JPS60148181A - Laser device - Google Patents
Laser deviceInfo
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- JPS60148181A JPS60148181A JP383884A JP383884A JPS60148181A JP S60148181 A JPS60148181 A JP S60148181A JP 383884 A JP383884 A JP 383884A JP 383884 A JP383884 A JP 383884A JP S60148181 A JPS60148181 A JP S60148181A
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- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、赤外線レーザ装置などのレーザ共振器に設
けられるビーム位置センサを備えたレーザ装置に関する
ものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a laser device including a beam position sensor provided in a laser resonator, such as an infrared laser device.
従来この種のレーザ装置には、代表的な例として第１図
に示すものがあった。第１図は従来のレーザ装置を示す
概略構成図である。図において、１は交流高電圧の電源
、２，３は相対向して配（西されるそれぞれの電極、４
は各電極２，３間に発生される放電空間、５は部分反射
ミラー、６は全反射ミラー、７は部分反射ミラー５の近
傍に配設されるアパーチャ部材、８はレーザ媒質ガスの
ガス流であり、第１図に示す様に紙面と直角の方向に流
れている。９は発生されるレーザビームである０
次に、上記第１図の動作について説明する。才ず、各電
極２，３間に電源１から交流高電圧を印加し、各電極２
，３間に放電空間４を発生させる。Conventionally, there has been a typical example of this type of laser device as shown in FIG. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a conventional laser device. In the figure, 1 is an AC high voltage power supply, 2 and 3 are electrodes arranged opposite each other (towards the west), 4
5 is a partial reflection mirror, 6 is a total reflection mirror, 7 is an aperture member disposed near the partial reflection mirror 5, and 8 is a gas flow of the laser medium gas. As shown in FIG. 1, the flow is perpendicular to the plane of the paper. 9 is a generated laser beam 0 Next, the operation shown in FIG. 1 will be explained. AC high voltage is applied from the power supply 1 between each electrode 2 and 3, and each electrode 2
, 3 to generate a discharge space 4.
一方、各電極２，３間にレーザ媒質ガスのガス流８ ？
、！し、レーザ媒質ガスを上記の放電空間４において励
起することによりレーザ光を生成させる。On the other hand, there is a gas flow 8 of the laser medium gas between each electrode 2 and 3?
,! Then, laser light is generated by exciting the laser medium gas in the discharge space 4 described above.
放電空間４をはさんで部分反射ミラー５と全反射ミラー
６と全相対向して配置し、捷た、部分反射ミラー５の近
傍に円形の開口部７ａｉ有するアパーチャ部材７を配設
すれば、円形のレーザビーム９を外部に取り出すことが
できる０この場合、部分反射ミ２−５と全反射ミラー６
との相互の対向位置′の調整、すなわちアライメントが
不良であれば、レーザビーム９のモードの対称性が崩れ
たり、レーザビーム９の出射方向の軸ずれが起り、この
ため、レーザ加工により被加工物の切断など金する時の
加工特性が劣化する。If a partial reflection mirror 5 and a total reflection mirror 6 are arranged to face each other across the discharge space 4, and an aperture member 7 having a circular opening 7ai is arranged near the bent partial reflection mirror 5, A circular laser beam 9 can be taken out to the outside. In this case, a partial reflection mirror 2-5 and a total reflection mirror 6 are used.
If the alignment is poor, the symmetry of the mode of the laser beam 9 will be destroyed, or the axis of the laser beam 9 will be misaligned in the emission direction. Processing characteristics when cutting objects etc. deteriorate.
従来のレーザ装置は以上の様に構成されているので、部
分反射ミラー５と全反射ミラー６との相互の対向位置の
調整であるアライメントがずれた場合に、発生されるレ
ーザビーム９のモードの対称性が崩れ、出力も低下する
と同時にレーザビーム９の軸ずれが生じるが、このレー
ザビーム９のモードの対称性や軸ずれを検知する適切な
手段が無く、この結果、対称性が優れ、軸ずれの無いモ
ードのレーザビーム９を発生することは、非常に困難で
あるという欠点があった。Since the conventional laser device is configured as described above, the mode of the generated laser beam 9 is changed when the alignment, which is the adjustment of the mutually facing positions of the partial reflection mirror 5 and the total reflection mirror 6, is misaligned. The symmetry is destroyed, the output is reduced, and the axis of the laser beam 9 is shifted at the same time. However, there is no appropriate means to detect the symmetry of the mode of the laser beam 9 or the axis shift. The drawback is that it is very difficult to generate a laser beam 9 with a mode without deviation.
この発明は、上記の様な従来のものの欠点を改善する目
的でなされたもので、相対向する第１のミラーと第２の
ミラーによって構成されるＶ−ザ共振器から発生さすす
るレーザビームの光路上に、レーザビームの軸ずれ度を
検知する軸ずれセンサを少なくとも２個設け、これらの
軸ずれセンサの出力に対応して、各第１及び第２のミラ
ーの角５ｅ調整を行うことにより、レーザ共振器の設定
光軸上にレーザビーム會発生させる様にして成るイＲ成
を有（７、対称性が良く、かつトｔｌ＋ ｆ ｉＬの無
いモードのレーザビームを出力できるレーザ装西會提供
するものである０
〔発明の実施例〕
以下、この発明の実施例を図について説明する。This invention was made with the aim of improving the above-mentioned drawbacks of the conventional ones, and the invention is aimed at improving the disadvantages of the conventional ones as described above. By providing at least two axis deviation sensors on the optical path to detect the degree of axis deviation of the laser beam, and adjusting the angle 5e of each of the first and second mirrors in accordance with the outputs of these axis deviation sensors. , has a laser beam assembly that generates a laser beam on the set optical axis of a laser resonator (7. A laser assembly that can output a laser beam with good symmetry and a mode without tl + f iL). [Embodiments of the Invention] Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第２図はこの発明の一実施例であるレーザ装置を示す概
略構成図で、第１図と同一部分は同−符号を用いて表示
してあり、その詳細な説明は省略する０図において、７
０はレーザビーム９の軸ずれ度を検知する軸ずれセンサ
であり、この軸ずれセンサ７０の１個は、第２のミラー
でちる部分反射ミラー５側で、アパーチャ部材７の前面
近くに配置され、軸ずれセンサ７０の他の１個は、第１
のミラーである全反射ミラー６側に配置される。第３図
（ａ）及び（ｂ）に示す様に、軸ずれセンサ７０は、ボ
ルダ７２と、このホルダ７２に中心対称に相対向して設
置された４個の受光素子７１とにより構成される。各受
光素子７１の受けたレーザ光出力に応じた出力が、それ
ぞれＸｌ、Ｘ２ 、Ｙｌ、Ｙ２である。その出力の種類
について云えば、受光素子７１として、熱電対を用いた
場合は熱起電力、サーモパイル、熱電素子、白金抵抗体
等を用いた場合は電気抵抗率の変化、フォトダイオード
等を用いた場合は電流となるなど、各出力は受光素子７
１の種類と動作原理によって異なるが、この発明の原理
上ではどの様なものでも良い。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a laser device which is an embodiment of the present invention. In FIG. 0, the same parts as in FIG. 7
0 is an axis deviation sensor that detects the degree of axis deviation of the laser beam 9, and one of these axis deviation sensors 70 is arranged near the front surface of the aperture member 7 on the side of the partial reflection mirror 5 that is tilted by the second mirror. , the other one of the axis deviation sensors 70 is the first
The total reflection mirror 6 is placed on the side of the total reflection mirror 6. As shown in FIGS. 3(a) and 3(b), the axis misalignment sensor 70 is composed of a boulder 72 and four light receiving elements 71 placed centrally symmetrically and facing each other on this holder 72. . The outputs corresponding to the laser light outputs received by each light receiving element 71 are Xl, X2, Yl, and Y2, respectively. Regarding the type of output, as the light receiving element 71, if a thermocouple is used, a thermoelectromotive force is used, a thermopile, a thermoelectric element, a platinum resistor, etc. is used as a change in electrical resistivity, and a photodiode, etc. is used. In the case, each output becomes a current, etc.
Although it differs depending on the type and operating principle, any type may be used in accordance with the principles of the present invention.
次に、上記第２図の作用について説明する０レーザ共壁
器内に形成されるレーザビーム９の定在波は、第２図に
示す構成にしたがって述べると、右向き定在波（部分反
射ミラー５回きの定在波）と、左向き定在波（全反射ミ
ラー６向きの定在波）とがある。右向き定在波はアパー
チャ部材７の開口部７ａにより形を制限されて部分反射
ミラー５に入り、そのパワーの一部は部分反射ミラー５
を透過して外部に放出され、レーザビーム９となる。Next, to explain the operation of FIG. 2 above, the standing wave of the laser beam 9 formed in the zero laser co-wall device is described according to the configuration shown in FIG. 2. There are five standing waves) and a leftward standing wave (standing waves pointing toward the total reflection mirror 6). The rightward standing wave is restricted in shape by the opening 7a of the aperture member 7 and enters the partially reflecting mirror 5, and part of its power is transmitted to the partially reflecting mirror 5.
The laser beam passes through the laser beam and is emitted to the outside to become a laser beam 9.
他の残りの反射光は全反射ミラー６に向う左向きの波と
なり、この全反射ミラー６で反射され再びアパーチャ部
材７に復帰する。この様な往復の過程で、レーザ光は増
幅を受けてパワーが増大すると共に、第４図に示す様に
、レーザビーム９の強度の波形形状は、山形の裾野の長
い広がりを持つものとなるが、アパーチャ部材７で再び
端切り（裾野部分のカット）される。ここで、ガウシア
ンモードのレーザビーム９を例にとれば、アパーチャ部
材７で端切りするパワーは右向き全パワーの約１％前後
で、その強度は第４図に示す様に、中心からの距離の増
加と共に急激に小さくなる分布を示す。すなわち、第３
図１１ａ）及び（ｂ）に示す様に、アパーチャ部材７の
外周に対称的に配設した各受光素子７１の出力ＸＩ 、
Ｘ２の比較によって、Ｘ方向のレーザビーム９の軸ずれ
全検知し、同様に、各受光素子７１の出力Ｙｌ、Ｙ２の
比較によって、Ｙ方向のレーザビーム９の軸ずれ全検知
することができる。The remaining reflected light becomes a leftward wave toward the total reflection mirror 6, is reflected by the total reflection mirror 6, and returns to the aperture member 7 again. During this round-trip process, the laser beam is amplified and its power increases, and as shown in Figure 4, the intensity waveform of the laser beam 9 becomes one with a long and wide base. is cut off again by the aperture member 7 (cutting of the base portion). Here, if we take the Gaussian mode laser beam 9 as an example, the power cut off by the aperture member 7 is about 1% of the total rightward power, and its intensity varies with the distance from the center, as shown in Figure 4. It shows a distribution that decreases rapidly as the value increases. That is, the third
As shown in FIGS. 11a) and (b), the output XI of each light receiving element 71 arranged symmetrically around the outer periphery of the aperture member 7,
By comparing X2, it is possible to detect all the axis deviations of the laser beam 9 in the X direction, and similarly, by comparing the outputs Yl and Y2 of each light receiving element 71, it is possible to detect all the axis deviations of the laser beam 9 in the Y direction.
以下に、この発明のレーザ装置における機能について説
明する０第５図（ａ）〜（ｅ）、第６図（ａ）〜（ｅ）
。Below, the functions of the laser device of the present invention will be explained.
.
第７図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれこの発明のレーザ
装置における機能態様を説明するための原理図である。FIGS. 7(a) and 7(b) are principle diagrams for explaining the functional aspects of the laser device of the present invention, respectively.
上記各図において簡単のため、全反射ミラー６ｅＭ１（
第１のミラー）、部分反射ミラー５をＭ２（第２のミラ
ー）、各軸ずれセンサｉｓｉ。In each of the above figures, for simplicity, total reflection mirror 6eM1 (
(first mirror), partial reflection mirror 5 M2 (second mirror), and each axis deviation sensor isi.
Ｓ２と呼称し、レーザビーム９の出射方向にＭｌ。It is called S2, and Ml is located in the emission direction of the laser beam 9.
８１、Ｓ２．Ｍ２の順序で配置されているものとする。81, S2. It is assumed that they are arranged in the order of M2.
第５図（ａ）に示す様に、レーザビーム９が軸ずれを発
生している場合は、レーザビーム９の対称性は崩れ、出
力も低下し、かつレーザビーム９の串射位置も設定光軸
Ｌｌ−Ｌ２からずれており、その発振軸は０２−０１と
なる。そして、軸ずれの度合いがより大きいのはＳ２で
ある０この場合、Ｓ２の軸ずれに対応する出力全最小に
するべく Ｍｌを角度調整した状態が、第５図（ｂ）に
示されており、その発掘軸は０２−０１’となる０次に
、Ｓｌの軸ずれに対応する出力を最小にするべくＭ２’
！ｒ角度調整すると、第５図（ｅ）に示す様な状態とな
り、その発振軸は０２’−０１’となる。この様な谷Ｍ
ｌ。As shown in FIG. 5(a), if the axis of the laser beam 9 is misaligned, the symmetry of the laser beam 9 will be lost, the output will be reduced, and the skewing position of the laser beam 9 will also be changed to the set point. It is shifted from the axis Ll-L2, and its oscillation axis is 02-01. In this case, the angle of Ml is adjusted to minimize the total output corresponding to the axis deviation of S2, as shown in Fig. 5(b). , its excavation axis is 02-01', and M2' is set to minimize the output corresponding to the axis deviation of Sl.
! When the r angle is adjusted, a state as shown in FIG. 5(e) is obtained, and the oscillation axis becomes 02'-01'. Valley M like this
l.
Ｍ２の角度調整の手段を繰り返すことにより、第５図（
ｄ）→第５１ス（ｅ）の状態になり、その発掘軸も ２
′−ｏｉ″→０２″−０１’となる。この結果、レーザ
ビーム９は対称性の良いものとなり、出力も最大となり
、かつレーザビーム９の出射位置は限りなく設定光軸１
，１−ｒ、２に近づく様になる。By repeating the method of adjusting the angle of M2, as shown in Fig. 5 (
d) → The state of 51st (e) is reached, and the excavation axis is also 2
'-oi''→02''-01'. As a result, the laser beam 9 has good symmetry, the output is maximized, and the emission position of the laser beam 9 is unlimited to the set optical axis 1.
,1-r, approaches 2.
第６図（ａ） −（ｅ）と７図（ａ）及び（ｂ）に示す
ものは、レーザビーム９の初期軸ずれが異なる状態から
、第５図（ａ）〜（ｅ）に７トす実施例と同様の手順で
谷Ｍｌ。6(a)-(e) and 7(a) and (b), the initial axis deviation of the laser beam 9 is different, and the seven points shown in FIG. 5(a) to (e) are different. Tani Ml was prepared using the same procedure as in the example.
Ｍ２の角度調整ケした例をそれぞれ明示している。Examples of angle adjustment of M2 are clearly shown.
レーザビーム９の初期軸ずれ状態は、上記した３例によ
りすべてを尽しているから、結局、この発明のレーザ装
置によって、常にレーザ共振器の各Ｍ１．Ｍ２の角度調
整を最良に行うことができる様になる。云う寸でもなく
、上記した様な操作。Since the initial axis misalignment state of the laser beam 9 is satisfied by the three examples described above, the laser device of the present invention always maintains each M1 . This allows the angle adjustment of M2 to be performed optimally. It's not even a big deal, but it's the same operation as described above.
軸ずれ出力の検出、各反射ミラーの角度調整等は、今日
の一般的な技術の範囲内において、電気的に自動化して
行い得る。Detection of the misalignment output, adjustment of the angle of each reflecting mirror, etc. can be electrically automated within the scope of today's common technology.
なお、上記実施例では、最も簡単なレーザ共振器（スト
レート形）の場合について説明したが、折り返し形のレ
ーザ共振器の場合にも同様に適用が可能である。１窮８
図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれこの発明の他の実施例
であるレーザ装置におけるレーザ共振器の概略構成図及
びその展開図である。第８図（ａ）に示す様に、レーザ
共振器の構成では、内部に各ミラーｎ、ｕ 、 工ｙｒ
２ｗ追加し、各ミラーの配列をＭｌ −ＩＭＩ −ＩＭ
２−Ｍ２の様にする。そして、各アパーチャ部材７ｔＡ
１．Ａ２と呼称すると、各アパーチャ部材ＡＩ、Ａ２の
前面近くに各軸ずれセンサＳｌ、Ｓ２’に配置すれば、
そのレーザ共振器の光学構成は、第８図（ｂ）に示す展
開図の様になる。したがって、この場合にも、上記実施
例と同様の操作をすることにより、各ミラーＭｌ、Ｍ２
の最適な角関調整が可能となる。In the above embodiment, the case of the simplest laser resonator (straight type) was explained, but the present invention can be similarly applied to the case of a folded type laser resonator. 1 hardship 8
Figures (a) and (b) are a schematic configuration diagram and an expanded view of a laser resonator in a laser device according to another embodiment of the present invention, respectively. As shown in FIG. 8(a), in the configuration of the laser resonator, there are mirrors n, u, and mirrors inside.
Add 2w and change the array of each mirror to Ml -IMI -IM
2-Make it like M2. And each aperture member 7tA
1. If called A2, if each axis deviation sensor Sl, S2' is placed near the front surface of each aperture member AI, A2,
The optical configuration of the laser resonator is as shown in the developed view shown in FIG. 8(b). Therefore, in this case as well, by performing the same operation as in the above embodiment, each mirror Ml, M2
This allows for optimal angle adjustment.
さらに、上記各実施例では、すべてのレーザ共振器とし
て、Ｍ １−８１−８２−Ｍ ２の配列猶成會何するも
のについて説明したが、第９図に示す様に、軸ずれセン
サＳ２をレーザ共振器の外部に出して、出力されるレー
ザビーム９そのものの動ず九を検知する構成としても良
く、上記谷実施例と同様の効果を奏する。この場合には
、レーザ共振器の内部に軸ずれセンサＳ２ケ取り＋＝Ｔ
ける繁雑さが軽減されると同時に、レーザ共振器の設足
光ｄｉｔｌ Ｌ １− Ｌ ２そのものの最終訳歪を、
’ｌ佃ずれセンサＳ２の位置調整で行うことができると
いう利点がある。Furthermore, in each of the above embodiments, the arrangement of M1-81-82-M2 was explained as all the laser resonators, but as shown in FIG. A configuration may also be adopted in which the movement of the output laser beam 9 itself is detected by taking it outside the laser resonator, and the same effect as in the valley embodiment described above can be achieved. In this case, there are two axis deviation sensors S inside the laser resonator +=T
At the same time, the final translation distortion of the laser cavity installation light ditl L1-L2 itself is reduced.
There is an advantage that this can be done by adjusting the position of the displacement sensor S2.
この発明は以上説明した様に、Ｖ−ザ装置（１’ｒこお
いて、レーザ共振器から発生されるレーザビームの光路
上に、レーザビームの軸ず才しセノザな：少なくとも２
１固設け、こＪｔらの１１出ずれセンーリ−の出力に対
応し７て、レーザ共振器のミラーの角度Ａづｆω行う様
にした構成としたので、極めて対称性が良く、かつ出射
方向に軸ずれの無いモードのレーザビーム全出力できる
レーザ装置が得られるという優れた効果を奏するもので
ある。As explained above, the present invention includes a V-laser device (1'r) with a laser beam axis-aligned laser beam on the optical path of the laser beam generated from the laser resonator: at least 2
1 is fixed, and the angle of the mirror of the laser resonator is adjusted to correspond to the output of the 11 output sensors of Jt et al., so it has extremely good symmetry and a This provides an excellent effect in that a laser device capable of producing full output of a laser beam in a mode with no axis deviation can be obtained.
第１図は従来のレーザ装置を示す概略構成図、第２図は
この発明の一実施例であるレーザ装置を示す概略構成図
、第３図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ第２図のレーザ
装置における軸ずれセンサ部分の構成を示す平面図及び
その断面図、第４図は、第３図の軸ずれセンサ部分のレ
ーザビーム強度を示す説明図、第５図６）〜（ｅ）、第
６図（ａ）〜（ｅ）、第７図（ａ）及び（ｂ）は、それ
ぞれこの発明のレーザ装置における機能態様を説明する
ための原理図、第８図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれこ
の発明の他の実施例であるレーザ装置におけるレーザ共
振器の概略構成図及びその展開図、第９図はこの発明の
他の実施例であるレーザ装置におけるレーザ共振器の概
略構成図である。
図において、１・・・１源、２，３・・・電極、４・・
・放電空間、５・・・部分反射ミラー、６・・・全反射
ミラー、７・・・アノ（＝チャ部材、７ａ・・・開口部
、７０・・・軸ずれセンサ、７１・・・受光素子、７．
２・・ホルダ、８・・・ガス流、９・・・レーザビーム
である。
なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分全示す。
代理人 大岩増雄
第３図
（ａ）
２
第４図
（ｂ）
第５図
Ｍ１−
Ｍ１−
Ｍ２−
第６図FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a conventional laser device, FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a laser device according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 3(a) and (b) are respectively shown in FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram showing the laser beam intensity of the axis misalignment sensor portion in FIG. 3, and FIG. , FIGS. 6(a) to (e), and FIGS. 7(a) and (b) are principle diagrams for explaining the functional aspects of the laser device of the present invention, and FIGS. 8(a) and (b), respectively. ) are a schematic configuration diagram and a development diagram thereof, respectively, of a laser resonator in a laser device that is another embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a schematic configuration diagram of a laser resonator in a laser device that is another embodiment of the present invention. It is a diagram. In the figure, 1...1 source, 2,3...electrode, 4...
・Discharge space, 5... Partial reflection mirror, 6... Total reflection mirror, 7... Anno (= Char member, 7a... Opening, 70... Axis deviation sensor, 71... Light receiving Motoko, 7.
2... Holder, 8... Gas flow, 9... Laser beam. In each figure, the same reference numerals indicate the same or all corresponding parts. Agent Masuo Oiwa Figure 3 (a) 2 Figure 4 (b) Figure 5 M1- M1- M2- Figure 6
Claims (1)
れるレーザ共振器を有するレーザ装置において、前記レ
ーザ共振器から発生されるレーザビームの軸ずれ度を検
知する軸ずれセンサを少なくとも２個設け、その内の第
１の軸ずれ七ンサ會前記第１のミラー側に、第２の軸ず
れセンサを前記第２のミラー側にそれぞれ配置し、前記
第１のミラーの角度調整によって前記第２の軸ずれセン
サの軸ずれ度を低減し、前記第２のミラーの角度調整に
よって前記第１の軸ずれセンサの軸ずれ度を低減し、前
記各角度調整の繰り返しにより、前記レーザ共振器の設
定光軸上にレーザビーム全発生させる様にして成ること
を特徴とするレーザ装置。In a laser device having a laser resonator constituted by a first mirror and a second mirror facing each other, at least two axis deviation sensors are provided to detect the degree of axis deviation of a laser beam generated from the laser resonator. , a first axis deviation sensor and a second axis deviation sensor are respectively arranged on the first mirror side and the second axis deviation sensor is arranged on the second mirror side, and the second axis deviation sensor is arranged on the second mirror side by adjusting the angle of the first mirror. The degree of axis deviation of the axis deviation sensor is reduced by adjusting the angle of the second mirror, and the degree of axis deviation of the first axis deviation sensor is reduced by adjusting the angle of the second mirror. By repeating each of the angle adjustments, the setting of the laser resonator is performed. A laser device characterized in that the entire laser beam is generated on the optical axis.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59003838A JPH0685453B2 (en) | 1984-01-12 | 1984-01-12 | Method for correcting misalignment of laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59003838A JPH0685453B2 (en) | 1984-01-12 | 1984-01-12 | Method for correcting misalignment of laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60148181A true JPS60148181A (en) | 1985-08-05 |
| JPH0685453B2 JPH0685453B2 (en) | 1994-10-26 |
Family
ID=11568322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59003838A Expired - Lifetime JPH0685453B2 (en) | 1984-01-12 | 1984-01-12 | Method for correcting misalignment of laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0685453B2 (en) |
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| JPS58115716U (en) * | 1982-01-29 | 1983-08-08 | 株式会社日立製作所 | Optical axis automatic adjustment device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0685453B2 (en) | 1994-10-26 |
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