JPS60145716A - 弾性表面波装置 - Google Patents
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- JPS60145716A JPS60145716A JP86984A JP86984A JPS60145716A JP S60145716 A JPS60145716 A JP S60145716A JP 86984 A JP86984 A JP 86984A JP 86984 A JP86984 A JP 86984A JP S60145716 A JPS60145716 A JP S60145716A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［蛇明の技術分野］
本発明は一対の伽歯状電極を互いに１伯み会わせて構成
したインターディジタル翔、極を圧′小性）１．：板上
に形成した弾性表面波装置に関する。
したインターディジタル翔、極を圧′小性）１．：板上
に形成した弾性表面波装置に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
圧邂性基板上にインターディジタル’７ｉ＋’ Ｍを１
１９ｊ成して成る弾性表面波装置は、テレヒジョン受像
機の中間周波フィルタ等に実用化されている。
１９ｊ成して成る弾性表面波装置は、テレヒジョン受像
機の中間周波フィルタ等に実用化されている。
このようなインターディジタル電極を用いて構成された
弾性光［１］１波装置においてはｓ ＩＫｌ歯状′「ｃ
極による弾性表面波の反射に起因するスプリアス（以下
反射スプリアスという）が′帛に問題とさｔしる。この
反射スプリアスは実際にフィルタや遅延線を構成した場
合にトリプル・トランシツト・エコー（Ｔ ’ｌ’ Ｅ
）の形で現われ、特性を堝しく劣化はせる原因となっ
ている。従って従来カニらこの反射スプリアスを減少さ
せるための研究がなさ才１ている０ 反射スプリアスの要因としては、価歯状′喝極の電極部
とこれら電極部間の間隙との音響インビーダンスの差に
より生ずる反射成分（以下音響反射という）と、（匍歯
状′ｔ１４．極の市、気的な再）助層により牛する反射
成分（以下電気反射という）の２つがあることが知らｔ
ｌている。そこでこの２つの反射成分（二着目し、それ
らを互いに逆相にして相殺し、反射スプリアスを取り除
くようにした第１図に示すような構成の弾性表面波装置
が提案されている（ｑ；１開昭５６−１０７２４号）０
すなわち同図において１１」汀圧廂性革依、 ＩＩけイ
ンターディジタル′電極である。インターディジタル電
極１１１′ｉ第１の伯１爾状’ｒ１１、ＪＩＰ１２と第
２の面爾状′ｌ徊２祢１３とから構成されている。ａ↓
１の佃ｌ山状′電極１２は１λ（λは弾性表問波３ の波し）の幅の電極指１２１と■λの１トの電極指１２
２の絆り返し構成を有し、特に弾性表面波の入■ Ｊしから−λの間隙幅をおいて王λの′亀−極相１２２
が８ それぞＪ１配丙され、さらにこの電極指１２２の右端、
３ 〃・ら−λの距離をおいて再び１λの電極指１２１が８ ｈ、′、ｉ幌さＪしるように構成されている。また第２
の債１朱状市４＃、Ｉ２け百λの幅の電極指１３１の繰
り返し構歯状笥、極１２の１λの間隙部に挿入を力るよ
うに配置され、電極指１２１．１３１．１２２の間隙幅
がすべて上λとなるように構成さｊ′１ている。
弾性光［１］１波装置においてはｓ ＩＫｌ歯状′「ｃ
極による弾性表面波の反射に起因するスプリアス（以下
反射スプリアスという）が′帛に問題とさｔしる。この
反射スプリアスは実際にフィルタや遅延線を構成した場
合にトリプル・トランシツト・エコー（Ｔ ’ｌ’ Ｅ
）の形で現われ、特性を堝しく劣化はせる原因となっ
ている。従って従来カニらこの反射スプリアスを減少さ
せるための研究がなさ才１ている０ 反射スプリアスの要因としては、価歯状′喝極の電極部
とこれら電極部間の間隙との音響インビーダンスの差に
より生ずる反射成分（以下音響反射という）と、（匍歯
状′ｔ１４．極の市、気的な再）助層により牛する反射
成分（以下電気反射という）の２つがあることが知らｔ
ｌている。そこでこの２つの反射成分（二着目し、それ
らを互いに逆相にして相殺し、反射スプリアスを取り除
くようにした第１図に示すような構成の弾性表面波装置
が提案されている（ｑ；１開昭５６−１０７２４号）０
すなわち同図において１１」汀圧廂性革依、 ＩＩけイ
ンターディジタル′電極である。インターディジタル電
極１１１′ｉ第１の伯１爾状’ｒ１１、ＪＩＰ１２と第
２の面爾状′ｌ徊２祢１３とから構成されている。ａ↓
１の佃ｌ山状′電極１２は１λ（λは弾性表問波３ の波し）の幅の電極指１２１と■λの１トの電極指１２
２の絆り返し構成を有し、特に弾性表面波の入■ Ｊしから−λの間隙幅をおいて王λの′亀−極相１２２
が８ それぞＪ１配丙され、さらにこの電極指１２２の右端、
３ 〃・ら−λの距離をおいて再び１λの電極指１２１が８ ｈ、′、ｉ幌さＪしるように構成されている。また第２
の債１朱状市４＃、Ｉ２け百λの幅の電極指１３１の繰
り返し構歯状笥、極１２の１λの間隙部に挿入を力るよ
うに配置され、電極指１２１．１３１．１２２の間隙幅
がすべて上λとなるように構成さｊ′１ている。
このような構成の弾性表面波装置に１７１中左から弾性
表面波１７が入射すると、この弾性表聞汲は、各々の伽
歯状邦、極のエツジにおける音響インピーダンスの不整
合の為に図中２１〜２６で示されるように反射される。
表面波１７が入射すると、この弾性表聞汲は、各々の伽
歯状邦、極のエツジにおける音響インピーダンスの不整
合の為に図中２１〜２６で示されるように反射される。
第２図はこのような追・屡反射２［〜２６の位相を電気
反射の位相を基準（０胤）として表わしたものである。
反射の位相を基準（０胤）として表わしたものである。
なお電気反射は第１図中のＡ面を′ｉ＆ｉ、気反射基準
位相１釦としたときのもので、この基準位相面より右側
の餉、極相エツジで反射された弾性表面波は電気反射波
よりも位相が遅れ、−万屋側の電極指エツジで反射され
た弾性表面波は電気反射波よりも位相が進んでいること
になる。
位相１釦としたときのもので、この基準位相面より右側
の餉、極相エツジで反射された弾性表面波は電気反射波
よりも位相が遅れ、−万屋側の電極指エツジで反射され
た弾性表面波は電気反射波よりも位相が進んでいること
になる。
従って、例えば音響反射波２６は基準位相１ＩＩＪＡに
対して往復で旦λ位相が遅れることになり、翫気反引渡
に対して（４５Ｘ ９ ）度位相が遅れ、第２図２６に
示す方向となる（■λは４５展に相当する）。また音・
Ｊ″ｉ゛反躬波２５け往彷でＬλ位相が遅れており、か
つ刊翳反射波２りに対して運位相になるので、全体とし
て（−！−λ−ス）の遅れとなり、その位相は２ ｍ ２１ｎｌ ２５に示す方向となる。反射波２１〜２
４０位相についても同様の考えから第２図２１〜２４の
方向となる。従ってこれら片管反射波２１〜２６の全体
の合ｈ１．のベクトルの位相は第２図３０のようになり
、電う１、）ｙ−引渡の１ｊｆ相とＭ １Ｘ７．相にな
る。このため両者は互いに杓ちγ１！Ｉシ付うことにな
り、結果として反射：スプリフ゛スを間食することがｉ
′ＩＪ能となる。
対して往復で旦λ位相が遅れることになり、翫気反引渡
に対して（４５Ｘ ９ ）度位相が遅れ、第２図２６に
示す方向となる（■λは４５展に相当する）。また音・
Ｊ″ｉ゛反躬波２５け往彷でＬλ位相が遅れており、か
つ刊翳反射波２りに対して運位相になるので、全体とし
て（−！−λ−ス）の遅れとなり、その位相は２ ｍ ２１ｎｌ ２５に示す方向となる。反射波２１〜２
４０位相についても同様の考えから第２図２１〜２４の
方向となる。従ってこれら片管反射波２１〜２６の全体
の合ｈ１．のベクトルの位相は第２図３０のようになり
、電う１、）ｙ−引渡の１ｊｆ相とＭ １Ｘ７．相にな
る。このため両者は互いに杓ちγ１！Ｉシ付うことにな
り、結果として反射：スプリフ゛スを間食することがｉ
′ＩＪ能となる。
しかしこのような従来の弾性表１１１１波装請にあって
＆１次のような四門点がある。すなわち弾性表向波装置
４＋の市、気故剖扇（１ぞれに接続でれた負荷ＲＪのｌ
ｉ＆に応じて変化する。従って廿＃反射もこの′胤気反
Ｍ目１に兄合った大きさで発生させる必要かある。
＆１次のような四門点がある。すなわち弾性表向波装置
４＋の市、気故剖扇（１ぞれに接続でれた負荷ＲＪのｌ
ｉ＆に応じて変化する。従って廿＃反射もこの′胤気反
Ｍ目１に兄合った大きさで発生させる必要かある。
ｆｔ神反Ｎ−１ｉｆの調整は、偶］出状電極の電極指の
省属Ｉｌｌνを変化させることにより行われる。これは
金椙１ｉ’、’−の買−ｋ・効果の作用により音響反射
率が変化することに層内する。従って例えば負荷ＲＪの
値によってｔｋシ気反射楓が多くなった場合には、電極
指の膜厚を厚くして質量効果の作用を太きくシ、音響反
射掃を多くすることが必要となる。しかしこのように電
極金属膜を厚くした場合には、表面波エネルギーの一部
がバルク波モードに変俟される割合が多くなり、いわゆ
るバルクスプリアスにより出力信号にリップルが現れる
ようｌ：なる０この現象は（２）歯状電極の膜厚が厚い
ほと、また電、極相の本数が多いほど顕著である。
省属Ｉｌｌνを変化させることにより行われる。これは
金椙１ｉ’、’−の買−ｋ・効果の作用により音響反射
率が変化することに層内する。従って例えば負荷ＲＪの
値によってｔｋシ気反射楓が多くなった場合には、電極
指の膜厚を厚くして質量効果の作用を太きくシ、音響反
射掃を多くすることが必要となる。しかしこのように電
極金属膜を厚くした場合には、表面波エネルギーの一部
がバルク波モードに変俟される割合が多くなり、いわゆ
るバルクスプリアスにより出力信号にリップルが現れる
ようｌ：なる０この現象は（２）歯状電極の膜厚が厚い
ほと、また電、極相の本数が多いほど顕著である。
［発明の目的］
本発明はこのような点に鑑みてなされたもので、バルク
スプリアスによるリップル発生か少なく、しかも音響反
射と電気反射とが効果的にすｊち泊し合い、もって反射
スプリアスの減少された弾性表面波装置を提供すること
を目的とするものである。
スプリアスによるリップル発生か少なく、しかも音響反
射と電気反射とが効果的にすｊち泊し合い、もって反射
スプリアスの減少された弾性表面波装置を提供すること
を目的とするものである。
［発明の概要コ
本発明は箪界知絡効来の作用によって音響反射を発生さ
せ、この音響反射と電気反射とが互いに適位相となるよ
う向歯状癲、極を構成するようにしたものである。
せ、この音響反射と電気反射とが互いに適位相となるよ
う向歯状癲、極を構成するようにしたものである。
［発明の実施例］
以下本発明を図面を参照して詳細に説明する。
Ｗ、 ３図はインターディジタル霜、極を用いて構成さ
ｈた弾性光１１波装置の櫛歯状電極金Ｆ＠膜厚に対する
音響反射率の関係を示したものである。同図から明らか
なように、金属膜の膜厚が；°孟り厚い（介ど質量効果
の作用によって大きな音響反射が得らｉｌ、る。一方金
属膜の膜厚がＴより薄いと今度は電界短絡効果が作用し
て質量効果によって得られるｆ響反射の位相とは逆相の
音響反射が得られ、その値は膜厚が薄いほど大きくなる
。また膜厚Ｔにおいては實豫効果と電界短絡効果とが同
じ大きさになり音響反射は起こらない。
ｈた弾性光１１波装置の櫛歯状電極金Ｆ＠膜厚に対する
音響反射率の関係を示したものである。同図から明らか
なように、金属膜の膜厚が；°孟り厚い（介ど質量効果
の作用によって大きな音響反射が得らｉｌ、る。一方金
属膜の膜厚がＴより薄いと今度は電界短絡効果が作用し
て質量効果によって得られるｆ響反射の位相とは逆相の
音響反射が得られ、その値は膜厚が薄いほど大きくなる
。また膜厚Ｔにおいては實豫効果と電界短絡効果とが同
じ大きさになり音響反射は起こらない。
このように音擲反射は質量効果の作用によるもの以外に
金−脹の膜厚を所定値以下にすることによる電界短絡効
果の作用仁よっても発生させることができる。そしてこ
のよりな′電界短絡効果の作用により音響反射を発生さ
せるようにした場合には ７ｇ、極金属膜厚を薄くする
ことができるので、Ｉｔｓ：＋山伏を極の対数が多くな
る狭帯域通過特性の弾性表面波フィルタを構成した場合
、負駿効果の作用によって音響反射を発生させる場合よ
りも表面波エネルギーがバルク波モードに懐換される割
合が極めて少なくなる。従って伝鈎摺失の１氏下に伴う
挿入損失の改善および低リップル化が可能である。また
この場合には、同じ音管反射方・を得るのに、質量効果
を用いた場合に比較して薄い膜厚で実現できるため製造
プロセスも容易になるという利点もある。
金−脹の膜厚を所定値以下にすることによる電界短絡効
果の作用仁よっても発生させることができる。そしてこ
のよりな′電界短絡効果の作用により音響反射を発生さ
せるようにした場合には ７ｇ、極金属膜厚を薄くする
ことができるので、Ｉｔｓ：＋山伏を極の対数が多くな
る狭帯域通過特性の弾性表面波フィルタを構成した場合
、負駿効果の作用によって音響反射を発生させる場合よ
りも表面波エネルギーがバルク波モードに懐換される割
合が極めて少なくなる。従って伝鈎摺失の１氏下に伴う
挿入損失の改善および低リップル化が可能である。また
この場合には、同じ音管反射方・を得るのに、質量効果
を用いた場合に比較して薄い膜厚で実現できるため製造
プロセスも容易になるという利点もある。
本発明はこのような点に着目し、電界短絡効果の作用に
より音響反射を発生させるようにしたものである。また
この電界効果の作用により発生した音響反射と電気反射
とが互いに打ち消すよう４節歯状電極構成を工夫したも
のである。
より音響反射を発生させるようにしたものである。また
この電界効果の作用により発生した音響反射と電気反射
とが互いに打ち消すよう４節歯状電極構成を工夫したも
のである。
第４図はこのような本発明の一実施例を示すものである
。同図において４０は圧知、性基板、４１は入力インタ
ーディジタル′Ｅｌｆ、ｍ、４２は出力インターディジ
タル’ｔ！ｔ４Ｍである。出力インターデイジタル゛電
極４２は、第１の尚歯状電極４３と第２の０Ｉ１１歯状
電極４４とから構成されている。第１のｆｔ１ｌｌ ｍ
状箪極４；３は略１λ（λは弾性表面波の波長）の幅の
電極指■ ４３１と略■λの幅の電極指４３２の繰り返し構成を有
し、特に入力インターディジタル４１から伝搬される舛
１性表面波の入射する方向に沿ってユλの電極指４３１
、そして略１λの間隙幅をおい８Ｃ１λの８ ｍ； ＊指４３２がそれぞｉｚ配抽され、さらにこの電
極指４３２の右端から略−λの距離をおいて再び且λ８ の’？＠’、 ４ｖ Ｊ）’＋ ４３１が配向されるよ
うに構成されている。
。同図において４０は圧知、性基板、４１は入力インタ
ーディジタル′Ｅｌｆ、ｍ、４２は出力インターディジ
タル’ｔ！ｔ４Ｍである。出力インターデイジタル゛電
極４２は、第１の尚歯状電極４３と第２の０Ｉ１１歯状
電極４４とから構成されている。第１のｆｔ１ｌｌ ｍ
状箪極４；３は略１λ（λは弾性表面波の波長）の幅の
電極指■ ４３１と略■λの幅の電極指４３２の繰り返し構成を有
し、特に入力インターディジタル４１から伝搬される舛
１性表面波の入射する方向に沿ってユλの電極指４３１
、そして略１λの間隙幅をおい８Ｃ１λの８ ｍ； ＊指４３２がそれぞｉｚ配抽され、さらにこの電
極指４３２の右端から略−λの距離をおいて再び且λ８ の’？＠’、 ４ｖ Ｊ）’＋ ４３１が配向されるよ
うに構成されている。
また第２の匍１爾状霜、極４４１は略１λの幅の電極指
４４１の絆り返し構成を旬し、特にこの１λの′…、極
・、指４４１が紀１の憤１国状竜悼４：）び）旦λの間
隙部仁挿人されるように配置され、電極指４３１，４４
１．４３２ノ間ＩＡ ＋１＝＋がすべてトに１λとなる
ように８４＆されている。
４４１の絆り返し構成を旬し、特にこの１λの′…、極
・、指４４１が紀１の憤１国状竜悼４：）び）旦λの間
隙部仁挿人されるように配置され、電極指４３１，４４
１．４３２ノ間ＩＡ ＋１＝＋がすべてトに１λとなる
ように８４＆されている。
一方入力インターディジタル％極４Ｆについても出力イ
ンターティジタル゛ｈ 惚４２と同様の構成を有してい
る。１旦し、この入力インターディジタル電信＜ −１
１へは出力インターディジタル′＃Ｌ極４２で反射さｉ
ｌ、友弾性衣囲波が入射さｉシるので、弾性表向波の入
射端は入力インターディジタル１．極４１の図中右側と
なり、従つ゛にの右側端部にｌλの電極指が配置されて
いる。
ンターティジタル゛ｈ 惚４２と同様の構成を有してい
る。１旦し、この入力インターディジタル電信＜ −１
１へは出力インターディジタル′＃Ｌ極４２で反射さｉ
ｌ、友弾性衣囲波が入射さｉシるので、弾性表向波の入
射端は入力インターディジタル１．極４１の図中右側と
なり、従つ゛にの右側端部にｌλの電極指が配置されて
いる。
このような構成の弾性表面波装置りにおいて入力インタ
ーディジタル電極４１から出力インターディジタル電極
４２に弾性表面波５０が入射すると、図中５１〜５６に
示されるように音響反射が発生する。
ーディジタル電極４１から出力インターディジタル電極
４２に弾性表面波５０が入射すると、図中５１〜５６に
示されるように音響反射が発生する。
この音響反射５１〜５６の位相を電気反射基準位相（基
準位相面Ｂ）に対して表わすと第５図にボすようになる
。すなわち例えば音響反射波５６は基準位相に対して往
復で旦λ位相が遅ｔｔているが、電界短絡効果による音
響反射の位相は負貴効果によって得られる音響反射の位
相とは逆相になるので１ （８’−２λ）すなわち（４５Ｘ５）１１−の位相遅れ
が生じ、第５図５６に示す方向となる。また同様に音響
１ 反１４５５け基準位相に対して往復でｉλ−７λ位相５
図５５に示す方向となる。反射波５１〜５４の位相につ
いても同様の考えから第５図の５１〜５４の方向気反４
Ｊの位相と逆位相になる。このため両者は互いに４′Ｊ
ち？白し合い、結果として反射スプリアスをがシ少ｆる
（とか−Ｃさる０、 ＆お人力インターデイジタル電極４１についても出力イ
ンターディジタル酸（夕と同じ構成であるので、出力１
ンターテイジタル電極からの反射波に関して同梱に音響
ノヌ損と電気反射とを互いに相殺することができる。
準位相面Ｂ）に対して表わすと第５図にボすようになる
。すなわち例えば音響反射波５６は基準位相に対して往
復で旦λ位相が遅ｔｔているが、電界短絡効果による音
響反射の位相は負貴効果によって得られる音響反射の位
相とは逆相になるので１ （８’−２λ）すなわち（４５Ｘ５）１１−の位相遅れ
が生じ、第５図５６に示す方向となる。また同様に音響
１ 反１４５５け基準位相に対して往復でｉλ−７λ位相５
図５５に示す方向となる。反射波５１〜５４の位相につ
いても同様の考えから第５図の５１〜５４の方向気反４
Ｊの位相と逆位相になる。このため両者は互いに４′Ｊ
ち？白し合い、結果として反射スプリアスをがシ少ｆる
（とか−Ｃさる０、 ＆お人力インターデイジタル電極４１についても出力イ
ンターディジタル酸（夕と同じ構成であるので、出力１
ンターテイジタル電極からの反射波に関して同梱に音響
ノヌ損と電気反射とを互いに相殺することができる。
［発１１）１の効果］
このように本う′じ明Ｑま市、界短終効果の作用によっ
て音響反射をうち生させ、この音響反射と１ｉ、気反射
とを助１ｖ相にして互いに相殺させて反射スプリアスを
取り除くよう仁している。従って本発明によると反射ス
プリアスの少ない弾性表面波装置が倚う′ｉ１、る。ま
た「Ｉ→ｈ膜を薄くすることができるので１表面波エネ
ルギーがバルク波にモード変換さ１するが１合が少なく
なるため、バルク波スプリアスをも低減することができ
るとともに挿入損失を改善することができる。特に伯）
歯状電極の対数が多くなる狭帯域通過特性の弾性表面波
フィルタを構成した場合や、負荷Ｒ１の仙に応じて血気
反射が多くなりこれを打ち消すための音響反射の量を多
くしなければならない場合などに干出）の効果は顕著で
ある。また同じ音響反射軸を借るのに芦）−効果を用い
た場合に比較して薄い―〜で央ｖ１できるため製造プロ
セスも容易にス「るという利点もある。
て音響反射をうち生させ、この音響反射と１ｉ、気反射
とを助１ｖ相にして互いに相殺させて反射スプリアスを
取り除くよう仁している。従って本発明によると反射ス
プリアスの少ない弾性表面波装置が倚う′ｉ１、る。ま
た「Ｉ→ｈ膜を薄くすることができるので１表面波エネ
ルギーがバルク波にモード変換さ１するが１合が少なく
なるため、バルク波スプリアスをも低減することができ
るとともに挿入損失を改善することができる。特に伯）
歯状電極の対数が多くなる狭帯域通過特性の弾性表面波
フィルタを構成した場合や、負荷Ｒ１の仙に応じて血気
反射が多くなりこれを打ち消すための音響反射の量を多
くしなければならない場合などに干出）の効果は顕著で
ある。また同じ音響反射軸を借るのに芦）−効果を用い
た場合に比較して薄い―〜で央ｖ１できるため製造プロ
セスも容易にス「るという利点もある。
［発明の他の実施例］
なお本発明は上記実施例に限足されるものでになく、例
えは第４図に示した′１輛構成に加λ、さらに第６図に
示すように圧−都、性基板６０にグループ６１を形成す
ることにより、そｉＬらの組合わせでさらに大きな音響
反射が得られるようにすることも可能である。また第４
図の実施例では入力および出力インターディジタル電極
の両方に本発明を通用した場合を示したが、いずれか一
方の電極にのみ通用しても所望の効果を借ることができ
る。
えは第４図に示した′１輛構成に加λ、さらに第６図に
示すように圧−都、性基板６０にグループ６１を形成す
ることにより、そｉＬらの組合わせでさらに大きな音響
反射が得られるようにすることも可能である。また第４
図の実施例では入力および出力インターディジタル電極
の両方に本発明を通用した場合を示したが、いずれか一
方の電極にのみ通用しても所望の効果を借ることができ
る。
第１図は従来の弾性表面波装置の猶ｊ戎を示す図、第２
図は第１図の弾性表面波装置ムの音響反射と電気反射の
位相関係を示す図、第３図は正相、性基板」二の箱極金
楓膜の膜厚に対する音響反射率の関係を下すし１、第４
図は本発明の一実施例を示す図、第５図は第４図の！１
４：置の音響反射と１１．気反射の位１１１ｊシ１係を
示す図、第６図は本発明の他の実施例をボす図である。 ４０・・圧妬、性基板 ４１・・・入力インターティジタル知、極４２・・・出
力インターディジタル電徐４３・・第１のｆ？ｕ爾状餉
５極 代理人 弁坤士 則 近 憲 佑（はが１名）第 １
口 、￥２１￥Ｉ 竿３１４
図は第１図の弾性表面波装置ムの音響反射と電気反射の
位相関係を示す図、第３図は正相、性基板」二の箱極金
楓膜の膜厚に対する音響反射率の関係を下すし１、第４
図は本発明の一実施例を示す図、第５図は第４図の！１
４：置の音響反射と１１．気反射の位１１１ｊシ１係を
示す図、第６図は本発明の他の実施例をボす図である。 ４０・・圧妬、性基板 ４１・・・入力インターティジタル知、極４２・・・出
力インターディジタル電徐４３・・第１のｆ？ｕ爾状餉
５極 代理人 弁坤士 則 近 憲 佑（はが１名）第 １
口 、￥２１￥Ｉ 竿３１４
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＨＨｔ、ｔｔ件基板と、−の圧′…、性基板上に形成さ
れた幅のＩ（＋、惨指の組み合わせからなる８ｇｌの櫛
歯状箪イがと、（−の第１のＩＩＪＩ歯状電極と噛み合
うよう前記圧市、性基機上に形成ざｈ−た略１λの幅の
電極指か１・なる、ｌ＠２の伯１＠状鴨、極とを備え、
前記第１および第２の槓１歯状′…、極は、弾性表面波
の入射するカニ そｔＬより略■λの間隙幅をおいて前記第１の摘歯工 ■λ′屯体指が配ＩＩ−されるよう構成され、かつ電界
煙路効果の作用により音響反射が生じるよう電極の腔ｊ
νが設定されていることを特徴とする弾性光１／１１波
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP86984A JPS60145716A (ja) | 1984-01-09 | 1984-01-09 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP86984A JPS60145716A (ja) | 1984-01-09 | 1984-01-09 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60145716A true JPS60145716A (ja) | 1985-08-01 |
Family
ID=11485674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP86984A Pending JPS60145716A (ja) | 1984-01-09 | 1984-01-09 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60145716A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5065065A (en) * | 1989-05-26 | 1991-11-12 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US5073763A (en) * | 1990-11-02 | 1991-12-17 | R.F. Monolithics, Inc. | Group single-phase unidirectional transducers with 3/8λand 5/8λ sampling |
| US5235234A (en) * | 1989-05-26 | 1993-08-10 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave device |
-
1984
- 1984-01-09 JP JP86984A patent/JPS60145716A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5065065A (en) * | 1989-05-26 | 1991-11-12 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US5235234A (en) * | 1989-05-26 | 1993-08-10 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US5073763A (en) * | 1990-11-02 | 1991-12-17 | R.F. Monolithics, Inc. | Group single-phase unidirectional transducers with 3/8λand 5/8λ sampling |
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