JPS60159435U - 基板保持具 - Google Patents

基板保持具

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JPS60159435U
JPS60159435U JP1984045901U JP4590184U JPS60159435U JP S60159435 U JPS60159435 U JP S60159435U JP 1984045901 U JP1984045901 U JP 1984045901U JP 4590184 U JP4590184 U JP 4590184U JP S60159435 U JPS60159435 U JP S60159435U
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JP
Japan
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arm
frame
arms
supported
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JP1984045901U
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English (en)
Other versions
JPS638903Y2 (ja
Inventor
笠原　比佐志
Original Assignee
ホ−ヤ株式会社
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Publication date
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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは従来の基板保持具の一例を示す平面図、同図
すはそのｂ−ｂ断面図、第２図は本考案の一実施例を示
す平面図、第３図は一部側面図、第４図および第５図は
それぞれ基板の保持方法を説明するための図である。 １・・・基板、ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・アーム、１２，１
５Ａ、１５Ｂ・・・枢軸、１３Ａ、１３Ｂ・・・握り部
、１４Ａ、１４Ｂ・・・フレーム、１６Ａａ、　　１６
Ａｂｔ１６＆ｌ、　　１６Ｂｂ−・・保持部、１８・・
・接触部。 第４図 −第５図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 相互に回動自在に支持された第１および第２のアームの
    一端を握り部とし、各アームの他端にそれぞれフレーム
    を上記アーム相互の回動面に平行な面内で回動自在に支
    持し、かつ各フレームには上記アームとの支持部を挾ん
    で両側に、それぞれ外周面に上記回動面の方向に切込ん
    だ溝状の接触部を有する柱状の保持部を設けたことを特
    徴とする基板保持具。
JP1984045901U 1984-03-31 1984-03-31 基板保持具 Granted JPS60159435U (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1984045901U JPS60159435U (ja) 1984-03-31 1984-03-31 基板保持具

Applications Claiming Priority (1)

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JP1984045901U JPS60159435U (ja) 1984-03-31 1984-03-31 基板保持具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60159435U true JPS60159435U (ja) 1985-10-23
JPS638903Y2 JPS638903Y2 (ja) 1988-03-16

Family

ID=30559798

Family Applications (1)

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JP1984045901U Granted JPS60159435U (ja) 1984-03-31 1984-03-31 基板保持具

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JP (1) JPS60159435U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007221124A (ja) * 2006-02-14 2007-08-30 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置およびステージ装置
JP2011123090A (ja) * 2009-12-08 2011-06-23 Toppan Printing Co Ltd フォトマスク洗浄装置及び方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007221124A (ja) * 2006-02-14 2007-08-30 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置およびステージ装置
JP4611325B2 (ja) * 2006-02-14 2011-01-12 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． リソグラフィ装置およびステージ装置
JP2011123090A (ja) * 2009-12-08 2011-06-23 Toppan Printing Co Ltd フォトマスク洗浄装置及び方法

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JPS638903Y2 (ja) 1988-03-16

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