JPS60146104A - 歯車測定プローブ - Google Patents
歯車測定プローブInfo
- Publication number
- JPS60146104A JPS60146104A JP59263095A JP26309584A JPS60146104A JP S60146104 A JPS60146104 A JP S60146104A JP 59263095 A JP59263095 A JP 59263095A JP 26309584 A JP26309584 A JP 26309584A JP S60146104 A JPS60146104 A JP S60146104A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hall
- measuring
- measuring probe
- hall sensor
- gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Dental Tools And Instruments Or Auxiliary Dental Instruments (AREA)
- Massaging Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、測定グロープロントを備えており、測定ブロ
ーブロンドはケーシング内に旋回可能に支承されており
、測定プローブロッドの一方の端部には測定プローブの
尖端部拐が支持されており、測定プローブロッドの他方
の端部には４１１１定装置の、相互に相対的にｐ］動な
２つの部分のうちの一方の部分が支持されており、測定
装置は磁界を発生し、かつ測定プローブ尖端部拐の変位
ないし振れに比例する電気信号を整合回路に送出するよ
うに構成されており、整合回路は電気信号を標準化され
た値にするよう・に構成されており、測定装置の、相互
に相対的に可動な２つの部分は静磁界を発生ずる装置な
いしホールセンサから構成されており、整合回路はケー
シングに数個Ｇづ、られている歯車測定プローブに関す
る。
ーブロンドはケーシング内に旋回可能に支承されており
、測定プローブロッドの一方の端部には測定プローブの
尖端部拐が支持されており、測定プローブロッドの他方
の端部には４１１１定装置の、相互に相対的にｐ］動な
２つの部分のうちの一方の部分が支持されており、測定
装置は磁界を発生し、かつ測定プローブ尖端部拐の変位
ないし振れに比例する電気信号を整合回路に送出するよ
うに構成されており、整合回路は電気信号を標準化され
た値にするよう・に構成されており、測定装置の、相互
に相対的に可動な２つの部分は静磁界を発生ずる装置な
いしホールセンサから構成されており、整合回路はケー
シングに数個Ｇづ、られている歯車測定プローブに関す
る。
従来の技術
その種の歯車測定フローツの場合、ホールセンサの出力
側と接続された整合回路は、実質的に零点；υ１°ｌ整
回路、および、直列接続された２つの演算増＠器である
。歯車測定フローツの場合、零点調整回路による零点調
整が必要である。と言うのは、ホールセンサは直流電圧
値によってだけ作動されるが、歯車測定フローツによる
歯面の測定の場合、常に測定プローブのフィンガ部（尖
端部′＠）の、前以てセントされた零点位置からの、プ
ラス、マイナス方向の振れないし変位・を測定しなけれ
ばならないからである。
側と接続された整合回路は、実質的に零点；υ１°ｌ整
回路、および、直列接続された２つの演算増＠器である
。歯車測定フローツの場合、零点調整回路による零点調
整が必要である。と言うのは、ホールセンサは直流電圧
値によってだけ作動されるが、歯車測定フローツによる
歯面の測定の場合、常に測定プローブのフィンガ部（尖
端部′＠）の、前以てセントされた零点位置からの、プ
ラス、マイナス方向の振れないし変位・を測定しなけれ
ばならないからである。
直流電圧の形式では、一方向極性の電圧しか生じないが
、出力側に出力される迎＋定電圧はできる限りしつかり
した必要な情報内容を含むようにする必要がある、即ち
左方向への振れは正の電圧で、右方向への振れは負の電
圧で表わす必要かあるので、ホールセンサの出力信号は
対称的でなければならない。このために、零点調整回路
から供給される電圧が、演算増幅器の前でホールセンサ
の出力電圧に加算される。零点調整回路は、基準電圧発
生器を有しており、この基準電圧発生器は、その給電電
流源の、場合によっては生じる変動に依存しない熱的に
安定した電圧を供給する。更に、零点調整回路はポテン
ショメータを有しており、このポテンショメータで、測
定装置の機械的微調整の必要のないように零点調整電圧
が調整可能である。
、出力側に出力される迎＋定電圧はできる限りしつかり
した必要な情報内容を含むようにする必要がある、即ち
左方向への振れは正の電圧で、右方向への振れは負の電
圧で表わす必要かあるので、ホールセンサの出力信号は
対称的でなければならない。このために、零点調整回路
から供給される電圧が、演算増幅器の前でホールセンサ
の出力電圧に加算される。零点調整回路は、基準電圧発
生器を有しており、この基準電圧発生器は、その給電電
流源の、場合によっては生じる変動に依存しない熱的に
安定した電圧を供給する。更に、零点調整回路はポテン
ショメータを有しており、このポテンショメータで、測
定装置の機械的微調整の必要のないように零点調整電圧
が調整可能である。
発明が解決しようとする問題点
公知の歯車測定プローブの場合、零点調整回路および測
定回路のその他の部分の温度ドリフトが正確に同してな
い場合、測定結果が不確実になることかある。ホールセ
ンサから同相電圧成分か牛し、この同相電圧成分をイ」
加的な、特別な手段によって抑圧しなければならない。
定回路のその他の部分の温度ドリフトが正確に同してな
い場合、測定結果が不確実になることかある。ホールセ
ンサから同相電圧成分か牛し、この同相電圧成分をイ」
加的な、特別な手段によって抑圧しなければならない。
更に、ボールセンサの出力電圧を増大することかできれ
ば即ち、μｍあたりの測定フローツの振れにつきｍＶ短
単位ホールセンサの出力電圧つまりホールセンサの１μ
度を増大することができるフ工らは、測定結果を更に改
善することができることが明らかになっている。
ば即ち、μｍあたりの測定フローツの振れにつきｍＶ短
単位ホールセンサの出力電圧つまりホールセンサの１μ
度を増大することができるフ工らは、測定結果を更に改
善することができることが明らかになっている。
本発明の課題は、公知の歯車測定プローブを改善し、て
、測定回路中の温度ドリフト現象によって測定が不確実
にならず、同相電圧成分を比較的簡単に抑圧でき、比較
的高いホールセンサ出力電圧を得ることができるように
することにある。
、測定回路中の温度ドリフト現象によって測定が不確実
にならず、同相電圧成分を比較的簡単に抑圧でき、比較
的高いホールセンサ出力電圧を得ることができるように
することにある。
発明の構成
この課題は、本発明によると、ホールセンサは差動出力
側を有するように構成され、整合回路は差動増幅回路と
して構成されていることにより解決される。
側を有するように構成され、整合回路は差動増幅回路と
して構成されていることにより解決される。
本発明の、特許請求の範囲第２項、第３項記載の実施例
によると、本発明の歯車測定プローブに使われる形式の
２つの同じホールセンサ素子を相互に機械的に固定連結
し、２つのホールセンサのホールジェネレータを磁界に
関して相互に逆向きに配設することによって、ホールセ
ンサを簡単に製作することかできる。
によると、本発明の歯車測定プローブに使われる形式の
２つの同じホールセンサ素子を相互に機械的に固定連結
し、２つのホールセンサのホールジェネレータを磁界に
関して相互に逆向きに配設することによって、ホールセ
ンサを簡単に製作することかできる。
本発明の、９、〒許請求の範囲第１項記載の実施例によ
ると、市販の、簡単な２つのホールセンサを同じ側で相
互に固定的に取付けた２重ホールセ／すを製作すること
ができる。
ると、市販の、簡単な２つのホールセンサを同じ側で相
互に固定的に取付けた２重ホールセ／すを製作すること
ができる。
実施例
第１図は、本発明の歯車測定プローブの原理的回路構成
を示すブロック接続図を示す。
を示すブロック接続図を示す。
第１図には、差出力側を備えたボールセンサ５０が示さ
れており、このホールセンサ５０の出力信−υ゛は差動
増幅回路の形式の整合回路によって処理される。最も簡
単な場合、第１図のホールセンサ５０が２つのホールジ
ェネレータを有するように構成することができ、この２
つのボールジェネレータは磁界が相互に逆向きになるよ
うに空間的に配設されている。各ホールジェネレータを
空間的に相互に逆向きにすることによって、所望の差出
力信号が得られる。ポー°ルジエネレータを１つしか有
していないホールセンサと比べて、２つのホールジェネ
レータと差出力側を有するホールセンサは倍の大きさの
出力信号を送出し、この出力信号のＳ／Ｎ（ノイズ信号
／有効信号）比はより改善されている。
れており、このホールセンサ５０の出力信−υ゛は差動
増幅回路の形式の整合回路によって処理される。最も簡
単な場合、第１図のホールセンサ５０が２つのホールジ
ェネレータを有するように構成することができ、この２
つのボールジェネレータは磁界が相互に逆向きになるよ
うに空間的に配設されている。各ホールジェネレータを
空間的に相互に逆向きにすることによって、所望の差出
力信号が得られる。ポー°ルジエネレータを１つしか有
していないホールセンサと比べて、２つのホールジェネ
レータと差出力側を有するホールセンサは倍の大きさの
出力信号を送出し、この出力信号のＳ／Ｎ（ノイズ信号
／有効信号）比はより改善されている。
第１図の差動増幅回路５Ｇは、公知のように構成するこ
とができる。次に、特別な実施例、特に第２図の、歯車
測定ゾローブの実施例について説明する。この実施例の
場合、ホールセンサは、２つの別個のホールセンサ素子
５０Ａ、５０Ｂから構成されており、この２つの別個の
ホールセンサ素子５０Ａ 、５０Ｂは、空間的に相互に
反対方向に配置されていて同し側が相互に固定的に連結
されている。
とができる。次に、特別な実施例、特に第２図の、歯車
測定ゾローブの実施例について説明する。この実施例の
場合、ホールセンサは、２つの別個のホールセンサ素子
５０Ａ、５０Ｂから構成されており、この２つの別個の
ホールセンサ素子５０Ａ 、５０Ｂは、空間的に相互に
反対方向に配置されていて同し側が相互に固定的に連結
されている。
第２図は、本発明の歯車θ１１定プローブの実施例の長
手方向部分断面図を示し、その際、測定プローブロッド
１０の水平方向旋回面で切断して示しである。測定プロ
ーブロッド１０がケーシング内に旋回可能に支承されて
いる。測定プローブロッド１０の一方の端には測定プロ
ーブの尖端部材か支持されており、測定プローブロッド
１０の他方の端には測定装置の、相互に相対的に可動な
２つの部分のうちの一方の部分が支持されている。測定
ゾローブの測定装置は、まとめて５０で示したホールセ
／す、２つの永久磁石５４および、接続スリーブ５８を
備えた電子回路部の杉の整合回路５６から構成されてい
る。接続スリーブ５８には、ホールセンサ５０の相応の
接続ビン６０が差込まれている。２つの永久磁；０５４
は、ホールセンサの向き合わないほうの側１（反対側）
に配置され且直径方向で間隔をおいて磁石ホルダ５２に
取付けられている。永久磁石５牛は、頑丈なサマリウム
−コノ々ルト磁石であり、このザマリウムーコバルト磁
石は非常に大きな磁界強度の磁界を形成し、長期間に亘
り安定性は極めて良好である。磁石ホルタ５２は、第２
図の、測定プローブロッド１０の右端に取イ」けられて
いる。２つの永久磁石５４は、各永久磁石の同じ極性が
相互に対向し合うように磁石ホルダ５２に取付けられて
いる。
手方向部分断面図を示し、その際、測定プローブロッド
１０の水平方向旋回面で切断して示しである。測定プロ
ーブロッド１０がケーシング内に旋回可能に支承されて
いる。測定プローブロッド１０の一方の端には測定プロ
ーブの尖端部材か支持されており、測定プローブロッド
１０の他方の端には測定装置の、相互に相対的に可動な
２つの部分のうちの一方の部分が支持されている。測定
ゾローブの測定装置は、まとめて５０で示したホールセ
／す、２つの永久磁石５４および、接続スリーブ５８を
備えた電子回路部の杉の整合回路５６から構成されてい
る。接続スリーブ５８には、ホールセンサ５０の相応の
接続ビン６０が差込まれている。２つの永久磁；０５４
は、ホールセンサの向き合わないほうの側１（反対側）
に配置され且直径方向で間隔をおいて磁石ホルダ５２に
取付けられている。永久磁石５牛は、頑丈なサマリウム
−コノ々ルト磁石であり、このザマリウムーコバルト磁
石は非常に大きな磁界強度の磁界を形成し、長期間に亘
り安定性は極めて良好である。磁石ホルタ５２は、第２
図の、測定プローブロッド１０の右端に取イ」けられて
いる。２つの永久磁石５４は、各永久磁石の同じ極性が
相互に対向し合うように磁石ホルダ５２に取付けられて
いる。
第２図のホールセンサ５０は、２つのホールセンザ米子
５０Ａ 、５０Ｂから構成されている。
５０Ａ 、５０Ｂから構成されている。
このホールセンサ素子５０Ａ、５０Ｂは、それぞれセラ
ミック板上にまとめられた回路として構成されており、
この回路は本来のホールセンサ・レークならひに電圧調
整器および増幅器ＶＳ（第３図参照）を有している。セ
ラミック板上に設けられた電気回路は、接続ビン６０お
よび接続スリーブ５８を介して差動増幅回路５６と接続
されている。この差動増幅回路５６については、第３図
を用い−て後で説明する。両セラミック板は、ホールセ
／す素子５０Ａ、５０Ｂの各ホールジェネレータが１８
０°だけ相互に回転されている、即ち永久磁石５４によ
って形成される磁界に関して空間的に相互に逆向きに配
置されるように、接着されている。ホールセンサ５０は
、ボルダ６６に取付けられており、ホルダ６６は両軍測
定プローブのケーゾング１４に取付けられている。ホル
ダ６６は、例えば軽金属から形成されている。その結果
、ホールセンサ５０は歯車？１１１１定プローブ内に動
かないように固定されているが、磁石ホルダは、測定プ
ローブロッド１０が旋回した場合に、ホールセンサ５０
に作用を及ぼすように動く。差動増幅回路５６は、接続
スリーブ５８に差込まれた接続ビン６０によって、動か
ないように固定されている。必要に応じて、差動増幅回
路５６を含む電子回路部をホルダ６６に付加的に固定す
ることかてきる。接続線７２を介して、差動増幅回路５
６の出力側は歯車測定プローブの接続スリーブと接続さ
れている。
ミック板上にまとめられた回路として構成されており、
この回路は本来のホールセンサ・レークならひに電圧調
整器および増幅器ＶＳ（第３図参照）を有している。セ
ラミック板上に設けられた電気回路は、接続ビン６０お
よび接続スリーブ５８を介して差動増幅回路５６と接続
されている。この差動増幅回路５６については、第３図
を用い−て後で説明する。両セラミック板は、ホールセ
／す素子５０Ａ、５０Ｂの各ホールジェネレータが１８
０°だけ相互に回転されている、即ち永久磁石５４によ
って形成される磁界に関して空間的に相互に逆向きに配
置されるように、接着されている。ホールセンサ５０は
、ボルダ６６に取付けられており、ホルダ６６は両軍測
定プローブのケーゾング１４に取付けられている。ホル
ダ６６は、例えば軽金属から形成されている。その結果
、ホールセンサ５０は歯車？１１１１定プローブ内に動
かないように固定されているが、磁石ホルダは、測定プ
ローブロッド１０が旋回した場合に、ホールセンサ５０
に作用を及ぼすように動く。差動増幅回路５６は、接続
スリーブ５８に差込まれた接続ビン６０によって、動か
ないように固定されている。必要に応じて、差動増幅回
路５６を含む電子回路部をホルダ６６に付加的に固定す
ることかてきる。接続線７２を介して、差動増幅回路５
６の出力側は歯車測定プローブの接続スリーブと接続さ
れている。
ホールセンサ５０および差動増幅回路５６の回路構成は
、第３図に示されている。ホールセンサ５０は、２つの
ホールセンサ素子５ＯＡ 。
、第３図に示されている。ホールセンサ５０は、２つの
ホールセンサ素子５ＯＡ 。
５０Ｂから構成されており、このホールセンサ素子５Ｑ
Ａ、５０Ｂは、給電電圧源に並列接続されている。いず
れのポールセンサ素子も市販の素子てよいので、その構
成について詳細に脳１、明しない。第３図には、既に各
ホールセンサ素子にまとめられた増幅ｄ、ｓ Ｖ Ｓだ
けしか示していない。差動増幅回路５６は、ホールセン
サ素子５０Ａの差出力信号Ｈ１、ホールセンサ素子５０
Ｂの差出力信号Ｈ２を受取り、差動増幅回路５６の出力
側Ａには、ホールセンサ５０の差出力信号に相応した、
Ｏｖに対する（からのずれを表わす）信号が送出される
。ここに示した実施例では、差動増幅回路５６は反転回
路７７と演算増幅器７８を有している。ホールセンサ素
子５０Δの出力側は、抵抗Ｒ１を介して演算増幅器７８
０反転入力側と接続されている。演算増幅器７８の出力
側は、増幅度調整用のポデンシオノータＰ１を介して回
路点Ｘの反転入力側に帰還されている。演算増幅器７８
の非反転入力側は、抵抗Ｒ２を介して給電電圧源のＯＶ
側に接続されている。
Ａ、５０Ｂは、給電電圧源に並列接続されている。いず
れのポールセンサ素子も市販の素子てよいので、その構
成について詳細に脳１、明しない。第３図には、既に各
ホールセンサ素子にまとめられた増幅ｄ、ｓ Ｖ Ｓだ
けしか示していない。差動増幅回路５６は、ホールセン
サ素子５０Ａの差出力信号Ｈ１、ホールセンサ素子５０
Ｂの差出力信号Ｈ２を受取り、差動増幅回路５６の出力
側Ａには、ホールセンサ５０の差出力信号に相応した、
Ｏｖに対する（からのずれを表わす）信号が送出される
。ここに示した実施例では、差動増幅回路５６は反転回
路７７と演算増幅器７８を有している。ホールセンサ素
子５０Δの出力側は、抵抗Ｒ１を介して演算増幅器７８
０反転入力側と接続されている。演算増幅器７８の出力
側は、増幅度調整用のポデンシオノータＰ１を介して回
路点Ｘの反転入力側に帰還されている。演算増幅器７８
の非反転入力側は、抵抗Ｒ２を介して給電電圧源のＯＶ
側に接続されている。
ホールセンサ素子５０Ｂの出力側は、反転回路７７の入
力側と接続されており、反転回路７７の出力側は抵抗Ｒ
３を介して回路点Ｘ、従って演算増幅器７８の反転入力
側と接続されている。反転回路７７は、反転増幅器７５
を有している。
力側と接続されており、反転回路７７の出力側は抵抗Ｒ
３を介して回路点Ｘ、従って演算増幅器７８の反転入力
側と接続されている。反転回路７７は、反転増幅器７５
を有している。
ホールセンサ素子５０Ｂの出力側は、抵抗Ｒ牛を介して
反転増幅器７５の反転入力側と接続されており、反転増
１ｌｌｉ′ｉｉ器７５の出力側は抵抗Ｒ５を介して反転
入力側に帰還されており、反転増幅器７５の非反転入力
側は抵抗Ｒ６を介して給電電圧源のＱＶ側に接続されて
いる。反転回路７７の特徴は、増幅度１ということであ
る。
反転増幅器７５の反転入力側と接続されており、反転増
１ｌｌｉ′ｉｉ器７５の出力側は抵抗Ｒ５を介して反転
入力側に帰還されており、反転増幅器７５の非反転入力
側は抵抗Ｒ６を介して給電電圧源のＱＶ側に接続されて
いる。反転回路７７の特徴は、増幅度１ということであ
る。
作動中、ホールセンサ素子５０Ａの出力信号Ｈ１は：抵
抗Ｒ１を介して演ｇＩ増幅器７８の反転入力側に直接供
給され、この反転入力側にはホールセンサ素子５０Ｂの
出力信号が反転回路７７および抵抗Ｒ３を介して、即ち
反転形式■Ｉ２で供給されている。従って、演ｚ１）増
幅器７８ば、その反転入力側から、ホールセンサ素子５
０Ａ 、５０Ｂの両出力信号の各位の和を受取り、この
和をこの演算増幅器７８は、所望の増幅度に応じて出力
信号として出力側Ａを介して送出する。図示の差動増幅
回路５６に含まれる両増幅器７５．７８を、集積回路と
して構成することかできる。本発明の歯車測定プローブ
の場合、電気的な零点調整をするのではなく、整合回路
５６を比較的簡単に構成するために、２つの永久磁石５
４間のホールセンサ５０の相応の調整による機械的手段
で零点Ｗ１を整を行うことかできる。
抗Ｒ１を介して演ｇＩ増幅器７８の反転入力側に直接供
給され、この反転入力側にはホールセンサ素子５０Ｂの
出力信号が反転回路７７および抵抗Ｒ３を介して、即ち
反転形式■Ｉ２で供給されている。従って、演ｚ１）増
幅器７８ば、その反転入力側から、ホールセンサ素子５
０Ａ 、５０Ｂの両出力信号の各位の和を受取り、この
和をこの演算増幅器７８は、所望の増幅度に応じて出力
信号として出力側Ａを介して送出する。図示の差動増幅
回路５６に含まれる両増幅器７５．７８を、集積回路と
して構成することかできる。本発明の歯車測定プローブ
の場合、電気的な零点調整をするのではなく、整合回路
５６を比較的簡単に構成するために、２つの永久磁石５
４間のホールセンサ５０の相応の調整による機械的手段
で零点Ｗ１を整を行うことかできる。
第３図の回路実施例では、次の素子が使われている（抵
抗値はにΩ単位で示し、それぞれ％Ｗの被膜抵抗が使わ
れている）。
抗値はにΩ単位で示し、それぞれ％Ｗの被膜抵抗が使わ
れている）。
番号 素子 値 型式
％式％
Ｐｌ すべり線ポテンショメータ ｌｏｋΩＲ１抵抗
１０にΩ Ｒ２抵抗 ５．１にΩ Ｒ３抵抗 １０にΩ Ｒ４抵抗 １０にΩ Ｒ５抵抗 １０にΩ Ｒ５抵抗 ５．１にΩ ５０Ａ、５０Ｂ ホールセンサ ９２ＳＳ１２．２（ハ
ネウェル社製） 発明の効果 本発明の歯車測定プローブの場合、差出力側を持ったホ
ールセンサを使うことによって、公知の歯車測定プロー
ブの整合回路に必要な基準電圧源を使わないようにする
ことができる。更に、ポールセンサの出力測定電圧が、
Ｏｖからの変化ないし変動をすることは、もう１つの利
点である。従って、Ｏｖからの変化をするように取出さ
れた測定電圧によって、測定結果から明確に測定プロー
ブロッドの振れの方向がわかるｊ二うに泪Ｉ］定するこ
とができる。
１０にΩ Ｒ２抵抗 ５．１にΩ Ｒ３抵抗 １０にΩ Ｒ４抵抗 １０にΩ Ｒ５抵抗 １０にΩ Ｒ５抵抗 ５．１にΩ ５０Ａ、５０Ｂ ホールセンサ ９２ＳＳ１２．２（ハ
ネウェル社製） 発明の効果 本発明の歯車測定プローブの場合、差出力側を持ったホ
ールセンサを使うことによって、公知の歯車測定プロー
ブの整合回路に必要な基準電圧源を使わないようにする
ことができる。更に、ポールセンサの出力測定電圧が、
Ｏｖからの変化ないし変動をすることは、もう１つの利
点である。従って、Ｏｖからの変化をするように取出さ
れた測定電圧によって、測定結果から明確に測定プロー
ブロッドの振れの方向がわかるｊ二うに泪Ｉ］定するこ
とができる。
従って、同相電圧成分は差動増幅回路によって抑圧され
る。それと共に、より正確に測定することができるつと
言うのは、種々の温度係数（ボールセンザ／基準電圧源
）に基因する不確実さが除かれ、出力測定電圧の２倍の
絶対値を使うことかできるからである。
る。それと共に、より正確に測定することができるつと
言うのは、種々の温度係数（ボールセンザ／基準電圧源
）に基因する不確実さが除かれ、出力測定電圧の２倍の
絶対値を使うことかできるからである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 測定プローブロッドを備えており、該測定プロー
ブロッドはケーシング内に旋回用能に支承されており、
測定プローブロッドの一方の端部には測定ゾローブの尖
端部拐が支持されており、測定プローブロッドの他方の
端部には測定装置の、相互に相対的に可動な２つの部分
のうぢの一方の部分が支持されており、前記測定装置は
磁界を発生し、かつ測定プローブ尖端部（２の変位ない
し振れに比例する電気信υを整合回路に送出するように
構成さねており、該整合回路は′電気信号を標準化され
た値にするように構成されており、測定装置の、相互に
相対的に可動な２つの部分は静磁界を発生ずる装置ない
しホールセンサから構成されており、整合回路はケーシ
ングに取付けられている歯車測定プローブにおいて、ホ
ールセンサ（５０）は差動出力側（Ｈｌ。 Ｈ２）を有するように構成され、整合回路（５６）は差
動増幅回路として構成されていることを特徴とする歯車
測定プローブ。 ２ ホールセンサ（５０）は、磁界に関して空間的に相
互に逆向きに配置された２つのホールジェネレータ（５
０Ａ、５０Ｂ）を有する特許請求の範囲第１項記載の歯
車測定ゾローブ。 ３、各ホールジェネレータ（，５０Ａ、５０Ｂ）は、相
互に機械的に固定連結された２つの別個の朱子である特
許請求の範囲第２項記載の歯車測定プローブ。 ４、 両ボールジェネレータ（５０Ａ、５０Ｂ）は２つ
のホールセンサの部分てあり、２つのホールセンサは同
じ側が相互に固定的に取付けられている特許請求の範囲
第１項記載の歯車測定プローブ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH6686/83A CH662649A5 (de) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | Zahnmesstaster. |
| CH6686/83-6 | 1983-12-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60146104A true JPS60146104A (ja) | 1985-08-01 |
Family
ID=4313433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59263095A Pending JPS60146104A (ja) | 1983-12-15 | 1984-12-14 | 歯車測定プローブ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4703261A (ja) |
| EP (1) | EP0175831B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60146104A (ja) |
| AT (1) | ATE50057T1 (ja) |
| CH (1) | CH662649A5 (ja) |
Families Citing this family (42)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4866854A (en) * | 1986-12-05 | 1989-09-19 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Multiple axis displacement sensor |
| US5237272A (en) * | 1988-10-11 | 1993-08-17 | Mitsubishi Denki K.K. | Magnetic circuit device for a hall effect type sensor for detecting crank angle |
| US5010263A (en) * | 1989-02-21 | 1991-04-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Hall effect type sensing device |
| DE4025837A1 (de) * | 1990-08-16 | 1992-02-20 | Vdo Schindling | Hallsensor |
| US5270645A (en) * | 1991-08-30 | 1993-12-14 | Nartron Corporation | Linear-output, temperature-stable rotational sensor including magnetic field responsive device disposed within a cavity of a flux concentrator |
| JP3206204B2 (ja) * | 1992-05-22 | 2001-09-10 | 株式会社デンソー | スロットルポジションセンサ |
| US5757181A (en) * | 1992-06-22 | 1998-05-26 | Durakool Incorporated | Electronic circuit for automatically compensating for errors in a sensor with an analog output signal |
| US5497081A (en) * | 1992-06-22 | 1996-03-05 | Durakool Incorporated | Mechanically adjustable linear-output angular position sensor |
| US5444369A (en) * | 1993-02-18 | 1995-08-22 | Kearney-National, Inc. | Magnetic rotational position sensor with improved output linearity |
| CA2143811A1 (en) * | 1994-03-04 | 1995-09-05 | Jeffrey L. Mccurley | Field strength position sensor with improved bearing tolerance in reduced space |
| US5798639A (en) * | 1994-03-04 | 1998-08-25 | Cts Corporation | Rotary position sensor with improved bearing tolerance |
| US5757179A (en) * | 1994-03-04 | 1998-05-26 | Cts Corporation | Position sensor with improved magnetic circuit |
| US5955881A (en) * | 1994-10-18 | 1999-09-21 | Cts Corporation | Linkage position sensor having a magnet with two ramped sections for providing variable magnetic field |
| DE19501178C2 (de) * | 1995-01-17 | 1996-05-02 | Klingelnberg Soehne | Schwenkbarer Zwei-Koordinaten-Tastkopf mit horizontaler Hauptachse |
| US5610518A (en) * | 1995-03-16 | 1997-03-11 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for detecting small magnetizable particles and flaws in nonmagnetic conductors |
| WO1999011999A1 (en) * | 1996-03-05 | 1999-03-11 | Harri Saario | Method and apparatus for measuring rotation motion |
| US6175233B1 (en) | 1996-10-18 | 2001-01-16 | Cts Corporation | Two axis position sensor using sloped magnets to generate a variable magnetic field and hall effect sensors to detect the variable magnetic field |
| JP2000146720A (ja) * | 1998-11-10 | 2000-05-26 | Kayaba Ind Co Ltd | 電動パワーステアリング装置のポテンショメータ |
| US6124710A (en) * | 1998-11-13 | 2000-09-26 | Cts Corporation | Rotary magnetic encoder using hall effect for detecting revolution of a shaft |
| US6288534B1 (en) | 1999-02-10 | 2001-09-11 | Cts Corporation | Non-contacting throttle valve position sensor |
| US6222359B1 (en) | 1999-06-18 | 2001-04-24 | Cts Corporation | Non-contacting position sensor using radial bipolar tapered magnets |
| US6489761B1 (en) * | 1999-09-09 | 2002-12-03 | Delphi Technologies, Inc. | Magnetic arrangement for an analog angle encoder |
| US6498480B1 (en) * | 2000-11-22 | 2002-12-24 | Wabash Technologies, Inc. | Magnetic non-contacting rotary transducer |
| US6564632B2 (en) | 2001-01-11 | 2003-05-20 | Rochester Gauges, Inc. | Liquid level gauge with removable hall device |
| US6584838B2 (en) * | 2001-01-11 | 2003-07-01 | Sensor Solutions Corporation | Angular position sensor |
| EP1674695B1 (en) * | 2002-03-06 | 2008-08-06 | Borgwarner, Inc. | Assembly for electronic throttle control with position sensor |
| DE60322751D1 (de) * | 2002-03-06 | 2008-09-18 | Borgwarner Inc | Elektronische Drosselklappensteuerung mit Positionsgeber |
| DE10222634B4 (de) * | 2002-05-17 | 2009-04-02 | Ab Elektronik Gmbh | Verfahren zur Überwachung von Versorgungsspannungen bei Drehwinkelsensoren mit Hall-Elementen |
| DE10348887A1 (de) * | 2002-10-23 | 2004-05-13 | Carl Zeiss | Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät |
| JP3795008B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2006-07-12 | アサ電子工業株式会社 | タッチセンサ |
| US6777928B2 (en) | 2002-12-03 | 2004-08-17 | Delphi Technologies, Inc. | Rotary magnetic position sensor having pole differentiated magnets |
| US7570046B2 (en) * | 2003-10-14 | 2009-08-04 | Borgwarner Inc. | Single sensing multiple output system |
| JP4436665B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2010-03-24 | パナソニック株式会社 | 測定用プローブ及び形状測定方法 |
| US7921873B2 (en) | 2004-01-22 | 2011-04-12 | Rochester Gauges, Inc. | Service valve assembly having a stop-fill device and a liquid level indicating dial |
| US7726334B2 (en) | 2004-01-22 | 2010-06-01 | Rochester Gauges, Inc. | Service valve assembly having a stop-fill device and remote liquid level indicator |
| US7293578B2 (en) | 2004-01-22 | 2007-11-13 | Rochester Gauges, Inc. | Gauge assembly having a stop fill device |
| US7690323B2 (en) | 2007-10-31 | 2010-04-06 | Rochester Gauges, Inc. | Gauge head assembly with non-magnetic insert |
| DE102012204634A1 (de) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Zf Friedrichshafen Ag | Magnetfeldsensor, Betätigungsvorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Relativposition |
| FR2997490B1 (fr) * | 2012-10-30 | 2015-06-12 | Actimesure | Dispositif palpeur pour le controle geometrique de pieces |
| EP3371552B1 (en) | 2015-11-02 | 2020-02-05 | Honeywell International Inc. | Differential hall magnet polarity detection for amr 360 degree sensors |
| DE102018218809A1 (de) * | 2018-11-05 | 2020-05-07 | Zf Friedrichshafen Ag | Magnetgesteuerte Sensoranordnung |
| CN112595283B (zh) * | 2021-01-07 | 2022-04-29 | 山东韵丰环保科技有限公司 | 一种电子散热器台面表面粗糙度检测设备 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50128055U (ja) * | 1974-04-04 | 1975-10-21 | ||
| JPS56132502A (en) * | 1980-03-21 | 1981-10-16 | Sony Corp | Fix detecting probe |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2987669A (en) * | 1959-01-19 | 1961-06-06 | Gulton Ind Inc | Hall effect electromechanical sensing device |
| DE1261936B (de) * | 1963-06-11 | 1968-02-29 | Bodenseewerk Perkin Elmer Co | Steuerknueppel, insbesondere fuer Flugzeugsteuerungen |
| US3622898A (en) * | 1970-05-20 | 1971-11-23 | Contelesis Corp | Circuit for processing hall generator output signals |
| NL7211279A (ja) * | 1971-08-20 | 1973-02-22 | ||
| US3742243A (en) * | 1971-09-27 | 1973-06-26 | Veeder Industries Inc | Pulse generator |
| JPS5727082A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-13 | Copal Co Ltd | Method for compensating temperature and the like in potentiometer |
| JPS57189010A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-20 | Fuji Heavy Ind Ltd | Position detecting mechanism |
| CH660421A5 (de) * | 1982-12-18 | 1987-04-15 | Maag Zahnraeder & Maschinen Ag | Zahnmesstaster fuer zahnradmessmaschine. |
| EP0115391A3 (en) * | 1983-01-27 | 1987-06-10 | Optron, Inc. | Hall-effect position sensor apparatus |
-
1983
- 1983-12-15 CH CH6686/83A patent/CH662649A5/de not_active IP Right Cessation
-
1984
- 1984-12-10 EP EP84810603A patent/EP0175831B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1984-12-10 AT AT84810603T patent/ATE50057T1/de not_active IP Right Cessation
- 1984-12-11 US US06/680,363 patent/US4703261A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-12-14 JP JP59263095A patent/JPS60146104A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50128055U (ja) * | 1974-04-04 | 1975-10-21 | ||
| JPS56132502A (en) * | 1980-03-21 | 1981-10-16 | Sony Corp | Fix detecting probe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0175831A2 (de) | 1986-04-02 |
| US4703261A (en) | 1987-10-27 |
| CH662649A5 (de) | 1987-10-15 |
| ATE50057T1 (de) | 1990-02-15 |
| EP0175831B1 (de) | 1990-01-31 |
| EP0175831A3 (en) | 1988-03-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60146104A (ja) | 歯車測定プローブ | |
| JPS645360B2 (ja) | ||
| US3882387A (en) | Electrical current detector | |
| US5560115A (en) | Gimbaled magnetometer with inductive coupling | |
| US4520650A (en) | Field-portable calibration unit for electromagnetic flow meters | |
| CN109932670B (zh) | 基于上电置位的闭环tmr磁场测量装置 | |
| RU2352954C2 (ru) | Навигационный магнитометр (варианты) | |
| Gunn | A convenient electrical micrometer and its use in mechanical measurements | |
| Barlow | The design of semi-conductor wattmeters for power-frequency and audio-frequency applications | |
| JPS59217106A (ja) | ホール素子を用いた測量機 | |
| JPH04252Y2 (ja) | ||
| TW201329461A (zh) | 阻抗分析儀、阻抗讀出裝置 | |
| US2425180A (en) | Magnetic field measurements | |
| CN116125135B (zh) | 温度自补偿隧穿磁阻电流传感器、电流测量方法及设备 | |
| GB2156084A (en) | A resistivity meter | |
| KR930002777Y1 (ko) | 미세전류 측정회로 | |
| RU2350906C1 (ru) | Датчик магнитного курса | |
| US1652917A (en) | Electric measuring apparatus | |
| GB2199411A (en) | Auto compensating alternating current meter | |
| SU866422A1 (ru) | Устройство дл измерени температуры | |
| Corney | Capacitor microphone reciprocity calibration | |
| SU116053A1 (ru) | Устройство дл измерени посто нных токов большой величины | |
| JPS5920658Y2 (ja) | 熱伝導型真空ゲ−ジの検出回路 | |
| SU1516989A1 (ru) | Преобразователь электромагнитного пол | |
| SU853541A1 (ru) | Устройство дл измерени и регистрациижиРНОСТи МОлОКА |