JPS60180035A - マイクロ波スイツチ - Google Patents
マイクロ波スイツチInfo
- Publication number
- JPS60180035A JPS60180035A JP3681784A JP3681784A JPS60180035A JP S60180035 A JPS60180035 A JP S60180035A JP 3681784 A JP3681784 A JP 3681784A JP 3681784 A JP3681784 A JP 3681784A JP S60180035 A JPS60180035 A JP S60180035A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- microwave switch
- displacement
- fixed contact
- electrostrictive element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Waveguide Switches, Polarizers, And Phase Shifters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、マイクロ波帯の通信装置に適するスイッチに
関する。特に、消費電力およ・び発熱量が少く、高信頼
度でスイッチング時間の短い機械的な接点を有するスイ
ッチに関する。
関する。特に、消費電力およ・び発熱量が少く、高信頼
度でスイッチング時間の短い機械的な接点を有するスイ
ッチに関する。
機械的な接点を有するマイクロ波スイッチは、低損失で
あること、非接続端子間の漏洩減衰量が大きいこと、広
帯域であることなどの特徴があり、半導体をスイッチン
グ素子としたスイッチングに比較して優れているために
多く用いられている。
あること、非接続端子間の漏洩減衰量が大きいこと、広
帯域であることなどの特徴があり、半導体をスイッチン
グ素子としたスイッチングに比較して優れているために
多く用いられている。
従沫の機械的な接点を有するマイクロ波スイッチは、切
替動作を行うためのアクチュエータとして電磁アクチュ
エータが用いられている。電磁アクチュエータは歴史的
には経験が多いため、マイクロ波スイッチに利用する場
合にも一応安定した性能が得られる。しかし、通信装置
の進歩発展に伴い種々の欠点が目立ち始めている。ずな
わぢ電磁アクチュエータのコイルの銅損による電力消費
が大きく、通信装置の低消費電力化にとって好ましくな
いこと、またコイルが発熱することなどのほか、スイッ
チング時間がｌ０ｍ５ｅｃから数１０ｍ５ｅｃで比較的
長く、ディジタル信号を切替える場合に信号が欠落する
欠点があった。しかもスイッチング時間の大幅な改善は
望めない状況である。
替動作を行うためのアクチュエータとして電磁アクチュ
エータが用いられている。電磁アクチュエータは歴史的
には経験が多いため、マイクロ波スイッチに利用する場
合にも一応安定した性能が得られる。しかし、通信装置
の進歩発展に伴い種々の欠点が目立ち始めている。ずな
わぢ電磁アクチュエータのコイルの銅損による電力消費
が大きく、通信装置の低消費電力化にとって好ましくな
いこと、またコイルが発熱することなどのほか、スイッ
チング時間がｌ０ｍ５ｅｃから数１０ｍ５ｅｃで比較的
長く、ディジタル信号を切替える場合に信号が欠落する
欠点があった。しかもスイッチング時間の大幅な改善は
望めない状況である。
本発明は、上記の欠点を解決し、スイッチング時間が従
来のマイクロ波スイッチより１桁以上短かく、消費電力
および発熱量が少なく、高信頼度性のマイクロ波スイッ
チを提供することを目的とする。
来のマイクロ波スイッチより１桁以上短かく、消費電力
および発熱量が少なく、高信頼度性のマイクロ波スイッ
チを提供することを目的とする。
〔発明の特徴〕
本発明は、選択端子である二つの第一の固定接点と、上
記二つの第一の固定設定の中間に設りられた共通端子で
ある一つの第二の固定接点と、この第二の固定接点と上
記二つの第一の固定接点との間にそれぞれ設けられ、こ
の第二の固定接点とこの二つの第一の固定接点との間の
いずれか一方との間を短絡する二つの可動中心導体と、
上記二つの可動中心導体をそれぞれ担持する二つの駆動
棒とを備えたマイクロ波スイッチにおいζ、外部から加
えられる電圧により長さが変位する電歪素子と、この電
歪素子の変位を拡大する二つのレバーアームと、この二
つのレバーアームの間に設りられた可撓性の梁状部材と
、この梁状部材のほぼ中央に取付けられた連結棒と、こ
の連結棒と上記二つの駆動棒との間にそれぞれ係合する
二つの揺動部材と、この二つの揺動部材にそれぞれ設け
られた支持点とを備えたことを特徴とする。
記二つの第一の固定設定の中間に設りられた共通端子で
ある一つの第二の固定接点と、この第二の固定接点と上
記二つの第一の固定接点との間にそれぞれ設けられ、こ
の第二の固定接点とこの二つの第一の固定接点との間の
いずれか一方との間を短絡する二つの可動中心導体と、
上記二つの可動中心導体をそれぞれ担持する二つの駆動
棒とを備えたマイクロ波スイッチにおいζ、外部から加
えられる電圧により長さが変位する電歪素子と、この電
歪素子の変位を拡大する二つのレバーアームと、この二
つのレバーアームの間に設りられた可撓性の梁状部材と
、この梁状部材のほぼ中央に取付けられた連結棒と、こ
の連結棒と上記二つの駆動棒との間にそれぞれ係合する
二つの揺動部材と、この二つの揺動部材にそれぞれ設け
られた支持点とを備えたことを特徴とする。
本発明の実施例について図面を参照して説明する。第１
図は本発明−実施例マイクロ波スイッチの平面図であり
、マイクロ波信号の切替えを行う部分のカバーが取外さ
れた図である。第２図は第１図のＡ−Ａ断面を示す図で
ある。第３図は第１図に示すマイクロ波スイッチの他の
切替状態を示す図である。第１図および第２図において
、マイクロ波スイッチの本体ケースＩＬまマイクロ波信
号の切替部分においてストリップラインは外導体をも兼
ねている。三つの固定接点７のうち中央が共通端子に相
当し、スイッチとしては共通端子と左右の固定接点７と
のいずれか一つと接続されるかたちで切替動作が行われ
る。可動中心導体８は、固定接点７に接触している状態
ではストリップライン形の伝送線路を形成する。駆動棒
９は上記の可動中心導体８を担持し、それをストリップ
ラインの外部から動かずためのもので、電気絶縁体材料
でできている。駆動棒９はスイッチ本体ケース１に設け
られたガイドｆｉｌｂに嵌挿され、駆動棒９の軸方向に
滑らかに摺動する。駆動棒９がマイクロ波信号の伝播す
るストリップライン部から外に出た所に穴９ａがあけら
れ、そこに線状のばね１０が挿入されている。ばね１０
は支持点１２で支持され、他端がアクチュエータ２０か
ら変位と力とを伝達する連結棒１１の先端の穴１１ａに
挿入されている。
図は本発明−実施例マイクロ波スイッチの平面図であり
、マイクロ波信号の切替えを行う部分のカバーが取外さ
れた図である。第２図は第１図のＡ−Ａ断面を示す図で
ある。第３図は第１図に示すマイクロ波スイッチの他の
切替状態を示す図である。第１図および第２図において
、マイクロ波スイッチの本体ケースＩＬまマイクロ波信
号の切替部分においてストリップラインは外導体をも兼
ねている。三つの固定接点７のうち中央が共通端子に相
当し、スイッチとしては共通端子と左右の固定接点７と
のいずれか一つと接続されるかたちで切替動作が行われ
る。可動中心導体８は、固定接点７に接触している状態
ではストリップライン形の伝送線路を形成する。駆動棒
９は上記の可動中心導体８を担持し、それをストリップ
ラインの外部から動かずためのもので、電気絶縁体材料
でできている。駆動棒９はスイッチ本体ケース１に設け
られたガイドｆｉｌｂに嵌挿され、駆動棒９の軸方向に
滑らかに摺動する。駆動棒９がマイクロ波信号の伝播す
るストリップライン部から外に出た所に穴９ａがあけら
れ、そこに線状のばね１０が挿入されている。ばね１０
は支持点１２で支持され、他端がアクチュエータ２０か
ら変位と力とを伝達する連結棒１１の先端の穴１１ａに
挿入されている。
第１図は坂ばねδがほとんど撓んでいない状態を示して
いるが、アクチュエータ２０に電圧が印加すると撓んで
連結棒１１を押す。アクチュエータ２０はセラミック電
歪素子２１を機械的な変位を得るための素子とし、セラ
ミック電歪素子２１の変位を拡大し、一対のレバーアー
ム２４の開閉運動に変換し、その開閉運動によって板ば
ね２５を座屈させて撓ませたり、逆に解除して直線状に
戻すことを行う。
いるが、アクチュエータ２０に電圧が印加すると撓んで
連結棒１１を押す。アクチュエータ２０はセラミック電
歪素子２１を機械的な変位を得るための素子とし、セラ
ミック電歪素子２１の変位を拡大し、一対のレバーアー
ム２４の開閉運動に変換し、その開閉運動によって板ば
ね２５を座屈させて撓ませたり、逆に解除して直線状に
戻すことを行う。
このアクチュエータ２０の基本的な構造および動作につ
いて説明すると、セラミック電歪素子２１に電圧を印加
してその長さが伸びるとヒンジ２２を介してレバーアー
ム２４をヒンジ２３を中心に回転運動を起こさせ、一種
の梃子の原理によって変位を拡大させる。上記セラミ’
７り電歪素子２１が伸びるとレバーアーム２４の先端部
は閉じる方向に動き、これによって板ばね２５には座屈
力が働き撓むことになる。レバーアーム２４の変位が板
ばね２５の撓み量に変換されるときに再び変位が拡大さ
れるので、セラミック電歪素子２１の変位はレバーアー
ム２４と板ハね２５の２段階に拡大される。
いて説明すると、セラミック電歪素子２１に電圧を印加
してその長さが伸びるとヒンジ２２を介してレバーアー
ム２４をヒンジ２３を中心に回転運動を起こさせ、一種
の梃子の原理によって変位を拡大させる。上記セラミ’
７り電歪素子２１が伸びるとレバーアーム２４の先端部
は閉じる方向に動き、これによって板ばね２５には座屈
力が働き撓むことになる。レバーアーム２４の変位が板
ばね２５の撓み量に変換されるときに再び変位が拡大さ
れるので、セラミック電歪素子２１の変位はレバーアー
ム２４と板ハね２５の２段階に拡大される。
次に、本発明のマイクロ波１インチの動作について説明
する６第１図はセラミック電歪素子２１が変位しない状
態で、したがって板ばね２５もほとんど撓んでいない。
する６第１図はセラミック電歪素子２１が変位しない状
態で、したがって板ばね２５もほとんど撓んでいない。
しかしながら無拘束状態ではない。それは、第１図にお
いて左側の可動中心導体８は良好な導通を得るため固定
接点７に対し一定の接触圧が押しつけられている必要が
あり、−万石側の可動中心導体８はストリップラインの
外導体に接地されている必要があるためである。
いて左側の可動中心導体８は良好な導通を得るため固定
接点７に対し一定の接触圧が押しつけられている必要が
あり、−万石側の可動中心導体８はストリップラインの
外導体に接地されている必要があるためである。
この実施例では、ストリップラインの外導体内壁より導
電性の突出部１ａを張出させ、この部分に可動中心導体
８を接触させることで可動中心導体８を接地させている
が、上記のような突出部ｌａを設けないで可動中心環゛
体８の全長にねたって外導体壁に密着させてもよい。可
動中心導体８を接地させる必要があるのは、可動中心導
体８が接地されてないと、インピーダンスは低いが実エ
ネルギを伝播することができる伝送路となるためで、完
全接地していれば、あたかも遮断域導波管のようになり
、非常に大きな減衰量が得られるためである。
電性の突出部１ａを張出させ、この部分に可動中心導体
８を接触させることで可動中心導体８を接地させている
が、上記のような突出部ｌａを設けないで可動中心環゛
体８の全長にねたって外導体壁に密着させてもよい。可
動中心導体８を接地させる必要があるのは、可動中心導
体８が接地されてないと、インピーダンスは低いが実エ
ネルギを伝播することができる伝送路となるためで、完
全接地していれば、あたかも遮断域導波管のようになり
、非常に大きな減衰量が得られるためである。
いま、説明したように左側の可動中心導体８側では接点
接触圧力、右側では接地圧力が必要であるため、板ばね
５が無拘束ではそれに必要な力がない。上記の力は線状
ばね１０の変位で与えられ、その力は板ばね２５の僅か
な変位と釣り合っている。
接触圧力、右側では接地圧力が必要であるため、板ばね
５が無拘束ではそれに必要な力がない。上記の力は線状
ばね１０の変位で与えられ、その力は板ばね２５の僅か
な変位と釣り合っている。
次に、セラミック電歪素子２１に電圧を印加した状態で
はマイクロ波スイッチは信号の接続状態を反転させるが
、それを第３図によって説明する。
はマイクロ波スイッチは信号の接続状態を反転させるが
、それを第３図によって説明する。
第３図において、セラミック電歪素子２１は長手方向（
上下方向）に変位し、ヒンジ２２を持ち上げる。
上下方向）に変位し、ヒンジ２２を持ち上げる。
この変位はヒンジ２３を中心に回転運動に変換されレバ
ーアーム２４で拡大され、二つのレバーアーム２４の間
は狭まる方向に変位する。一対のレバーアーム２４の間
隔が狭められると板ばね２５が座屈して溌み、連結棒１
１を押す。連結棒１１がおされると、シーソ状の働きを
する線状ばね１ｏが支持部■２を中心にしてその変位を
駆動棒９に伝える。第１図および第３図では支持部左右
のアームの長さが異なり、板ばね２５の変位を拡大して
いるが、変位を拡大することは必ずしも必要ではない。
ーアーム２４で拡大され、二つのレバーアーム２４の間
は狭まる方向に変位する。一対のレバーアーム２４の間
隔が狭められると板ばね２５が座屈して溌み、連結棒１
１を押す。連結棒１１がおされると、シーソ状の働きを
する線状ばね１ｏが支持部■２を中心にしてその変位を
駆動棒９に伝える。第１図および第３図では支持部左右
のアームの長さが異なり、板ばね２５の変位を拡大して
いるが、変位を拡大することは必ずしも必要ではない。
駆動棒９が線状ばね】０によって引上げられると、左側
の可動中心導体８は外導体内壁に接地し、−左側の可動
中心導体８は固定設定７に接触する。接地圧力および接
点圧力は線状ばね１ｏの変位で与えられる。
の可動中心導体８は外導体内壁に接地し、−左側の可動
中心導体８は固定設定７に接触する。接地圧力および接
点圧力は線状ばね１ｏの変位で与えられる。
以上のようにして、第３図の状態になりス・ｆソチの反
転動作が終了する。
転動作が終了する。
ここで固定設定７は直接に他の信号を切替える回路につ
ながってもよいが、通當は第２図に示すようにコネクタ
２に接続される。第２図において、３は本体ケースＩの
カバー、４はコネクタ、５は絶縁体、６はコネクタ４の
中心導体である。
ながってもよいが、通當は第２図に示すようにコネクタ
２に接続される。第２図において、３は本体ケースＩの
カバー、４はコネクタ、５は絶縁体、６はコネクタ４の
中心導体である。
本発明のマイクロ波スイッチはマイクロ波に限定されず
低い周波数、例えばＶＨＦ帯で使うことはもちろん可能
である。
低い周波数、例えばＶＨＦ帯で使うことはもちろん可能
である。
また、以上のように第１図に示す実施例によって説明し
たが、種々の変形が可能である。
たが、種々の変形が可能である。
電歪形のアクチュエータ２０も板ばね２５を撓ませるも
のであれば他の形式でもよい。例えば、「特願昭５８−
０４９２４８ 機械的増幅機構」で提案された形式など
が使える。
のであれば他の形式でもよい。例えば、「特願昭５８−
０４９２４８ 機械的増幅機構」で提案された形式など
が使える。
以上説明したように、本発明は、電歪形のアクチュエー
タによって接点の開閉を行うことにより、定常状態にお
いては電力消費は極めて少く、したがって発熱量も少な
い。また、スイッチの構造は電気−機械工ネルギ変換系
の応答周波数も高いため電磁アクチュエータに比例して
１桁以上速いスイッチング時間（０，５ｍ５ｅｃ以下）
が得られる優れた効果がある。さらに、構造が簡単で信
頼性が高い利点がある。したがって、高信頼性が要求さ
れる通信装置の現用予備切替に用いた場合従来の電磁ア
クチュエータを用いたマイクロ波スイッチより優ること
になる。
タによって接点の開閉を行うことにより、定常状態にお
いては電力消費は極めて少く、したがって発熱量も少な
い。また、スイッチの構造は電気−機械工ネルギ変換系
の応答周波数も高いため電磁アクチュエータに比例して
１桁以上速いスイッチング時間（０，５ｍ５ｅｃ以下）
が得られる優れた効果がある。さらに、構造が簡単で信
頼性が高い利点がある。したがって、高信頼性が要求さ
れる通信装置の現用予備切替に用いた場合従来の電磁ア
クチュエータを用いたマイクロ波スイッチより優ること
になる。
第１図は本発明−実施例マイクロ波スイッチの平面図。
第２図は第１図のＡ−Ａ断面図。
第３図は第１図に示すマイクロ波スイッヂの他の切替状
態を示す図。 ■・・・本体ケース、３・・・本体カバー、７・・・固
定接点、８・・・可動中心導体、９・・・駆動棒、ＩＯ
・・・線状ばね、１１・・・連結棒、１２・・・支持点
、２０・・・アクチュエータ、２４・・・レバーアーム
、５・・・板ばね。 特許出願人 日本電気株式会社 代理人 弁理士 井 出 直 孝 篤 １ 図 爪 ２０ 手続補正書 昭和ｑ年５月２８日 昭和５９年特 許願第３６８１７ 号 ２ 発明の名称 マイクロ浸スイッナ ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 ５、 補正命令の日付（自発補正う ６ 補正により増加する発明の数 な し［１１特許請
求の範囲を別紙のとおり補正する。 （２）明細書第４頁第５行目 「固定設定」を「固定接点」と補正する。 （３） 明細書第９頁第１０行目 「固定設定７」を「固定接点７」と補正する。 （４）明細書第９頁第１４行目 「固定設定７」を「固定接点７」と補正する。 〔別 紙〕 〔特許請求の範囲〕 （１） 選択端子である二つの第一の固定接点と、上記
二つの第一の固定状一点の中間に設りられた共通端子で
ある一つの第二の固定接点と、この第二の固定接点と上
記二つの第一の挿１定接点との間にそれぞれ設けられ、
この第二の固定接点とこの二つの第一の固定接点との間
のいずれか一方との間を短絡する二つの可動中心導体と
、上記二つの可動中心導体をそれぞれ担持する二つの駆
動棒と を備えたマイクロ波スイッチにおいて、外部から加えら
れる電圧により長さが変位する電歪素子と、 この電歪素子の変位を拡大する二つのレバーアームと、 この二つのレバーアームの間に設しＪられた可撓性の梁
状部材と、 この梁状部材のほぼ中央に取イ１けられた連結棒と、 この連結棒と上記二つの駆動棒との間にそれぞれ係合す
る二つの揺動部材と、 この二つの揺動部材にそれぞれ設けられた支持点と を備えたことを特徴とするマイクロ波スイッチ。
態を示す図。 ■・・・本体ケース、３・・・本体カバー、７・・・固
定接点、８・・・可動中心導体、９・・・駆動棒、ＩＯ
・・・線状ばね、１１・・・連結棒、１２・・・支持点
、２０・・・アクチュエータ、２４・・・レバーアーム
、５・・・板ばね。 特許出願人 日本電気株式会社 代理人 弁理士 井 出 直 孝 篤 １ 図 爪 ２０ 手続補正書 昭和ｑ年５月２８日 昭和５９年特 許願第３６８１７ 号 ２ 発明の名称 マイクロ浸スイッナ ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 ５、 補正命令の日付（自発補正う ６ 補正により増加する発明の数 な し［１１特許請
求の範囲を別紙のとおり補正する。 （２）明細書第４頁第５行目 「固定設定」を「固定接点」と補正する。 （３） 明細書第９頁第１０行目 「固定設定７」を「固定接点７」と補正する。 （４）明細書第９頁第１４行目 「固定設定７」を「固定接点７」と補正する。 〔別 紙〕 〔特許請求の範囲〕 （１） 選択端子である二つの第一の固定接点と、上記
二つの第一の固定状一点の中間に設りられた共通端子で
ある一つの第二の固定接点と、この第二の固定接点と上
記二つの第一の挿１定接点との間にそれぞれ設けられ、
この第二の固定接点とこの二つの第一の固定接点との間
のいずれか一方との間を短絡する二つの可動中心導体と
、上記二つの可動中心導体をそれぞれ担持する二つの駆
動棒と を備えたマイクロ波スイッチにおいて、外部から加えら
れる電圧により長さが変位する電歪素子と、 この電歪素子の変位を拡大する二つのレバーアームと、 この二つのレバーアームの間に設しＪられた可撓性の梁
状部材と、 この梁状部材のほぼ中央に取イ１けられた連結棒と、 この連結棒と上記二つの駆動棒との間にそれぞれ係合す
る二つの揺動部材と、 この二つの揺動部材にそれぞれ設けられた支持点と を備えたことを特徴とするマイクロ波スイッチ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＋１１ 選択端子である二つの第一の固定接点と、上記
二つの第一の固定設定の中間に設けられた共通端子であ
る一つの第二の固定接点と、この第二の固定接点と上記
二つの第一の固定接点との間にそれぞれ設けられ、この
第二の固定接点とこの二つの第一の固定接点との間のい
ずれか一方との間を短絡する二つの可動中心導体と、上
記二つの可動中心導体をそれぞれ担持する二つの駆動棒
と を備えたマイクロ波スイッチにおいて、外部から加えら
れる電圧により長さが変位する電歪素子と、 この電歪素子の変位を拡大する二つのレバーアームと、 この二つのレバーアームの間に設けられた可撓性の梁状
部材と、 この梁状部材のほぼ中央に取イ１けられた連結棒と、 この連結棒と上記二つの駆動棒との間にそれぞれ係合す
る二つの揺動部材と、 この二つの揺動部材にそれぞれ設ｃｔられた支持点と を備えたことを特徴とするマイクロ波スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3681784A JPS60180035A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | マイクロ波スイツチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3681784A JPS60180035A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | マイクロ波スイツチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60180035A true JPS60180035A (ja) | 1985-09-13 |
| JPH0132614B2 JPH0132614B2 (ja) | 1989-07-07 |
Family
ID=12480310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3681784A Granted JPS60180035A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | マイクロ波スイツチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60180035A (ja) |
-
1984
- 1984-02-27 JP JP3681784A patent/JPS60180035A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0132614B2 (ja) | 1989-07-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4633118A (en) | Piezoelectrically actuated high-speed microwave switch | |
| US20050189204A1 (en) | Microengineered broadband electrical switches | |
| US3523260A (en) | Microstrip balun | |
| US3811102A (en) | Relay | |
| JPH0237121B2 (ja) | ||
| JPS60180035A (ja) | マイクロ波スイツチ | |
| US3213244A (en) | Motion translating and amplifying devices | |
| JPH0132615B2 (ja) | ||
| EP1432000B1 (en) | Millimeter wave switches | |
| EP0179067B1 (en) | Air-line microwave coaxial reversing switch | |
| JPS60216423A (ja) | 高周波同軸スイツチ | |
| JPS60257080A (ja) | 二導体間の電気接続装置 | |
| US3588410A (en) | Vacuum coaxial relay with tandemly movable contacts and stationary grounding contacts | |
| JPS6035842B2 (ja) | 伝送線路 | |
| JP4617147B2 (ja) | 高周波信号のスイッチング方法及び高周波信号用スイッチ | |
| JP2011070950A (ja) | Ｍｅｍｓ型ｒｆスイッチ | |
| JP2804869B2 (ja) | 開閉装置 | |
| US3534193A (en) | Transmission-line switch for cross-bar switching of very high power at radio frequencies | |
| US3500263A (en) | Parallel-plate perpendicular strip center conductor tem-mode transmission line apparatus | |
| US6963038B1 (en) | Liquid metal contact microrelay | |
| CN115662846A (zh) | 高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁mems开关 | |
| CN102856085A (zh) | Rf mems 开关及其制造方法 | |
| RU94031607A (ru) | Высоковольтный вакуумный переключатель | |
| JPS63148518A (ja) | リレ− | |
| JP3877856B2 (ja) | 半同軸空洞共振器 |