JPS60144902A - 温度センサ - Google Patents
温度センサInfo
- Publication number
- JPS60144902A JPS60144902A JP3284A JP3284A JPS60144902A JP S60144902 A JPS60144902 A JP S60144902A JP 3284 A JP3284 A JP 3284A JP 3284 A JP3284 A JP 3284A JP S60144902 A JPS60144902 A JP S60144902A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature sensor
- temperature
- temperature coefficient
- resistance
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
金属の測温抵抗体は、安定で正の直線性の優れた温度係
数があるが比抵抗が小さいため１００オーム位が限度で
ある。
数があるが比抵抗が小さいため１００オーム位が限度で
ある。
ｉのため多少不安定で負の指数函数の温度係数であるが
、高抵抗で消費電力も少なく使い易いと云ふことでサー
ミスターが一般に温度センサとして多く使用されている
。
、高抵抗で消費電力も少なく使い易いと云ふことでサー
ミスターが一般に温度センサとして多く使用されている
。
サーミスターは数種の金属耐化物を微粉末にして温合し
たものであるため本質的に次のような欠点がある。
たものであるため本質的に次のような欠点がある。
■抵抗値、温度係数のバラツキが大きい。
■ｌ″Ｃ１りの変化値が温度によって異なる。
■経時変化が大きい。
■温度制御回路に使用すると、温度係数が負で経時変化
で抵抗値が下るため次第に電流が増加し暴走する恐れが
ある。
で抵抗値が下るため次第に電流が増加し暴走する恐れが
ある。
そこで安定な金属で高抵抗の使い易い温度センサの要求
が生てきた■族金属間の合金で比抵抗がある程度大きく
なり温度係数が４０００ＰＰＭ／”０以上あるものは、
■Ｆｅ−Ｐｄ （７５％） ４３ＩＬΩｃ＋ｏ、８５０
０ＰＰＭ／”０（バルクの状態） ■ＮＩ−Ｒｈ（４４％） ３９ｐΩａｍ、５２００ Ｐ
ＰＭ／”０（バルクの状態） ■Ｎｌ−Ｐｄ （５０％） ４２ルΩｃｍ、’ ６００
０ＰＰＭ／”０（バルクの状態） 等がある。
が生てきた■族金属間の合金で比抵抗がある程度大きく
なり温度係数が４０００ＰＰＭ／”０以上あるものは、
■Ｆｅ−Ｐｄ （７５％） ４３ＩＬΩｃ＋ｏ、８５０
０ＰＰＭ／”０（バルクの状態） ■ＮＩ−Ｒｈ（４４％） ３９ｐΩａｍ、５２００ Ｐ
ＰＭ／”０（バルクの状態） ■Ｎｌ−Ｐｄ （５０％） ４２ルΩｃｍ、’ ６００
０ＰＰＭ／”０（バルクの状態） 等がある。
一般に薄膜にすると抵抗値は大きくなるが、温度係数は
バルクの８０％弱になるのが普通である。
バルクの８０％弱になるのが普通である。
この中で、Ｆｅ−Ｐｄ系は完全な固溶体をつくるが、酸
素、水素に弱いため温度センサとしては不適当である。
素、水素に弱いため温度センサとしては不適当である。
Ｎｉ−Ｐｄ系は、組成の変化が抵抗値、温度係数に大き
く影響し、その変動が不規則であるので、温度センサと
したとき特性のバラツキが多く不適当である。
く影響し、その変動が不規則であるので、温度センサと
したとき特性のバラツキが多く不適当である。
完全な固溶体をつくり相変態もなく温度係数がある組成
範囲内は、一定である点で、Ｎｉ−Ｒｈ系か温度センサ
材料とじて最も適当である。
範囲内は、一定である点で、Ｎｉ−Ｒｈ系か温度センサ
材料とじて最も適当である。
しかしながらＮｉ−Ｒｈ系では、比抵抗が３９１ＬΩｃ
ｍと小さく、高抵抗温度センサ川としては、この２倍以
上にする必要がある。
ｍと小さく、高抵抗温度センサ川としては、この２倍以
上にする必要がある。
本発明は、このＮｉ−Ｒｈ系で、Ｎｉの一部をＣｒで置
換したもので、高周波イオンプレーテング法を採用して
行ふことにより合金の組成を可成り自由に変化させて実
験することができた。
換したもので、高周波イオンプレーテング法を採用して
行ふことにより合金の組成を可成り自由に変化させて実
験することができた。
その結果、
Ｒｈ ３６−４４％、Ｎｉ５０−３６％、Ｃｒ１−２−
２０％ノ範囲内のものは、比抵抗が大きく温度係数がＮ
１成によって大きな変動もなく直線性か一５０°Ｃ〜２
００°Ｃ迄優れていることが解った。
２０％ノ範囲内のものは、比抵抗が大きく温度係数がＮ
１成によって大きな変動もなく直線性か一５０°Ｃ〜２
００°Ｃ迄優れていることが解った。
実施例
１．０φＸ３．２１１ｍのアルミナ磁器を回転するバス
ケットに入れＲｈとＮ１−Ｃｒ（Ｎｉ８（１％）合金を
高周波イオンプレーテンク装首で磁器表面にＯｌ〜０．
２ｐＬｍ程１バつける。
ケットに入れＲｈとＮ１−Ｃｒ（Ｎｉ８（１％）合金を
高周波イオンプレーテンク装首で磁器表面にＯｌ〜０．
２ｐＬｍ程１バつける。
組成は１分析によってｍ？１する。これをＮ２％流中で
約１０００℃で３０〜６０秒の熱エーシングを行い安定
化させ、トリミングしてリート線付を行い絶縁塗料で保
護膜をつくり、更に１２０℃Ｘ１００ｈｒの熱エージン
グを行って安定させる。
約１０００℃で３０〜６０秒の熱エーシングを行い安定
化させ、トリミングしてリート線付を行い絶縁塗料で保
護膜をつくり、更に１２０℃Ｘ１００ｈｒの熱エージン
グを行って安定させる。
斯しくして出来た。温度センサを他の金属薄１１り温度
センサと比較すると（自社製品比較） Ｐ Ｌ薄ｎ’Ａ Ｒｏ５００Ω ３３００−３５００
ＰＰＭ／℃Ｎ ｆ ＦＪＩＩＡ Ｒｏ８００−１０００
Ω ３８００−：］５００ ＰＰＭ／”０Ｆｅ−Ｐｄ薄
膜 Ｒｏ ４０にΩ ３８００−４２００ ＰＰＭ／”
０Ｎｉ−Ｃｒ−ＦｅｌＸ、ｌ１ｌｌＱ Ｒｏ３０にΩ
３８００−４０００ ＰＰＭ／”Ｃ本発明名品 Ｒｏ
５０−８０にΩ ４００Ｇ −４４００ＰＰＭ”Ｃとな
り、比較的高抵抗で温度係数の大きいセンサか造り易い
。
センサと比較すると（自社製品比較） Ｐ Ｌ薄ｎ’Ａ Ｒｏ５００Ω ３３００−３５００
ＰＰＭ／℃Ｎ ｆ ＦＪＩＩＡ Ｒｏ８００−１０００
Ω ３８００−：］５００ ＰＰＭ／”０Ｆｅ−Ｐｄ薄
膜 Ｒｏ ４０にΩ ３８００−４２００ ＰＰＭ／”
０Ｎｉ−Ｃｒ−ＦｅｌＸ、ｌ１ｌｌＱ Ｒｏ３０にΩ
３８００−４０００ ＰＰＭ／”Ｃ本発明名品 Ｒｏ
５０−８０にΩ ４００Ｇ −４４００ＰＰＭ”Ｃとな
り、比較的高抵抗で温度係数の大きいセンサか造り易い
。
Ｎｉ−Ｃｒ−Ｆｅ系ノセンサ
０℃ ２０℃ ５０”ＯＴ、Ｃ，Ｒ（０〜５０）Ｎｏ、
１ ４８．０２１ ４Ｂ、５２８ ５５．２５５ ４０
１２Ｎｏ、２ ４５．８０９ ４９．２４３ ５４．９
０５ ３９７１Ｎｏ、３ ４５．９８０ ４Ｌ４？４
５５．ＩＨ４００４Ｎｏ、４ ４５．７３５ ４９．２
４１ ５４．９８７ ４０４５Ｎｏ、５ ４５．９３１
４９．４８１ ５５．３０５ ４０８１相当に了察に
製作した製品でも以上のようなＴ、ＣＲの７ヘラツキか
ある。
１ ４８．０２１ ４Ｂ、５２８ ５５．２５５ ４０
１２Ｎｏ、２ ４５．８０９ ４９．２４３ ５４．９
０５ ３９７１Ｎｏ、３ ４５．９８０ ４Ｌ４？４
５５．ＩＨ４００４Ｎｏ、４ ４５．７３５ ４９．２
４１ ５４．９８７ ４０４５Ｎｏ、５ ４５．９３１
４９．４８１ ５５．３０５ ４０８１相当に了察に
製作した製品でも以上のようなＴ、ＣＲの７ヘラツキか
ある。
本発明品では、多少組成に差のある試料でも下記の如く
温度係数が殆んど一定するのが大きな特長である。
温度係数が殆んど一定するのが大きな特長である。
０℃ ２０℃ ５０℃ Ｔ、Ｃ，Ｒ（０〜５０）Ｎｏ、
１ ４９．８？５ ５４．０５２ ６０．３９８ ４２
＋９Ｎｏ、２ ５０．０２８ ５４．２０？ Ｇｏ、５
８６ ４２２ＯＮｏ、３ ５０．５２４ ５４．７４０
８１．１８８ ４２２１Ｎｏ、４ ５０．１０８ ５
４．２８２ １３０．８８４ ４２２；Ｎｏ、５ ５０
．０７７ ５４．２５１ Ｈ，６５０４２２２また比抵
抗を大きくしたことによって膜厚もＦｅ−Ｐｄ系、Ｎ１
−Ｃｒ −Ｆ ｅ系の２倍近く厚くしてもＲｏ５０〜８
０にΩのセンサが製作できるので熱による安定度、静電
耐圧等も遥に他の組成のものより優れた特性を示す。
１ ４９．８？５ ５４．０５２ ６０．３９８ ４２
＋９Ｎｏ、２ ５０．０２８ ５４．２０？ Ｇｏ、５
８６ ４２２ＯＮｏ、３ ５０．５２４ ５４．７４０
８１．１８８ ４２２１Ｎｏ、４ ５０．１０８ ５
４．２８２ １３０．８８４ ４２２；Ｎｏ、５ ５０
．０７７ ５４．２５１ Ｈ，６５０４２２２また比抵
抗を大きくしたことによって膜厚もＦｅ−Ｐｄ系、Ｎ１
−Ｃｒ −Ｆ ｅ系の２倍近く厚くしてもＲｏ５０〜８
０にΩのセンサが製作できるので熱による安定度、静電
耐圧等も遥に他の組成のものより優れた特性を示す。
１２０°ｃｘｔｏｏｏ時間の無負荷試験結果Ｎｉ−Ｃｒ
−Ｆｅ系センサ 初所期値（ＲＯ） 試験後（ＲＯ） 変化値Ｎｏ、ｌ
４５．８ｆ１４ ４５．８Ｂ２ ２２８ΩＮｏ、２ ４
５．６３１ ４５．９４７ ３１８Ｎｏ、３ ４５．７
４４ ４６．０７８ ３３４Ｎｏ、４ ４５．６４８
４５，３４７ ２９８Ｎｏ、５ ４５．８７３ ４５．
９４８ ２７５本発明品 Ｎｉ−Ｃｒ−Ｒｈ系センサ 初ｊｕＩ値（Ｒｏ） 試験後（ＲＱ） 変化ｍＮｏ、ｌ
５０．１２８ ５０．１ｆ１２ ３４ΩＮｏ、２ ４
９．！１８Ｇ ５０．０２８ ４２Ｎｏ、３ ５０．０
５［１５０，０９３３７Ｎｏ、４ ５０．１１４ ５０
．１３６ ２２Ｎｏ、５ ５０．２８１ ５０．２９５
１４尚、本発明品は、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｒｈ合金のターゲ
ットを製作し高周波スパッタ法でも、Ｎｉ−Ｃｒ合金と
Ｒｈで高周波イオンプレーテングによっても容易に製作
できる。
−Ｆｅ系センサ 初所期値（ＲＯ） 試験後（ＲＯ） 変化値Ｎｏ、ｌ
４５．８ｆ１４ ４５．８Ｂ２ ２２８ΩＮｏ、２ ４
５．６３１ ４５．９４７ ３１８Ｎｏ、３ ４５．７
４４ ４６．０７８ ３３４Ｎｏ、４ ４５．６４８
４５，３４７ ２９８Ｎｏ、５ ４５．８７３ ４５．
９４８ ２７５本発明品 Ｎｉ−Ｃｒ−Ｒｈ系センサ 初ｊｕＩ値（Ｒｏ） 試験後（ＲＱ） 変化ｍＮｏ、ｌ
５０．１２８ ５０．１ｆ１２ ３４ΩＮｏ、２ ４
９．！１８Ｇ ５０．０２８ ４２Ｎｏ、３ ５０．０
５［１５０，０９３３７Ｎｏ、４ ５０．１１４ ５０
．１３６ ２２Ｎｏ、５ ５０．２８１ ５０．２９５
１４尚、本発明品は、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｒｈ合金のターゲ
ットを製作し高周波スパッタ法でも、Ｎｉ−Ｃｒ合金と
Ｒｈで高周波イオンプレーテングによっても容易に製作
できる。
０℃ １０℃ ２０℃ ３０℃ ４０℃ ５０℃ ８０
℃５０．０２８ ５２．０＋８ ５４．０６７ ５ｆ１
．ｌ？？ ５８．３４８ ６０．５８１ Ｇ２．８７Ｂ
ＫΩこの計算式は。
℃５０．０２８ ５２．０＋８ ５４．０６７ ５ｆ１
．ｌ？？ ５８．３４８ ６０．５８１ Ｇ２．８７Ｂ
ＫΩこの計算式は。
Ｒｔ ＝Ｒｏ （＋ ＋３．１１４ Ｘｔ Ｘｌ０−３
＋８．０９１ Ｘｔ２ＸＩＯ−６）の式になる。
＋８．０９１ Ｘｔ２ＸＩＯ−６）の式になる。
第１図は、本発明品の組成と温度係数の関係を示したも
のである。 １．２，３，４．５は、それぞれ多少組成の変った試料
である。 第２図は、Ｎｉ−Ｒｈ系の固溶体図で全く完全に固溶し
、相変態、磁器変態のないことを示す。 第３図は、本発明品の組成を三角図表で示したもので剥
線部が理想的な組成を示す。 六ｌＩ′２１ ＪＪしく 昭和５９年 ４ガタ １」 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第３２号２、発明の
名称 温 度 セ ン サ ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所（居所） 神奈川県相模原市東林間３−１７４ 補
正命令の日付 昭和５９年 ３月 ７日５、補正の対象
タイプ印書により鮮明に記載した願書及び明細書
のである。 １．２，３，４．５は、それぞれ多少組成の変った試料
である。 第２図は、Ｎｉ−Ｒｈ系の固溶体図で全く完全に固溶し
、相変態、磁器変態のないことを示す。 第３図は、本発明品の組成を三角図表で示したもので剥
線部が理想的な組成を示す。 六ｌＩ′２１ ＪＪしく 昭和５９年 ４ガタ １」 特許庁長官 殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第３２号２、発明の
名称 温 度 セ ン サ ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所（居所） 神奈川県相模原市東林間３−１７４ 補
正命令の日付 昭和５９年 ３月 ７日５、補正の対象
タイプ印書により鮮明に記載した願書及び明細書
Claims (1)
- Ｒｈ３６−４５％、Ｎｉ５０〜３６％、Ｃｒ１４〜２０
％の組成からなるＮｉ−Ｃｒ−Ｒｈ合金で製作した薄膜
高抵抗温度センサ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3284A JPS60144902A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | 温度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3284A JPS60144902A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | 温度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60144902A true JPS60144902A (ja) | 1985-07-31 |
Family
ID=11463005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3284A Pending JPS60144902A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | 温度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60144902A (ja) |
-
1984
- 1984-01-05 JP JP3284A patent/JPS60144902A/ja active Pending
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