JPS60144953U - プラズマ溶射ガン - Google Patents
プラズマ溶射ガンInfo
- Publication number
- JPS60144953U JPS60144953U JP3371484U JP3371484U JPS60144953U JP S60144953 U JPS60144953 U JP S60144953U JP 3371484 U JP3371484 U JP 3371484U JP 3371484 U JP3371484 U JP 3371484U JP S60144953 U JPS60144953 U JP S60144953U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- spray gun
- cathode
- space
- plasma spray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Nozzles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のプラズマ溶射ガンの構造を示す断面図、
第2図は第1図のプラズマ溶射ガンから射出された溶射
粒子の飛行状態を示す説明図、第3図は実施例のプラズ
マ溶射ガンの構造を示す断面図、第4図は実施例のプラ
ズマ溶射ガンと従来のプラズマ溶射ガンから射出された
溶射粒子の平均速度分布図、第5図は実施例のプラズマ
溶射ガンと従来のプラズマ溶射ガンから射出された溶射
粒子による皮膜の熱サイクルに対する耐久性を示す特性
図、第6図は実施例のガンと従来のガンにより形成され
た皮膜の繰り返し熱サイクルに対する耐久力を示す特性
図である。 図面中、100は従来のプラズマ溶射ガン、200は実
施例のプラズマ溶射ガン、101.201は陰極、20
1aはセラミックス製内筒管、201bは陰極外筒管、
102,202はプラズマ −空間、103,
203は陽極、104,204はプラズマジェット噴出
路、105,205は作動ガス送給路、106,206
は溶射物供給用貫通孔、108,208は陰極側導電体
、109.209は絶縁体、112,212a、212
bは冷却水環流路。 to9tos to:z tt2!第2図
第2図は第1図のプラズマ溶射ガンから射出された溶射
粒子の飛行状態を示す説明図、第3図は実施例のプラズ
マ溶射ガンの構造を示す断面図、第4図は実施例のプラ
ズマ溶射ガンと従来のプラズマ溶射ガンから射出された
溶射粒子の平均速度分布図、第5図は実施例のプラズマ
溶射ガンと従来のプラズマ溶射ガンから射出された溶射
粒子による皮膜の熱サイクルに対する耐久性を示す特性
図、第6図は実施例のガンと従来のガンにより形成され
た皮膜の繰り返し熱サイクルに対する耐久力を示す特性
図である。 図面中、100は従来のプラズマ溶射ガン、200は実
施例のプラズマ溶射ガン、101.201は陰極、20
1aはセラミックス製内筒管、201bは陰極外筒管、
102,202はプラズマ −空間、103,
203は陽極、104,204はプラズマジェット噴出
路、105,205は作動ガス送給路、106,206
は溶射物供給用貫通孔、108,208は陰極側導電体
、109.209は絶縁体、112,212a、212
bは冷却水環流路。 to9tos to:z tt2!第2図
Claims (1)
- プラズマを形成すべき空間内に一定の間隙を隔てて配設
線た陰極と陽極との間に電力を供給し、発生したプラズ
マをプラズマジェットとして前記空間外へ噴出させると
共に、プラズマジェット中に溶射物質を供給して溶射物
粒子を昇温、加速して高エネルギー溶射粒子を射出せし
めるプラズマ溶射ガンにおいて、陰極を七うツミックス
製内筒管の外周に、一定の間隙をおいて同心状に配設し
た外筒管で構成すると共に、これら内外二重筒管の前記
空間側と反対側端面に、前記セラミックス製内筒管と同
じ内径の貫通孔を有する良熱伝導性、良導電性の材料か
らなる陰極ホルダーを接続したことを特徴とするプラズ
マ溶射ガン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3371484U JPS60144953U (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | プラズマ溶射ガン |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3371484U JPS60144953U (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | プラズマ溶射ガン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60144953U true JPS60144953U (ja) | 1985-09-26 |
JPH0341822Y2 JPH0341822Y2 (ja) | 1991-09-02 |
Family
ID=30536422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3371484U Granted JPS60144953U (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | プラズマ溶射ガン |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60144953U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000188200A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-07-04 | Sulzer Metco Ag | プラズマト―チ用ノズル |
JP2007090209A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 複合トーチ型プラズマ溶射装置 |
JP2018168474A (ja) * | 2014-09-17 | 2018-11-01 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置用の部品の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5115119U (ja) * | 1974-07-22 | 1976-02-03 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5115119B2 (ja) * | 1972-08-17 | 1976-05-14 |
-
1984
- 1984-03-09 JP JP3371484U patent/JPS60144953U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5115119U (ja) * | 1974-07-22 | 1976-02-03 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000188200A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-07-04 | Sulzer Metco Ag | プラズマト―チ用ノズル |
JP4620198B2 (ja) * | 1998-12-21 | 2011-01-26 | スルツァー メトコ アーゲー | プラズマトーチ用ノズル |
JP2007090209A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 複合トーチ型プラズマ溶射装置 |
JP2018168474A (ja) * | 2014-09-17 | 2018-11-01 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置用の部品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0341822Y2 (ja) | 1991-09-02 |
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