JPS60174910A - 超音波顕微鏡の観察試料反射エコ−検出装置 - Google Patents
超音波顕微鏡の観察試料反射エコ−検出装置Info
- Publication number
- JPS60174910A JPS60174910A JP59030231A JP3023184A JPS60174910A JP S60174910 A JPS60174910 A JP S60174910A JP 59030231 A JP59030231 A JP 59030231A JP 3023184 A JP3023184 A JP 3023184A JP S60174910 A JPS60174910 A JP S60174910A
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- JP
- Japan
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- reflected echo
- echo
- sound
- reflected
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は超音波顕微鏡に係り、特に観察試料の表面反射
エコーの検出を能率的になし得るようにした超音波顕微
鏡の観察試料反射エコー検出装置に関するものである。
エコーの検出を能率的になし得るようにした超音波顕微
鏡の観察試料反射エコー検出装置に関するものである。
第１図は超音波顕微鏡の主要構成部を示す図である。超
音波の集束および送受は球面レンズｌにより行なってい
るが、その構造は円柱状の、溶融石英等を用いた物質の
一面を光学研磨し、その上に圧電薄膜（ＺｎＯ等）２を
上下電極３によりはさむものである。このようにサンド
イッチ構造になっている圧電薄膜２に、パルス発振器４
から発生されたパルス５を印加して超音波６を発生させ
る。
音波の集束および送受は球面レンズｌにより行なってい
るが、その構造は円柱状の、溶融石英等を用いた物質の
一面を光学研磨し、その上に圧電薄膜（ＺｎＯ等）２を
上下電極３によりはさむものである。このようにサンド
イッチ構造になっている圧電薄膜２に、パルス発振器４
から発生されたパルス５を印加して超音波６を発生させ
る。
また、他端部は口径０．１１１１〜１０朋程度の凹面体
の半球穴が形成され、この半球穴と試料７との間には超
音波６を試料７に伝播させるための媒質（例えば水）８
が満たされている。。
の半球穴が形成され、この半球穴と試料７との間には超
音波６を試料７に伝播させるための媒質（例えば水）８
が満たされている。。
圧電薄膜２によって発生した超音波６は、円柱の中を平
面波となって伝播する。この平面波が半球穴に達すると
使用物質である石英と水との音速の差により屈折作用が
生じ、試料７面上に集束した超音波６を照射することが
できる。逆に、試料７から反射されて鳴る超音波は球面
レンズｌにより集音整相され、平面波となって圧電薄膜
２に達し、ここで反射エコー（ＲＦ倍信号９に変換され
る。この反射エコー９を受信器１０で受信し、ここでダ
イオード検波してビデオ信号１１に変換し、ＣＲＴディ
スプレイνの入口信号として用いている。
面波となって伝播する。この平面波が半球穴に達すると
使用物質である石英と水との音速の差により屈折作用が
生じ、試料７面上に集束した超音波６を照射することが
できる。逆に、試料７から反射されて鳴る超音波は球面
レンズｌにより集音整相され、平面波となって圧電薄膜
２に達し、ここで反射エコー（ＲＦ倍信号９に変換され
る。この反射エコー９を受信器１０で受信し、ここでダ
イオード検波してビデオ信号１１に変換し、ＣＲＴディ
スプレイνの入口信号として用いている。
実際に試料７を観察する場合には、第２図に示す如炙パ
ルス発振器４の打ち出しパルス５．レンズ球面からの反
射エコー１０１および試料７からの反射エコー９をシン
クロスコープ１０３に表示し、試料７からの反射エコー
９の取り込みタイミングを調整できるゲート１０４によ
り試料表面位置を探し、試料７からの反射エコー９の振
れが最も大きい位置を試料表面とし観察する。
ルス発振器４の打ち出しパルス５．レンズ球面からの反
射エコー１０１および試料７からの反射エコー９をシン
クロスコープ１０３に表示し、試料７からの反射エコー
９の取り込みタイミングを調整できるゲート１０４によ
り試料表面位置を探し、試料７からの反射エコー９の振
れが最も大きい位置を試料表面とし観察する。
第１図の１０２はエコー処理部であり、シンクロスコー
プ１０３に第２図に示す波形を表示する。第２図の１０
７群はレンズ球面での多重反射等により表われるエコー
であり、試料７からの反射エコー９と混同しやすく、上
記ゲート１０４の位置合わせは多重反射等のエコーが多
い程困難になり、試行錯誤を繰り返すことになる。さら
に、一度試料７からの反射エコー９を探し当てても、そ
れを写真等によって記録してお（等の処置をしておかな
畷ては、球面レンズｌを取替える度にゲート１０４の位
置合わせ作業の必要があるという欠点がある。
プ１０３に第２図に示す波形を表示する。第２図の１０
７群はレンズ球面での多重反射等により表われるエコー
であり、試料７からの反射エコー９と混同しやすく、上
記ゲート１０４の位置合わせは多重反射等のエコーが多
い程困難になり、試行錯誤を繰り返すことになる。さら
に、一度試料７からの反射エコー９を探し当てても、そ
れを写真等によって記録してお（等の処置をしておかな
畷ては、球面レンズｌを取替える度にゲート１０４の位
置合わせ作業の必要があるという欠点がある。
本発明の目的は、レンズの種類により変化する試料から
の反射エコーの反射時間に応じてエコー取込み位置合わ
せ用のゲートを自動的に移動させて容易に試料表面エコ
ーを検出可能にすることにある。
の反射エコーの反射時間に応じてエコー取込み位置合わ
せ用のゲートを自動的に移動させて容易に試料表面エコ
ーを検出可能にすることにある。
本発明は、球面レンズ内の音の伝播速度■１により球面
レンズ部の音の往復時間Ｔ＋ （Ｔ＋ ＝ ２１１／Ｖ
１）と、同様に媒質内の音の伝播速度■２により媒質部
（Ｄ 音（Ｄ 往ｔｌＬ Ｒ間Ｔ２ （Ｔ２ ＝２ ｌ
！２／ｖ２ ） 請求め、（第４図参照）シンクロスコ
ープの時間軸に応じてその位置にマーキングを出力させ
るようにしたもので、従来のような試行錯誤なしに試料
からの反射エコーが確認でき、反射エコーの取り込みタ
イミングを調整するゲートをマーキング位置に移動させ
観察できるものである。
レンズ部の音の往復時間Ｔ＋ （Ｔ＋ ＝ ２１１／Ｖ
１）と、同様に媒質内の音の伝播速度■２により媒質部
（Ｄ 音（Ｄ 往ｔｌＬ Ｒ間Ｔ２ （Ｔ２ ＝２ ｌ
！２／ｖ２ ） 請求め、（第４図参照）シンクロスコ
ープの時間軸に応じてその位置にマーキングを出力させ
るようにしたもので、従来のような試行錯誤なしに試料
からの反射エコーが確認でき、反射エコーの取り込みタ
イミングを調整するゲートをマーキング位置に移動させ
観察できるものである。
以下、本発明の一実施例を第３図および第５図により説
明する。
明する。
第３図は基本的には第１図と同様であるが、シンクロス
コープ１０３に遅れ時間設定回路１０６および遅れ時間
発生回路１０５を付加した構成のものである。
コープ１０３に遅れ時間設定回路１０６および遅れ時間
発生回路１０５を付加した構成のものである。
第５図はシンクロスコープ１０３に表示された反射エコ
ー等の一例で、従来の第２図と異なるのはマーキング１
０８および１０９が表示されていることである。
ー等の一例で、従来の第２図と異なるのはマーキング１
０８および１０９が表示されていることである。
試料７を観察する場合、試料７からの反射エコー９を探
し、ゲート１０４で反射エコー９の取り込みタイミング
を調整する作業については前述のとおりであるが、本実
施例は、上記発明の詳細な説明した往復時間Ｔ１および
Ｔ２をあらかじめ遅れ時間設定回路１０６にセットして
おけば、遅れ時間発生回路１０５によりそれぞれ球面レ
ンズｌの半球穴よりの反射エコー１０１および試料７か
らの反射エコー９の位置にマーキング１０８ 、 １０
９が表示され、それにより試料からの反射エコー９をと
らえることができる。
し、ゲート１０４で反射エコー９の取り込みタイミング
を調整する作業については前述のとおりであるが、本実
施例は、上記発明の詳細な説明した往復時間Ｔ１および
Ｔ２をあらかじめ遅れ時間設定回路１０６にセットして
おけば、遅れ時間発生回路１０５によりそれぞれ球面レ
ンズｌの半球穴よりの反射エコー１０１および試料７か
らの反射エコー９の位置にマーキング１０８ 、 １０
９が表示され、それにより試料からの反射エコー９をと
らえることができる。
以上の如ｑ本実施例によれば、必要に応じて球面レンズ
１を取替えても、各球面レンズにおける所定の往復時間
を遅れ時間設定回路にあらかじめセットしその位置にマ
ーキング１（１８、１０９を出力しさえすれば、迷うこ
とな鳴容易に試料７からの反射エコー９をとらえること
ができ、作業性は格上 段に同地する。
１を取替えても、各球面レンズにおける所定の往復時間
を遅れ時間設定回路にあらかじめセットしその位置にマ
ーキング１（１８、１０９を出力しさえすれば、迷うこ
とな鳴容易に試料７からの反射エコー９をとらえること
ができ、作業性は格上 段に同地する。
上記一実施例は、マーキングを出力させてその位置にゲ
ートを移動させるようにしたものであるが、ゲートをあ
らかじめ試料からの反射エコ一部に設定することも可能
であり、その場合のマーキングの有無については、使に
易さ等から決定される。
ートを移動させるようにしたものであるが、ゲートをあ
らかじめ試料からの反射エコ一部に設定することも可能
であり、その場合のマーキングの有無については、使に
易さ等から決定される。
本発明によれば、超音波顕微鏡において容易に試料表面
エコーを検出することができるという効果がある。
エコーを検出することができるという効果がある。
第１図は超音波顕微鏡の主要構成を示す回路図、第２図
は従来のシンクロスコープ表示例の波形図、第３図は本
発明の一実施例を示す回路図、第４図は球面レンズと試
料との関係を示す正面図、第５図は本発明によるシンク
ロスコープ表示例の波形図である。 １０２・・・・・・エコー処理部、１０３・・・・・・
シンクロスコープ、１０５・・・・・・遅れ時間発生回
路、１０６・・・・・・遅れ時間設定回路、５・・・・
・・発振パルス、１０１・・・・・・球面レンズエコー
、１０７・・・・・・多ｉｉ射等のエコー、９才２図 才５図 第１頁の続き Ｏ発明者迫１）英資 下松市大字東豊井７９４番地 株式会社日立製作所笠戸
工場一
は従来のシンクロスコープ表示例の波形図、第３図は本
発明の一実施例を示す回路図、第４図は球面レンズと試
料との関係を示す正面図、第５図は本発明によるシンク
ロスコープ表示例の波形図である。 １０２・・・・・・エコー処理部、１０３・・・・・・
シンクロスコープ、１０５・・・・・・遅れ時間発生回
路、１０６・・・・・・遅れ時間設定回路、５・・・・
・・発振パルス、１０１・・・・・・球面レンズエコー
、１０７・・・・・・多ｉｉ射等のエコー、９才２図 才５図 第１頁の続き Ｏ発明者迫１）英資 下松市大字東豊井７９４番地 株式会社日立製作所笠戸
工場一
Claims (1)
- １、超音波顕微鏡において、観察試料からの反射エコー
を表示する装置に観察試料の反射エコーの反射時間に応
じて反射エコーのマーキングを出力する如き回路を設け
たことを特徴とする超音波顕微鏡の観察試料反射エコー
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59030231A JPS60174910A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 超音波顕微鏡の観察試料反射エコ−検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59030231A JPS60174910A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 超音波顕微鏡の観察試料反射エコ−検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60174910A true JPS60174910A (ja) | 1985-09-09 |
Family
ID=12297932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59030231A Pending JPS60174910A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 超音波顕微鏡の観察試料反射エコ−検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60174910A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61259168A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡のゲ−トタイミング切換装置 |
-
1984
- 1984-02-22 JP JP59030231A patent/JPS60174910A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61259168A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡のゲ−トタイミング切換装置 |
| JPH0580622B2 (ja) * | 1985-05-14 | 1993-11-09 | Olympus Optical Co |
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