JPS60176171U - 板状キヤピラリ−カラム - Google Patents

板状キヤピラリ−カラム

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Publication number
JPS60176171U
JPS60176171U JP6522784U JP6522784U JPS60176171U JP S60176171 U JPS60176171 U JP S60176171U JP 6522784 U JP6522784 U JP 6522784U JP 6522784 U JP6522784 U JP 6522784U JP S60176171 U JPS60176171 U JP S60176171U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
capillary column
plate capillary
conduit
board
connection hole
Prior art date
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Pending
Application number
JP6522784U
Other languages
English (en)
Inventor
萩原　▲しよう▼介
康夫 高山
Original Assignee
ソ−ド株式会社
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Filing date
Publication date
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  • Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図は、本考案の板状キャピラリーカラムの一実施例のシ
リコンウェハと導管との接続部を説明するための概略の
断面図である。 １は、板状キャピラリーカラム、２はシリコンウェハ、
３はキャピラリーカラム溝、４は接続孔、５はこれらの
形成されている側の面、６はガラス板、７は接着面、８
はフランジ、９は導管、１０は粗面、１１は導管９の接
続面、１２は導管９の管孔、１３は接着剤である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板の導管に接続している側の面の接続孔周囲に粗面が
    具備されていることを特徴とする基板の接続孔孔周囲の
    面と導管の端面が接着剤を介して接着している板状キャ
    ピラリーカラム。
JP6522784U 1984-05-02 1984-05-02 板状キヤピラリ−カラム Pending JPS60176171U (ja)

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ID=30597033

Family Applications (1)

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JP6522784U Pending JPS60176171U (ja) 1984-05-02 1984-05-02 板状キヤピラリ−カラム

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5772336A (en) * 1980-10-24 1982-05-06 Hitachi Ltd Semiconductor device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5772336A (en) * 1980-10-24 1982-05-06 Hitachi Ltd Semiconductor device

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