JPS60165544A - アレイ型超音波プロ−ブ - Google Patents
アレイ型超音波プロ−ブInfo
- Publication number
- JPS60165544A JPS60165544A JP59019944A JP1994484A JPS60165544A JP S60165544 A JPS60165544 A JP S60165544A JP 59019944 A JP59019944 A JP 59019944A JP 1994484 A JP1994484 A JP 1994484A JP S60165544 A JPS60165544 A JP S60165544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wave
- ultrasonic
- circuit
- pulser
- array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、多数個の送波子及び受波子を配列したアレイ
型超音波グローブに係り、特に外設された超音波探傷器
との間の信号線本数及び伝送損失を低減するようにした
アレイ型超音波グローブに関する。
型超音波グローブに係り、特に外設された超音波探傷器
との間の信号線本数及び伝送損失を低減するようにした
アレイ型超音波グローブに関する。
原子炉等に使用される蒸気発生器(8G)の伝熱管の超
音波探傷は、その構造上、伝熱管の内部に超音波プロー
ブを挿入して探傷を行わざるを得ない。
音波探傷は、その構造上、伝熱管の内部に超音波プロー
ブを挿入して探傷を行わざるを得ない。
ところが第1図に示したように、伝熱管1はヘリカルコ
イル状で、しかも長さが80mにもおよぶため、ヘリカ
ルコイル上部に水槽2を設け、中のドラム3に浮子4が
取付られた信号伝送用ケーブル5を巻き、アレイ型超音
波グローブ6を水といっしょに伝熱管内部に挿入して探
傷を行う方法が用いられている。したがって、外設され
た超音波探傷器7からアレイ型超音波プローブ6までの
信号伝送用クープルは120mにもなり、伝送信号の減
衰が著しい。
イル状で、しかも長さが80mにもおよぶため、ヘリカ
ルコイル上部に水槽2を設け、中のドラム3に浮子4が
取付られた信号伝送用ケーブル5を巻き、アレイ型超音
波グローブ6を水といっしょに伝熱管内部に挿入して探
傷を行う方法が用いられている。したがって、外設され
た超音波探傷器7からアレイ型超音波プローブ6までの
信号伝送用クープルは120mにもなり、伝送信号の減
衰が著しい。
アレイ型超音波プローブ6は、第2図に示した構成とな
っており、2つの送受波子ユニット8゜9及びこれらに
配置されている送受波子を電子的に切換える回路ユニッ
ト10が屈曲可能な連結部11で連結されている。送誓
波子の切換動作を第3図を用いて簡単に説明する。第3
図は一つの送受波子ユニット8に配列された送受波子の
様子を示し、受波子側列R11には16枚の受波子が配
列され、また、送波子側列TI Kもこれと対向して1
6個の送波子が配列されている。
っており、2つの送受波子ユニット8゜9及びこれらに
配置されている送受波子を電子的に切換える回路ユニッ
ト10が屈曲可能な連結部11で連結されている。送誓
波子の切換動作を第3図を用いて簡単に説明する。第3
図は一つの送受波子ユニット8に配列された送受波子の
様子を示し、受波子側列R11には16枚の受波子が配
列され、また、送波子側列TI Kもこれと対向して1
6個の送波子が配列されている。
そして、受波子側列R1の16個の受波子は超音波探傷
器7から出力される同期信号に基づいて1ケずつ順番に
、カウンター12の出力A0゜A、 、 A、とこれに
よって制御されるアナログスイッチ13によって切換え
られ、その受信信号はプリアンプ14で増幅されて時系
列的に出力される。
器7から出力される同期信号に基づいて1ケずつ順番に
、カウンター12の出力A0゜A、 、 A、とこれに
よって制御されるアナログスイッチ13によって切換え
られ、その受信信号はプリアンプ14で増幅されて時系
列的に出力される。
一方、送波子側列TIの16個の送波子は、選択された
受波子に対応する送波子を1ケずつ順番に励振する必要
があり、今単純に1ケの送波子について1ケのパルサー
回路を用いる方法を考えると、超音波探傷器7側にある
パルサー回路15とアレイ型超音波グローブ6を結ぶケ
ーブル5の信号線本数紘励振パルス用だけでも送波子に
対応する本数だけ必要となり、伝送ケーブルの外径が増
大することからグローブの挿入性に重大な悪影響を及ぼ
す欠点がある。しかも、アレイ型超音波プローブ6内に
到達する励振パルスは、長さ120mのケーブル5中で
30dB近く減衰し、送波子側列TIの十分な励振がで
きなくなり、送波感度の低下が懸念される。
受波子に対応する送波子を1ケずつ順番に励振する必要
があり、今単純に1ケの送波子について1ケのパルサー
回路を用いる方法を考えると、超音波探傷器7側にある
パルサー回路15とアレイ型超音波グローブ6を結ぶケ
ーブル5の信号線本数紘励振パルス用だけでも送波子に
対応する本数だけ必要となり、伝送ケーブルの外径が増
大することからグローブの挿入性に重大な悪影響を及ぼ
す欠点がある。しかも、アレイ型超音波プローブ6内に
到達する励振パルスは、長さ120mのケーブル5中で
30dB近く減衰し、送波子側列TIの十分な励振がで
きなくなり、送波感度の低下が懸念される。
本発明は、上記の欠点を除去するために、探傷器とアレ
イ型超音波プローブ間のケーブルの信号線本数を削減し
、かつ伝送損失が低減できるアレイ型超音波プローブの
′提供を目的とする。
イ型超音波プローブ間のケーブルの信号線本数を削減し
、かつ伝送損失が低減できるアレイ型超音波プローブの
′提供を目的とする。
本発明によるプレイ型超音波グローブの第1の特徴は、
送波子を励振するための励振パルスを出力する1個又は
複数個のパルサー回路と、前記励振パルスを前記送波子
に分配するための分配回路をアレイ凰超音波プローブ内
に内蔵することによって、超音波探傷器からアレイ型超
音波プローブに至る励振パルス伝送用の信号線を無くシ
、シかも伝送路における伝送損失を低減した点にらる。
送波子を励振するための励振パルスを出力する1個又は
複数個のパルサー回路と、前記励振パルスを前記送波子
に分配するための分配回路をアレイ凰超音波プローブ内
に内蔵することによって、超音波探傷器からアレイ型超
音波プローブに至る励振パルス伝送用の信号線を無くシ
、シかも伝送路における伝送損失を低減した点にらる。
本発明によるアレイ型超音波グローブの第2の特徴は、
上記の構成において前記分配回路を前記パルサー回路の
後段に設け、パルサー回路から出力される励振パルスを
切換えて前記送波子に分配するように構成することによ
シ、グープルの信号線本数を削減し、パル会−回路数を
最小限にした点にるる。
上記の構成において前記分配回路を前記パルサー回路の
後段に設け、パルサー回路から出力される励振パルスを
切換えて前記送波子に分配するように構成することによ
シ、グープルの信号線本数を削減し、パル会−回路数を
最小限にした点にるる。
本発明によるアレイ型超音波プローブの第3の特徴は、
第1の特徴で述べた構成において前記分配回路を前記パ
ルサー回路の前段に設け、パルサー回路を駆動するトリ
ガー信号を切換えて前記送波子に励振パルスを分配する
ように構成することにより、ケーブルの信号線本数を削
減し、比較的高電圧の励振パルスを切換え可能にした点
にある。
第1の特徴で述べた構成において前記分配回路を前記パ
ルサー回路の前段に設け、パルサー回路を駆動するトリ
ガー信号を切換えて前記送波子に励振パルスを分配する
ように構成することにより、ケーブルの信号線本数を削
減し、比較的高電圧の励振パルスを切換え可能にした点
にある。
本発明によるアレイ型超音波グローブの第4の特徴は、
第3の特徴で述べた構成において前記分配回路が1グル
ープ当りi個の送波子から成るmグループを時系列的に
切換えるように構成することにエリ、ケーブルの信号線
本数を削減し、しかも各送波子チャンネル間の音響的な
干渉の影響を回避した点にある。
第3の特徴で述べた構成において前記分配回路が1グル
ープ当りi個の送波子から成るmグループを時系列的に
切換えるように構成することにエリ、ケーブルの信号線
本数を削減し、しかも各送波子チャンネル間の音響的な
干渉の影響を回避した点にある。
本発明によるプレイ型超音波プローブの第5の特徴は、
第3の特徴で述べた構成において前記分配回路が1グル
ープ当りi個の送波子から成るmグループを1系統とし
だn系統を並列に駆動し、かつ各系統内の谷グループを
時系列的に切換えるように4成することにより、ケーブ
ルの信号線本数を削減し、しかも例えば対象欠陥の異な
る各種のプレイ型送波子を同時に駆動可能とした点にあ
る。
第3の特徴で述べた構成において前記分配回路が1グル
ープ当りi個の送波子から成るmグループを1系統とし
だn系統を並列に駆動し、かつ各系統内の谷グループを
時系列的に切換えるように4成することにより、ケーブ
ルの信号線本数を削減し、しかも例えば対象欠陥の異な
る各種のプレイ型送波子を同時に駆動可能とした点にあ
る。
以F1 図面に示す実施例を参照して本発明を説明する
と、先ず第4図は本発明によるアレイ型超音波プローブ
の一実施例であり、特に本発明の説明に必要な送信系統
のみを示し、受信系統は第3図に示した構成と同一構成
になり省略してめる。
と、先ず第4図は本発明によるアレイ型超音波プローブ
の一実施例であり、特に本発明の説明に必要な送信系統
のみを示し、受信系統は第3図に示した構成と同一構成
になり省略してめる。
第4図において、外設された超音波探傷器16はプレイ
型超音波プローブ17内に内蔵されたパルサー回路15
及び分配回路18に必要な電源と同期信号をケーブル5
を介して供給する。パルサー回路は前δ己同期信号に基
づいて、所定の繰返し周波数で励振パルスを発生し、パ
ルサー回路15の後段に設けられた分配回路18にnf
J記励振パルスを入力する。分配回路18は例えば高耐
圧ICスイッチ(又は電話交換機等で使用されるクロス
ポイントスイッチ)やPINダイオードスイッチ等で構
成されるもので、入力された信号を複数のチャンネルに
分配することができ、所定のバイアス信号を与えること
によって、任意のチャンネルに人力信号を接続すること
ができる。このため、前記同期信号に基づいて分配回路
18の各チャンネルに時系列的にバイアス信号を与える
ことにより、励振パルスが送波子列T+の各送波子に順
次加えられ、送波子側列T1から時系列的に超音波を送
出することかできる。
型超音波プローブ17内に内蔵されたパルサー回路15
及び分配回路18に必要な電源と同期信号をケーブル5
を介して供給する。パルサー回路は前δ己同期信号に基
づいて、所定の繰返し周波数で励振パルスを発生し、パ
ルサー回路15の後段に設けられた分配回路18にnf
J記励振パルスを入力する。分配回路18は例えば高耐
圧ICスイッチ(又は電話交換機等で使用されるクロス
ポイントスイッチ)やPINダイオードスイッチ等で構
成されるもので、入力された信号を複数のチャンネルに
分配することができ、所定のバイアス信号を与えること
によって、任意のチャンネルに人力信号を接続すること
ができる。このため、前記同期信号に基づいて分配回路
18の各チャンネルに時系列的にバイアス信号を与える
ことにより、励振パルスが送波子列T+の各送波子に順
次加えられ、送波子側列T1から時系列的に超音波を送
出することかできる。
一方、アレイ型超音波プローブ17内の受信系統は第3
図で説明した内容と同様に、超音波探傷器16から出力
される同期信号に基づいて受波子側列RIの16個の受
波子は送波子側列T1の各チャンネルに対応するように
1ケずつ順番にアナログスイッチにより切換えられる。
図で説明した内容と同様に、超音波探傷器16から出力
される同期信号に基づいて受波子側列RIの16個の受
波子は送波子側列T1の各チャンネルに対応するように
1ケずつ順番にアナログスイッチにより切換えられる。
斯くして、1〜五チヤンネル迄の送受波子は順次時系列
的に超音波の送受信を行い、管の全周に亘って探傷する
。
的に超音波の送受信を行い、管の全周に亘って探傷する
。
伺、第4図以降の送波子側列は便宜的に平面に配列した
状態を図示しているが、管内挿入型探傷においては第3
図と同様に塊状に配列する。
状態を図示しているが、管内挿入型探傷においては第3
図と同様に塊状に配列する。
即ち、パルサー回路15と分配回路18をプレイ型超音
波グローブ17内に内蔵したことによりチャンネル数に
対応した励振パルス用の信号線が不要となり、ケーブル
5の外径は細くすることができ、アレイ型超音波プロー
ブ17を・aの全長に亘って円滑に送り込むことができ
る。
波グローブ17内に内蔵したことによりチャンネル数に
対応した励振パルス用の信号線が不要となり、ケーブル
5の外径は細くすることができ、アレイ型超音波プロー
ブ17を・aの全長に亘って円滑に送り込むことができ
る。
しかしながら第4図において分配回路18は高耐圧IC
スイッチやPINダイオードスイッチを用いているため
に、立下りの急峻な励振パルス(立下り時間:20〜3
0ns)の場合パルス電圧が300V以上になると励振
パルスの正常な分配ができなくなってくる。
スイッチやPINダイオードスイッチを用いているため
に、立下りの急峻な励振パルス(立下り時間:20〜3
0ns)の場合パルス電圧が300V以上になると励振
パルスの正常な分配ができなくなってくる。
そこで、第5図は励振パルスの電圧が300V以上であ
っても励振パルスが正常に分配できるように構成した本
発明による実施例を示す。
っても励振パルスが正常に分配できるように構成した本
発明による実施例を示す。
第5図において、アレイ型超音波プローブ17に内蔵さ
れた分配回路18はm個のパルサーから成るパルサー回
路15の前段に設けられており、ケーブル5を介して外
設された超音波探傷器16から送信されるトリガー信号
を分配回路18によって順次切換え分配する。このため
、パルサー回路15のPI〜P4は所定の周期で時系列
に励振パルスを発生する。
れた分配回路18はm個のパルサーから成るパルサー回
路15の前段に設けられており、ケーブル5を介して外
設された超音波探傷器16から送信されるトリガー信号
を分配回路18によって順次切換え分配する。このため
、パルサー回路15のPI〜P4は所定の周期で時系列
に励振パルスを発生する。
なお、前記トリガー信号の電圧レベルは一般的に°f’
TLから数十V程度であり、パルサー回路15で発生す
る励振パルスの電圧レベルは第5図においては100〜
100OVの範囲で容易に得る仁とができる。
TLから数十V程度であり、パルサー回路15で発生す
る励振パルスの電圧レベルは第5図においては100〜
100OVの範囲で容易に得る仁とができる。
パルサー回路15の各パルサーP I * p、 JP
、、P4にはそれぞれn個(図示では4個)の送波子が
接続されており、1個のパルサーで励振パルスを発生す
る毎にそのパルサーに接続された複数個の送波子から超
音波ビームが同時に送出される。このため、1個のパル
サーとn個の送波子から成るmグループが時系列的に繰
返し駆動される。
、、P4にはそれぞれn個(図示では4個)の送波子が
接続されており、1個のパルサーで励振パルスを発生す
る毎にそのパルサーに接続された複数個の送波子から超
音波ビームが同時に送出される。このため、1個のパル
サーとn個の送波子から成るmグループが時系列的に繰
返し駆動される。
斯くして、アレイ盤超音波プローブ17全体としては、
送波子及び受波子のチャンネル屋と走査J県庁の関係を
第6図に示すように、受波子側列は1−iチャンネル迄
1個ずつ順番に切換えられるが、送波子側列は受波子側
列の選択された受波子に対応する送波子が必ず励振され
るようにする。
送波子及び受波子のチャンネル屋と走査J県庁の関係を
第6図に示すように、受波子側列は1−iチャンネル迄
1個ずつ順番に切換えられるが、送波子側列は受波子側
列の選択された受波子に対応する送波子が必ず励振され
るようにする。
例えば、チャンネル屋1の受波子が選択されているとき
は、送波子側列ではチャンネルAl、5゜9、i−3の
送波子から超音波ビームが送出され、チャンネル42の
受波子が選択されているときは、チャンネルA2,6,
10.i 2の各送波子から超音波ビームが送出される
。したがって、実際の超音波探傷には送波子側列のうち
常に選択された受波子のチャンネルに対応する送波子が
寄与し、その他の送波子から送出される超音波ビームに
よる干渉は、同時に励振する送波子の間隔を互いに離す
ことによって回赴しておる。
は、送波子側列ではチャンネルAl、5゜9、i−3の
送波子から超音波ビームが送出され、チャンネル42の
受波子が選択されているときは、チャンネルA2,6,
10.i 2の各送波子から超音波ビームが送出される
。したがって、実際の超音波探傷には送波子側列のうち
常に選択された受波子のチャンネルに対応する送波子が
寄与し、その他の送波子から送出される超音波ビームに
よる干渉は、同時に励振する送波子の間隔を互いに離す
ことによって回赴しておる。
この結果、嬉5図に示した構成によりケーブル5の外径
は細くでき、しかも゛300V以上の比較的高電圧の励
振パルスを送波子側列に与えることができることから好
適な超音波探傷が実現できる。
は細くでき、しかも゛300V以上の比較的高電圧の励
振パルスを送波子側列に与えることができることから好
適な超音波探傷が実現できる。
第7図は種類の異なる欠陥を1回の探傷工程で一挙に探
傷するのに好適な本発明によるアレイ型超音波グローブ
の他の実施例を示す。
傷するのに好適な本発明によるアレイ型超音波グローブ
の他の実施例を示す。
第7図において、アレイ型超音波プローブ17は検出対
象の異なるN系統の送受波子列が組込まれ(A、B、C
の3系統のうち各送波子側列のみを図示)でいる。
象の異なるN系統の送受波子列が組込まれ(A、B、C
の3系統のうち各送波子側列のみを図示)でいる。
アレイ型超音波プローブ17に内蔵された分配回路18
はn個のパルサーから成るパルサー回路15の前段に設
けてあり、ケーブル5を介して外設された超音波探傷器
16から送信されるトリガー信号を分配回路18により
1陳次切換えて分配する。したがって、パルサー回路1
5の各パルサーは所定の周期で順次時系列的に励振パル
スを発生する。
はn個のパルサーから成るパルサー回路15の前段に設
けてあり、ケーブル5を介して外設された超音波探傷器
16から送信されるトリガー信号を分配回路18により
1陳次切換えて分配する。したがって、パルサー回路1
5の各パルサーは所定の周期で順次時系列的に励振パル
スを発生する。
パルサー回路15のパルサーPI + P* l ps
IP、には各系統の送波子側列のうち、それぞれn個
(図示では4個)ずつの送波子に接続されており、1個
のパルサーで励振パルスを発生する毎にそのパルサーに
接続された各系統の4個ずつの送波子から超音波ビーム
が同時に送出される。このため、1グループ当りn個の
送波子から成るmグループを1系統としたN系統は並列
に駆動され、しかも各系統内の各グループは時系列的に
切換えられて超音波ビームを発生する。
IP、には各系統の送波子側列のうち、それぞれn個
(図示では4個)ずつの送波子に接続されており、1個
のパルサーで励振パルスを発生する毎にそのパルサーに
接続された各系統の4個ずつの送波子から超音波ビーム
が同時に送出される。このため、1グループ当りn個の
送波子から成るmグループを1系統としたN系統は並列
に駆動され、しかも各系統内の各グループは時系列的に
切換えられて超音波ビームを発生する。
その結果、アレイ型超音波プローブ17は外設された超
音波探傷器16から前記プローブに至るケーブル5の外
径を細くできることから、被検管に対する挿入性を良好
にした状態で、数種類の欠陥を高速に探傷することが可
能となる。
音波探傷器16から前記プローブに至るケーブル5の外
径を細くできることから、被検管に対する挿入性を良好
にした状態で、数種類の欠陥を高速に探傷することが可
能となる。
なお、本笑施例では被検管内に挿入して探傷を行うアレ
イ型超音波グローブについて述べたが、本発明はケーブ
ルの信号線本数を低減でき、しかもケーブル中での伝送
損失を軽減することができることから、その他の各種プ
レイ型超音波プローブにも効果的に実施できる。
イ型超音波グローブについて述べたが、本発明はケーブ
ルの信号線本数を低減でき、しかもケーブル中での伝送
損失を軽減することができることから、その他の各種プ
レイ型超音波プローブにも効果的に実施できる。
以上説明したように本発明によれば、送波子を励振する
だめの励振パルスを発生する1個又は複9数個のパルサ
ー回路と、前記励振パルスを前記送波子に分配するため
の分配回路をアレイ型超音波グローブに内蔵することに
よって、超音波探傷器からアレイ型超音波グローブに至
る励振パルス伝送用の信号線が不要となるため、ケーブ
ルの外径が細くでき、管内にアレイ型超音波グローブを
挿入する際に円滑に遂行できる。また、励振パルスをア
レイ型超音波グローブ内で発生させるために送信側系統
におけるケーブル中での伝送損失も低減される他、ケー
ブルが全体的に軽量化されることにより取扱いも容易と
なり、プレイ型超音波グローブによる好適な探傷を実現
できる効果がある。
だめの励振パルスを発生する1個又は複9数個のパルサ
ー回路と、前記励振パルスを前記送波子に分配するため
の分配回路をアレイ型超音波グローブに内蔵することに
よって、超音波探傷器からアレイ型超音波グローブに至
る励振パルス伝送用の信号線が不要となるため、ケーブ
ルの外径が細くでき、管内にアレイ型超音波グローブを
挿入する際に円滑に遂行できる。また、励振パルスをア
レイ型超音波グローブ内で発生させるために送信側系統
におけるケーブル中での伝送損失も低減される他、ケー
ブルが全体的に軽量化されることにより取扱いも容易と
なり、プレイ型超音波グローブによる好適な探傷を実現
できる効果がある。
第1図はアレイ型超音波グローブの適用例を説明するだ
めの構成図、第2図はアレイ型超音波プローブの概念構
成図、第3図は従来方式によるアレイ型超音波プローブ
の回路構成図、第4図から第7図迄は本発明によるアレ
イ型超音波グローブの実施例を説明するための送信系統
構成図である。 TI・・・送波子側列、RI・・・受波子側列、5・・
・ケーブル、15・・・パルサー回路、16・・・超音
波探傷器、ギ3 図 R1丁1 第4図 第5図 l チャンネルtoo。 [I L”
めの構成図、第2図はアレイ型超音波プローブの概念構
成図、第3図は従来方式によるアレイ型超音波プローブ
の回路構成図、第4図から第7図迄は本発明によるアレ
イ型超音波グローブの実施例を説明するための送信系統
構成図である。 TI・・・送波子側列、RI・・・受波子側列、5・・
・ケーブル、15・・・パルサー回路、16・・・超音
波探傷器、ギ3 図 R1丁1 第4図 第5図 l チャンネルtoo。 [I L”
Claims (1)
- 1、 多数個の送波子及び受波子を配列したアレイ型超
音波グローブにおいて、外設された超音波探傷器に同期
して前記送波子側列を励振するための励振パルスを発生
する1個又は複数個のパルサー回路と、前記励振パルス
を前記送波子側列に分配するための分配回路を内蔵した
ことを特徴とするアレイ型超音波グローブ◎
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59019944A JPS60165544A (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | アレイ型超音波プロ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59019944A JPS60165544A (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | アレイ型超音波プロ−ブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60165544A true JPS60165544A (ja) | 1985-08-28 |
JPH0434697B2 JPH0434697B2 (ja) | 1992-06-08 |
Family
ID=12013312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59019944A Granted JPS60165544A (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | アレイ型超音波プロ−ブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60165544A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53108489A (en) * | 1977-03-04 | 1978-09-21 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | Flaw detector for tubes |
JPS5836535A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-03 | 横河電機株式会社 | 超音波診断装置 |
JPS5879154A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-12 | Hitachi Ltd | 細管用超音波探傷装置 |
-
1984
- 1984-02-08 JP JP59019944A patent/JPS60165544A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53108489A (en) * | 1977-03-04 | 1978-09-21 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | Flaw detector for tubes |
JPS5836535A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-03 | 横河電機株式会社 | 超音波診断装置 |
JPS5879154A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-12 | Hitachi Ltd | 細管用超音波探傷装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0434697B2 (ja) | 1992-06-08 |
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