JPS60180788A - クリ−ンル−ム内ロボツト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体製造に用いられるようなりリーンルーム
内で作動するロボット装置に関する。

背景技術とその問題点 半導体製造工程は、半導体の性能及び歩留を高めるため
に清浄な室内において行われるか、清浄効果を高めるた
めに、クリーンルーム内を無人化し、レジストコーテイ
ング機、露光機、現像機、エツチング機などの各工程の
機械操作及び各工程間のチップ７レームの搬送などをロ
ボットを用いて作業させることが渚えられる。この場合
、ロボットは予めプログラムされた手順で作業を行うが
、プログラム化されてい＊い状Ｍ（ティーチング時）や
緊急時においてオペレーションコンソールに□おいて一
々プログラム言語をキー人力するのは非常に煩雑である
。またオペレーションコンソールから遠い位置基こロボ
ットが移動しているときには、ロボットの動作状態を見
ながら動作指令を送ることは実質的化困難であり、適切
な命令を与えることができない。

発明の目的 本発明は上述の問題にかんがみてなされたものであって
、ロボットに直接的に簡易に動作指令を与えることがで
き、これによってプログラム外の割込み動作を必要に応
じて行わせることを可能にしている。

発明の概要 本発明のクリーンルーム内四ポット装置は、クリーンル
ーム内に直線状に配置された複数の作業装置に沿ってロ
ボットを移動させ、所定作業位置にて制御コンピュータ
からの所定プログラムに基いた動作命令に従つ′Ｃ上記
ロボットが作業を行うように構成されたものであって、
上記ロボットは光感知し得るデータボートを゛具備して
いる。そして上記クリーンルームに対して透光性隔壁を
隔てた監視室からリモートコントロールユニットを用い
てプログラム外の作業指令情報を上記データボートに向
けて投射して、制御コンピュータを介さずに上記ロボッ
トを直接操作し得るようにしている。この構成により、
ロボットが遠方に移動していてもオペレーションコンソ
ールからの指令なしで直接にその動作をモニターしなが
ら動作指令を与えることができ、プログラム外の作業を
簡単、確実に行わせることができる。

実施例 以下本発明を実施例の図面に沿って説明する。

第１図は本発明のクリーンルーム内ロボット装置を適用
した半導体製造プロセスの概略斜視図である。製造室内
はクリーンルームｌと監視ルーム２と薯こ透明な隔壁３
を隔てて分離されている。監視ルーム２内にはオペレー
ションコンソール４が設けられ、作業者５はコンソール
４からキー人力により図外の制御コンピュータに動作指
令を送り、この制御コンピュータから各半導体製造装置
６ａ。

６ｂ、６ｃ・・　・−及びロボット７に所定のプログラ
ムに基いた動作命令が与えられる。

半導体製造装置６ａ、６ｂ、６ｅ　・　・・・は、例え
ばレジストプロセスにおけるレジストコーティング装置
、露光装置、現像装置及びこれらの装置基こ付属したチ
ェック装置などであってよい。これらの製造装置６ａ１
６ｂ・・・　・　は−列に並べられ、その長手方向に沿
ってロボット７を移動させるためにガイドレール８．９
が上部ｌこ設けられている。ロボット７のキャリッジ１
ｏは、これらのガイドレール８．９に沿って設けられた
リニアパルスモータの界磁装置及びキャリアに内蔵の電
機子によって矢印Ａ方向に自走し、且つ所定位置に位置
決めされる。ロボット７の本体はキャリッジ１０に設け
られた昇降機構により矢印Ｂ方向にモータによって先端
のマニピュレータ１１が所要の動作を行うように制御さ
れている。

クリーンルーム１内の空気は天井のフィルター１２から
導入され、ガイドレール８．９に沿って設けられたフィ
ルター１３からクリーンゾーン１４に導びかれ、更に各
装置６ａ、６ｂ　・−・の上からフィルター１５を通し
てエアーカーテンを成すように吹き付けられる。この空
気清浄システムにより、ロボット７の作業時や移動時等
に可動部分や摺動部分から発生し易い塵埃（金属粉など
）がクリーンゾーン１４において回収され、無人化と相
まって極めて清浄なりリーンルーム１が得うれる。

摺動部分を極力少なくする目的で、制御コンピュータ１
５とロボット７との間は第２図の如く光伝送路によって
結合されている。第２図に示すように、制御コンピュー
タ１５力）らの指令データはコントローラ１６を通じて
各製造装置６ａ、６ｂ。

６ｃ　・・・・　に伝えられる。また第１図のガイドレ
ール８．９に沿ったロボット７の各位置決め点には、光
データボート１７ａ、１７ｂ、１７ｃ　・・・・・・・
・・・が配置され、ロボット７がその作業位置に位置決
めされたとき、四ボット７の光データボート１８がこれ
らの光データボート１７ａ、１７ｂ・・−・・・・・・
と対向する。この状態で、制御コンピュータ１５からロ
ボット７ζこ制御情報が送られ、またロボット７から制
御コンピュータ１５に必要なモニターデータが送り返さ
れて、所定のプログラム暑こ従ったロボット作業の制御
が実行される。

プログラム外の作業をロボット７にさせるときには、第
１図のオペレーションソール４からのキー人力により制
御コンピュータ１５を通じてロボット７に動作指令を与
えることができる。このオペレーションコンソール４の
操作は複雑であって習熟を要し、またオペレーションコ
ンソール４から制御すべきロボット７が離れた位置に移
動している場合には、ロボット７を目視モニターしなが
ら適切な動作命令を与えることは実質的に困船吉なる。

そこで本発明では、作業者５が隔壁３を隔ててロボット
７と直接に対面し、第１図のリモートコントロールユニ
ット１９を用いて、第２図の如くロボット７の光データ
ポート２０に直接動作指令を与えるようにしている。動
作指令は、プログラム作業の中断命令、各関節ごとの回
転命令、マニピュレータ１１の動作命令、ロボットキャ
リッジ１０の移動命令などである。これらの動作指令は
ｌＪモ）コントロールユニットｌ　９（Ｄ操作パネル上
において、動作モードの一つを選択し且つオン・オフ操
作することにより発せられる。

リモートコントロールユニット１９から発せられる指令
情報としては、この場合薯こは、レジストプルセスに影
響を与えないように赤外線光が用いられているが、レジ
ストプロセス以外の半導体製造プロセスでは、可視光線
を情報伝送媒体として使用することができる。

発明の効果 本発明は上述の如く、クリーンルーム内のロボットに光
感知し得るデータポートを設け、クリーンルームに対し
て透光性隔壁を隔てた所から、リモートコントロールユ
ニットを用いて動作指令を与えるようにしたので、ロボ
ットの移動ラインが作業装置に沿って直線状に延びてい
る場合にオペレーションコンソールからロボットが遠く
離したときでも、ロボットと直接対面してその動作をモ
ニターしながらプログラム外の動作指令などを直接に与
えることができる。従って緊急時やティーチングなどの
プログラム外の作業を確実に簡易に行わせることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のクリーンルーム内ロボット装置を適用
した半導体製造プロセスの概略斜視図、第２図は制御コ
ンピュータ、ロボット、リモートコントロールユニット
の各間の情報伝達路を示すブロック図である。 なお図面に用いた符号において、 １　−　・・クリーンルーム ２　・・・・　監視ルーム ３　・　・・・・隔壁 ４　−・　オペレーションコンソール ６ａ、　６ｂ、　６ｃ　・・・・半導体製造装置７　・
　・・−・・・・ロボット ８．９　・・・・　ガイドレール １０　・・・・・・・キャリッジ １１　・　・・・・・・・・・・マニピュレータ１５・
　・・・・・・　制御コンピュータ１７ａ、　１７ｂｓ
　１７ｃｍ・光データボート１８−　・・　・　光デー
タポート １９・・・　・・・・・・・リモートコントロールユニ
ット２０　・・・　・・・・・光データボートである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クリーンルーム内に直線状に配置された複数の作業装置
   に沿って四ボットを移動させ、所定作業位置をこて制御
   コンピュータからの所定プログラムに基いた動作命令に
   従って上記ロボットが作業を行うように構成されたロボ
   ット装置であって、上記ロボットは光感知し得るデータ
   ポートを具備し、上記クリーンルームに対して透光性隔
   壁を隔てた監視室からリモートコントロールユニットを
   用いてプログラム外の作業指令情報を上記データボート
   に向けて投射して、制御コンピュータを介さずに上記ロ
   ボットを直接操作し得るようにしたクリーンルーム内ロ
   ボット装置。