JPS60159383A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
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- JPS60159383A JPS60159383A JP1295584A JP1295584A JPS60159383A JP S60159383 A JPS60159383 A JP S60159383A JP 1295584 A JP1295584 A JP 1295584A JP 1295584 A JP1295584 A JP 1295584A JP S60159383 A JPS60159383 A JP S60159383A
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- Japan
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- cryopump
- panel
- pieces
- piece
- gas
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、超真空ポンプとして使用される大容量のクラ
イオポンプに係り、特にポンプがモジュール化されたク
ライオポンプに関する。
イオポンプに係り、特にポンプがモジュール化されたク
ライオポンプに関する。
第１図は、一般的なりライオポンプの原理的構成を示す
もので、真空容器１内に収容されたクラゼオ／４ネル２
は、液体ヘリウム等の冷−媒液で３．７−４．２°Ｋｒ
ｃ冷却され、このクライオパネル２の前方を除く周囲を
輻射シールド板３が取り囲んでいる。この輻射シールド
３は液体窒素等で冷却されている。またクライオポンプ
２の前方にはシェツ０ ：／ｆ＃々ツフル４が配置され
、このバッフル４は輻射率が１に近づくように黒化処理
が施こされている。
もので、真空容器１内に収容されたクラゼオ／４ネル２
は、液体ヘリウム等の冷−媒液で３．７−４．２°Ｋｒ
ｃ冷却され、このクライオパネル２の前方を除く周囲を
輻射シールド板３が取り囲んでいる。この輻射シールド
３は液体窒素等で冷却されている。またクライオポンプ
２の前方にはシェツ０ ：／ｆ＃々ツフル４が配置され
、このバッフル４は輻射率が１に近づくように黒化処理
が施こされている。
一般に、上記シェブロンバッフル４のようなノ々ツフル
を具備しない裸のクライオパネルの単位面積当りの排気
速度は、排気すべき気体の分子流領域では、次式に示す
気体の入射量Ｖにほぼ等しい。
を具備しない裸のクライオパネルの単位面積当りの排気
速度は、排気すべき気体の分子流領域では、次式に示す
気体の入射量Ｖにほぼ等しい。
ここで
Ｖ二単位面積当りに入射する気体体積（ｃ！ＶＭ ｅ
ｃ、 ｃｔｌ］■＝真空中の気体の算術平均速度（ｃｍ
／ｓｅｃ ）Ｍ：気体の分子量 Ｒ：気体定数 ８ 、３１４ Ｘ １０’ （ｅｒｇ／
Ｋｍｏｌ ）Ｔ：気体の絶対温度〔Ｋ〕 π：円周率 上記関係式によると室温２９３にの水素ガスに対する裸
のクライオパネルの排気速度は４４．Ｏ（１／５ｅｃ−
ｃｆｆｌ〕となる。
ｃ、 ｃｔｌ］■＝真空中の気体の算術平均速度（ｃｍ
／ｓｅｃ ）Ｍ：気体の分子量 Ｒ：気体定数 ８ 、３１４ Ｘ １０’ （ｅｒｇ／
Ｋｍｏｌ ）Ｔ：気体の絶対温度〔Ｋ〕 π：円周率 上記関係式によると室温２９３にの水素ガスに対する裸
のクライオパネルの排気速度は４４．Ｏ（１／５ｅｃ−
ｃｆｆｌ〕となる。
しかし、実際のクライオポンプにあっては、クライオノ
ぞネルを裸のまま用いることはなくクライオパネルに対
する熱負荷を低減するために液体窒素冷却の輻射シール
ド及びバッフルがクライオパネルに付設される。したが
って、この場合の排気速度は裸のクライオ・ぐネルの場
合よりもかなり低下する。例えば、第１図のように、シ
ェブロンバッフルが付設されたクライオポンプの場合は
、クライオポンプ全体の排気効率がシェブロンバッフル
の通過確率η匈０．２３に等しいと考えられるので、ク
ライオポンプの単位面積当りの排気速度は − Ｖ＝７・ｖ−１−４４，ＯＸｏ、 ２３＝ １０−１（
１／ｓｅｃ、ｄＤとなり大幅に低下する。
ぞネルを裸のまま用いることはなくクライオパネルに対
する熱負荷を低減するために液体窒素冷却の輻射シール
ド及びバッフルがクライオパネルに付設される。したが
って、この場合の排気速度は裸のクライオ・ぐネルの場
合よりもかなり低下する。例えば、第１図のように、シ
ェブロンバッフルが付設されたクライオポンプの場合は
、クライオポンプ全体の排気効率がシェブロンバッフル
の通過確率η匈０．２３に等しいと考えられるので、ク
ライオポンプの単位面積当りの排気速度は − Ｖ＝７・ｖ−１−４４，ＯＸｏ、 ２３＝ １０−１（
１／ｓｅｃ、ｄＤとなり大幅に低下する。
即ち、第１図のクライオポンプでは、クライオポンプ全
体としての排気効率はシェブロンバッフルの通過確率η
＝０．２３ により、η倍に低下する。
体としての排気効率はシェブロンバッフルの通過確率η
＝０．２３ により、η倍に低下する。
そこで）々ツフルの通過確率を向上したモジュール式の
クライオポンプが提案されている。
クライオポンプが提案されている。
このモジュール式クライオポンプは、第２図および第３
図に示されるようにクラ゛イオノぞネル２とルーツセー
ブラインド型のノ々ツフル板５とから構成されるクライ
オポンプモジュールが複数個、所定の間隙を隔てて、前
面が開放された輻射シールＰ板３内に並置されている。
図に示されるようにクラ゛イオノぞネル２とルーツセー
ブラインド型のノ々ツフル板５とから構成されるクライ
オポンプモジュールが複数個、所定の間隙を隔てて、前
面が開放された輻射シールＰ板３内に並置されている。
各クライオノにネル２はモジュールの並び方向Ｘに直角
な方向に延びており、気体は矢印ｙに示すようにモジュ
ールの間隙の前面開口部６から入射し、内部で反射を繰
返してクライオパネル２に到達して排気される。
な方向に延びており、気体は矢印ｙに示すようにモジュ
ールの間隙の前面開口部６から入射し、内部で反射を繰
返してクライオパネル２に到達して排気される。
この前面開口部６に入射した気体分子がクライオパネル
到達する通過確率をηａとすると、この通過率ηａはノ
々ツフル板５の形状や、前面開口部６の幅ａによって異
なるが、幅ａ ＝ ２０ｃｍモジュールの幅ｂ＝１０ｃ
ｍとしたとき、ηａとして最大０．４程度を得ることが
できる。したがって前面開口部６における排気効率は０
．４ 程度を達成でき、この開口部６における単位面積
当りの排気速度は４４． ＯＸ ０．４ ＝ １７．６
（ｌ／ｓｅｃ・ｃｎ）にも達する。これらの値は、第１
図に示されたクライオポンプの排気効率０．２３．排気
速度１０．１（＃／５ｅｃ−ｄ〕に比べて、相当大きく
なっている。
到達する通過確率をηａとすると、この通過率ηａはノ
々ツフル板５の形状や、前面開口部６の幅ａによって異
なるが、幅ａ ＝ ２０ｃｍモジュールの幅ｂ＝１０ｃ
ｍとしたとき、ηａとして最大０．４程度を得ることが
できる。したがって前面開口部６における排気効率は０
．４ 程度を達成でき、この開口部６における単位面積
当りの排気速度は４４． ＯＸ ０．４ ＝ １７．６
（ｌ／ｓｅｃ・ｃｎ）にも達する。これらの値は、第１
図に示されたクライオポンプの排気効率０．２３．排気
速度１０．１（＃／５ｅｃ−ｄ〕に比べて、相当大きく
なっている。
しかしながら、以上の排気効率は、前面開口部６のみに
おけるものであって、クライオポンプ全体の単位面積当
りの排気効率 は、モジュールのう。当然このときの単
位面積当りの排気速度も４４、 Ｏｘ ０．２６７ ＝
１１．７ Ｃ１／ｓｅｃ、 ｃｉ〕 と低下する。
おけるものであって、クライオポンプ全体の単位面積当
りの排気効率 は、モジュールのう。当然このときの単
位面積当りの排気速度も４４、 Ｏｘ ０．２６７ ＝
１１．７ Ｃ１／ｓｅｃ、 ｃｉ〕 と低下する。
以上のように、従来のモジュール式クライオポンプは、
前面開口部における排気効率および排気速度は、充分改
善されてはいるが、ポンプ全体では、排気効率０．２６
７ 、排気速度１１．７となり、第１図のクライオポン
プの排気効率０．２３．排気速度１０．１と大差がなく
なってしまうという欠点があった。
前面開口部における排気効率および排気速度は、充分改
善されてはいるが、ポンプ全体では、排気効率０．２６
７ 、排気速度１１．７となり、第１図のクライオポン
プの排気効率０．２３．排気速度１０．１と大差がなく
なってしまうという欠点があった。
本発明の目的は、上述の点に鑑みて、高い排気効率と排
気速度を有するクライオポンプを提供することである。
気速度を有するクライオポンプを提供することである。
この目的を達成するために、本発明は、第１の方向に互
に所定間隙を隔てて並置された複数のクライオポンプモ
ジュールを具備し、排気されるべき気体が上記第１方向
とほぼ直角な方向から流入するクライオポンプにおいて
、上記クライオポンプモジュールの各々はほぼ上記第１
方向に沿って延びた複数のクライオノネル片がほぼ上記
直角方向に沿って所定間隔をもって並置されたパネル片
列と、上記間隙から各）パネル片に輻射熱が直接入射す
ることを防止する第１シールド部材と、上記／ぞネル片
のうち、上記気体の入射方向忙対して最前に位置するパ
ネル片の前面に付設された第２シールド部材とを含むこ
とを特徴とするものである。
に所定間隙を隔てて並置された複数のクライオポンプモ
ジュールを具備し、排気されるべき気体が上記第１方向
とほぼ直角な方向から流入するクライオポンプにおいて
、上記クライオポンプモジュールの各々はほぼ上記第１
方向に沿って延びた複数のクライオノネル片がほぼ上記
直角方向に沿って所定間隔をもって並置されたパネル片
列と、上記間隙から各）パネル片に輻射熱が直接入射す
ることを防止する第１シールド部材と、上記／ぞネル片
のうち、上記気体の入射方向忙対して最前に位置するパ
ネル片の前面に付設された第２シールド部材とを含むこ
とを特徴とするものである。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第４図は、本発明のクライオポンプモジュールの相互位
置関係を示すもので、上下左右および背面を被う輻射シ
ールド７ 、８ 、９ 、１０ 、１１内に複数個のク
ライオポンプモジュール１２が所定の間隙ａを隔てて、
並置されている。上記輻射シールｒ７ 、８ 、９．１
０．１１は、いずれも液体窒素により冷却される。各モ
ジュール１２は、その並び方向Ｘに＠ｂを有する。排気
されるべき気体は、矢印ｙに示すように輻射シールドの
開放側より入射する。
置関係を示すもので、上下左右および背面を被う輻射シ
ールド７ 、８ 、９ 、１０ 、１１内に複数個のク
ライオポンプモジュール１２が所定の間隙ａを隔てて、
並置されている。上記輻射シールｒ７ 、８ 、９．１
０．１１は、いずれも液体窒素により冷却される。各モ
ジュール１２は、その並び方向Ｘに＠ｂを有する。排気
されるべき気体は、矢印ｙに示すように輻射シールドの
開放側より入射する。
このクライオポンプモジュールの具体的構成例を示す第
５図において、モジュール稔は、複数のクライオパネル
片１３からなるパネル片列と、各クライオ・ぞネル片１
３に固着された冷却管１４と、ルーツ々−ブラインド型
バッフル１５と、隣接クライオパネル片１３０間に斜設
された輻射シールド板１６と、シェブロン型バッフル１
７とから構成されている。
５図において、モジュール稔は、複数のクライオパネル
片１３からなるパネル片列と、各クライオ・ぞネル片１
３に固着された冷却管１４と、ルーツ々−ブラインド型
バッフル１５と、隣接クライオパネル片１３０間に斜設
された輻射シールド板１６と、シェブロン型バッフル１
７とから構成されている。
上記パネル片列の各クライオパネル片１３は、モジュー
ル１２の並び方向Ｘに沿って延びており、相互には、こ
の並び方向Ｘに直角な方向即ち方向ｙに沿って所定の間
隔をもって互に並置されている。
ル１２の並び方向Ｘに沿って延びており、相互には、こ
の並び方向Ｘに直角な方向即ち方向ｙに沿って所定の間
隔をもって互に並置されている。
ルー／マーブラインド型ノ々ツフル１５は、モジュール
１２の一方への側面に沿って設けられ、室温部からの熱
輻射がモジュール１２間の間隙の前面開口部１８から直
接にクライオパネル片１３に入射することを防止してい
る。また、斜設の輻射シールド板１６は、その一端が前
後に隣接するクライオノぐネル片１３の前方、即ち、気
体の入射側の・ぐネル片の、／々ツフル１５の設けられ
た側の端部に位置し、他端が後方のパネル片の、ノ々ツ
フル１５と反対側の端部に位置している。これらのシー
ルド板１６は、開口部１８から熱輻射が直接クライオパ
ネル片１３に入射することを防止すると共に開口部１８
から流入した気体分子を反射して、その前方のクライオ
ノぞネル片１３の後面に導く作用をする。これらのルー
ツ々−ブラインＰ型バッフル１５と輻射シールド板１６
とから、第１シールｒ部材を構成する。
１２の一方への側面に沿って設けられ、室温部からの熱
輻射がモジュール１２間の間隙の前面開口部１８から直
接にクライオパネル片１３に入射することを防止してい
る。また、斜設の輻射シールド板１６は、その一端が前
後に隣接するクライオノぐネル片１３の前方、即ち、気
体の入射側の・ぐネル片の、／々ツフル１５の設けられ
た側の端部に位置し、他端が後方のパネル片の、ノ々ツ
フル１５と反対側の端部に位置している。これらのシー
ルド板１６は、開口部１８から熱輻射が直接クライオパ
ネル片１３に入射することを防止すると共に開口部１８
から流入した気体分子を反射して、その前方のクライオ
ノぞネル片１３の後面に導く作用をする。これらのルー
ツ々−ブラインＰ型バッフル１５と輻射シールド板１６
とから、第１シールｒ部材を構成する。
また、第２シールド部材を構成するシェブロン型ノ々ツ
フル１７は、パネル列の最前側に位置するツクネル片１
３の前面に付設され、室温部からの熱輻射が直接に最前
側のＡネル片１３に入射することを防止している。これ
らのルーツ々−ブラインド型ノ々ツフル１５、輻射シー
ルド板１６およびシェブロン型ノ々ツフル１７は、いず
れも輻射率が１に近くなるように黒化処理を施こされて
おり、また液体窒素により冷却される。
フル１７は、パネル列の最前側に位置するツクネル片１
３の前面に付設され、室温部からの熱輻射が直接に最前
側のＡネル片１３に入射することを防止している。これ
らのルーツ々−ブラインド型ノ々ツフル１５、輻射シー
ルド板１６およびシェブロン型ノ々ツフル１７は、いず
れも輻射率が１に近くなるように黒化処理を施こされて
おり、また液体窒素により冷却される。
この作用を説明する。
冷却管１４を流れる液体ヘリウムにより、クライオツク
ネル片１３は、３．７〜４．２Ｋに冷却されている。
ネル片１３は、３．７〜４．２Ｋに冷却されている。
前面開口部１８からクライオポンプに入射した気体分子
は、一部が、ルーノーブラインド型ノ々ツフル１５を通
って、クライオパネル片１３に捕捉され、また一部が輻
射シールド板１５で反射され前方のクライ′−オパネル
後面で効率よく捕捉されるなどして、結局、通過確率η
ａで排気される。またモジュール１２の前面に入射した
気体分子はシェブロン型ノ々ツフル１７を通って最前の
クライオツクネル片１３で捕捉され、通過確率ηｂで排
気される。
は、一部が、ルーノーブラインド型ノ々ツフル１５を通
って、クライオパネル片１３に捕捉され、また一部が輻
射シールド板１５で反射され前方のクライ′−オパネル
後面で効率よく捕捉されるなどして、結局、通過確率η
ａで排気される。またモジュール１２の前面に入射した
気体分子はシェブロン型ノ々ツフル１７を通って最前の
クライオツクネル片１３で捕捉され、通過確率ηｂで排
気される。
クライオパネル片１３は、モジュールの並び方向Ｘに沿
って延びると共に、それと直角な方向に沿って複数個並
置されているため、モジュール内のクライオ・々ネルの
総面積が増大し、クライオポンプの排気容量が増大し、
また輻射シールド板１５が排気を効率化するので、前面
開口部１８における通過確率ηａは、ａ＝２０ｃｍ、
ｂ＝１０ｃｍとしたとき、非常に大きくなり、ηａ＝０
．６ が得られる。
って延びると共に、それと直角な方向に沿って複数個並
置されているため、モジュール内のクライオ・々ネルの
総面積が増大し、クライオポンプの排気容量が増大し、
また輻射シールド板１５が排気を効率化するので、前面
開口部１８における通過確率ηａは、ａ＝２０ｃｍ、
ｂ＝１０ｃｍとしたとき、非常に大きくなり、ηａ＝０
．６ が得られる。
また、シェブロン型ノ々ツフル１７の通過確率ηｂは、
前述したようにηｂ＝０．２３であるので、クライオポ
ンプ全体としての単位面積当りの排気効率従ってクライ
オポンプ全体での単位面積当りの排気速度も４４ Ｘ
０．４８＝ ２１． Ｉ Ｃｎ／ｓｅｃ、 ｃｄｌと大
幅に増大する。
前述したようにηｂ＝０．２３であるので、クライオポ
ンプ全体としての単位面積当りの排気効率従ってクライ
オポンプ全体での単位面積当りの排気速度も４４ Ｘ
０．４８＝ ２１． Ｉ Ｃｎ／ｓｅｃ、 ｃｄｌと大
幅に増大する。
以上の説明ではクライオパネル片１３は、並び方向Ｘに
平行に延びているとしたが、これは完全に平行である必
要はない。すなわち、第６図に示されるように、クライ
オパネル１３を、並び方向Ｘに成る程度傾げて配置する
こともできる。このようにクライオノぞネル１３を斜設
することは、前面開口部１８における気体分子の通過確
率ηａの低下を招くが、しかし冷却管の配役スペースや
その支持構造上の点でクライオパネル片１３やルーパー
ブラインＰ型Ａツフル１５や輻射シールド板１６の配置
忙制限が加えられた場合に有効となる。
平行に延びているとしたが、これは完全に平行である必
要はない。すなわち、第６図に示されるように、クライ
オパネル１３を、並び方向Ｘに成る程度傾げて配置する
こともできる。このようにクライオノぞネル１３を斜設
することは、前面開口部１８における気体分子の通過確
率ηａの低下を招くが、しかし冷却管の配役スペースや
その支持構造上の点でクライオパネル片１３やルーパー
ブラインＰ型Ａツフル１５や輻射シールド板１６の配置
忙制限が加えられた場合に有効となる。
第５図および第６図の構成では、各クライオパネル片１
３は単一の冷却管１４で冷却されるのでクライオパネル
片１３が大型化すると、そのノぞネルの温度分布が一様
でなくなるという問題が生ずる。
３は単一の冷却管１４で冷却されるのでクライオパネル
片１３が大型化すると、そのノぞネルの温度分布が一様
でなくなるという問題が生ずる。
このクライオノにネル片の温度分布を一様化できる実施
例を第７図に示す。
例を第７図に示す。
第７図において、複数のクライオノ臂ネル片１９は、キ
ルテイング型構造であり、この各内部空間に、液体ヘリ
ウムが供給される。その他の構成は第５図と同一である
。
ルテイング型構造であり、この各内部空間に、液体ヘリ
ウムが供給される。その他の構成は第５図と同一である
。
以上の説明から明らかなように、本発明によると、クラ
イオポンプモジュール各々は、はぼモジュールの並び方
向に沿って延びた複数のクライオパネル片が並び方向に
ほぼ直角な方向に沿って所定間隔をもって並置されてい
るノぞネル片列と、モジュール間の間隙から各、パネル
片に輻射熱が直接入射することを防止する第１シールド
部材と、上記ＪＲパネル片うち、気体の入射方向に対し
て最前に位置する・ぞネル片の前面に付設された第２シ
ールド部材とを含んでいるため、パネル片列の構成によ
り−ぞネル総面積が増大しモジュール間隙における通過
確率を向上でき、また各モジュールの間隙に加えて上記
最前のパネル片即ちモジュールの前面においても気体を
排気できる。したがってクライオポンプ全体の実効的単
位面積当りの排気効率を、著しく向上でき、容量および
排気速度を大幅に増大できる。
イオポンプモジュール各々は、はぼモジュールの並び方
向に沿って延びた複数のクライオパネル片が並び方向に
ほぼ直角な方向に沿って所定間隔をもって並置されてい
るノぞネル片列と、モジュール間の間隙から各、パネル
片に輻射熱が直接入射することを防止する第１シールド
部材と、上記ＪＲパネル片うち、気体の入射方向に対し
て最前に位置する・ぞネル片の前面に付設された第２シ
ールド部材とを含んでいるため、パネル片列の構成によ
り−ぞネル総面積が増大しモジュール間隙における通過
確率を向上でき、また各モジュールの間隙に加えて上記
最前のパネル片即ちモジュールの前面においても気体を
排気できる。したがってクライオポンプ全体の実効的単
位面積当りの排気効率を、著しく向上でき、容量および
排気速度を大幅に増大できる。
第１図は従来のクライオポンプを模式的に示す横断面図
、第２図は従来のモジュール式クライオポンプを、模式
的に示した横断面図、第３図は第２図の一部拡大図、第
４図は本発明の一実施例のクライオポンプの各モジュー
ルの位置関係を、概略的に示す斜視図、第５図は上記実
施例のモジュールを詳細に示す横断面図、第６図および
第７図は夫々上記実施例の変形例を示す横断面図である
。 １２・・・クライオポンプモジュール、１３・・・クラ
イオパネル片、１４・・・冷却管、１５・・・ルーパー
ブラインド型ノ々ツフル、１６・・・輻射シールド板、
１７・・・シェブロン型ノ々ツフル、１８・・・前面開
口部、１９・・・クライオパネル片。 出願人代理人 猪 股 清 躬１目 第２會 第３図 ス 躬５目
、第２図は従来のモジュール式クライオポンプを、模式
的に示した横断面図、第３図は第２図の一部拡大図、第
４図は本発明の一実施例のクライオポンプの各モジュー
ルの位置関係を、概略的に示す斜視図、第５図は上記実
施例のモジュールを詳細に示す横断面図、第６図および
第７図は夫々上記実施例の変形例を示す横断面図である
。 １２・・・クライオポンプモジュール、１３・・・クラ
イオパネル片、１４・・・冷却管、１５・・・ルーパー
ブラインド型ノ々ツフル、１６・・・輻射シールド板、
１７・・・シェブロン型ノ々ツフル、１８・・・前面開
口部、１９・・・クライオパネル片。 出願人代理人 猪 股 清 躬１目 第２會 第３図 ス 躬５目
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、第１の方向に互に所定間隙を隔てて並置された複数
のクライオポンプモジュールを具備し、排気されるべき
気体が上記第１方向とほぼ直角な方向から流入するクラ
イオポンプにおいて、上記クライオポンプモジュールの
各々は、はぼ上記第１方向に沿って延びた複数のクライ
オパネル片がほぼ上記直角方向に沿って所定間隔をもっ
て並置されたパネル片列と、上記間隙から各パネル片に
輻射熱が直接入射することを防止する第１シールＰ部材
と、上記パネル片のうち、上記気体の入射方向に対して
最前に位置するパネル片の前面に付設された第２シール
Ｐ部材とを含むことを特徴とするクライオポンプ。 ２、上記第１シールド部材は、上記パネル列の一方の側
面に沿って配置されたルーパーシラインＰ型Ａツフルと
、上記パネル列の相前後する隣接パネル片の間に斜設さ
れた輻射シールド板とから構成され、上記輻射シールド
板は、上記隣接ノ臂ネル片のうちの前方のパネル片の、
上記一方側面の側に位置する端部から後方のパネル片の
、上記一方側面と反対の側面に位置する端部の方へ延び
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
クライオポンプ。 ３、上記第２シールｒ部材はシェブロン屋／？ツフルで
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項
に記載のクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295584A JPS60159383A (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295584A JPS60159383A (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60159383A true JPS60159383A (ja) | 1985-08-20 |
Family
ID=11819691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1295584A Pending JPS60159383A (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60159383A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02191877A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-27 | Hitachi Ltd | クライオポンプ |
| US5083445A (en) * | 1989-01-20 | 1992-01-28 | Hitachi, Ltd. | Cryopump |
-
1984
- 1984-01-27 JP JP1295584A patent/JPS60159383A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02191877A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-27 | Hitachi Ltd | クライオポンプ |
| US5083445A (en) * | 1989-01-20 | 1992-01-28 | Hitachi, Ltd. | Cryopump |
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