JPS60177537A - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明は、走査形の電子線照射装置に関する。

（ロ）従来技術 走査形の電子線照射装置は、スリット状の照射窓の長手
方向に電子線が往復走査されて実質的に線状の電子ビー
ムを形成するものである。

このような電子線照射装置の電子銃として、温度制御型
の電子銃が使用されているが、温度制御は熱的慣性のた
めに応答が遅いという欠点がある。

（ハ）ＬＩ的 この発明は、走査形の電子線照射装置において、温度制
御型の電子銃を使用した場合でも、電子ビームのオン・
オフ制御を迅速に行いうるようにすることを目的として
なされたものである。

（ニ）構成 この発明によれば、走査管に設けられたスリット状の照
射窓の長手方向に電子線が往復走査される走査形の電子
線照射装置において、照射窓の周囲に沿って走査管の側
壁に冷却ジャケットを付設すると共に、その冷却ジャケ
ット付設部分に対応する走査管内壁部分に電子線を入射
させるべく電子線を偏向させる偏向手段を設けたことを
特徴とする電子線照射装置が提供される。

（ホ）実施例 以下、図に示す実施例について説明するが、これにより
この発明が限定されるものではない。

図に示す（１１は、この発明の電子線照射装置の一実施
例の要部斜視図である。　（２）は〆詰度制御型電子銃
、（３）は加速管、（４）は走査管、　（５ａ）　（５
ｂ）は走査コイル、（６）は照射窓で、これらは従来公
知の構成要素と同様である。

（７ａ）　（７ｂ）は水冷ジャケットで、走査管（４）
の側壁に、照射窓（６）の長手方向（Ｙ方向）に沿って
、イ：１没されている。

また（８ａ）　（８ｂ）は偏向コイルで、走査コ・イル
（５ａ）　（５ｂ）　と直角に配置されている。　走査
コイル（５ａ）　（５ｂ）は電子線を照射窓の長平方向
くＹ方向）に偏向させるものであるが、（晶向コイル（
８ａ）（８ｂ）は電子線を照射窓の短手方向（Ｘ方向）
に偏向させるものである。

通常の電子線照射を行う際には、偏向コイル（８ａ）　
（８ｂ）では第２図（ａｌに示すように一定的な磁界と
して、第３１５！、＋（＾）に示すように電子線をＸ方
向において照射窓（６）の中央に位置させると共に、走
査コイル（５ａ）　（５ｂ）では第２図（ｂｌに示すよ
うに三角波的な磁界として、第３図（Ｂ）に示すように
電子線をＹ方向において往復走査する。

一方、電子線照射をオフするときには、偏向コイル（８
ａ）　（８ｂ）に第４図（ａｌに示すように矩形波的な
磁界を発生させ、第５図（八）に示すように電子線をＸ
方向において走査管（４）の内側壁の水冷ジャケット（
７ａ）　（７ｂ）付設部分に入射させると共に、走査コ
イル（５ａ）　（５ｂ）では前記電子線照射の際と同様
にＹ方向において、往復走査する。　走査管（４）の内
側壁は電子線の入射により発熱するが、水冷ジャゲット
　（７ａ）　（７ｂ）により冷却されるので問題はない
。

電子線照射をオフからオンにするときには、偏向コイル
（ｌｅａ）　（ｌｌｈ）による磁界を前記電子線照射を
行う際の場合のような直流磁界に戻せばよい。

以上のように、この電子線照射装置（１１では、電子銃
（２）を制御するのではなく、偏向コイル（８ａ）（８
ｂ）の磁界を制御して電子線照射をオン・オフするもの
であるから、応答速度は充分速くなる。

（へ）効果 この発明の電子線照射装置によれば、電子線を偏向して
走査管の内壁に入射させることで電子線照射をオフし、
またその逆動作によって電子線照射をオンにするから、
電子銃の制御応答性に依らず、迅速に電子線照射をオン
・オフできるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の電子線照射装置の一実施例の要部斜
視図、第２図は通常の電子線照射を行う際の磁界の特性
図、第３図は通常の電子線照射におりる電子線の説明図
、第４図は電子線照射をオフするときの第２図相当図、
第５図は電子線照射をオフするときの第３図相当図であ
る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■、走査管に設ＬＪられたスリット状の照射窓の長平方
   向に電子線が往復走査される走査形の電子線照射装置に
   おいて、 照射窓の周囲に沿って走査管の側壁に冷却ジャケットを
   付設すると共に、その冷却ジャヶソトイ」股部分に対応
   する走査管内壁部分に電子線を入射させるべく電子線を
   偏向させる偏向手段を設けたことを特徴とする電子線照
   射装置。