JPS60173512A - プリズム結合器 - Google Patents
プリズム結合器Info
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- JPS60173512A JPS60173512A JP59197727A JP19772784A JPS60173512A JP S60173512 A JPS60173512 A JP S60173512A JP 59197727 A JP59197727 A JP 59197727A JP 19772784 A JP19772784 A JP 19772784A JP S60173512 A JPS60173512 A JP S60173512A
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- waveguide
- coupler
- facing
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/34—Optical coupling means utilising prism or grating
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/04—Prisms
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野〕
本発明は、光を光導波体に結合するためのプリズム結合
器およびその製造方法に関する。
器およびその製造方法に関する。
[発明の技術的背景]
光を光導波体へ結合するためにいろいろな方法が使用さ
れている中で、プリズム結合器が最も広く使用されてい
る。プリズム結合器は、基本的には、第1図のようにプ
リズム1と中間層2と基体4の上に設定された光導波体
3とから構成されている。それぞれの屈折率は、基体4
がn’s導波体3がnl、中間層2がn2、そしてプリ
ズム1が03である。プリズム1は、導波体3よりも屈
折率が高い材料で作られている。中間層2は、導波体3
よりも屈折率の低い材料で成り、またこの中間層2は、
しばしばエアーギャップによって形成されている。結合
器として働くために、n3 >nl >nQ 、n2と
なっている。
れている中で、プリズム結合器が最も広く使用されてい
る。プリズム結合器は、基本的には、第1図のようにプ
リズム1と中間層2と基体4の上に設定された光導波体
3とから構成されている。それぞれの屈折率は、基体4
がn’s導波体3がnl、中間層2がn2、そしてプリ
ズム1が03である。プリズム1は、導波体3よりも屈
折率が高い材料で作られている。中間層2は、導波体3
よりも屈折率の低い材料で成り、またこの中間層2は、
しばしばエアーギャップによって形成されている。結合
器として働くために、n3 >nl >nQ 、n2と
なっている。
プリズム1と中間層2どの界面で内方に全反射した(
totally−internally−reflec
ted)光は、この中間層を通って導波体まで貫通する
、関係する次第に消えるフィールド(associat
ed evanscentfield)を有している。
totally−internally−reflec
ted)光は、この中間層を通って導波体まで貫通する
、関係する次第に消えるフィールド(associat
ed evanscentfield)を有している。
こうして、光エネルギーが導波体3の表面へ移動する結
合される導波体が開発される。
合される導波体が開発される。
プリズム結合器の性能は、複雑に、制御l1国難ないろ
いろな要因に依存している。非常に効率の高い(〉90
%)プリズム結合−が報告されているが、結合領域を、
これと矛盾しないように製造することは難しい。特に、
開口の大きい〈〉10mm)装置の場合は難しい。
いろな要因に依存している。非常に効率の高い(〉90
%)プリズム結合−が報告されているが、結合領域を、
これと矛盾しないように製造することは難しい。特に、
開口の大きい〈〉10mm)装置の場合は難しい。
結合器を製造する際の困難の大半は、この中間層、すな
わちプリズムと導波体の間の間隙の形成を、制御可能に
行なうことにある。この層すなわち間隙は、理想的には
、第29図に示したガウス分布の入力ビームパワー分布
をとるために、第2a図に示したように次第に薄< (
taper )するへきである。何らかの方法でこ、の
プロファイルを形成するために、従来のほとんどの、プ
リズム結合器は、導波体の基体を弾性的に変形させてい
る。たとえば、第3図に示すよく知られた型の結合器は
、底5面が平らなプリズム5と基体7上の導波体6とが
、2本の鉄床8.9の間で互いに圧迫されてい5− る。2本の鉄床に共通する軸の周囲の導波体の基体6が
変形したところに、狭い間隙ができて、結合領域が形成
される。この型式のプリズム結合器は、壊れずに変形で
きる導波体を使用しなければならない。これは、一般に
、薄い導波体の基体を使用することを意味している。
わちプリズムと導波体の間の間隙の形成を、制御可能に
行なうことにある。この層すなわち間隙は、理想的には
、第29図に示したガウス分布の入力ビームパワー分布
をとるために、第2a図に示したように次第に薄< (
taper )するへきである。何らかの方法でこ、の
プロファイルを形成するために、従来のほとんどの、プ
リズム結合器は、導波体の基体を弾性的に変形させてい
る。たとえば、第3図に示すよく知られた型の結合器は
、底5面が平らなプリズム5と基体7上の導波体6とが
、2本の鉄床8.9の間で互いに圧迫されてい5− る。2本の鉄床に共通する軸の周囲の導波体の基体6が
変形したところに、狭い間隙ができて、結合領域が形成
される。この型式のプリズム結合器は、壊れずに変形で
きる導波体を使用しなければならない。これは、一般に
、薄い導波体の基体を使用することを意味している。
不都合なことに、そのような基体は反りや歪みを起こし
やすく、光学的に平坦でなくなる傾向がある。たとえば
、0.5mmx26mmx45mmのyカットのLiN
bO3の基体は、その26mmのZ軸に関して±1μm
しか平坦ではない。実際、もし、導波体とプリズムの表
面が平坦で、それらを使用される光の波長の約半分内の
距離に持って来ることができれば、プリズムの底面全体
にわたる結合領域が形成されるが、これはまだ観察され
たことがない。結合領域を形成するためには、普通、数
kQの力を使って、プリズムと導波体を互いに加圧しな
ければならず、その力の大部分は、導波体を平坦にする
ために使われている。しかし、この工法は、再現性がな
く、結合領6一 酸生成のために必要とされる大きなな力は、望ましいも
のではない。それは、プリズムまたは結合器の表面が、
高い応力条件下で損傷することもあり、また、基体の破
砕さえ生じることもあるからである。結合領域の周囲へ
の高い圧力の集中によって、微細な割れ目(m1cro
crack)ができ始める可能性もある。この割れ目は
、プリズム結合器の効率に悪い影響を与え、導波体の光
損失を増加させる。さらに、プリズムと結合器に必要な
圧迫を得るために、かなり複雑で高価なマウント設備が
要求されている。
やすく、光学的に平坦でなくなる傾向がある。たとえば
、0.5mmx26mmx45mmのyカットのLiN
bO3の基体は、その26mmのZ軸に関して±1μm
しか平坦ではない。実際、もし、導波体とプリズムの表
面が平坦で、それらを使用される光の波長の約半分内の
距離に持って来ることができれば、プリズムの底面全体
にわたる結合領域が形成されるが、これはまだ観察され
たことがない。結合領域を形成するためには、普通、数
kQの力を使って、プリズムと導波体を互いに加圧しな
ければならず、その力の大部分は、導波体を平坦にする
ために使われている。しかし、この工法は、再現性がな
く、結合領6一 酸生成のために必要とされる大きなな力は、望ましいも
のではない。それは、プリズムまたは結合器の表面が、
高い応力条件下で損傷することもあり、また、基体の破
砕さえ生じることもあるからである。結合領域の周囲へ
の高い圧力の集中によって、微細な割れ目(m1cro
crack)ができ始める可能性もある。この割れ目は
、プリズム結合器の効率に悪い影響を与え、導波体の光
損失を増加させる。さらに、プリズムと結合器に必要な
圧迫を得るために、かなり複雑で高価なマウント設備が
要求されている。
プリズム結合器の価格を下げるために、複雑なマウント
設備の必要をなくすことが望まれる。また、光エポキシ
化合物または他の接着剤を使用すれば、プリズムを簡単
に導波体に接着することができるが、上述のようにプリ
ズム結合器のための結合領域の形成に大きな圧力(1k
Q/mm”のオーダー)が必要であるため、これの達成
を難しくしている。
設備の必要をなくすことが望まれる。また、光エポキシ
化合物または他の接着剤を使用すれば、プリズムを簡単
に導波体に接着することができるが、上述のようにプリ
ズム結合器のための結合領域の形成に大きな圧力(1k
Q/mm”のオーダー)が必要であるため、これの達成
を難しくしている。
種々のプリズム結合器が知られているが、それらは製造
するには高価であり、適当な制御性の性能もなく、また
構造が複雑である。
するには高価であり、適当な制御性の性能もなく、また
構造が複雑である。
[発明の目的コ
本発明の目的は、LiNbO5製の光プレーナ導波体や
、その他の種類の導波体、たとえば、ストライプ導波体
やLiNbC)+以外の材料を使用した導波体等のよう
な導波体に、可視領域以外のものも含めて光を結合する
ために、適切に制御性される性能を有する実用的な結合
器の構造を作り出すことである。
、その他の種類の導波体、たとえば、ストライプ導波体
やLiNbC)+以外の材料を使用した導波体等のよう
な導波体に、可視領域以外のものも含めて光を結合する
ために、適切に制御性される性能を有する実用的な結合
器の構造を作り出すことである。
E発明の概要]
この発明のプリズム結合器の構造は、必要な間隙を形成
するために、プリズムと導波体の間に導波体を変形させ
るような力を加えないで、導波体表面の、プリズムと導
波体が接触する領域を平坦に保っている。一般には、ご
みや表面の乱れによって、プリズムと導波体とはミクロ
ンの何分の−かの微小な量だけ離されているので、接触
を得ることはできない。導波体の表面は、結合領域に高
い機械的圧力加えなくてよいように、光学的に平坦であ
ることが要求される。プリズムと導波体の間に光結合に
ほぼ最適な形の間隙を形成するために、この間隙を、プ
リズムの底面の形状によって、またはプリズムと導波体
の間に設置したスペーサーによって、形成する。スペー
サーは、たとえば蒸着アルミニウム等の薄いフィルムを
、導波体かプリズムの表面に付着することによって得ら
れる。
するために、プリズムと導波体の間に導波体を変形させ
るような力を加えないで、導波体表面の、プリズムと導
波体が接触する領域を平坦に保っている。一般には、ご
みや表面の乱れによって、プリズムと導波体とはミクロ
ンの何分の−かの微小な量だけ離されているので、接触
を得ることはできない。導波体の表面は、結合領域に高
い機械的圧力加えなくてよいように、光学的に平坦であ
ることが要求される。プリズムと導波体の間に光結合に
ほぼ最適な形の間隙を形成するために、この間隙を、プ
リズムの底面の形状によって、またはプリズムと導波体
の間に設置したスペーサーによって、形成する。スペー
サーは、たとえば蒸着アルミニウム等の薄いフィルムを
、導波体かプリズムの表面に付着することによって得ら
れる。
導波体の表面は、結合領域での高い機械的圧力を避ける
ために平坦である必要がある。
ために平坦である必要がある。
本発明の一局面によると、プリズムを、このプリズムと
導波体の間にできる領域の形状がその間の光エネルギー
の結合をほぼ最適にするように、光学的に平坦な導波体
の表面に配置する工程と、このプリズムを、導波体の変
形を引き起こさずに、導波体に固定する工程とを含むプ
リズム結合器の製造方法が提供される。
導波体の間にできる領域の形状がその間の光エネルギー
の結合をほぼ最適にするように、光学的に平坦な導波体
の表面に配置する工程と、このプリズムを、導波体の変
形を引き起こさずに、導波体に固定する工程とを含むプ
リズム結合器の製造方法が提供される。
本発明の別の一局面によると、光学的に平坦な導波体と
、プリズムとその導波体の間にできる領域の形状がその
間の光エネルギーの結合を実質的に最適にするように導
波体の表面上に配置された9− プリズムと、プリズムを導波体の変形を引き起こさずに
導波体に固定する手段とを備えたプリズム結合器が、提
供される。
、プリズムとその導波体の間にできる領域の形状がその
間の光エネルギーの結合を実質的に最適にするように導
波体の表面上に配置された9− プリズムと、プリズムを導波体の変形を引き起こさずに
導波体に固定する手段とを備えたプリズム結合器が、提
供される。
[発明の実施例]
第4図に示した本発明の一実施例の結合器には、基体1
2上の導波体11の上に配置された、底面がカーブした
プリズム10が使用されている。第5図には、スペーサ
ー(spacer) 15.16で限定された間隙によ
って導波体14から分離されているプリズム13を有す
る結合器の構造が示されている。第6図は、次第に薄く
した(taper )スペーサー19によって導波体1
8から分離されたプリズム17を有する結合器を示して
いる。どちらの場合も、スペーサーが、プリズムおよび
/または導波体の上に形成されている。この間隙は、材
料を変形させることなく形成されるので、プリズムと導
波体を圧迫するための大きな力は必要がなくなり、した
がって、結合長さや間隙プロファイルのようなパラメー
ターは、従来よりも容易に調節されることができる。
2上の導波体11の上に配置された、底面がカーブした
プリズム10が使用されている。第5図には、スペーサ
ー(spacer) 15.16で限定された間隙によ
って導波体14から分離されているプリズム13を有す
る結合器の構造が示されている。第6図は、次第に薄く
した(taper )スペーサー19によって導波体1
8から分離されたプリズム17を有する結合器を示して
いる。どちらの場合も、スペーサーが、プリズムおよび
/または導波体の上に形成されている。この間隙は、材
料を変形させることなく形成されるので、プリズムと導
波体を圧迫するための大きな力は必要がなくなり、した
がって、結合長さや間隙プロファイルのようなパラメー
ターは、従来よりも容易に調節されることができる。
特に、底面が円柱面の一部分状であるプリズム10−
を使用して、最適に近い間隙プロファイルを有する第4
図の変形種の結合器を形成することができる。結合長と
間隙プロファイルは、プリズムの底面のたとえば100
−1000mmの範囲の曲率半径によって調節される。
図の変形種の結合器を形成することができる。結合長と
間隙プロファイルは、プリズムの底面のたとえば100
−1000mmの範囲の曲率半径によって調節される。
また、プリズムの底面のカーブの形状は、この他に放物
線等を使用してもよい。
線等を使用してもよい。
光学的に平坦な導波体は、反りや歪みを避けるために、
従来よりも厚みを増した基体から製造することができる
。代表例として、現在では基体の厚みは0.5〜l、Q
mmである。光学的に平坦という表現は、λを使用光の
波長として、約λ/4よりもよい平坦を意味している。
従来よりも厚みを増した基体から製造することができる
。代表例として、現在では基体の厚みは0.5〜l、Q
mmである。光学的に平坦という表現は、λを使用光の
波長として、約λ/4よりもよい平坦を意味している。
必要な平坦性を得るために、通常のものよりも厚くした
(数mm)基体は磨くことができる。また、現在使用さ
れているものより薄い基体を、磨く前にキャリヤーに接
着することもできる。この場合、基体はキャリヤーに永
久的に固定されるので、このような設置がいつも実用的
というわけではない。
(数mm)基体は磨くことができる。また、現在使用さ
れているものより薄い基体を、磨く前にキャリヤーに接
着することもできる。この場合、基体はキャリヤーに永
久的に固定されるので、このような設置がいつも実用的
というわけではない。
第7図のプリズム結合器の何番よ、底面が円柱面の一部
分状であるプリズム20と、キャリヤー23を伴ってい
る基体22の上の平坦な導波体21と、そして、矢印2
4で示すようなプリズムを適当な位置に保持するために
必要な軽い圧力を加える手段とを有している。プリズム
と導波体を保持するために要する力は小さいので、プリ
ズムは、たとえばエポキシテクノロジー社 (tJsA
)、EPO−TER353NDの光エポキシ化合物など
を使用して簡単に導波体の表面に接着することができる
。接着材料を使用すると間隙の屈折率が増加するが、そ
れは、導波体の屈折率値を越えてはならない。そうする
と、間隙の領域中の消えて行くフィールド(eVans
Oent field )はよりゆるやかに減少し、そ
れは、製造されるべき層上の要求される許容条件をゆる
やかにする。
分状であるプリズム20と、キャリヤー23を伴ってい
る基体22の上の平坦な導波体21と、そして、矢印2
4で示すようなプリズムを適当な位置に保持するために
必要な軽い圧力を加える手段とを有している。プリズム
と導波体を保持するために要する力は小さいので、プリ
ズムは、たとえばエポキシテクノロジー社 (tJsA
)、EPO−TER353NDの光エポキシ化合物など
を使用して簡単に導波体の表面に接着することができる
。接着材料を使用すると間隙の屈折率が増加するが、そ
れは、導波体の屈折率値を越えてはならない。そうする
と、間隙の領域中の消えて行くフィールド(eVans
Oent field )はよりゆるやかに減少し、そ
れは、製造されるべき層上の要求される許容条件をゆる
やかにする。
本発明のプリズム結合器とその製造方法は、簡単であり
、コスト低下が可能であるため、raggセル光スキャ
ナーや、分光分析器やその他の信号処理装置を含めて製
作された集積光学装置に、光を結合するのに適している
。
、コスト低下が可能であるため、raggセル光スキャ
ナーや、分光分析器やその他の信号処理装置を含めて製
作された集積光学装置に、光を結合するのに適している
。
本発明のプリズム結合器の長所は、結合条件を制御でき
ること、プリズムと導波体を圧着保持するための力が小
さくてよいこと、結合器の構造が単純であること、そし
て、プリズムを導波体に接着することによって、その製
造が単純に低価格で行なうことができ、製造のオートメ
ーション化にも適当であることである。
ること、プリズムと導波体を圧着保持するための力が小
さくてよいこと、結合器の構造が単純であること、そし
て、プリズムを導波体に接着することによって、その製
造が単純に低価格で行なうことができ、製造のオートメ
ーション化にも適当であることである。
第1図は従来のプリズム結合器の基本的なものを示す図
、第2a図および第2b図は、それぞれ結合領域に沿っ
た距離に対する、最適間隙のプロファイルおよびガウス
分布の入力ビームパワー分布を示す図、第3図は他の型
の従来のプリズム結合器を示す図、第4図乃至第6図は
本発明に係るプリズム結合器の構造を示す図、第7図は
第4図に示した構造の結合器を使用したの実際の結合器
の構造の概要図である。 1・・・プリズム、2・・・中間層、3・・・光導波体
、4・・・基体、5・・・プリズム、6・・・光導波体
、7・・・基体、8.9・・・鉄床、10・・・プリズ
ム、11・・・光導波体、′1213− ・・・基体、13・・・プリズム、14・・・光導波体
、15,6・・・スペーサ「、1,7・・・プリズム、
18・・・光導波体、19・・・スペーサー、20・・
・プリズム、21・・・光導波体、22・・・基体、2
3・・・キャリヤー。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 14− ■、事件の表示 特願昭59−197727号 2、発明の名称 プリズム結合器 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 インターナショナル・スタンダード$エレクトリックコ
ーIレイジョン 4、代理人 昭和60年2月26日 6、補正の対象 図 面、委任状およびその訳文 7・ 補正の内容 別紙の通り 図面の浄書(内容に変更なし) p
、第2a図および第2b図は、それぞれ結合領域に沿っ
た距離に対する、最適間隙のプロファイルおよびガウス
分布の入力ビームパワー分布を示す図、第3図は他の型
の従来のプリズム結合器を示す図、第4図乃至第6図は
本発明に係るプリズム結合器の構造を示す図、第7図は
第4図に示した構造の結合器を使用したの実際の結合器
の構造の概要図である。 1・・・プリズム、2・・・中間層、3・・・光導波体
、4・・・基体、5・・・プリズム、6・・・光導波体
、7・・・基体、8.9・・・鉄床、10・・・プリズ
ム、11・・・光導波体、′1213− ・・・基体、13・・・プリズム、14・・・光導波体
、15,6・・・スペーサ「、1,7・・・プリズム、
18・・・光導波体、19・・・スペーサー、20・・
・プリズム、21・・・光導波体、22・・・基体、2
3・・・キャリヤー。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 14− ■、事件の表示 特願昭59−197727号 2、発明の名称 プリズム結合器 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 インターナショナル・スタンダード$エレクトリックコ
ーIレイジョン 4、代理人 昭和60年2月26日 6、補正の対象 図 面、委任状およびその訳文 7・ 補正の内容 別紙の通り 図面の浄書(内容に変更なし) p
Claims (15)
- (1) プリズムを、このプリズムと導波体の間にでき
る領域の形状がその間の光エネルギーの結合をほぼ最適
にするように、光学的に平坦な導波体の表面に配置する
工程と、このプリズムを、導波体の変形を引き起こさず
に、導波体に固定する工程とを含むプリズム結合器の製
造方法。 - (2) プリズムの導波体に面する表面が、断面におい
てカーブしている特許請求の範囲第1項記載、の方法。 - (3) プリズムの導波体に面する表面が、断面におい
て円柱面の一部分状である特許請求の範囲第2項記載の
方法。 - (4) プリズムの・導波体に面する表面がほぼ平坦で
、プリズムと導波体との間にスペーサーが設けられて、
それによって領域が形作られている特許請求の範囲第1
項記載の方法。 - (5) スペーサーが、プリズムおよび/または導波体
の表面に設置された薄いフィルムで形成された特許請求
の範囲第4項記載の方法。 - (6)プリズムの導波体に面する表面がほぼ平坦で、プ
リズムと導一体の間にテーパー状のスペーサーが設けら
れている特許請求の範囲第1項記載の方法。 - (7) プリズムが導波体に接着化合物で固定されてい
る特許請求の範囲第1項乃至第゛6項のいずれか1項記
載の方法。 - (8) 接着化合物が光エポキシ化合物である特許請求
の範囲第7項記載の方法。 - (9) 光学的に平坦な導波体と、プリズムとその導波
体の間にできる領域の形状がその間の光エネルギーの結
合を実質的に最適にするようにして導波体の表面上に配
置されたプリズムと、プリズムを導波体の変形を引き起
こさずに導波体に固定する手段とを備えているプリズム
結合器。 - (10) プリズムの導波体に面する表面が、断面にお
いてカーブしている特許請求の範囲第9項記載のプリズ
ム結合器。 - (11) プリズムの導波体に面する表面が、断面にお
いて円柱面の一部分状である特許請求の範囲第10項記
載のプリズム結合器。 - (12) プリズムの導波体に面する表面がほぼ平坦で
、プリズムと導波体との間にスペーサーが設けられて、
それによって領域が形作られている特許請求の範囲第9
項記載のプリズム結合器。 - (13)プリズムの導波体に面する表面がほぼ平坦で、
プリズムと導波体の間にテーパー状のスペーサーが設け
られている特許請求の範囲第9項記載のプリズム結合器
。 - (14) プリズムが導波体に接着化合物で固定されて
いる特許請求の範囲第9項乃至第13項のいずれか1項
記載のプリズム結合器。 - (15) 接着化合物が光エポキシ化合物である特許請
求の範囲第14項記載のプリズム結合器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB8325099 | 1983-09-20 | ||
GB08325099A GB2146788B (en) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | Prism coupling to flat waveguides |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60173512A true JPS60173512A (ja) | 1985-09-06 |
Family
ID=10549015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59197727A Pending JPS60173512A (ja) | 1983-09-20 | 1984-09-20 | プリズム結合器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4653844A (ja) |
JP (1) | JPS60173512A (ja) |
AU (1) | AU3309984A (ja) |
FR (1) | FR2552235A1 (ja) |
GB (1) | GB2146788B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6266211A (ja) * | 1985-09-19 | 1987-03-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光結合素子 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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