JPS60173848A - ダイボンデイング装置 - Google Patents
ダイボンデイング装置Info
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- JPS60173848A JPS60173848A JP2859284A JP2859284A JPS60173848A JP S60173848 A JPS60173848 A JP S60173848A JP 2859284 A JP2859284 A JP 2859284A JP 2859284 A JP2859284 A JP 2859284A JP S60173848 A JPS60173848 A JP S60173848A
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- support ring
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- H01L2924/07802—Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
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- Computer Hardware Design (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
この発明は、粘着シートに対し、各ペレットに分割、整
列されるウェハを被着させ、粘着シート上の各ペレット
を吸着、摘出して基板上に接着するグイボンディング装
置に関する。
列されるウェハを被着させ、粘着シート上の各ペレット
を吸着、摘出して基板上に接着するグイボンディング装
置に関する。
［背以技術］
従来のダイボンディング装置としては、例えばｉ１図〜
第４図に示すようなものがある。
第４図に示すようなものがある。
第１図は従来のダイボンディング装置の一部を示す概略
断面図、第２図（Ａ）、（Ｂ）および第３図は粘着シー
トに対し各ペレットに分割、整列されるウェハを被着さ
せ、各ベレット間に間隔を形成する過程を示す断面図、
第４図は粘着シート」−の各ペレット間に間隔を形成し
、該粘着シートを支持リング上に支持した状態を示す斜
視図である。
断面図、第２図（Ａ）、（Ｂ）および第３図は粘着シー
トに対し各ペレットに分割、整列されるウェハを被着さ
せ、各ベレット間に間隔を形成する過程を示す断面図、
第４図は粘着シート」−の各ペレット間に間隔を形成し
、該粘着シートを支持リング上に支持した状態を示す斜
視図である。
タイボディング装置は、半動体素子等の素子群をその表
面に対し２次元的に配置、形成させたウェハを、粘着シ
ート上に被着させ、該素子群を素子片としての各ペレッ
トに切断、分離し、粘着シート上の各ペレットをコレッ
トにより吸着、摘出して基板に対し接着する装置である
。ダイボンディング装置ｌは、架台２に対しＸＹ方向に
移動するＸＹテーブル３を有してなり、該ＸＹテーブル
３上に固定された支持フレーム４に対し、ウェハ５を被
着させた粘着シート６の外周部位を支持する支持部７を
備えてなる支持リング８を取着自在としている。コレッ
ト９は、支持リング８の上方に位１６シ、粘着シート６
上のウェハ５に対し矢示Ａ方向に上下動可能としている
。コレット９の先端の開１」部１０は、ウェハ５を切断
、分離させた各ペレット１１を保持可能なものとし、開
口部ｌＯの形状を各ペレット１１の形状に合わせた方形
状として真空配管１２によりエアを矢示Ｂ方向に吸引し
、開口部１０により各ペレット１１を吸着、摘出するよ
うにしている。開口部１０により各ペレット１１を吸着
する際、コレット９は下方へ移動し、これとともに粘着
シート６の裏面よりニードル１３をペレットｌｌに対し
、突きＬげ可能としている。すなわち、このニードル１
３は粘着シート６の裏面で矢示り方向に」二下動可能で
あり、各ペレット１１を突き上げることにより、粘着シ
ート６からのペレット１１の剥離を容易にし、コレット
９によるペレット１１の吸着を円滑化させている。
面に対し２次元的に配置、形成させたウェハを、粘着シ
ート上に被着させ、該素子群を素子片としての各ペレッ
トに切断、分離し、粘着シート上の各ペレットをコレッ
トにより吸着、摘出して基板に対し接着する装置である
。ダイボンディング装置ｌは、架台２に対しＸＹ方向に
移動するＸＹテーブル３を有してなり、該ＸＹテーブル
３上に固定された支持フレーム４に対し、ウェハ５を被
着させた粘着シート６の外周部位を支持する支持部７を
備えてなる支持リング８を取着自在としている。コレッ
ト９は、支持リング８の上方に位１６シ、粘着シート６
上のウェハ５に対し矢示Ａ方向に上下動可能としている
。コレット９の先端の開１」部１０は、ウェハ５を切断
、分離させた各ペレット１１を保持可能なものとし、開
口部ｌＯの形状を各ペレット１１の形状に合わせた方形
状として真空配管１２によりエアを矢示Ｂ方向に吸引し
、開口部１０により各ペレット１１を吸着、摘出するよ
うにしている。開口部１０により各ペレット１１を吸着
する際、コレット９は下方へ移動し、これとともに粘着
シート６の裏面よりニードル１３をペレットｌｌに対し
、突きＬげ可能としている。すなわち、このニードル１
３は粘着シート６の裏面で矢示り方向に」二下動可能で
あり、各ペレット１１を突き上げることにより、粘着シ
ート６からのペレット１１の剥離を容易にし、コレット
９によるペレット１１の吸着を円滑化させている。
粘着シート６に被着された各ペレ’ｙ ） ｌ １は、
コレット９による吸着作業あるいは不良素子片の選別作
業を容易にするため、粘着シート６上に規則正しく整列
されかつ切断、分離させた各ペレ・ント１１間に間隔を
形成する必要がある。すなわちウェハ５の切断は、ダイ
ヤモンドポイントによるスクライブ後、これを各ペレ、
、）１１に破折分離する方法が採られ、各ペレット１１
間に間隔を形成せず、ウェハ５を破折したままの状態で
は、破折面が不規則なため、例えば１つのペレ’ｙ ）
１１を摘出すると周囲のベレツ）１１に影響を与え、
ペレッ）１１の整列が乱れるという不都合があるためで
ある。各ペレット１１間の間隔形成は、先ず第２図（Ａ
）に示すように破折前のウニ／＼５を粘着シート６に被
着させ、粘着シート６のウェア５の被着部分の外周部位
を、上下一対のリングからなる固定治具１４で挟持固定
し、次いでウニ／＼５を各ペレット１１に破折分離する
。この状態で１１７−トＲ−、ｔ−’籾０〜ＢＯ℃に加
熱１−１冷えないうちに直ちに第２図（Ｂ）に示すよう
に円形状台１５上に載置した支持リング８の支持部７で
粘着シート６のウェハ５の被着部分の外周部位を支持さ
せ、次いで矢示Ｅ方向に引っ張り、引き伸ばす。
コレット９による吸着作業あるいは不良素子片の選別作
業を容易にするため、粘着シート６上に規則正しく整列
されかつ切断、分離させた各ペレ・ント１１間に間隔を
形成する必要がある。すなわちウェハ５の切断は、ダイ
ヤモンドポイントによるスクライブ後、これを各ペレ、
、）１１に破折分離する方法が採られ、各ペレット１１
間に間隔を形成せず、ウェハ５を破折したままの状態で
は、破折面が不規則なため、例えば１つのペレ’ｙ ）
１１を摘出すると周囲のベレツ）１１に影響を与え、
ペレッ）１１の整列が乱れるという不都合があるためで
ある。各ペレット１１間の間隔形成は、先ず第２図（Ａ
）に示すように破折前のウニ／＼５を粘着シート６に被
着させ、粘着シート６のウェア５の被着部分の外周部位
を、上下一対のリングからなる固定治具１４で挟持固定
し、次いでウニ／＼５を各ペレット１１に破折分離する
。この状態で１１７−トＲ−、ｔ−’籾０〜ＢＯ℃に加
熱１−１冷えないうちに直ちに第２図（Ｂ）に示すよう
に円形状台１５上に載置した支持リング８の支持部７で
粘着シート６のウェハ５の被着部分の外周部位を支持さ
せ、次いで矢示Ｅ方向に引っ張り、引き伸ばす。
さらに第３図に示すように引き伸ばされた粘着シート６
の外周部位を支持リング８の側部に形成した凹溝１６で
、ゴムリング１７を介してチャ、。
の外周部位を支持リング８の側部に形成した凹溝１６で
、ゴムリング１７を介してチャ、。
りさせ、次いでゴムリング１７の下方に位置する粘着シ
ート６の外周部分を切除する。これにより、支持リング
８上の粘着シート６は、中心から外方へと均一に引き伸
ばされ、第４図に示すように各ベレット１１間に均一な
間隔が形成され、さらにこの状態で支持リング８をＸＹ
テーブル３上の支持フレーム４に取着させ、ＸＹテーブ
ル３を移動調整させれば、分割、整列されたペレット１
１をコレット９により円滑に吸着、摘出することが可能
となる。ペレット１１を吸着したコレットは、不図示の
基板上へと移動し、基板の所定マウント点で吸着解放し
、ペレッ）１１を所定マウント点に接着させるようにし
ている。
ート６の外周部分を切除する。これにより、支持リング
８上の粘着シート６は、中心から外方へと均一に引き伸
ばされ、第４図に示すように各ベレット１１間に均一な
間隔が形成され、さらにこの状態で支持リング８をＸＹ
テーブル３上の支持フレーム４に取着させ、ＸＹテーブ
ル３を移動調整させれば、分割、整列されたペレット１
１をコレット９により円滑に吸着、摘出することが可能
となる。ペレット１１を吸着したコレットは、不図示の
基板上へと移動し、基板の所定マウント点で吸着解放し
、ペレッ）１１を所定マウント点に接着させるようにし
ている。
しかしながら上記のような従来のグイポンディング装置
ｌにあっては、ウェハ５を被着させた粘着シート６の引
き伸ばし作業を円形状台１５上に載置した支持リング８
の上で行い、さらに引き伸ばされた粘着シート６の外周
部位のチャック作業を支持リング８の側部に形成した凹
溝１６とゴムリング１７を介して行っていたのでこれら
の作業に多くの手間を要し、またこれら一連の作業は、
グイボンディング装置１とは、別の場所で行い、」二足
一連の作業を経た後、粘着シート６を支持した支持リン
グ８を、グイボンディング装置１の支持フレーム４に取
着しなければならなかったので、それら取着作業でも多
くの手間を要するものであった。
ｌにあっては、ウェハ５を被着させた粘着シート６の引
き伸ばし作業を円形状台１５上に載置した支持リング８
の上で行い、さらに引き伸ばされた粘着シート６の外周
部位のチャック作業を支持リング８の側部に形成した凹
溝１６とゴムリング１７を介して行っていたのでこれら
の作業に多くの手間を要し、またこれら一連の作業は、
グイボンディング装置１とは、別の場所で行い、」二足
一連の作業を経た後、粘着シート６を支持した支持リン
グ８を、グイボンディング装置１の支持フレーム４に取
着しなければならなかったので、それら取着作業でも多
くの手間を要するものであった。
［発明の目的］
本発明は、粘着シートの外周部位のチャック作Ｉ業並び
に粘着シートの引き伸ばし作業を自動化し、グイボンデ
ィング装置における作業性の向上を図ることを目的とし
ている。
に粘着シートの引き伸ばし作業を自動化し、グイボンデ
ィング装置における作業性の向上を図ることを目的とし
ている。
［発明の構成］
上記目的を達成するために本発明の第１は、架台に対し
ＸＹ方向に移動するＸＹテーブルと、各ペレットに分割
、整列されるウェハを被着する粘着シートと、ＸＹテー
ブルに支持され、粘着シー）・のウェハ被着部分の外周
部位を支持する支持部を備えた支持リング、とを有して
なるグイポンディング装置において、粘着シートにおけ
る支持リングの支持部によって支持される部分の外周部
位を保持するウェハリングと、ウェハリングおよび粘着
シーＩ・の外周部位をチャンクするとともに、支持リン
グの支持部の支持面に対し略直交する方向に相対移動し
て粘着シー］・を引き伸ばし可能とするチャック・引き
伸ばし手段とを備え、分割、整列された各ペレ・シト間
に間隔を形成可能としたものである。また本発明の第２
は、架台に対しＸＹ方向に移動するＸＹテーブルと、各
ペレットに分割、整列されるウェハを被着する粘着シー
トと、ＸＹテーブルに支持され、粘着シートのウェハ被
着部分の外周部位を支持する支持部を備えた支持リング
、とを有してなるグイポンディング装置において、粘着
シートにおける支持リングの支持部によって支持される
部分の外周部位を保持するウェハリングと、ウェハリン
グおよび粘着シートの外周部位をチャックするとともに
、支持リングの支持部の支持面に対し略直交する方向に
相対移動して粘着シートを引き伸ばし可能とす−るチャ
ックφ引き伸ばし手段と、支持リングをＸＹテーブルに
対して周方向に回転可能に支持させ、該支持リングの回
転位置の調整により、粘着シートに被着された各ペレッ
トの整列角度をＸＹテーブルに対し調整自在とする角度
調整手段とを備えたものとしている。
ＸＹ方向に移動するＸＹテーブルと、各ペレットに分割
、整列されるウェハを被着する粘着シートと、ＸＹテー
ブルに支持され、粘着シー）・のウェハ被着部分の外周
部位を支持する支持部を備えた支持リング、とを有して
なるグイポンディング装置において、粘着シートにおけ
る支持リングの支持部によって支持される部分の外周部
位を保持するウェハリングと、ウェハリングおよび粘着
シーＩ・の外周部位をチャンクするとともに、支持リン
グの支持部の支持面に対し略直交する方向に相対移動し
て粘着シー］・を引き伸ばし可能とするチャック・引き
伸ばし手段とを備え、分割、整列された各ペレ・シト間
に間隔を形成可能としたものである。また本発明の第２
は、架台に対しＸＹ方向に移動するＸＹテーブルと、各
ペレットに分割、整列されるウェハを被着する粘着シー
トと、ＸＹテーブルに支持され、粘着シートのウェハ被
着部分の外周部位を支持する支持部を備えた支持リング
、とを有してなるグイポンディング装置において、粘着
シートにおける支持リングの支持部によって支持される
部分の外周部位を保持するウェハリングと、ウェハリン
グおよび粘着シートの外周部位をチャックするとともに
、支持リングの支持部の支持面に対し略直交する方向に
相対移動して粘着シートを引き伸ばし可能とす−るチャ
ックφ引き伸ばし手段と、支持リングをＸＹテーブルに
対して周方向に回転可能に支持させ、該支持リングの回
転位置の調整により、粘着シートに被着された各ペレッ
トの整列角度をＸＹテーブルに対し調整自在とする角度
調整手段とを備えたものとしている。
［発明の詳細な説明］
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第５図は本発明の一実施例に係るグイボンディング装置
の全体を示す概略平面図、第６図は本発明の一実施例に
係るグイボンディング装置の一部を拡大して示す平面図
、第７図は第６図の■−■線に沿う断面相当図、第８図
および第９図はそれぞれ第７図の要部を示すものであり
、第８図は粘着シートの引き伸ばし前の状態を示す断面
図、第９図はチャック・引き伸ばし手段により、粘着シ
ー；・を引き伸ばした状態を示す断面図である。
の全体を示す概略平面図、第６図は本発明の一実施例に
係るグイボンディング装置の一部を拡大して示す平面図
、第７図は第６図の■−■線に沿う断面相当図、第８図
および第９図はそれぞれ第７図の要部を示すものであり
、第８図は粘着シートの引き伸ばし前の状態を示す断面
図、第９図はチャック・引き伸ばし手段により、粘着シ
ー；・を引き伸ばした状態を示す断面図である。
このグイポンディング装置は、ＸＹテーブル２３４−に
分割、整列されてなる各ペレット３２をコレット３３で
吸着、摘出し、コレット３３により吸着されたペレット
３２を位置決め装置１８の位置決め台１８Ａ上へ移載後
、ペレット３２を位置決め台１８Ａ上で整列させ、さら
に整列されたペレット３２をＸ、Ｙ方向に駆動可能なマ
ウントユこット１９により、搬送ラインＶ」−に搬送さ
れる基。
分割、整列されてなる各ペレット３２をコレット３３で
吸着、摘出し、コレット３３により吸着されたペレット
３２を位置決め装置１８の位置決め台１８Ａ上へ移載後
、ペレット３２を位置決め台１８Ａ上で整列させ、さら
に整列されたペレット３２をＸ、Ｙ方向に駆動可能なマ
ウントユこット１９により、搬送ラインＶ」−に搬送さ
れる基。
板２０上のマウント位置２１にでラントさせるものであ
る。
る。
グイポンディング装置４のＸＹテーブル２３は、架台２
２」二をＸＹ方向に移動可能としており、該ＸＹテーブ
ル２３上に支持リング２４を回動可能に支持する支持枠
部２５を備えた支持枠台２６をボルト？７により固定さ
せている。支持枠部２５に支持された支持リング２４は
、支持部２８を備え、該支持部２８にて半動体素子等の
素子群をその表面に配置、形成させたウェハ２９を被着
させた粘着シーＩ・３０のウェハ２９被着部分の外周部
位を支持するようにしている。
２」二をＸＹ方向に移動可能としており、該ＸＹテーブ
ル２３上に支持リング２４を回動可能に支持する支持枠
部２５を備えた支持枠台２６をボルト？７により固定さ
せている。支持枠部２５に支持された支持リング２４は
、支持部２８を備え、該支持部２８にて半動体素子等の
素子群をその表面に配置、形成させたウェハ２９を被着
させた粘着シーＩ・３０のウェハ２９被着部分の外周部
位を支持するようにしている。
粘着シート３０上のウェハ２９は、予め、ダイヤモンド
ポイント等により、グイシングされ、この状ｊハ１でウ
ェハ２９を粘着シート３０に被着させた後、各素子を素
子片としての各ペレット３２に破折分離するようにして
いる。ウェハ２９を被着した粘着シート３０の上部には
、コレット３３が矢示Ｆ方向に上下動可能な状態で設け
られ、不図示の真空配管によりエアを吸引して先端の開
口部３４にて分割、整列されたペレット３２を吸着、摘
出するようにしている。開口部３４により各ペレット３
２を吸着する際、コレット３３は下方へ移動し、これと
ともに粘着シート３０の裏面より、矢示Ｇ方向に上下動
可能なニードル３５がペレット３２を突き上げ可能とし
ている。開口部３４の形状は各ペレット３２の形状に合
わせて方形状のものとし、断面は略台形状としている。
ポイント等により、グイシングされ、この状ｊハ１でウ
ェハ２９を粘着シート３０に被着させた後、各素子を素
子片としての各ペレット３２に破折分離するようにして
いる。ウェハ２９を被着した粘着シート３０の上部には
、コレット３３が矢示Ｆ方向に上下動可能な状態で設け
られ、不図示の真空配管によりエアを吸引して先端の開
口部３４にて分割、整列されたペレット３２を吸着、摘
出するようにしている。開口部３４により各ペレット３
２を吸着する際、コレット３３は下方へ移動し、これと
ともに粘着シート３０の裏面より、矢示Ｇ方向に上下動
可能なニードル３５がペレット３２を突き上げ可能とし
ている。開口部３４の形状は各ペレット３２の形状に合
わせて方形状のものとし、断面は略台形状としている。
粘着シート３０における支持リング２４の支持部２８に
よって支持される部分の外周部位には、該外周部位を保
持する状態でウェハリング３６が被着されている。支持
リング２４の支持部２８の外周位置には、ウェハリング
３６および粘着シート３０の外周部位をチャックすると
ともに、支持リング２４の支持部２８の支持面３７に対
し略直交する方向［Ｈ方向］に相対移動して粘着シート
３０を引き伸ばし可能とするチャック・引き伸ばし手段
３８を設けている。
よって支持される部分の外周部位には、該外周部位を保
持する状態でウェハリング３６が被着されている。支持
リング２４の支持部２８の外周位置には、ウェハリング
３６および粘着シート３０の外周部位をチャックすると
ともに、支持リング２４の支持部２８の支持面３７に対
し略直交する方向［Ｈ方向］に相対移動して粘着シート
３０を引き伸ばし可能とするチャック・引き伸ばし手段
３８を設けている。
チャック・引き伸ばし手段３８は、ウェハリング３６お
よび粘着シート３０の外周部位を下方より支持し、支持
リング２４の支持部２８の外周側面３９と当接する状態
で」二下動するインナリング４０とウェハリング３６お
よび粘着シート３０の外周部位を−に方より押付け、イ
ンナリング４０との間でそれらを挟持可能とするクラン
パ４１を備え、インデリック４０の外周側面４２と当接
する状態で上下動するアウタリング４３とからなる。。
よび粘着シート３０の外周部位を下方より支持し、支持
リング２４の支持部２８の外周側面３９と当接する状態
で」二下動するインナリング４０とウェハリング３６お
よび粘着シート３０の外周部位を−に方より押付け、イ
ンナリング４０との間でそれらを挟持可能とするクラン
パ４１を備え、インデリック４０の外周側面４２と当接
する状態で上下動するアウタリング４３とからなる。。
インナリング４０は、支持リング２４に対し。
ボルト４４を介して取着され、インナリング４０と支持
リング２４との間のボルト４４の軸４５には圧縮スプリ
ング４６が介装されている。すなわちボルト４４の軸４
５は、支持リング２４に対しインナリング４０を」二下
動する際のガイド軸としている。アウタリング４３は、
内周側面４７をインナリング４０の外周側面４２との当
接面とし、外周側面４８には、四部４９が形成されてい
る。
リング２４との間のボルト４４の軸４５には圧縮スプリ
ング４６が介装されている。すなわちボルト４４の軸４
５は、支持リング２４に対しインナリング４０を」二下
動する際のガイド軸としている。アウタリング４３は、
内周側面４７をインナリング４０の外周側面４２との当
接面とし、外周側面４８には、四部４９が形成されてい
る。
該凹部４９は、支持枠台２６に支持、固定されたシリン
ダブラケット５０に取着されてなるシリンダ５１の駆動
力により４二下動するクランプアーム５２の先端部に形
成された凸部５３を嵌入可能としている。クランプアー
ム５２は、支持枠台２６に支持された軸受部５４に対し
回動自在に支持され、また該クランプアーム５２は、ア
ウタリング４３の外周側面４８に沿う状態で形成され、
該クランプアーム５２の先端部の２ケ所に形成された凸
部５３は、アウタリング４３の中心線Ｍ上の凹部４９内
に位置させている。クランプアーム５２は、軸受部５４
を中心として上記凸部５３の反対側をシリンダ５１のシ
リンダロッド５５と係合可能な保合アーム部５６とし、
該係合アーム部５６の先端には、シリンダロッド５５の
先端に形成された係合凸部５７を係入可能とする長孔５
８が形成され、保合アーム部５６とシリンダロッド５５
を係合している。シリンダ５１は、シリンダロッド５５
を」二下方向「Ｊ方向］に駆動可能とし、シリンダロッ
ド５５の先端に形成された係合凸部５７を上下方向［Ｊ
方向］に移動可能としている。シリンダブラケット５０
には、シリンダロッド５５が必要以上に上方移動しない
ようにストフパ５９が設けられている。シリンクロ１．
ド５５の」二下動は、係合凸部５７と長孔５８との係合
によりクランプアーム５２側に伝達され、クランプアー
ム５２の先端部の凸部５３を矢示に方向に」二下切可能
としている。すなわちクランプアーム５２は軸受部５４
を支点としてでこ運動し、いうなればシリンダロッド５
５の係合凸部５７を力点、クランプアーム５２の凸部５
３を作用点として、シリンダロッド５５の上下動をクラ
ンプアーム５２の凸部５３の上下動とし、ひいては該凸
部５３と凹部４９の嵌合によりアウタリング４３を上下
動させている。
ダブラケット５０に取着されてなるシリンダ５１の駆動
力により４二下動するクランプアーム５２の先端部に形
成された凸部５３を嵌入可能としている。クランプアー
ム５２は、支持枠台２６に支持された軸受部５４に対し
回動自在に支持され、また該クランプアーム５２は、ア
ウタリング４３の外周側面４８に沿う状態で形成され、
該クランプアーム５２の先端部の２ケ所に形成された凸
部５３は、アウタリング４３の中心線Ｍ上の凹部４９内
に位置させている。クランプアーム５２は、軸受部５４
を中心として上記凸部５３の反対側をシリンダ５１のシ
リンダロッド５５と係合可能な保合アーム部５６とし、
該係合アーム部５６の先端には、シリンダロッド５５の
先端に形成された係合凸部５７を係入可能とする長孔５
８が形成され、保合アーム部５６とシリンダロッド５５
を係合している。シリンダ５１は、シリンダロッド５５
を」二下方向「Ｊ方向］に駆動可能とし、シリンダロッ
ド５５の先端に形成された係合凸部５７を上下方向［Ｊ
方向］に移動可能としている。シリンダブラケット５０
には、シリンダロッド５５が必要以上に上方移動しない
ようにストフパ５９が設けられている。シリンクロ１．
ド５５の」二下動は、係合凸部５７と長孔５８との係合
によりクランプアーム５２側に伝達され、クランプアー
ム５２の先端部の凸部５３を矢示に方向に」二下切可能
としている。すなわちクランプアーム５２は軸受部５４
を支点としてでこ運動し、いうなればシリンダロッド５
５の係合凸部５７を力点、クランプアーム５２の凸部５
３を作用点として、シリンダロッド５５の上下動をクラ
ンプアーム５２の凸部５３の上下動とし、ひいては該凸
部５３と凹部４９の嵌合によりアウタリング４３を上下
動させている。
これにより第８図に示されるようにインナリング４０と
クランパ４１間の間隙Ｗにウェハリング３６および粘着
シート３０の外周部位を位置せしめ、次いでシリンダ５
１を駆動させ、シリンダロンド５５を上方移動させれば
クランプアーム５２の凸部５３は軸受部５４を中心とし
て下方移動し、支持リング２４の支持部２８の支持面３
７に対し、略直交する方向［Ｈ方向］でアウタリング４
３が下方移動可能となる。この結果先ずインナリング４
０とクランパ４１間でウェハリング３６および粘着シー
ト３０の外周部位が挟持され、それらのチャックが可能
となり、さらにシリンダ５１を駆動させ凸部５３を下方
移動させれば、アウタリング４３およびインナリング４
０は、第９図に示すように下方移動し、チャックした粘
着シーｈ３０は中心Ｐより外方へと引き伸ばされ、第６
図および第７図に示されるように各ペレット３２間に間
隔が形成され、粘着シート３０上に各ペレット３２が等
間隔で分割、整列されることとなる。
クランパ４１間の間隙Ｗにウェハリング３６および粘着
シート３０の外周部位を位置せしめ、次いでシリンダ５
１を駆動させ、シリンダロンド５５を上方移動させれば
クランプアーム５２の凸部５３は軸受部５４を中心とし
て下方移動し、支持リング２４の支持部２８の支持面３
７に対し、略直交する方向［Ｈ方向］でアウタリング４
３が下方移動可能となる。この結果先ずインナリング４
０とクランパ４１間でウェハリング３６および粘着シー
ト３０の外周部位が挟持され、それらのチャックが可能
となり、さらにシリンダ５１を駆動させ凸部５３を下方
移動させれば、アウタリング４３およびインナリング４
０は、第９図に示すように下方移動し、チャックした粘
着シーｈ３０は中心Ｐより外方へと引き伸ばされ、第６
図および第７図に示されるように各ペレット３２間に間
隔が形成され、粘着シート３０上に各ペレット３２が等
間隔で分割、整列されることとなる。
ＸＹテーブル２３上の支持枠台２６には、支持枠台２６
に対し支持リング２４を周方向［Ｌ方向］に回転可能と
し、支持リング２４の回転位置の調整により、粘着シー
）３０に被着された各ペレット３２の整列角度θを調整
自在とする角度調整手段６１が設けられている。角度調
整手段６１は、支持枠台２６に固着されたモータブラケ
ット６２に対しステッピングモータ６３を支持させてな
り、支持リング２４の外周位置に設けたセクタギヤ６４
とモータシャフト６５に装着させたビニオン６６を噛み
合わせ、ステ・ンピングモータ６３の回転力により、支
持リング２４を支持枠部２５に対して回転させている。
に対し支持リング２４を周方向［Ｌ方向］に回転可能と
し、支持リング２４の回転位置の調整により、粘着シー
）３０に被着された各ペレット３２の整列角度θを調整
自在とする角度調整手段６１が設けられている。角度調
整手段６１は、支持枠台２６に固着されたモータブラケ
ット６２に対しステッピングモータ６３を支持させてな
り、支持リング２４の外周位置に設けたセクタギヤ６４
とモータシャフト６５に装着させたビニオン６６を噛み
合わせ、ステ・ンピングモータ６３の回転力により、支
持リング２４を支持枠部２５に対して回転させている。
これにより、各ペレット３２の整列角度Ｏを調整させ、
方形状の開口部３４を有するコレット３３により、各ペ
レット３２を吸着し易いように、開口部３４とペレット
３２の矢示Ｓ方向よりみた投影形状を一致させるように
している。
方形状の開口部３４を有するコレット３３により、各ペ
レット３２を吸着し易いように、開口部３４とペレット
３２の矢示Ｓ方向よりみた投影形状を一致させるように
している。
次に作用を説明する。
先ず粘着シート３０に被着されたウニ／＼２９を各ペレ
ット３２に破折し、該粘着シート３０におけるウェハ２
９の被着部の外方位置にウニ／スリング３６を被着させ
る。この状態で粘着シート３０を５０〜８０’Ｃに加熱
し、冷えないうちに直ちにインナリング４０とクランパ
４１間の間隙にウニ／スリング３６および粘着シート３
０の外周部位を位置させるように矢示Ｎ方向から粘着シ
ート３０を支持リング２４上に挿入する。次いでシリン
ダ５１を駆動させクランプアーム５２の先端部の凸部５
３を第７図中のＱの点からＲまで押下げ、インナリンク
４０およびアウタリング４３を支持リング２４の支持部
２８の支持面３７と略直交する方向［Ｈ方向］で押下げ
る。これにより第９図に示されるようにウェハリング３
６および粘着シート３０の外周部位がインナリング４０
とクランノく４１間でチャックされ、粘着シート３０が
中心Ｐから外方へと引き伸ばされ、粘着シー）３０上の
各ペレット３２間に間隔が形成される。
ット３２に破折し、該粘着シート３０におけるウェハ２
９の被着部の外方位置にウニ／スリング３６を被着させ
る。この状態で粘着シート３０を５０〜８０’Ｃに加熱
し、冷えないうちに直ちにインナリング４０とクランパ
４１間の間隙にウニ／スリング３６および粘着シート３
０の外周部位を位置させるように矢示Ｎ方向から粘着シ
ート３０を支持リング２４上に挿入する。次いでシリン
ダ５１を駆動させクランプアーム５２の先端部の凸部５
３を第７図中のＱの点からＲまで押下げ、インナリンク
４０およびアウタリング４３を支持リング２４の支持部
２８の支持面３７と略直交する方向［Ｈ方向］で押下げ
る。これにより第９図に示されるようにウェハリング３
６および粘着シート３０の外周部位がインナリング４０
とクランノく４１間でチャックされ、粘着シート３０が
中心Ｐから外方へと引き伸ばされ、粘着シー）３０上の
各ペレット３２間に間隔が形成される。
次に角度調整手段６１により各ペレット３２の整列角度
θの調整を行う。すなわち例えば整列角度が第６図に示
すように基準線Ｔよりθ°分だけずれていた場合、ステ
ッピングモータ６３を作動させ、このずれを補正するよ
うにし、コレラＩ・３３により各ペレット３２が吸着し
易い状ＩＥにする。この状態でコレット３３を作動させ
れば安定した状態で各ペレット３２の吸着、摘出作業が
可能となる。
θの調整を行う。すなわち例えば整列角度が第６図に示
すように基準線Ｔよりθ°分だけずれていた場合、ステ
ッピングモータ６３を作動させ、このずれを補正するよ
うにし、コレラＩ・３３により各ペレット３２が吸着し
易い状ＩＥにする。この状態でコレット３３を作動させ
れば安定した状態で各ペレット３２の吸着、摘出作業が
可能となる。
［発明の効果］
以上のように本発明の第１は、架台に対しＸＹ方向に移
動するＸＹテーブルと、各ペレットに分割、整列される
ウェハを被着する粘着シートと、ＸＹテーブルに支持さ
れ、粘着シートのウェハ被着部分の外周部位を支持する
支持部を備えた支持リング、とを有してなるダイポンデ
ィング装置において、粘着シートにおける支持リングの
支持部によって支持される部分の外周部位を保持するウ
ェハリングと、ウェハリングおよび粘着シートの外周部
位をチャックするとともに、支持リングの支持部の支持
面に対し略直交する方向に相対移動して粘着シートを引
き伸ばし可能とするチャック・引き伸ばし手段とを備え
、分割、整列された各ペレット間に間隔を形成可能とし
たので、粘着シートの外周部位のチャック作業並びに粘
着シートの引き伸ばし作業が自動化し、ダンポンディン
グ装置における作業性の向上を図ることができるという
効果を有する。
動するＸＹテーブルと、各ペレットに分割、整列される
ウェハを被着する粘着シートと、ＸＹテーブルに支持さ
れ、粘着シートのウェハ被着部分の外周部位を支持する
支持部を備えた支持リング、とを有してなるダイポンデ
ィング装置において、粘着シートにおける支持リングの
支持部によって支持される部分の外周部位を保持するウ
ェハリングと、ウェハリングおよび粘着シートの外周部
位をチャックするとともに、支持リングの支持部の支持
面に対し略直交する方向に相対移動して粘着シートを引
き伸ばし可能とするチャック・引き伸ばし手段とを備え
、分割、整列された各ペレット間に間隔を形成可能とし
たので、粘着シートの外周部位のチャック作業並びに粘
着シートの引き伸ばし作業が自動化し、ダンポンディン
グ装置における作業性の向上を図ることができるという
効果を有する。
また、本発明の第２は、架台に対しＸＹ方向に移動する
ＸＹテーブルと、各ペレットに分割、整列されるウェハ
を被着する粘着シートと、ＸＹテーブルに支持され、粘
着シートのウェハ被着部分の外周部位を支持する支持部
を備えた支持リング、とを有してなるダイポンディング
装置において、粘着シートにおける支持リングの支持部
によって支持される部分の外周部位を保持するウェハリ
ングと、ウェハリングおよび粘着シートの外周部位をチ
ャックするとともに、支持リングの支持部の支持面に対
し略直交する方向に相対移動して粘着シートを引き伸ば
し可能とするチャック・引き伸ばし手段と、支持リング
なＸＹテーブルに対して周方向に回転可能に支持させ、
該支持リングの回転位置の調整により、粘着シートに被
着された各ペレットの整列角度をＸＹテーブルに対し調
整自在とする角度調整手段とを備えたものとし、粘着シ
ートの外周部位のチャック作業並びに粘着シートの引き
伸ばし作業が自動化され、加えて各ペレットの整列角度
の調整も自動化されることにより、ダンボンディング装
置における作業性の向上を一層図ることができるという
効果を有する。
ＸＹテーブルと、各ペレットに分割、整列されるウェハ
を被着する粘着シートと、ＸＹテーブルに支持され、粘
着シートのウェハ被着部分の外周部位を支持する支持部
を備えた支持リング、とを有してなるダイポンディング
装置において、粘着シートにおける支持リングの支持部
によって支持される部分の外周部位を保持するウェハリ
ングと、ウェハリングおよび粘着シートの外周部位をチ
ャックするとともに、支持リングの支持部の支持面に対
し略直交する方向に相対移動して粘着シートを引き伸ば
し可能とするチャック・引き伸ばし手段と、支持リング
なＸＹテーブルに対して周方向に回転可能に支持させ、
該支持リングの回転位置の調整により、粘着シートに被
着された各ペレットの整列角度をＸＹテーブルに対し調
整自在とする角度調整手段とを備えたものとし、粘着シ
ートの外周部位のチャック作業並びに粘着シートの引き
伸ばし作業が自動化され、加えて各ペレットの整列角度
の調整も自動化されることにより、ダンボンディング装
置における作業性の向上を一層図ることができるという
効果を有する。
第１図は従来のグイポンディング装置の一部を示す概略
断面図、第２図（Ａ）、（Ｂ）および第３図は粘着シー
トに対し各ペレットに分割、整列されるウェハを被着さ
せ、破折、分離された各ペレット間に間隔を形成する過
程を示す断面図、第４図は粘着シート上の各ペレット間
に間隔を形成し、該粘着シートを支持リング上に支持し
た状態を示す斜視図、第５図は本発明の一実施例に係る
グイポンディング装置の全体を示す概略平面図、第６図
は本発明の一実施例に係るダイポンディング装置の一部
を拡大して示す平面図、第７図は第６図の■−■線に沿
う断面相当図、第８図および第９図はそれぞれ第７図中
の要部を示すものであり、第８図は粘着シートの引き伸
ばし前の状態を示す断面図、第９図はチャック・引き伸
ばし手段により、粘着シートを引き伸ばした状態を示す
断面図である。 ２．２２−・・架台、３．２３ ・−Ｘ Ｙ ７−プル
、５．２９・・・ウェハ、６．３ｏ・・・粘着シート、
７．２８・・・支持部、８．２４・・・支持リング、１
１．３２・・・ペレット、３６・・・ウェハリング、３
７・・・支持面、３８・・・チャック会引き伸ばし手段
、６１・・・角度調整手段、Ｈ・・・直交する方向、Ｌ
・・・周方向、θ・・・整列角度。 代理人 弁理士 塩 川 修 治 第１図 第２図 第３図 第５図 ｑ 手続補正書（自発） 昭和５８年 ５月３７日 特許庁長官 若杉和夫殿 １、）Ｊ￥件の表示 昭和５９年特許順第２８５９２号 ２、発明の名称 グイボンディング装置 ３、補正をする者 ４１件との関係 特許出願人 名 称 東芝精機株式会社 ４、代理人 〒１０５ 住 所 東京都港区虎ノ門−丁目２３番７号第２３森ビ
ル ８階 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補圧の内容 （１）明細書第３頁第１３行目の「半動体」を「半導体
」に改める。 （２）明細書第１１頁第１行目の「半動体」を「半導体
」に改める。 （３）明細書第１１頁第５行目から第９行目の「粘着シ
ート３０〜ようにしている。」を［ウェハ２９は、粘着
シー）・３０に被着させた後に、ダイヤモンドポイント
等を用いてスクライブされ、さらに、タイクングされて
各素子を素子片としての各ペレットに破折分離するよう
にしている。」に改める。 以１−
断面図、第２図（Ａ）、（Ｂ）および第３図は粘着シー
トに対し各ペレットに分割、整列されるウェハを被着さ
せ、破折、分離された各ペレット間に間隔を形成する過
程を示す断面図、第４図は粘着シート上の各ペレット間
に間隔を形成し、該粘着シートを支持リング上に支持し
た状態を示す斜視図、第５図は本発明の一実施例に係る
グイポンディング装置の全体を示す概略平面図、第６図
は本発明の一実施例に係るダイポンディング装置の一部
を拡大して示す平面図、第７図は第６図の■−■線に沿
う断面相当図、第８図および第９図はそれぞれ第７図中
の要部を示すものであり、第８図は粘着シートの引き伸
ばし前の状態を示す断面図、第９図はチャック・引き伸
ばし手段により、粘着シートを引き伸ばした状態を示す
断面図である。 ２．２２−・・架台、３．２３ ・−Ｘ Ｙ ７−プル
、５．２９・・・ウェハ、６．３ｏ・・・粘着シート、
７．２８・・・支持部、８．２４・・・支持リング、１
１．３２・・・ペレット、３６・・・ウェハリング、３
７・・・支持面、３８・・・チャック会引き伸ばし手段
、６１・・・角度調整手段、Ｈ・・・直交する方向、Ｌ
・・・周方向、θ・・・整列角度。 代理人 弁理士 塩 川 修 治 第１図 第２図 第３図 第５図 ｑ 手続補正書（自発） 昭和５８年 ５月３７日 特許庁長官 若杉和夫殿 １、）Ｊ￥件の表示 昭和５９年特許順第２８５９２号 ２、発明の名称 グイボンディング装置 ３、補正をする者 ４１件との関係 特許出願人 名 称 東芝精機株式会社 ４、代理人 〒１０５ 住 所 東京都港区虎ノ門−丁目２３番７号第２３森ビ
ル ８階 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補圧の内容 （１）明細書第３頁第１３行目の「半動体」を「半導体
」に改める。 （２）明細書第１１頁第１行目の「半動体」を「半導体
」に改める。 （３）明細書第１１頁第５行目から第９行目の「粘着シ
ート３０〜ようにしている。」を［ウェハ２９は、粘着
シー）・３０に被着させた後に、ダイヤモンドポイント
等を用いてスクライブされ、さらに、タイクングされて
各素子を素子片としての各ペレットに破折分離するよう
にしている。」に改める。 以１−
Claims (2)
- （１）架台に対しＸＹ方向に移動するＸＹテーブルと、
各ペレットに分割、整列されるウェハを被着する粘着シ
ートと、ＸＹテーブルに支持され、粘着シートのウェハ
被着部分の外周部位を支持する支持部を備えた支持リン
グ、とを有してなるグイポンディング装置において、粘
着シートにおける支持リングの支持部によって支持され
る部分の外周部位を保持するウェハリングと、ウェハリ
ングおよび粘着シートの外周部位をチャ・シフするとと
もに、支持リングの支持部の支持面に対し略直交する方
向に相対移動して粘着シートを引き伸ばし可能とするチ
ャック・引き伸ばし手段とを備え、分割、整列された各
ペレット間に間隔を形成可能としたことを特徴とするダ
イポンディング装置。 - （２）架台に対しＸＹ方向に移動するＸＹテーブルと、
各ペレットに分割、整列されるウェハを被着する粘着シ
ートと、ＸＹテーブルに支持され、粘着シートのウェハ
被着部分の外周部位を支持する支持部を備えた支持リン
グ、とを有してなるダイポンディング装置において、粘
着シートにおける支持リングの支持部によって支持され
る部分の外周部位を保持するウェハリングと、ウェハリ
ングおよび粘着シートの外周部位をチャックするととも
に、支持リングの支持部の支持面に対し略直交する方向
に相対移動して粘着シートを引き伸ばし可能とするチャ
ック・引き伸ばし手段と、支持リングをＸＹテーブルに
対して周方向に回転可能に支持させ、該支持リングの回
転位置の調整により、粘着シートに被着された各ペレッ
トの整列角度をＸＹテーブルに対し調整自在とする角度
調整手段とを備えてなるタイポンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59028592A JPH0642496B2 (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | ダイボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59028592A JPH0642496B2 (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | ダイボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60173848A true JPS60173848A (ja) | 1985-09-07 |
| JPH0642496B2 JPH0642496B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=12252861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59028592A Expired - Lifetime JPH0642496B2 (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | ダイボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0642496B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222642A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Toshiba Corp | ダイボンデイング装置 |
| JP2010157659A (ja) * | 2009-01-05 | 2010-07-15 | Panasonic Corp | パレット自動交換装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4890478A (ja) * | 1972-03-02 | 1973-11-26 | ||
| JPS524178A (en) * | 1975-06-27 | 1977-01-13 | Nec Corp | Small object automatic positioning apparatus |
-
1984
- 1984-02-20 JP JP59028592A patent/JPH0642496B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4890478A (ja) * | 1972-03-02 | 1973-11-26 | ||
| JPS524178A (en) * | 1975-06-27 | 1977-01-13 | Nec Corp | Small object automatic positioning apparatus |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222642A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Toshiba Corp | ダイボンデイング装置 |
| JPH07105404B2 (ja) * | 1986-03-25 | 1995-11-13 | 株式会社東芝 | ダイボンディング装置 |
| JP2010157659A (ja) * | 2009-01-05 | 2010-07-15 | Panasonic Corp | パレット自動交換装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0642496B2 (ja) | 1994-06-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |