JPH04301761A - 超音波物性測定装置 - Google Patents
超音波物性測定装置Info
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- JPH04301761A JPH04301761A JP3091022A JP9102291A JPH04301761A JP H04301761 A JPH04301761 A JP H04301761A JP 3091022 A JP3091022 A JP 3091022A JP 9102291 A JP9102291 A JP 9102291A JP H04301761 A JPH04301761 A JP H04301761A
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Landscapes
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波を利用して物質
の結晶方位や膜厚などの物性定数を測定する超音波物性
測定装置に関するものである。
の結晶方位や膜厚などの物性定数を測定する超音波物性
測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】最近、各方面で注目を浴びている超音波顕
微鏡は、超高周波技術・信号処理技術等の飛躍的な技術
進歩と数百ＭＨｚ以上の超音波発生技術との確立により
、分解能としてミクロンオーダーの画像が得られるよう
になった。すなわち、媒質が水で、周波数が１ＧＨｚの
場合、分解能は約１μｍとなり、光学顕微鏡と同等の分
解能が得られる。
微鏡は、超高周波技術・信号処理技術等の飛躍的な技術
進歩と数百ＭＨｚ以上の超音波発生技術との確立により
、分解能としてミクロンオーダーの画像が得られるよう
になった。すなわち、媒質が水で、周波数が１ＧＨｚの
場合、分解能は約１μｍとなり、光学顕微鏡と同等の分
解能が得られる。
【０００３】この種の超音波顕微鏡は、超音波を音響レ
ンズで集束し、その集束した超音波を試料面に当て、こ
れを機械的に走査し、試料の音響特性に応じた音波を集
束して電気信号に変換する。この信号の強度を記録して
、ＣＲＴ上に表示するものである。
ンズで集束し、その集束した超音波を試料面に当て、こ
れを機械的に走査し、試料の音響特性に応じた音波を集
束して電気信号に変換する。この信号の強度を記録して
、ＣＲＴ上に表示するものである。
【０００４】このように、音響レンズを用いて超音波の
集束波を発生させ、測定対象物である固体試料の表面か
らの反射波を音響レンズで再びとらえて音響−電気変換
を行う装置は公知である。
集束波を発生させ、測定対象物である固体試料の表面か
らの反射波を音響レンズで再びとらえて音響−電気変換
を行う装置は公知である。
【０００５】現在、反射型超音波顕微鏡を用いて、試料
のミクロあるいはマイクロな弾性的性質を定量的に測定
しようとする研究がなされている。この超音波顕微鏡に
おいては、２次元走査を行わずに集束超音波ビームの焦
点の位置をＺ軸方向に移動させながらトランスデューサ
の出力を観測すると、周期的に変化する曲線が得られる
。この曲線は、固体試料を構成する物質によって独特な
変化をすることが知られており、Ｖ（Ｚ） 曲線と呼ば
れている。このＶ（Ｚ） 曲線の周期から固体試料の表
面波音速などの音響的性質を調べることができる。
のミクロあるいはマイクロな弾性的性質を定量的に測定
しようとする研究がなされている。この超音波顕微鏡に
おいては、２次元走査を行わずに集束超音波ビームの焦
点の位置をＺ軸方向に移動させながらトランスデューサ
の出力を観測すると、周期的に変化する曲線が得られる
。この曲線は、固体試料を構成する物質によって独特な
変化をすることが知られており、Ｖ（Ｚ） 曲線と呼ば
れている。このＶ（Ｚ） 曲線の周期から固体試料の表
面波音速などの音響的性質を調べることができる。
【０００６】Ｖ（Ｚ） 曲線は、試料の反射率から計算
により求めることができるが、測定対象物が異方性物質
の場合には、反射率の計算が複雑で、最近になって計算
例が確立してきた。等方性物質におけるＶ（Ｚ） 測定
は、計算機によるシュミレーション結果との比較により
行われている。一方、異方性物質におけるＶ（Ｚ） 測
定は、比較的計算が容易な試料表面のレイリー音速によ
る解析が行われているに過ぎない。
により求めることができるが、測定対象物が異方性物質
の場合には、反射率の計算が複雑で、最近になって計算
例が確立してきた。等方性物質におけるＶ（Ｚ） 測定
は、計算機によるシュミレーション結果との比較により
行われている。一方、異方性物質におけるＶ（Ｚ） 測
定は、比較的計算が容易な試料表面のレイリー音速によ
る解析が行われているに過ぎない。
【０００７】上記Ｖ（Ｚ） 曲線は物質の音響的性質を
調べる上で有効な情報として注目され、試料の表面波音
速により異方性性物質の物性測定を解析する試みがなさ
れている。上記試みに関する技術は、文献『Ｍａｔｅｒ
ｉａｌ Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ ｂｙ
Ｌｉｎｅ−Ｆｏｃｕｓ−Ｂｅａｍ』（ＩＥＥＥ
ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＳＯＮＩＣ
ＡＮＤ ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣＳ．ＶＯＬ．ＳＵ−３
２．ＮＯ．２．Ｐ１８９〜２１２ ＭＡＲＣＨ １
９８５）に記載されている。また、等方性物質の膜構造
物質の表面波音速計算に関する技術は、文献『Ａｃｏｕ
ｓｔｉｃ Ｍｉｃｒｏ−Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ』（ＩＥ
ＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＳＯＮ
ＩＣ ＡＮＤ ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣＳ．ＶＯＬ．
ＳＵ−３２．ＮＯ．２．Ｐ２２５〜２３４ ＭＡＲＣ
Ｈ １９８５）に記載されている。また、異方性物質
の反射率計算に関する技術は、文献『Ｒｅｆｌｅｃｔｉ
ｏｎ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｎｕｌｌ ｏｆ
ａｃｏｕｓｔｉｃ ｗａｖｅｓ ａ ｌｉｑｕｉ
ｄ−ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ ｓｏｌｉｄ ｉｎｔ
ｅｒｆａｃｅ』（Ｊ．Ａｃｏｕｓｔ．Ｓｏｃ．Ａｍ．Ｖ
ｏｌ．８５，Ｎｏ．１，Ｐ１〜１０ Ｊａｎｕａｒｙ
１９８９）に記載されている。
調べる上で有効な情報として注目され、試料の表面波音
速により異方性性物質の物性測定を解析する試みがなさ
れている。上記試みに関する技術は、文献『Ｍａｔｅｒ
ｉａｌ Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ ｂｙ
Ｌｉｎｅ−Ｆｏｃｕｓ−Ｂｅａｍ』（ＩＥＥＥ
ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＳＯＮＩＣ
ＡＮＤ ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣＳ．ＶＯＬ．ＳＵ−３
２．ＮＯ．２．Ｐ１８９〜２１２ ＭＡＲＣＨ １
９８５）に記載されている。また、等方性物質の膜構造
物質の表面波音速計算に関する技術は、文献『Ａｃｏｕ
ｓｔｉｃ Ｍｉｃｒｏ−Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ』（ＩＥ
ＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＳＯＮ
ＩＣ ＡＮＤ ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣＳ．ＶＯＬ．
ＳＵ−３２．ＮＯ．２．Ｐ２２５〜２３４ ＭＡＲＣ
Ｈ １９８５）に記載されている。また、異方性物質
の反射率計算に関する技術は、文献『Ｒｅｆｌｅｃｔｉ
ｏｎ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｎｕｌｌ ｏｆ
ａｃｏｕｓｔｉｃ ｗａｖｅｓ ａ ｌｉｑｕｉ
ｄ−ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ ｓｏｌｉｄ ｉｎｔ
ｅｒｆａｃｅ』（Ｊ．Ａｃｏｕｓｔ．Ｓｏｃ．Ａｍ．Ｖ
ｏｌ．８５，Ｎｏ．１，Ｐ１〜１０ Ｊａｎｕａｒｙ
１９８９）に記載されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術では、異方性物質（またはその層状構造）対す
るＶ（Ｚ） 曲線による解析（結晶方位あるいは膜厚測
定など）について、物質表面での表面波音速の計算結果
しかよりどころがなく、Ｖ（Ｚ） 曲線から得られる情
報を有効に活用することができなかった。
従来技術では、異方性物質（またはその層状構造）対す
るＶ（Ｚ） 曲線による解析（結晶方位あるいは膜厚測
定など）について、物質表面での表面波音速の計算結果
しかよりどころがなく、Ｖ（Ｚ） 曲線から得られる情
報を有効に活用することができなかった。
【０００９】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
もので、測定対象物質である試料の膜厚や結晶方位など
の物性定数を高速かつ容易に測定し、しかもＶ（Ｚ）
曲線の測定データから得られる情報を有効に活用するこ
とができる超音波物性測定装置を提供することを目的と
する。
もので、測定対象物質である試料の膜厚や結晶方位など
の物性定数を高速かつ容易に測定し、しかもＶ（Ｚ）
曲線の測定データから得られる情報を有効に活用するこ
とができる超音波物性測定装置を提供することを目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、音響レンズを用いて超音波を測定対象である試料に
集束させ、その試料からの反射波を再び音響レンズでと
らえて音響−電気変換を行い、その反射信号を時間分割
して記録する超音波物性測定装置において、前記音響レ
ンズと前記試料との距離を変化させ、試料からの反射波
の出力を複素Ｖ（Ｚ） 信号として取込んでＶ（Ｚ）
曲線データを求める手段と、即知のＶ（Ｚ） 曲線計算
手段に即知のパラーメータと未知のパラーメータを入れ
て求められたＶ（Ｚ） 曲線データを記憶する記憶手段
と、前記試料から得られたＶ（Ｚ） 曲線の測定データ
と前記記憶手段に記憶されたＶ（Ｚ） 曲線の計算デー
タとを比較する比較手段とにより超音波物性測定装置を
構成した。
に、音響レンズを用いて超音波を測定対象である試料に
集束させ、その試料からの反射波を再び音響レンズでと
らえて音響−電気変換を行い、その反射信号を時間分割
して記録する超音波物性測定装置において、前記音響レ
ンズと前記試料との距離を変化させ、試料からの反射波
の出力を複素Ｖ（Ｚ） 信号として取込んでＶ（Ｚ）
曲線データを求める手段と、即知のＶ（Ｚ） 曲線計算
手段に即知のパラーメータと未知のパラーメータを入れ
て求められたＶ（Ｚ） 曲線データを記憶する記憶手段
と、前記試料から得られたＶ（Ｚ） 曲線の測定データ
と前記記憶手段に記憶されたＶ（Ｚ） 曲線の計算デー
タとを比較する比較手段とにより超音波物性測定装置を
構成した。
【００１１】
【作用】本発明によれば、Ｖ（Ｚ） 曲線計算手段に即
知のパラメータとして、音響レンズニ関する定数以外に
測定対象物質のスティフネス行列，結晶方位名度の物性
定数として入れ、膜厚または結晶軸の向きをパラメータ
にして複数のＶ（Ｚ） 曲線を求めておくことにより、
測定データに近似する計算データから測定対象物質の結
晶方位や膜厚などの物性定数を求めることができる。
知のパラメータとして、音響レンズニ関する定数以外に
測定対象物質のスティフネス行列，結晶方位名度の物性
定数として入れ、膜厚または結晶軸の向きをパラメータ
にして複数のＶ（Ｚ） 曲線を求めておくことにより、
測定データに近似する計算データから測定対象物質の結
晶方位や膜厚などの物性定数を求めることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１３】図１は、本発明にかかる超音波物性測定装
置の一実施例を示すブロック図である。図１において、
１は超音波物性測定装置の本体であり、防振台２の上に
設置された門型フレーム３に音響レンズ４を備えたＺ軸
回転機構５が設けられている。このＺ軸回転機構５は、
Ｚドライバ６からの制御信号を受けて回転駆動し、先端
部に取り付けられた音響レンズ４をＺ方向（上下方向）
に移動せしめ、音響レンズ４と防振台２上の傾き調整付
き試料台７に載置された試料８との距離（Ｚ）を所定の
ピッチで調整できるものとなっている。
置の一実施例を示すブロック図である。図１において、
１は超音波物性測定装置の本体であり、防振台２の上に
設置された門型フレーム３に音響レンズ４を備えたＺ軸
回転機構５が設けられている。このＺ軸回転機構５は、
Ｚドライバ６からの制御信号を受けて回転駆動し、先端
部に取り付けられた音響レンズ４をＺ方向（上下方向）
に移動せしめ、音響レンズ４と防振台２上の傾き調整付
き試料台７に載置された試料８との距離（Ｚ）を所定の
ピッチで調整できるものとなっている。
【００１４】９は中央処理装置であり、各部の動作制御
および音響レンズ４と試料８との距離（Ｚ）を変化させ
たときの試料８からの反射波の出力Ｖを、複素Ｖ（Ｚ）
信号として取り込むことでＶ（Ｚ） 曲線データを処
理できるものとなっている。
および音響レンズ４と試料８との距離（Ｚ）を変化させ
たときの試料８からの反射波の出力Ｖを、複素Ｖ（Ｚ）
信号として取り込むことでＶ（Ｚ） 曲線データを処
理できるものとなっている。
【００１５】この中央処理装置９からの制御信号によっ
て制御される送受信回路１０からは、音響レンズ４の上
端面に配設された図示しない圧電トランスデューサーに
高周波パルス信号が出力される。このとき、圧電トラン
スデューサーにて電気−音響変換されて発生した超音波
は、音響レンズ４によって集束され、カプラ液体（水）
１１を伝搬して測定対象物質である試料８に放射される
。
て制御される送受信回路１０からは、音響レンズ４の上
端面に配設された図示しない圧電トランスデューサーに
高周波パルス信号が出力される。このとき、圧電トラン
スデューサーにて電気−音響変換されて発生した超音波
は、音響レンズ４によって集束され、カプラ液体（水）
１１を伝搬して測定対象物質である試料８に放射される
。
【００１６】そして、試料８によって反射，散乱された
超音波は、同じ音響レンズ４により集音されて圧電トラ
ンスデューサーにて音響−電気変換され、その変換され
た電気信号は送受信回路１０を介して複素Ｖ（Ｚ） 信
号として中央処理装置９に取り込まれる。
超音波は、同じ音響レンズ４により集音されて圧電トラ
ンスデューサーにて音響−電気変換され、その変換され
た電気信号は送受信回路１０を介して複素Ｖ（Ｚ） 信
号として中央処理装置９に取り込まれる。
【００１７】一方、中央処理装置９からは、Ｚ軸回転機
構５に対して制御信号が送られる。
構５に対して制御信号が送られる。
【００１８】１２は、コンピュータなどの計算装置１３
を用いて即知のＶ（Ｚ） 曲線計算手段に即知のパラメ
ータと未知のパラメータを入れて求めた複数のＶ（Ｚ）
曲線の計算データを記憶手段としてのメモリーである
。
を用いて即知のＶ（Ｚ） 曲線計算手段に即知のパラメ
ータと未知のパラメータを入れて求めた複数のＶ（Ｚ）
曲線の計算データを記憶手段としてのメモリーである
。
【００１９】１４は、中央処理装置９により処理された
Ｖ（Ｚ） 曲線の測定データとを比較する比較装置であ
る。 この比較装置１４としては、パソコンを用いることがで
き、例えば、最小二乗法によってメモリー１２に記憶さ
れた計算データと中央処理装置９からの測定データとを
比較し、測定データに近似する計算データを抽出するこ
とができる。
Ｖ（Ｚ） 曲線の測定データとを比較する比較装置であ
る。 この比較装置１４としては、パソコンを用いることがで
き、例えば、最小二乗法によってメモリー１２に記憶さ
れた計算データと中央処理装置９からの測定データとを
比較し、測定データに近似する計算データを抽出するこ
とができる。
【００２０】上記計算装置１３は、以下に述べる反射率
の計算とＶ（Ｚ） 曲線の計算とを行う。
の計算とＶ（Ｚ） 曲線の計算とを行う。
【００２１】測定対象物を構成する物質の反射率の計算
手順について説明する。反射率の（ｋｘ，ｋｙ ）での
値Ｒ（ｋｘ，ｋｙ ）を求める。スティフネス行列ＣＩ
Ｊ（Ｉ，Ｊ＝１〜６）をもつ物質の、数１方向に伝播す
る音波の粒子速度ベクトルＵは数２を満たす。ただし、
数３を条件とする。
手順について説明する。反射率の（ｋｘ，ｋｙ ）での
値Ｒ（ｋｘ，ｋｙ ）を求める。スティフネス行列ＣＩ
Ｊ（Ｉ，Ｊ＝１〜６）をもつ物質の、数１方向に伝播す
る音波の粒子速度ベクトルＵは数２を満たす。ただし、
数３を条件とする。
【００２２】いま、水と膜の界面に、水の側から波数、
数４の波が入射したときを考える。入射面をｘ−ｚ 面
として図２のように座標を設定し、数４の水平成分をκ
とすると、波数のｘ 成分の保存則により、（０），（
１），（２） にたつ他の全ての波の波数のｘ 成分は
κに限られる。したがって、各物質内には図２のように
合計１１のモードの波がたつことになる。その成分は、
数２式で求められる。 各成分の変位ベクトル，波数，大きさを数５のように書
く。（ｉ は媒質の番号、ｊ は各媒質にたつ波の番号
１〜３がＺ＜０の向き。なお、波がどちら向きに進むか
はポインティングベクトルの計算によって決める。）
数４の波が入射したときを考える。入射面をｘ−ｚ 面
として図２のように座標を設定し、数４の水平成分をκ
とすると、波数のｘ 成分の保存則により、（０），（
１），（２） にたつ他の全ての波の波数のｘ 成分は
κに限られる。したがって、各物質内には図２のように
合計１１のモードの波がたつことになる。その成分は、
数２式で求められる。 各成分の変位ベクトル，波数，大きさを数５のように書
く。（ｉ は媒質の番号、ｊ は各媒質にたつ波の番号
１〜３がＺ＜０の向き。なお、波がどちら向きに進むか
はポインティングベクトルの計算によって決める。）
【
００２３】また、媒質（ｉ） のモードｊ の波の変位
によってＺ＝Ｚ０ でｘｙ平面におこる力を、数６と書
く。（ストレステンソルと粒子速度ベクトルの間の関係
式は、数７である。）
００２３】また、媒質（ｉ） のモードｊ の波の変位
によってＺ＝Ｚ０ でｘｙ平面におこる力を、数６と書
く。（ストレステンソルと粒子速度ベクトルの間の関係
式は、数７である。）
【００２４】すると、境界条件は、数８の連立方程式か
ら、数９とおいて解を求めると、反射波、数１０、数１
１がでる。
ら、数９とおいて解を求めると、反射波、数１０、数１
１がでる。
【００２５】つづいて、Ｖ（Ｚ） 曲線の計算手順につ
いて説明する。
いて説明する。
【００２６】ｂｆｐ での音場は、フーリエ光学により
計算する。これを、数１２とおく、するとフーリエ光学
の公式よりサンプル位置での音場のフーリエ変換は、数
１３となる。だだし、（ｆ：焦点距離、数１４：水中の
波数、数１５）
計算する。これを、数１２とおく、するとフーリエ光学
の公式よりサンプル位置での音場のフーリエ変換は、数
１３となる。だだし、（ｆ：焦点距離、数１４：水中の
波数、数１５）
【００２７】サンプル上で反射した直後は、数１６とな
り、再びｂｆｐ に戻ったときの音場は結局、数１７と
なる。
り、再びｂｆｐ に戻ったときの音場は結局、数１７と
なる。
【００２８】簡単のため、ここでトランスデューサの径
にわたって積分すると、Ｖ（Ｚ） 曲線の１点での値が
でる。
にわたって積分すると、Ｖ（Ｚ） 曲線の１点での値が
でる。
【００２９】以下に、膜厚または結晶軸を求める場合の
パラメータのふり方について述べる。
パラメータのふり方について述べる。
【００３０】膜厚を求める場合、固定パラメータは各層
とサブストレートの材質で決まる弾性定数ＣＩＪ（Ｉ，
Ｊ＝１〜６）と結晶方位および音響レンズに関するパラ
メータで、未知のパラメータは各層の膜厚である。
とサブストレートの材質で決まる弾性定数ＣＩＪ（Ｉ，
Ｊ＝１〜６）と結晶方位および音響レンズに関するパラ
メータで、未知のパラメータは各層の膜厚である。
【００３１】結晶方位の測定の場合、固定パラメータは
弾性定数および音響レンズのパラメータで、未知のパラ
メータは結晶方位である。結晶方位測定の際、球面レン
ズとシリンドリカルレンズは状況に応じて使いわける。 例えば、結晶面（１１１）からのずれ量を求める場合は
、球面レンズで行えばよいが、方位を特定する必要があ
る場合は、シリンドリカルレンズが必要となる。
弾性定数および音響レンズのパラメータで、未知のパラ
メータは結晶方位である。結晶方位測定の際、球面レン
ズとシリンドリカルレンズは状況に応じて使いわける。 例えば、結晶面（１１１）からのずれ量を求める場合は
、球面レンズで行えばよいが、方位を特定する必要があ
る場合は、シリンドリカルレンズが必要となる。
【００３２】このように、測定対象となる試料の固定パ
ラメータと未知のパラメータを適当な範囲でふって上記
計算手段によりＶ（Ｚ） 曲線のデータを求めると、図
４〜７に示すＶ（Ｚ）曲線が得られる。
ラメータと未知のパラメータを適当な範囲でふって上記
計算手段によりＶ（Ｚ） 曲線のデータを求めると、図
４〜７に示すＶ（Ｚ）曲線が得られる。
【００３３】このようにして得られたＶ（Ｚ） 曲線の
計算データをメモリー１２に記録し、これらの計算デー
タと中央処理装置９からの測定データとを比較し、測定
データに近似する計算データを抽出することで、この計
算データに基づいて測定対象となる試料に含まれている
情報を正確に求めることができる。
計算データをメモリー１２に記録し、これらの計算デー
タと中央処理装置９からの測定データとを比較し、測定
データに近似する計算データを抽出することで、この計
算データに基づいて測定対象となる試料に含まれている
情報を正確に求めることができる。
【００３４】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、要旨を変更しない範囲において種々変形し
て実施することができる。
のではなく、要旨を変更しない範囲において種々変形し
て実施することができる。
【００３５】
【数１】
【００３６】
【数２】
【００３７】
【数３】
【００３８】
【数４】
【００３９】
【数５】
【００４０】
【数６】
【００４１】
【数７】
【００４２】
【数８】
【００４３】
【数９】
【００４４】
【数１０】
【００４５】
【数１１】
【００４６】
【数１２】
【００４７】
【数１３】
【００４８】
【数１４】
【００４９】
【数１５】
【００５０】
【数１６】
【００５１】
【数１７】
【００５２】
【発明の効果】以上に詳述したように本発明によれば、
測定対象物質である試料の膜厚や結晶方位などの物性定
数を高速かつ容易に測定し、しかもＶ（Ｚ） 曲線の測
定データから得られる情報を有効に活用することができ
る超音波物性測定装置を提供することができる。
測定対象物質である試料の膜厚や結晶方位などの物性定
数を高速かつ容易に測定し、しかもＶ（Ｚ） 曲線の測
定データから得られる情報を有効に活用することができ
る超音波物性測定装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例にかかる超音波物性測定装置
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施例に用いられる反射率の計算法
を説明する概念図である。
を説明する概念図である。
【図３】本発明の一実施例に用いられるＶ（Ｚ） 曲線
の計算法を説明する概念図である。
の計算法を説明する概念図である。
【図４】膜厚０μｍ，結晶方位（１００）のＶ（Ｚ）
曲線を示す図である。
曲線を示す図である。
【図５】膜厚１μｍ，結晶方位（１００）のＶ（Ｚ）
曲線を示す図である。
曲線を示す図である。
【図６】膜厚２μｍ，結晶方位（１００）のＶ（Ｚ）
曲線を示す図である。
曲線を示す図である。
【図７】膜厚０μｍ，結晶方位（１１１）のＶ（Ｚ）
曲線を示す図である。
曲線を示す図である。
１…本体
２…防振台
３…門型フレーム
４…音響レンズ
５…Ｚ軸回転機構
６…Ｚドライバ
７…試料台
８…試料
９…中央処理装置
１０…送受信回路
１１…カプラ液体
１２…メモリー
１３…：計算装置
１４…比較装置。
Claims (1)
- 【請求項１】 音響レンズを用いて超音波を測定対象
である試料に集束させ、その試料からの反射波を再び音
響レンズでとらえて音響−電気変換を行い、その反射信
号を時間分割して記録する超音波物性測定装置において
、前記音響レンズと前記試料との距離を変化させ、試料
からの反射波の出力を複素Ｖ（Ｚ） 信号として取込ん
でＶ（Ｚ） 曲線データを求める手段と、即知のＶ（Ｚ
）曲線計算手段に即知のパラーメータと未知のパラーメ
ータを入れて求められたＶ（Ｚ） 曲線データを記憶す
る記憶手段と、前記試料から得られたＶ（Ｚ） 曲線の
測定データと前記記憶手段に記憶されたＶ（Ｚ） 曲線
の計算データとを比較する比較手段とを具備し、前記記
憶手段から前記測定データに近似する計算データを抽出
することを特徴とする超音波物性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3091022A JPH04301761A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 超音波物性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3091022A JPH04301761A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 超音波物性測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04301761A true JPH04301761A (ja) | 1992-10-26 |
Family
ID=14014918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3091022A Withdrawn JPH04301761A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 超音波物性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04301761A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015045081A1 (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-02 | 株式会社日立製作所 | 超音波による非破壊測定装置および方法 |
| CN108871245A (zh) * | 2017-05-10 | 2018-11-23 | 发那科株式会社 | 测量装置 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP3091022A patent/JPH04301761A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015045081A1 (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-02 | 株式会社日立製作所 | 超音波による非破壊測定装置および方法 |
| CN108871245A (zh) * | 2017-05-10 | 2018-11-23 | 发那科株式会社 | 测量装置 |
| JP2018189582A (ja) * | 2017-05-10 | 2018-11-29 | ファナック株式会社 | 計測装置 |
| US10502563B2 (en) | 2017-05-10 | 2019-12-10 | Fanuc Corporation | Measurement device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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