８は偏向制御回路、１９は画像メモリ、２０は像表示装
置、２１は信号切替器を示している。
向器、８は対物レンズ、９は試料、１０は２次電子引出
電極、１１は２次電子引出電圧、１２は２次電子阻止電
極、１３は２次電子阻子電圧、１４は２次電子、１５は
２次電子検出器、１６は増幅器、１７はサンプラー、１
８は偏向制御回路、１９は画像メモリ、２０は像表示装
置、２１は信号切替器を示している。
この実施例のエネルギー分析装置では、対物レンズ８で
集束された１次電子６が試料９に照射されると、試料９
から２次電子１４が放出され、放出された２次電子１４
は２次電子引出電極１０で引出される。引出された２次
電子１４のうち、特定のエネルギー以下の２次電子１４
は２次電子阻止電極１２により阻止されて２次電子検出
器１５に入らない。
集束された１次電子６が試料９に照射されると、試料９
から２次電子１４が放出され、放出された２次電子１４
は２次電子引出電極１０で引出される。引出された２次
電子１４のうち、特定のエネルギー以下の２次電子１４
は２次電子阻止電極１２により阻止されて２次電子検出
器１５に入らない。
すなわち、試料９から放出される２゛次電子１４のエネ
ルギーをＥ、２次電子引出電圧１１ｔＶ、、２次電子阻
止電圧１３をＶ、とすると、Ｅ＞ｅ（Ｖ、−Ｖ、）を満
たすエネルギーの２次電子１４のみが２次電子検出器１
５で検出される。第３図はこの実施例の２次電子検出器
１５で検出される２次電子１４の説明図で、横軸、縦軸
には、それぞれ２次電子のエネルギー、２次電子量がと
ッテある。第３図（ωはＥｔ ＝ｅ （ｖ、、 −Ｖ、
）トするようにｖ、１を決めた場合に２次電子検出器
１５で検出される２次電子量を示しており、この状態で
一次電子６を試料９上で走査（−次元または二次元的に
）して、２次電子検出器１５の信号を増幅器１６を介し
てサングラ−１７でサンプルした結果が画像メモリ１９
に記憶される。第３図（ｂ）はＥｘ ＝ ｅ （’Ｖ−
ｘ Ｖ−）となるｊうＫＶ−ｚを決めた場合に、２次電
子検出器１５で検出される２次電子量を示している。第
３図（Ｃ）は第３図（ｂ）の２次電子阻止電圧ｖ１２の
とき検出された２次電子検出信号と、第３図Ｇ）の画像
メモリ１９に記憶しである阻止電圧ｖ、１のとき検出さ
れた２次電子検出信号とを、試料上向−位置の信号にな
るように同期させてその差をとったときの信号量で、こ
の信号を像表示することによって、エネルギーＢｇから
Ｅ２の範囲の２次電子による電子像を得ることができる
。
ルギーをＥ、２次電子引出電圧１１ｔＶ、、２次電子阻
止電圧１３をＶ、とすると、Ｅ＞ｅ（Ｖ、−Ｖ、）を満
たすエネルギーの２次電子１４のみが２次電子検出器１
５で検出される。第３図はこの実施例の２次電子検出器
１５で検出される２次電子１４の説明図で、横軸、縦軸
には、それぞれ２次電子のエネルギー、２次電子量がと
ッテある。第３図（ωはＥｔ ＝ｅ （ｖ、、 −Ｖ、
）トするようにｖ、１を決めた場合に２次電子検出器
１５で検出される２次電子量を示しており、この状態で
一次電子６を試料９上で走査（−次元または二次元的に
）して、２次電子検出器１５の信号を増幅器１６を介し
てサングラ−１７でサンプルした結果が画像メモリ１９
に記憶される。第３図（ｂ）はＥｘ ＝ ｅ （’Ｖ−
ｘ Ｖ−）となるｊうＫＶ−ｚを決めた場合に、２次電
子検出器１５で検出される２次電子量を示している。第
３図（Ｃ）は第３図（ｂ）の２次電子阻止電圧ｖ１２の
とき検出された２次電子検出信号と、第３図Ｇ）の画像
メモリ１９に記憶しである阻止電圧ｖ、１のとき検出さ
れた２次電子検出信号とを、試料上向−位置の信号にな
るように同期させてその差をとったときの信号量で、こ
の信号を像表示することによって、エネルギーＢｇから
Ｅ２の範囲の２次電子による電子像を得ることができる
。
次に、このように特定のエネルギーの範囲の２次電子に
よる電子像を用いた場合のコントラストの増加の理由に
ついて説明するっ 試料から発生する２次電子のエネルギー分布（各エネル
ギーに対する２次電子発生効率）ｆ（ト）は横＋１々１
ｊ、縦軸にそれぞれ２次電子のエネルギーＥ （ｅ Ｖ
）、２次電子発生効率ηをとって示した第４図に示す
ようになり、従って、そのエネルギー積分 子 （Ｅ）−ｆ ｆ （Ｅ）ｄＥ ・・・・・・（１）
は第５図に示すようになる４ 第５図の横軸、縦軸にはそれぞれＥ（ｅＶ）。
よる電子像を用いた場合のコントラストの増加の理由に
ついて説明するっ 試料から発生する２次電子のエネルギー分布（各エネル
ギーに対する２次電子発生効率）ｆ（ト）は横＋１々１
ｊ、縦軸にそれぞれ２次電子のエネルギーＥ （ｅ Ｖ
）、２次電子発生効率ηをとって示した第４図に示す
ようになり、従って、そのエネルギー積分 子 （Ｅ）−ｆ ｆ （Ｅ）ｄＥ ・・・・・・（１）
は第５図に示すようになる４ 第５図の横軸、縦軸にはそれぞれＥ（ｅＶ）。
１（Ｅ）がとってあｔｙ、Ｘ、Ｙ、Ｚはそれぞれ６Ｃ，
１３Ａｔ、８２１）ｂについての実測結果である。
１３Ａｔ、８２１）ｂについての実測結果である。
また、第６図は中央部にＣのコンタミネーシンが耐着し
ているＡｔ面の同一視野を異なるＩ（Ｅ）となる条件の
もとに撮影した走査電子顕微鏡写真（加速電圧２０ ｋ
Ｖ、培率２０００倍）で、（ａ）、 （ｂ）。
ているＡｔ面の同一視野を異なるＩ（Ｅ）となる条件の
もとに撮影した走査電子顕微鏡写真（加速電圧２０ ｋ
Ｖ、培率２０００倍）で、（ａ）、 （ｂ）。
（Ｃ）、 （ｄ）はそれぞれＥｒａＯ，２，４，５（ｅ
Ｖ）の場合が示しである。これらの走査顕微鏡写真は、
Ｅの値によっである特定物質のコントラストが大きく変
化することを示している。
Ｖ）の場合が示しである。これらの走査顕微鏡写真は、
Ｅの値によっである特定物質のコントラストが大きく変
化することを示している。
すなわち、ｄＩ（Ｅ）／ｄＥは物質によって異なるので
特定のエネルギーの範囲の２次電子による電子像をとれ
ば、ｄＩ（Ｅ）／ｄＥの差異の大きい物質のみが大きい
コントラストを持つことになる。、（して、このような
コントラストの異なる像は、同一元素でも極く表層部の
深さ方向の情報によって構成されることに由来するもの
と考えられる。
特定のエネルギーの範囲の２次電子による電子像をとれ
ば、ｄＩ（Ｅ）／ｄＥの差異の大きい物質のみが大きい
コントラストを持つことになる。、（して、このような
コントラストの異なる像は、同一元素でも極く表層部の
深さ方向の情報によって構成されることに由来するもの
と考えられる。
従って、この方法を用いれば、特定元素のコントラスト
を上げることができ、試料の特徴の抽出が可能である。
を上げることができ、試料の特徴の抽出が可能である。
また、エネルギー分布ｆ（Ｅ）りま、例えば動作状態の
半導体では、表面電位に応じ°Ｃシフトする現象がある
ので、このような場合にこの方法を適用すれば、シフト
の発生している領域のみを＾いコントラストとすること
ができる。
半導体では、表面電位に応じ°Ｃシフトする現象がある
ので、このような場合にこの方法を適用すれば、シフト
の発生している領域のみを＾いコントラストとすること
ができる。
すなわち、この実施例のエネルギー分析装置は、肋定の
エネルギー範囲の２次電子を検出して、従来の２仄電子
像とは異なった新しい情報をもった２次電子像を観察す
ることを可能とする。また試料を対物ノンズに近接して
ＷＤを短くした高分解条件下で効率良く特定のエネルギ
ー範囲の２次電子を検出することができる。さらに全２
次電子量のうち、フ・イルターされで検出される２次電
子は軸対称に導かれるので、２次電子検出器の方向にか
かわりなく、試料の凹凸による影の生じない状態で、特
定のエネルギー範囲の２次′電子を検出することができ
る。
エネルギー範囲の２次電子を検出して、従来の２仄電子
像とは異なった新しい情報をもった２次電子像を観察す
ることを可能とする。また試料を対物ノンズに近接して
ＷＤを短くした高分解条件下で効率良く特定のエネルギ
ー範囲の２次電子を検出することができる。さらに全２
次電子量のうち、フ・イルターされで検出される２次電
子は軸対称に導かれるので、２次電子検出器の方向にか
かわりなく、試料の凹凸による影の生じない状態で、特
定のエネルギー範囲の２次′電子を検出することができ
る。
し発明の効果〕
本発明のエネルギー分析装置は、特定のエネルギー範囲
に含１れる２次電子の分布金高検出効率１、高分解能、
無指向で検出可能とするもので、産業上の効果の大なる
ものである。
に含１れる２次電子の分布金高検出効率１、高分解能、
無指向で検出可能とするもので、産業上の効果の大なる
ものである。
第１図は、シリンドリカルミラー形分析器を用いたオー
ジェ電子分析装置の説明図、第２図は本発明のエネルギ
ー分析装置の一実施例の説明図、第３図は同じく動作説
明図、第４図及び第５図は同じく原理説明図、第６図は
同じく効果’？Ｃ説明する走査電子顕微鏡写真である。 ６・・・１次電子、７・・・偏向器、８・・・対物レン
ズ、９・・・試料、１０・・・２次電子引出′電極、１
１・・・２次′ｉ↓Ｌ子引出電圧、１２・・・２次電子
阻止電極、１３・・・２次電子阻子電圧、１４・・・２
次電子、１５・・・２次電子検出器、１６・・・増幅器
、１７・・・サンシラー、１８・・・偏向制御回路、１
９・・・画像メモリ、２０・・・像表示装置、２１・・
・信号切替器。 代理人 弁理士 長崎傅男 （ほか１名） 第 少 紹 （ａ−） （ｆ； ） （Ｃ） ？次ｔ）１ネル１ ２次電多エネルイー ２次ｔ）エネ
ｔＶ−手続補正マ（・（方式） １．事イ’ｆ （１） 表ｔＪｅ 昭和５！〕年特３’
Ｆｌｌｉｆｆｉ第０４２５４２ Ｗ＞’２、発明の名言
ら、〕−ネ・ルギー分析装置１′１３ 補止をする者 事ｆｌ＋どの関係 ′１・、旨′１出願人名 （Ａ・（
’、＋ｌ１））株式会社 Ｅｌ η 製 イ１ 所４代
理人 Ｊ１鱈 所（〒１１７）茨城県１］立ｊｌｉ鹿島町−川
’ＩＪＩＯ番３−じ淡４・（１ビル （ｉ、油止の肩出 （１）明１１１１書の発明σ昼Ｙ′！１１１な説明の潤
（２）明Ｊ’、ｌｌｌ ｒＩｉの図面のＴｈ１ｓ ”ｔ
’−な説明の瀾７、 補正の内容 （１）明細書第７頁第２０行目から同第８頁第３行目ま
での記載製削除し下記を加入する。 記 「 また、第６図は中央部に炭素（Ｃ）のコンタミネー
ションが付着しているアルミニラ１ｓ（ＡＤ、）板表面
の同一視！ｌ１丁を異なるＩ （Ｅ）となる条件のもと
に加速電圧２０ｋＶ、倍率２０００倍で撮影した走査電
子顕微鏡写真で示した原理説明図で、（ａ）。 （ｂ）、Ｊ （２）明細書第１０頁第４行目及び第５行目の記載を削
除し下記を加入する。 記 「同じく原理説明図、第６図は同しく中央部にＣのコン
タミネーションが付着しているΔρ板表面の構造を示す
走査電子顕微鏡写真で示した原理説明図である。」
ジェ電子分析装置の説明図、第２図は本発明のエネルギ
ー分析装置の一実施例の説明図、第３図は同じく動作説
明図、第４図及び第５図は同じく原理説明図、第６図は
同じく効果’？Ｃ説明する走査電子顕微鏡写真である。 ６・・・１次電子、７・・・偏向器、８・・・対物レン
ズ、９・・・試料、１０・・・２次電子引出′電極、１
１・・・２次′ｉ↓Ｌ子引出電圧、１２・・・２次電子
阻止電極、１３・・・２次電子阻子電圧、１４・・・２
次電子、１５・・・２次電子検出器、１６・・・増幅器
、１７・・・サンシラー、１８・・・偏向制御回路、１
９・・・画像メモリ、２０・・・像表示装置、２１・・
・信号切替器。 代理人 弁理士 長崎傅男 （ほか１名） 第 少 紹 （ａ−） （ｆ； ） （Ｃ） ？次ｔ）１ネル１ ２次電多エネルイー ２次ｔ）エネ
ｔＶ−手続補正マ（・（方式） １．事イ’ｆ （１） 表ｔＪｅ 昭和５！〕年特３’
Ｆｌｌｉｆｆｉ第０４２５４２ Ｗ＞’２、発明の名言
ら、〕−ネ・ルギー分析装置１′１３ 補止をする者 事ｆｌ＋どの関係 ′１・、旨′１出願人名 （Ａ・（
’、＋ｌ１））株式会社 Ｅｌ η 製 イ１ 所４代
理人 Ｊ１鱈 所（〒１１７）茨城県１］立ｊｌｉ鹿島町−川
’ＩＪＩＯ番３−じ淡４・（１ビル （ｉ、油止の肩出 （１）明１１１１書の発明σ昼Ｙ′！１１１な説明の潤
（２）明Ｊ’、ｌｌｌ ｒＩｉの図面のＴｈ１ｓ ”ｔ
’−な説明の瀾７、 補正の内容 （１）明細書第７頁第２０行目から同第８頁第３行目ま
での記載製削除し下記を加入する。 記 「 また、第６図は中央部に炭素（Ｃ）のコンタミネー
ションが付着しているアルミニラ１ｓ（ＡＤ、）板表面
の同一視！ｌ１丁を異なるＩ （Ｅ）となる条件のもと
に加速電圧２０ｋＶ、倍率２０００倍で撮影した走査電
子顕微鏡写真で示した原理説明図で、（ａ）。 （ｂ）、Ｊ （２）明細書第１０頁第４行目及び第５行目の記載を削
除し下記を加入する。 記 「同じく原理説明図、第６図は同しく中央部にＣのコン
タミネーションが付着しているΔρ板表面の構造を示す
走査電子顕微鏡写真で示した原理説明図である。」
Claims (1)
- １、対物レンズで集束された１次電子で試料を走査して
、該試料から放出される２次電子を用いて該試料の表面
状態を分析するエネルギー分析装置において前記試料の
前方で前記１次電子の入射方向に配設された前記２次電
子の引出電極及び電圧の調整が可能で前記２次電子のう
ち所定のエネルギー以下の２次電子を阻止する阻止電極
と、該阻止電極を通過した２次電子を検出する２次電子
検出器と、該２次電子検出器の前記阻止電極の第１の阻
止電圧における２次電子検出信号を記憶させる画像メモ
リと、第２の阻止電圧における２次電子検出信号と該画
像メモリに記憶させた前記第１の阻止電圧における２次
電子検出信号とが試料上同一位置になるよう同期させて
差をめ像表示装置に表示する手段とを有していることを
特徴とするエネルギー分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042542A JPS60189149A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | エネルギ−分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042542A JPS60189149A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | エネルギ−分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60189149A true JPS60189149A (ja) | 1985-09-26 |
Family
ID=12638949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59042542A Pending JPS60189149A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | エネルギ−分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60189149A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62152000A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-06 | 株式会社デンソー | 車載用のナビゲ−シヨン装置 |
| JPS63218135A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-09-12 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 走査電子顕微鏡 |
| JP2009295371A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Jeol Ltd | 断面観察用走査電子顕微鏡 |
-
1984
- 1984-03-05 JP JP59042542A patent/JPS60189149A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62152000A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-06 | 株式会社デンソー | 車載用のナビゲ−シヨン装置 |
| JPS63218135A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-09-12 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 走査電子顕微鏡 |
| JP2009295371A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Jeol Ltd | 断面観察用走査電子顕微鏡 |
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