JPS6016078B2 - thin film light emitting device - Google Patents

thin film light emitting device

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JPS6016078B2
JPS6016078B2 JP55129757A JP12975780A JPS6016078B2 JP S6016078 B2 JPS6016078 B2 JP S6016078B2 JP 55129757 A JP55129757 A JP 55129757A JP 12975780 A JP12975780 A JP 12975780A JP S6016078 B2 JPS6016078 B2 JP S6016078B2
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JP
Japan
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light emitting
thin film
emitting device
film light
layer
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JP55129757A
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Japanese (ja)
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JPS5753094A (en
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勝 吉田
良亘 柿原
卓郎 山下
浩司 谷口
康一 田中
敏夫 猪口
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は交流電界の印加によりEL(ElectroL
uminesceMe)発光を呈する薄膜発光素子に関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides EL (ElectroL) by applying an alternating electric field.
The present invention relates to a thin film light emitting device that emits light.

薄膜発光素子は、発光センターを形成する活性物質とし
てMn、Cい AI、ThF3等の不純物をドープした
ZnS、ZnSe等から成る半導体発光層に交流電界を
印加してEL発光を得るものであり、高輝度発光を得る
ために発光層の両王面をY203、Ti02、Sj3N
4等の誘電体薄膜で被覆した三層構造薄膜発光素子が一
般的に使用されている。
A thin film light emitting device obtains EL light emission by applying an alternating current electric field to a semiconductor light emitting layer made of ZnS, ZnSe, etc. doped with impurities such as Mn, C, AI, or ThF3 as an active substance that forms a light emitting center. In order to obtain high brightness light emission, both royal surfaces of the light emitting layer are Y203, Ti02, Sj3N.
A three-layer structure thin film light emitting device coated with a dielectric thin film such as No. 4 is generally used.

この薄膜発光素子の一例として、ZnS:Mh薄膜発光
素子の基本的構造を第1図に示す。第1図に基いて薄膜
発光素子の構造を具体的に説明すると、ガラス基板1上
にIQ03、Sn02等の透明電極2、さらにその上に
叢層してY203、TiQ、AI203、Si3N4、
Si02等からなる第1の誘電体層3がスパツタあるい
は電子ビーム蒸着法等により重畳形成されている。第1
の誘電体層3上にはZnS:Mn競給べレットを蟹子ビ
ーム蒸着することにより得られるZnS発光層4が形成
されている。この時蒸着用のZnS:Mh競結べレット
には活性物質となるMnが目的に応じた濃度に設定され
たべレットが使用される。Z鷹発光層4上には第1の誘
導体層3と同様の材質から成る第2の誘電体層5が積層
され、更にその上に山等から成る背面電極6が蒸着形成
されている。透明電極2と背面電極6は交流電源7に接
続され、薄膜発光素子が駆動される。電極2,6間にA
C電圧が印加すると、ZnS発光層4の両側の誘電体層
3,5間に上記AC電圧が譲超されることになり、従っ
てZnS発光層4内に発生した電界によって伝導体に励
起されかつ加速されて充分なエネルギーを得た電子が、
直接Mh発光センターを励起し、励起されたMn発光セ
ンターが基底状態に戻る際に黄色の発光を行なう。
As an example of this thin film light emitting device, the basic structure of a ZnS:Mh thin film light emitting device is shown in FIG. The structure of the thin film light emitting device will be explained in detail based on FIG.
A first dielectric layer 3 made of Si02 or the like is formed in an overlapping manner by sputtering or electron beam evaporation. 1st
A ZnS light-emitting layer 4 is formed on the dielectric layer 3, which is obtained by performing crab beam evaporation of a ZnS:Mn pellet. At this time, the ZnS:Mh bonding pellet used for deposition is a pellet in which Mn, which is an active substance, is set at a concentration depending on the purpose. A second dielectric layer 5 made of the same material as the first dielectric layer 3 is laminated on the Z-light emitting layer 4, and a back electrode 6 made of a mountain or the like is further formed by vapor deposition thereon. The transparent electrode 2 and the back electrode 6 are connected to an AC power source 7 to drive the thin film light emitting device. A between electrodes 2 and 6
When the C voltage is applied, the AC voltage will be exceeded between the dielectric layers 3 and 5 on both sides of the ZnS light emitting layer 4, and therefore the electric field generated in the ZnS light emitting layer 4 will excite the conductor and An electron that has been accelerated and has gained enough energy,
The Mh luminescent center is directly excited, and when the excited Mn luminescent center returns to the ground state, it emits yellow light.

即ち高麗界で加速された電子がZnS発光層4中の発光
センターであるZnサィトに入ったMn原子の電子を励
起し、基底状態に落ちる時、略々斑50Aをピークに幅
広い波長領域で、強い発光を呈する。上記の如き構造を
有する薄膜EL素子はスべ−ス・フアクタの利点を生か
した平面薄型ディスプレイ・デバイスとして、文字及び
図形を含むコンピューターの出力表示端末機器その他種
々の表示装置に文字、記号、静止画像、勤画像等の表示
手段として利用することができる。
That is, when the electrons accelerated in the Goryeo region excite the electrons of the Mn atoms that have entered the Zn site, which is the luminescence center in the ZnS luminescent layer 4, and fall to the ground state, the electrons emit light in a wide wavelength range with a peak of about 50A. Exhibits strong luminescence. The thin film EL element having the above structure can be used as a flat thin display device that takes advantage of the advantages of a space factor, and can be used to display characters, symbols, static images, etc. It can be used as a display means for images, work images, etc.

表示装置として用いられる薄膜発光素子においては透明
電極2及び背面電極6が帯状に成形され、互いに直交す
る如く複数本配列されたマトリックス電極機造が採用さ
れており、透明電極2と背面電極6が平面図的に見て交
叉した位置が表示画面の1絵素に相当する。薄膜発光表
示装置は従来のブラウン管 (CRT)と比較して動作電圧が低く、同じ平面型ディ
スプレイ・デバイスであるプラズマデイスブレィパネル
(PDP)と比較すれば重量や強度面で陵れており、液
晶(LCD)に比べて動作可能温度範囲が広く、応答速
度が速い等多くの利点を有している。
In a thin film light emitting device used as a display device, a matrix electrode structure is adopted in which the transparent electrode 2 and the back electrode 6 are formed into a strip shape, and a plurality of them are arranged perpendicularly to each other. When viewed from a plan view, the crossing position corresponds to one pixel on the display screen. Thin-film light emitting display devices have a lower operating voltage than conventional cathode ray tubes (CRTs), and are heavier and stronger than plasma display panels (PDPs), which are similar flat display devices. It has many advantages over liquid crystals (LCDs), such as a wider operating temperature range and faster response speed.

また純団体マトリックス型パネルであるため動作寿命が
長く、そのアドレスの正確ごとともにコンピューター等
の入出力表示手段として非常に有効なものである。上記
薄膜発光素子を用いた表示装置において「発光パターン
のコントラスト比を向上させるために第2図、第3図、
第4図及び第5図に示す如く背景側に黒化領域を形成し
た構造が提唱されている。
In addition, since it is a pure mass matrix type panel, its operating life is long, and its address accuracy makes it extremely effective as an input/output display means for computers, etc. In a display device using the above-mentioned thin film light emitting device, "in order to improve the contrast ratio of the light emitting pattern,"
A structure in which a blackened area is formed on the background side as shown in FIGS. 4 and 5 has been proposed.

第2図は発光層4と上部側の第2の誘電体層5の間に黒
化膜層8を形成したものである。しかしながらこの構造
は黒化膿層8の挿入により発光開始電圧が高電圧側に移
行する、電圧−発光輝度特性の懐きが変化する等の欠点
を有し、また黒化膜層8が低抵抗であるとクロストーク
の問題が発生し素子の絶縁耐圧が不安定になる。第3図
は第2の誘電体層5と背面電極6の間に黒化膜層8を形
成したものであるが、抵抗値の高い黒化膿層8は得がた
く、黒化膜の抵抗値によってはクロストークの問題が発
生する。また発光開始電圧が高電圧側に移行するという
問題も発生する。第4図は第3図の構造によるクロスト
ークの問題を防止するため、背面電極6の接合部のみ黒
化膜層8を形成したものであるが全面黒化されていない
ため「コントラストの点で第2図、第3図のものより劣
る。第5図は背面電極6形成後背景側表面を黒化膜層8
で被覆したものである。この場合、背面電極6が透明電
極で形成されていればコントラストの点で問題はないが
、一般的には電極抵抗値及び充放電の時定数を考慮して
背面電極6はAI等の金属で形成される。従って素子内
へ侵入した外部光が、この背面電極6の界面で反射され
、コントラスト比が低下することとなる。本発明は上記
問題点に鑑み、コントラスト比の向上を画るとともにク
ロストーク、発光開始電圧の高電圧比等の問題を解消し
た新規有用な薄膜発光素子を提供することを目的とする
In FIG. 2, a blackening film layer 8 is formed between the light emitting layer 4 and the second dielectric layer 5 on the upper side. However, this structure has drawbacks such as the emission starting voltage shifts to a higher voltage side due to the insertion of the black purulent layer 8, and the voltage-emission brightness characteristic changes, and the black purulent layer 8 has a low resistance. This causes a problem of crosstalk, and the dielectric strength of the element becomes unstable. In FIG. 3, a blackened film layer 8 is formed between the second dielectric layer 5 and the back electrode 6, but it is difficult to obtain a blackened purulent layer 8 with a high resistance value, and the resistance value of the blackened film is In some cases, crosstalk problems may occur. Further, a problem arises in that the light emission starting voltage shifts to the high voltage side. In FIG. 4, in order to prevent the problem of crosstalk caused by the structure shown in FIG. Inferior to those in Figures 2 and 3. In Figure 5, after forming the back electrode 6, the background side surface is covered with a blackened film layer 8.
It is coated with In this case, if the back electrode 6 is made of a transparent electrode, there will be no problem in terms of contrast, but in general, the back electrode 6 is made of a metal such as AI in consideration of the electrode resistance value and the charging/discharging time constant. It is formed. Therefore, external light that has entered the element is reflected at the interface of this back electrode 6, resulting in a decrease in contrast ratio. In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to provide a new and useful thin film light-emitting element that improves the contrast ratio and eliminates problems such as crosstalk and high voltage ratio of emission start voltage.

以下、本発明を実施例に従って図面を参照しながら詳説
する。
Hereinafter, the present invention will be explained in detail according to embodiments with reference to the drawings.

第6図、第7図、第8図はそれぞれ本発明の一実施例を
示す薄膜発光素子の構成図である。
FIG. 6, FIG. 7, and FIG. 8 are block diagrams of thin film light emitting devices showing one embodiment of the present invention, respectively.

図中第1図と同一符号は同一内容を示し、説明を省略す
る。第6図の構成は上部側の第2の誘電体層5と背面電
極6との間の接合部に黒化膜層9を形成したものである
In the figure, the same reference numerals as in FIG. 1 indicate the same contents, and the explanation will be omitted. In the configuration shown in FIG. 6, a blackened film layer 9 is formed at the junction between the second dielectric layer 5 on the upper side and the back electrode 6.

この構造において要求される黒化膜層9の特性としては
第4図の構造で説明した如くクロストークの問題を考慮
する必要がないので低抵抗であるほど良く具体的な物質
としては可視光城の光を全て吸収する様な小さい禁止帯
幅を有するPbTe、PbSe、HgTe、H袋e、S
i、蛇等が用いられる。また抵抗値を下げる手段として
各物質に対してドナー、アクセプターとなる不純物を抵
抗値を下げるようにドープする方法がある。黒化膜層9
を形成後AI等で背面電極6を構成するが、パターン化
は黒化膜層9と背面電極6を同時にフオトェッチング法
あるいはリフトオフ法により形設すればよい。次に背面
側表面全域にパシベーション効果を有する黒い樹脂10
で表面コートし背面全体を黒色化する。第7図の構成は
第6図の構成と殆んど同じであるが、パシベーション効
果を有する樹脂11又は蒸着膜を背面側表面にコートし
た後樹脂11又は黍着膜表面に黒色塗料12を塗布する
ことによ・り背面側全域を黒色化したものである。
As for the characteristics of the blackened film layer 9 required in this structure, as explained in the structure of FIG. 4, there is no need to consider the problem of crosstalk, so the lower the resistance, the better. PbTe, PbSe, HgTe, H bag e, S which has a small band gap that absorbs all the light of
i, snake, etc. are used. Further, as a means of lowering the resistance value, there is a method of doping each substance with impurities that serve as donors and acceptors so as to lower the resistance value. Blackened film layer 9
After forming, the back electrode 6 is formed using AI or the like, and patterning may be performed by simultaneously forming the blackened film layer 9 and the back electrode 6 by a photo-etching method or a lift-off method. Next, black resin 10 has a passivation effect on the entire rear surface.
The surface is coated with black to make the entire back surface black. The configuration in FIG. 7 is almost the same as the configuration in FIG. 6, but after coating the back side surface with a resin 11 or a vapor deposited film having a passivation effect, a black paint 12 is applied to the surface of the resin 11 or the vapor deposited film. By doing so, the entire back side is made black.

第8図の構成は薄膜発光素子を外園器内に収納したもの
であり、ガラス基板1に背面ガラス板13を接着するこ
とにより密封された外囲器を構成するとともに薄膜発光
素子をこの外因器内へ封入し、更に外囲器の空間にシリ
コンオイル等の保護流体14を注入したものである。
The configuration shown in FIG. 8 is one in which a thin film light emitting element is housed in an external enclosure.A sealed envelope is constructed by bonding a back glass plate 13 to a glass substrate 1, and the thin film light emitting element is housed in this external enclosure. A protective fluid 14 such as silicone oil is further injected into the space of the envelope.

保護流体14は外部から湿気等が薄膜発光素子内へ侵入
するのを防止するためのものである。本実施例ではこの
保護流体14に黒色塗料を混入することにより背景側全
域を黒色化したものである。以上の如き構成によれば、
背景色を黒色化することによりコントラストを向上させ
ることができクロストーク、発光開始電圧の高電圧化と
いう問題も解消される。
The protective fluid 14 is for preventing moisture and the like from entering into the thin film light emitting device from the outside. In this embodiment, the entire background side is made black by mixing black paint into the protective fluid 14. According to the above configuration,
By making the background color black, the contrast can be improved, and the problems of crosstalk and an increase in the emission starting voltage can also be solved.

また電圧一発光輝度特性を変化させることなくコントラ
ストの高い表示を得ることができる等種々の優れた効果
を得ることができる。
In addition, various excellent effects such as high contrast display can be obtained without changing the voltage-emission brightness characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は薄膜発光素子の基本的構造を示す構成図である
。 第2図、第3図、第4図及び第5図はそれぞれ従釆の背
景を黒色化した薄膜発光素子の構成図である。第6図、
第7図、第8図はそれぞれ本発明の一実施例を示す薄膜
発光素子の構成図である。9・・・・・・黒化膜層、1
0,11・・・・・・樹脂、12・・・・・・黒色塗料
、14・・・・・・保護流体。 第1図第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8図
FIG. 1 is a block diagram showing the basic structure of a thin film light emitting device. FIG. 2, FIG. 3, FIG. 4, and FIG. 5 are block diagrams of a thin film light emitting device in which the background of the subordinate column is blackened, respectively. Figure 6,
FIGS. 7 and 8 are configuration diagrams of thin film light emitting devices showing one embodiment of the present invention, respectively. 9...Blackening film layer, 1
0, 11... Resin, 12... Black paint, 14... Protective fluid. Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7 Figure 8

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 電圧印加によりEL発光を呈する薄膜発光層を表示
電極と背面電極間に介在させて成る薄膜発光素子に於い
て、前記背面電極の表示面側界面に低抵抗値を有する黒
化膜層を介設するとともに背面側表面に黒色背景膜を形
成したことを特徴とする薄膜発光素子。
1. In a thin-film light-emitting element in which a thin-film light-emitting layer that emits EL light when a voltage is applied is interposed between a display electrode and a back electrode, a blackened film layer having a low resistance value is interposed on the interface of the back electrode on the display surface side. 1. A thin film light emitting device characterized in that a black background film is formed on the rear surface of the thin film light emitting device.
JP55129757A 1980-09-17 1980-09-17 thin film light emitting device Expired JPS6016078B2 (en)

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JPS5753094A JPS5753094A (en) 1982-03-29
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